KR20070026907A - Screw - Google Patents

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김동수
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삼성전자주식회사
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Abstract

A screw is provided to improve efficiency of maintenance work as well as to reduce maintenance work time for a semiconductor manufacturing facility by being easily assembled and dissembled even when a head recess is deformed. A screw includes a screw body(202), and a screw head(204) formed at a side of the screw body and having a penetrating hole penetrated in the direction substantially perpendicular to the axial direction of the screw body. The screw head has a head recess(206) to fasten or dissemble the screw body. A thread portion is formed in a side of the screw body. The screw head is connected to a side of the screw body. The screw head has a circular outer surface. The outer surface has a polygonal shape. The outer surface of the screw head is formed with a knurling. The head recess formed in the screw head is a recess to receive a tool to rotate the screw head. In more detail, a wrench with a polygonal cross-section is inserted into the head recess. In order to insert the wrench with the polygonal cross-section into an inner surface of the head recess, the inner surface has a polygonal shape.

Description

체결용 나사{Screw}Screw for fastening {Screw}

도 1은 종래 기술에 따른 체결용 나사를 설명하기 위한 단면도이다.1 is a cross-sectional view for explaining a fastening screw according to the prior art.

도 2는 도 1에 도시된 체결용 나사의 평면도이다.2 is a plan view of the fastening screw shown in FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 체결용 나사를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining a fastening screw according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 체결용 나사의 평면도이다.4 is a plan view of the fastening screw shown in FIG.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 체결용 나사를 분리하는 방법을 설명하기 위한 사시도이다.5 is a perspective view for explaining a method of removing a fastening screw according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

20 : 피고정체 22 : 고정체20: fixed body 22: fixed body

23 : 나사 홀 200 : 체결용 나사23: screw hole 200: screw for fastening

202 : 나사 몸통부 204 : 나사 머리부202: screw body 204: screw head

206 : 헤드 홈 208 : 관통 홀 206: head groove 208: through hole

본 발명은 체결용 나사에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 체결용 나사의 분 해 또는 체결용 홈이 변형되었을 시에도, 해체 또는 체결이 가능토록 하는 관통 홀이 형성된 체결용 나사에 관한 것이다.The present invention relates to a fastening screw, and more particularly, to a fastening screw having a through-hole formed to be disassembled or fastened even when the fastening screw is disassembled or the fastening groove is deformed.

일반적으로, 고정체에 피고정체를 체결하기 위해서 볼트(bolt)와 너트(nut), 나사(screw)와 같은 체결 수단이 주로 사용된다. 체결용 나사는 반도체 제조용 설비나 기타 산업용 생산 설비에 널리 사용되고 있다.In general, fastening means such as bolts, nuts and screws are mainly used to fasten the fixed body to the fixture. Fastening screws are widely used in semiconductor manufacturing facilities and other industrial production facilities.

도 1은 종래의 체결용 나사를 설명하기 위한 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 체결용 나사의 평면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a conventional fastening screw, Figure 2 is a plan view of the fastening screw shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 체결용 나사(100)는 나사 머리부(104)와 나사 몸통부(102)를 포함한다. 상기 나사 머리부(104)의 회전에 의해 상기 나사 몸통부(102)가 피고정체(12)를 관통하면서 고정체(10)에 삽입됨으로써, 상기 피고정체(12)가 상기 고정체(10)에 체결된다. 상기 회전을 위해서, 상기 나사 머리부(104)에는 단면이 육각형인 헤드 홈(106)이 형성된다. 상기 헤드 홈(106)에 육각 렌치를 삽입하여 상기 나사 머리부(104)를 회전시킬 수 있다.1 and 2, the fastening screw 100 includes a screw head 104 and a screw body 102. The screw body portion 102 is inserted into the fixed body 10 while the screw body portion 102 penetrates the fixed body 12 by the rotation of the screw head 104, so that the fixed body 12 is connected to the fixed body 10. Is fastened. For the rotation, the screw head 104 is formed with a head groove 106 of hexagonal cross section. The screw head 104 may be rotated by inserting a hexagon wrench into the head groove 106.

일반적인 육각 렌치는 삽입부로부터 연장된 손잡이가 "L"형으로 구부러진 형태를 갖는다. 이에 따라, 작업자가 상기 육각 렌치를 용이하게 회전시킬 수 있다. 작업자는 상기 체결용 나사(100)를 이용하여 상기 피고정체(12)를 상기 고정체(10)에 강력하게 체결하기 위해서는, 상기 육각 렌치의 회전 강도를 높이게 된다. 또한, 반도체 제조 장치와 같이 작업 시간을 단축시켜야 하는 환경에서, 작업자가 상기 육각 렌치를 빠르게 회전시키는 것이 일반적으로 수행되는 작업 행태이다.A common hex wrench has a shape in which a handle extending from an insert portion is bent in an "L" shape. Accordingly, the worker can easily rotate the hexagon wrench. The worker increases the rotational strength of the hexagon wrench in order to strongly fasten the fixed body 12 to the fixed body 10 by using the fastening screw 100. In addition, in an environment in which work time is to be shortened, such as in a semiconductor manufacturing apparatus, it is a work practice that is generally performed by an operator to quickly rotate the hexagon wrench.

한편, 상기 육각 렌치가 상기 헤드 홈(106)에 삽입되었을 때, 상기 헤드 홈 (106)을 정의하는 헤드 홈 내측면(108)과 상기 육각 렌치의 외측면 사이에는 매우 미세한 틈이 생긴다. 이는, 상기 육각 렌치를 상기 헤드 홈(106)에 끼우고 빼는 것을 용이하게 만들기 위함이다.On the other hand, when the hexagon wrench is inserted into the head groove 106, a very fine gap is created between the head groove inner surface 108 defining the head groove 106 and the outer surface of the hexagon wrench. This is to make it easy to insert and remove the hex wrench into the head groove 106.

이에 따라, 작업자가 상기 육각 렌치를 상기 체결용 나사(100)의 헤드 홈(106)에 삽입한 상태에서 상기 육각 렌치를 강력한 힘을 수반하여 빠르게 회전시키게 되면, 상기 헤드 홈 내측면(108)이 마모되면서 상기 육각 렌치가 공회전하는 현상이 발생한다. 또한, 상기 체결용 나사(100)는 체결된 상태에서 장기간의 시간이 경과되면서 반도체 제조 설비의 흄(hume) 등의 화학 물질로 인하여 부식될 수 있다.Accordingly, when the operator quickly rotates the hexagon wrench with strong force in the state where the hexagon wrench is inserted into the head groove 106 of the fastening screw 100, the head groove inner surface 108 is formed. As the hex wrench is idle, wear occurs. In addition, the fastening screw 100 may be corroded due to a chemical material such as a fume of a semiconductor manufacturing facility while a long time passes in the fastened state.

도 2는 상기 마모 및 부식으로 헤드 홈 내측면이 변형된 체결용 나사(100)를 나타내기 위한 평면도이다.2 is a plan view illustrating the fastening screw 100 in which the inner surface of the head groove is deformed due to the wear and corrosion.

도 2를 참조하면, 상기 헤드 홈 내측면(108)이 참조 번호 109번과 같이 변형될 수 있기 때문에, 상기 피고정체(12)를 상기 고정체(10)로부터 분리하기 위해 상기 육각 렌치를 상기 헤드 홈(106)에 삽입한 후 상기 육각 렌치를 회전시켜도 상기 나사 머리부(104)가 회전하지 않게 된다.Referring to FIG. 2, since the head groove inner surface 108 may be deformed as shown by reference numeral 109, the hexagon wrench may be removed from the head in order to separate the fixed body 12 from the fixed body 10. The screw head 104 does not rotate even when the hexagon wrench is rotated after the groove 106 is inserted.

따라서, 상기 피고정체(12)를 상기 고정체(10)로부터 분리하기 위해서는 드릴(drill)과 같은 특수 장비를 상기 헤드 홈(106) 내부로 투입하여 상기 체결용 나사(100)를 빼내야 한다. 이 과정에서, 상기 고정체(10)가 손상시킬 수 있다. 특히, 상기 고정체(10)가 반도체 제조 장치와 같은 고가의 설비이면, 그 경제적 손실이 크다.Accordingly, in order to separate the fixed body 12 from the fixed body 10, a special equipment such as a drill should be introduced into the head groove 106 to remove the fastening screw 100. In this process, the fixture 10 may be damaged. In particular, if the fixture 10 is an expensive facility such as a semiconductor manufacturing apparatus, its economic loss is large.

따라서, 상기 마모 및 부식으로 발생하는 상기 헤드 홈의 변형에 대비한 체결용 나사의 개발이 요구된다.Therefore, the development of the fastening screw for the deformation of the head groove caused by the wear and corrosion is required.

따라서, 본 발명의 목적은 헤드 홈이 변형되더라도 조립 또는 분해가 용이한 체결용 나사를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a fastening screw that is easy to assemble or disassemble even if the head groove is deformed.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 체결용 나사는, 나사 몸통부와 상기 나사 몸통부의 일단부에 형성되며 상기 나사 몸통부의 축 방향에 대하여 실질적으로 수직하는 방향으로 형성된 관통 홀 을 갖는 나사 머리부를 포함한다.Fastening screw according to an aspect of the present invention for achieving the above object, has a through hole formed in the screw body portion and one end of the screw body portion in a direction substantially perpendicular to the axial direction of the screw body portion It includes a screw head.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 나사 머리부는 상기 나사 몸통부를 체결 또는 해체하기 위한 헤드 홈을 갖는다.According to one embodiment of the invention, the screw head has a head groove for fastening or dismounting the screw body.

상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 헤드 홈이 마모되더라도 헤드 홈의 측면에 형성된 관통 홀을 이용하여 나사 몸통부를 분해할 수 있다.According to the present invention as described above, even if the head groove is worn, it is possible to disassemble the screw body using the through hole formed in the side of the head groove.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화 될 수도 있다. 오히려, 여기에 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면들에 있어서, 각 구성 요소들의 크기 비율은 명확성을 위하여 과장되었으며, 동일한 참조 번호들은 동일한 구성 요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed contents can be made thorough and complete, and the spirit of the present invention to those skilled in the art will fully convey. In the drawings, the size ratio of each component is exaggerated for clarity, and the same reference numerals denote the same components.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 체결용 나사를 설명하기 위한 단면도이고, 도 4는 도 3의 평면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a fastening screw according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view of FIG. 3.

도 3 및 도 4를 참조하면, 도시된 체결용 나사(200)는 나사 몸통부(202)와 나사 머리부(204)를 포함한다. 상기 나사 머리부(204)는 상기 나사 몸통부(202)를 체결 또는 해체하기 위한 헤드 홈(206)과, 상기 헤드 홈(206)의 변형에 대비한 관통 홀(208)을 구비한다.3 and 4, the fastening screw 200 shown includes a screw body 202 and a screw head 204. The screw head 204 has a head groove 206 for fastening or disengaging the screw body 202, and a through hole 208 for the deformation of the head groove 206.

피고정체(20) 및 고정체(22)는 상기 체결용 나사(200)를 고정되며, 일측에는 상기 체결용 나사(200)가 삽입되는 나사 홀(hole, 23)이 구비되어 있다. 일 예로, 상기 피고정체(20) 및 상기 고정체(22)는 건식 식각 장치와 같은 반도체 제조 장치의 일부분이다.The fixed body 20 and the fixed body 22 are fixed to the fastening screw 200, one side is provided with a screw hole (hole, 23) is inserted into the fastening screw 200. In one example, the pinned body 20 and the fixture 22 are part of a semiconductor manufacturing device such as a dry etching device.

상기 나사 몸통부(202)의 측면에는 나사부(미도시됨)가 형성된다. 상기 나사 머리부(204)는 상기 나사 몸통부(202)의 일 단과 연결된다. 상기 나사 머리부(204)의 외측면은 원형으로 형성된다. 이와는 다르게, 도시되지는 않았으나, 상기 나사 머리부(204) 외측면이 다각형으로 형성될 수도 있다. 상기 나사 머리부(204) 외측면 표면에는 널링(knurling)이 형성될 수 있다.A screw portion (not shown) is formed at the side of the screw body portion 202. The screw head 204 is connected to one end of the screw body 202. The outer surface of the screw head 204 is formed in a circular shape. Alternatively, although not shown, the outer surface of the screw head 204 may be formed in a polygon. Knurling may be formed on an outer surface of the screw head 204.

상기 나사 머리부(204)에 형성된 헤드 홈(206)은 상기 나사 머리부(204)를 회전시키기 위한 공구가 삽입되는 홈들이다. 구체적으로, 상기 헤드 홈(206)에는 다각형의 단면을 갖는 렌치(wrench)가 삽입될 수 있도록, 헤드 홈(206)의 내측면은 다각형으로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 헤드 홈(206)의 단면이 다각형을 갖는다.The head grooves 206 formed in the screw head 204 are grooves into which a tool for rotating the screw head 204 is inserted. Specifically, the inner surface of the head groove 206 may be polygonal so that a wrench having a polygonal cross section may be inserted into the head groove 206. That is, the cross section of the head groove 206 has a polygon.

본 실시예에서 상기 헤드 홈(206)의 내측면은 육각형으로 이루어진다.In this embodiment, the inner surface of the head groove 206 has a hexagon.

상기 관통 홀(208)은 상기 헤드 홈(206)의 변형에 대비하여 상기 헤드 홈(206)의 측면에 형성된다. 상기 관통 홀(206)은 해체 도구(30)가 삽입되어 소정의 방향으로 상기 체결용 나사(200)를 돌릴 수 있도록 적어도 한 쌍 이상이 구비된다. 도한 상기 관통 홀(206)은 적어도 한 쌍 이상이 구비되어, 그 삽입 방향을 여러 곳으로 할 수 있다.The through hole 208 is formed on the side of the head groove 206 in preparation for the deformation of the head groove 206. The through hole 206 is provided with at least one pair so that the dismantling tool 30 can be inserted to turn the fastening screw 200 in a predetermined direction. In addition, at least one pair of the through holes 206 may be provided, and the insertion holes may have various insertion directions.

상기 해체 도구(30)의 예로서는 렌치 또는 철사 등이 있으며, 상기 해체 도구는 이미 제품으로 출시되어 있는 렌치 또는 철사를 이용할 수 있으므로, 상기 관통 홀(208)에 맞는 별도의 공구를 제작할 필요가 없다.Examples of the dismantling tool 30 include a wrench or a wire, and the dismantling tool may use a wrench or a wire already released as a product, and thus, there is no need to manufacture a separate tool for the through hole 208.

이와는 다르게, 도시되지는 않았으나, 상기 보조 헤드 홈은 그 내부에 드라이버(screw driver)가 삽입될 수 있도록, 상기 헤드 홈(206)의 기저면에 일자형 또는 십자형 홈 형태의 보조 헤드 홈(도시되지 않음)이 형성될 수도 있다.Alternatively, although not shown, the auxiliary head groove (not shown) in the form of a straight or cross-shaped groove on the base surface of the head groove 206 so that a screw driver can be inserted therein. This may be formed.

상기 관통 홀(208)을 이용하면, 상기 헤드 홈(206)이 부식 또는 마모에 의해 변형됨으로써 렌치 등의 공구가 공회전하거나, 헤드 홈(206) 내측면에 이물질이 낌으로 공구를 삽입할 수 없을 경우에도 렌치 또는 철사를 사용하여 상기 나사 머리부(204)를 회전시킬 수 있기 때문에, 상기 체결용 나사(200)를 상기 고정체(22)로부터 용이하게 분리해 낼 수 있다.When the through hole 208 is used, the head groove 206 is deformed due to corrosion or wear, so that a tool such as a wrench rotates idle, or a tool cannot be inserted due to foreign matter being caught on the inner surface of the head groove 206. In this case, the screw head 204 can be rotated using a wrench or a wire, so that the fastening screw 200 can be easily removed from the fixing body 22.

그러나, 본 발명은 상기 관통 홀(208)의 형상에 한정되는 것은 아니며, 소정의 공구를 사용하여 상기 나사 머리부(204)를 회전시킬 수 있도록 헤드 홈 및 상기 헤드 홈의 기저면에 형성되는 다양한 형태의 보조 헤드 홈을 포함하는 이중 헤드 홈 구조의 모든 형태의 체결용 나사를 포함한다.However, the present invention is not limited to the shape of the through hole 208, and various forms are formed in the head groove and the base surface of the head groove so as to rotate the screw head 204 using a predetermined tool. It includes all types of fastening screws of the double head groove structure including the auxiliary head groove of the.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 체결용 나사를 분리하는 방법을 설명하기 위한 사시도이다.5 is a perspective view for explaining a method of removing a fastening screw according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 상기 체결용 나사(200)는 상기 관통 홀(208)에 해체 도구(30)를 삽입하여 회전시킬 수 있다.As shown, the fastening screw 200 can be rotated by inserting the dismantling tool 30 in the through hole 208.

이와 같이, 상기 관통 홀(208)을 이용하는 경우에도 상기 나사 머리부(204)를 용이하게 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 헤드 홈(206)이 변형되더라도 상기 체결용 나사(200)를 용이하게 체결 또는 분리할 수 있으므로, 상기 피고정체(20) 및 고정체(22)를 포함하는 반도체 장치의 예방 정비(preventive maintenance)시 상기 고정체(22)의 교체 작업을 용이하게 수행할 수 있다.In this manner, even when the through hole 208 is used, the screw head 204 can be easily rotated. Therefore, even if the head groove 206 is deformed, the fastening screw 200 can be easily fastened or detached, and thus preventive maintenance of the semiconductor device including the fixed body 20 and the fixed body 22 is performed. During maintenance, the replacement of the fixture 22 may be easily performed.

또한, 상기 체결용 나사(200)가 좁은 공간에 결합되었을 경우 상술함 바와 같이 헤드 홈(206)이 변형되면, 별도의 스패너 등을 이용하여 상기 체결용 나사(200)의 외주면을 잡고 돌릴 수 있는 공간을 제공하지 못할 경우 그 해체 작업은 더욱 곤란하게 되는데, 이러한 경우 상기 관통 홀(208)을 통하여 그 해체 작업을 쉽게 수행할 수 있다.In addition, when the fastening screw 200 is coupled to a narrow space, as described above, when the head groove 206 is deformed, the outer peripheral surface of the fastening screw 200 may be grasped and rotated using a separate spanner or the like. If the space is not provided, the dismantling operation becomes more difficult. In this case, the dismantling operation can be easily performed through the through hole 208.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 헤드 홈이 변형되었을 경우에 관통 홀을 이용하여 상기 체결용 나사에 의해 체결된 고정체를 해체하는 작업을 용이하게 수행할 수 있다.According to the present invention as described above, when the head groove is deformed it can be easily performed to dismantle the fixed body fastened by the fastening screw using the through hole.

따라서, 체결용 나사를 채용하는 반도체 제조 설비에 대한 정비 작업의 효율 을 향상시키고, 정비 작업 시간을 단축시킬 수 있다.Therefore, the efficiency of maintenance work with respect to the semiconductor manufacturing equipment which employs the fastening screw can be improved, and maintenance work time can be shortened.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

Claims (2)

나사 몸통부; 및Screw body; And 상기 나사 몸통부의 일단부에 형성되며 상기 나사 몸통부의 축 방향에 대하여 실질적으로 수직하는 방향으로 형성된 관통 홀을 갖는 나사 머리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 체결용 나사.And a screw head having a through hole formed in one end of the screw body portion and formed in a direction substantially perpendicular to an axial direction of the screw body portion. 제1항에 있어서, 상기 나사 머리부는 상기 나사 몸통부를 체결 또는 해체하기 위한 헤드 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 체결용 나사.The fastening screw according to claim 1, wherein the screw head has a head groove for fastening or dismounting the screw body.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109826858A (en) * 2019-02-01 2019-05-31 嘉兴劳斯龙五金有限公司 A kind of bolt easily back-outed
KR20200021729A (en) 2018-08-21 2020-03-02 김종복 bolt head With groove and complementary tool

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