KR20070015328A - 평판 디스플레이 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 제조 공정에서 디스플레이부의 각 화소 또는 부화소의 위치가 어긋나는 것이 방지된 평판 디스플레이 장치를 위하여, 기판과, 상기 기판 상에 배치된 디스플레이부와, 상기 디스플레이부의 외측에 배치된 적어도 하나의 마크를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치를 제공한다.
Description
도 1은 종래의 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다.
도 2 및 도 3은 종래의 마스크 프레임 어셈블리를 개략적으로 도시하는 평면도들이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 복수개 동시에 제조하는 공정 중, 절단되지 않은 상태를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 7은 도 4에 도시된 절단되지 않은 상태의 변형예를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 8은 도 4에 도시된 절단되지 않은 상태의 다른 변형예를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 를 복수개 동시에 제조하는 공정 중, 절단되지 않은 상태를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 11은 유기 발광 소자의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 12는 유기 발광 소자의 다른 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110: 절단 전의 패널 120: 절단 후 평판 디스플레이 장치가 될 부분
122: 디스플레이부 124: 마크
본 발명은 평판 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 제조 공정에서 디스플레이부의 각 화소 또는 부화소의 위치가 어긋나는 것이 방지된 평판 디스플레이 장치에 관한 것이다.
유기 발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
일반적인 유기 발광 디스플레이 장치에 구비되는 유기 발광 소자에는 서로 대향된 전극들 사이에 적어도 발광층을 포함하는 중간층이 구비된다. 이 중간층에 는 다양한 층들이 구비될 수 있는 바, 예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등을 들 수 있다. 유기 발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.
이러한 유기 발광 소자를 제조하는 과정에서, 기판 상에 형성되는 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등의 유기박막들은 증착 장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성될 수 있다. 즉, 유기 발광 소자의 박막을 이루는 유기물은 10-6 내지 10-7 torr의 진공도에서 250 내지 450℃ 정도의 온도범위에서 증발 또는 승화하므로, 진공챔버 내에 기판을 장착한 후 증착될 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 형성한다.
한편, 유기 발광 소자에는 서로 대향되는 전극이 구비되며, 특히 능동 구동형 전계발광 소자의 경우에는 금속으로 형성되는 전극들을 구비한 박막 트랜지스터들이 구비되는 바, 이와 같은 전극 등도 증착 등의 방법을 통해 형성될 수 있다.
이러한 전극재료는 유기재료와 비교하여 일반적으로 고온에서 증발하게 되는데, 이러한 증발온도는 재료의 종류에 따라 다양하다. 일반적으로 이용되는 마그네슘(Mg)은 500 내지 600℃, 은(Ag)은 1000℃ 이상에서 증발한다. 또한 전극재료로서 이용되는 알루미늄(Al)은 1000℃내외에서 증발하며, 리튬(Li)은 300℃ 정도에서 증발한다.
이와 같이 증착에 의해 유기막 또는 금속막 등을 형성함에 있어서, 유기막 또는 금속막을 특정한 패턴을 가지도록 형성하기 위해 마스크가 이용된다. 즉, 유기막 또는 금속막 등을 형성할 대상에 소정 패턴의 개구부들이 형성된 마스크를 장착한 후 증착을 행함으로써, 마스크에 형성된 소정 패턴의 개구부들을 통해 노출된 부분에만 유기막 또는 금속막 등이 증착되도록 하여 원하는 패턴으로 증착이 이루어지도록 하는 것이다.
이 경우, 마스크를 기판 등에 밀착시킨 후 증착이 이루어지는데, 종래의 마스크의 경우 마스크의 자중에 의해 마스크의 중앙부가 기판 등에 밀착되지 못한다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 텐션 마스크가 개발되었다. 도 1은 이러한 텐션 마스크가 구비된, 종래의 마스크 프레임 어셈블리를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다. 도시된 바와 같이 하나의 금속박판(11)에 각각 유기 발광 디스플레이 장치를 이루는 복수개의 단위 기판들에 동시에 증착할 수 있도록 단위 마스크(12)들이 구비되어 있으며, 이 마스크(10)는 프레임(20)에 인장력이 가하여지도록 고정된다.
이러한 종래의 마스크(10)는 대량생산을 위해 상대적으로 그 크기가 크므로, 마스크를 격자상의 프레임(20)에 고정할 때 균일하게 인장력이 가하여져 있다해도 상술한 바와 같은 자중에 의한 문제는 심화된다. 특히 대면적 금속박판 마스크는 각 단위 마스크(12)들에 형성된 개구부(12a)들의 너비를 설정된 공차 범위 내로 유지되도록 프레임(20)에 용접해야 한다. 이때 마스크(10)의 처짐을 방지하기 위하여 각 방향으로 인장력을 가하게 되면, 각 단위 마스크(12)의 개구부(12a)들의 피치에 왜곡이 발생되어 설정된 공차 범위로 맞추는 것이 불가능해진다. 특히 마스크(10)의 특정 부위의 단위 마스크(12)의 개구부가 변형되면 이와 이웃하는 모든 개구부들에도 힘이 가하여져 변형되므로, 증착되는 기판에 대해 개구부들이 상대적으로 이동됨으로써 설정된 패턴의 공차 범위를 벗어나게 된다. 이러한 현상은 마스크에 형성된 개구부(12a)들의 법선 방향(개구부들의 길이 방향과 직교하는 방향)에서 특히 문제된다.
그리고 각 단위 마스크(12)의 개구부들의 위치가 왜곡될 경우, 박막 증착을 위한 기판에 형성되어 있는 단위 전극 패턴들과 각 단위 마스크(12) 사이에 설정된 절대 위치의 어긋남에 따른 누적치(이하 토탈 피치라 약칭함)가 커지게 되어 기판의 단위 전극 패턴들에 정확한 적, 청, 녹색의 유기막들을 형성할 수 없는 문제점이 있었다. 또한, 대형화된 금속박판에 형성된 단위 마스크(12)의 피치조정과 토탈 피치의 조정은 극히 제한적인 부분에서만 가능하므로 마스크(10)를 대형화하는데 한계가 있었다.
그리고 도 2에 도시된 바와 같이 원판 마스크(10)의 각 변에서 인장력을 가하여 프레임(20)에 고정하는 경우, 마스크(10)의 인장력에 의해 프레임(20)의 양측의 지지바(21)가 내측으로 만곡되고 프레임의 상하부를 이루는 상하부 지지바(22)가 상하 방향으로 볼록하게 굴곡 변형되어 변형이 발생되거나, 도 3에 도시된 바와 같이 양측의 지지바(21)가 외측으로 볼록하게 굴곡되고 프레임의 상하부를 이루는 상하부 지지바(22)가 내측으로 만곡될 수 있었다. 즉, 이러한 프레임의 변형이 발생할 수 있으므로, 상기 마스크(10)에 가해지는 인장력의 크기에 따라 상기 토탈 피치가 변할 수 있다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 제조 공정에서 디스플레이부의 각 화소 또는 부화소의 위치가 어긋나는 것이 방지된 평판 디스플레이 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판과, 상기 기판 상에 배치된 디스플레이부와, 상기 디스플레이부의 외측에 배치된 적어도 하나의 마크를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치를 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 불투명한 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 반사성 물질로 형성되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 직사각형 형상인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 복수개의 스트라이프들 형상인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 도전성 물질로 형성되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극을 갖는 박막 트랜지스터가 더 구비되며, 상기 마크는 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 어느 하나의 전극과 동일한 층상에 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극을 갖는 박막 트랜지스터가 더 구비되며, 상기 마크는 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 어느 하나의 전극과 동일한 물질로 동일한 층상에 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 한 개인 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 복수개이고, 상기 디스플레이부의 적어도 일측을 따라 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 마크는 복수개이고, 상기 디스플레이부의 양측을 따라 구비되는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 디스플레이부는 유기 발광 소자를 구비하는 것으로 할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 복수개 동시에 제조하는 공정 중, 절단되지 않은 상태인 원판 패널(110)을 개략적으로 도시하는 평면도이며, 도 5는 절단된 후의 평판 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 각각 평판 디스플레이 장치를 이루는 복수개의 단위 패널(120)들이 동시에 제조된다. 즉, 각각 평판 디스플레이 장치를 이루는 복수개의 단위 기판들에 증착 및 봉지 등이 이루어지고, 그 후 각 단위 패널(120)들 사이를 절단함으로써 복수개의 평판 디스플레이 장치들이 완성되는 것이다. 절단된 후의 평판 디스플레이 장치는 도 5에 도시되어 있다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 배치된 디스플레이부(122)와, 이 디스플레이부(122)의 외측에 배치된 적어도 하나의 마크(124)를 구비한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 마스크에는 복수개의 슬릿이 구비되어 있는 바, 이 슬릿을 통해 유기물이나 전극 형성용 물질 등이 기판 등에 부착된다. 이때 마스크의 처짐을 방지하기 위해 인장력이 가해지기에 이 마스크의 슬릿들이 올바른 위치에 있지 않게 될 수 있다. 또한 초기에는 슬릿들이 올바른 위치에 있다 하더라도 동일한 마스크 프레임 어셈블리를 계속 사양함에 따라 마스크, 프레임 또는 마스크의 슬릿 등이 변형되어 슬릿들의 위치가 변동되어 올바른 위치에 있지 않게 될 수 있다. 이러한 경우 이러한 마스크 프레임 어셈블리를 이용하여 물질을 증착하면 평판 디스플레이 장치의 불량을 유발하여 막대한 시간적 피해가 발생하게 되고 제조비용이 급증하게 된다. 따라서 마스크 프레임 어셈블리를 이용하여 증착하기에 앞서, 마스크 프레임 어셈블리의 변형여부를 점검함으로써 그러한 손해를 미연에 방지할 수 있는 바, 디스플레이부(122)의 외측에 구비된 마크(124)를 이용 함으로써 이러한 목적을 달성할 수 있다.
즉, 마스크 프레임 어셈블리를 이용하여 증착을 함에 있어서 마스크의 슬릿과 디스플레이부(122) 외측의 마크(124)의 상대적인 위치를 체크함으로써, 마스크, 프레임 또는 마스크의 슬릿이 변형되었는지 여부를 점검할 수 있다. 따라서 점검 결과 마스크, 프레임 또는 마스크의 슬릿이 변형되어 마스크의 슬릿과 디스플레이부(122) 외측의 마크(124)의 상대적인 위치가 올바르지 않다면, 증착하기에 앞서 새로운 마스크 프레임 어셈블리를 이용함으로써 불량이 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
이 경우, 마스크의 슬릿과 마크(124)의 상대적인 위치를 측정하는 것을 용이하게 하기 위해, 마스크의 슬릿의 길이방향과 마크(124)의 길이방향이 평행이 되도록 하는 것이 바람직하지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 마스크의 슬릿의 길이방향과 마크(124)의 길이방향이 평행이 되도록 하는 경우, 이를 위해 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 마크(124)의 형상은 직사각형 형상인 것이 바람직하다. 그러나 마스크의 슬릿과 마크(124)의 상대적인 위치만 체크하면 목적을 달성할 수 있는 것이므로, 마크(124)의 형상은 직사각형 형상에 한정되지 않음은 물론이다. 또한, 도 4 및 도 5에는 마크(124)가 세 개인 것으로 도시되어 있으나 이는 편의상 이와 같이 도시한 것일 뿐, 그 개수는 필요에 따라 선택될 수 있음은 물론이다. 이는 후술할 실시예들 및 변형예들에 있어서도 동일하다.
한편, 마스크의 슬릿과 마크(124)의 상대적인 위치를 비교하기 위해 마크(124)가 불투명하게 할 수 있다. 즉, 불투명한 재료로 마크(124)를 형성하고 이 마 크(124)와 마스크의 슬릿의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 특히, 마크(124)를 반사성 물질로 형성하고 레이저 등을 이용한 광학계로 마크(124)로부터의 반사광을 검출함으로써 마스크의 슬릿과 마크(124) 사이의 상대적인 위치를 더욱 정밀하게 체크할 수 있다. 이는 후술할 실시예들 및 변형예들에 있어서도 동일하다.
한편, 평판 디스플레이 장치에는 스킨 신호 등과 같이 디스플레이부에 인가되는 신호를 제어하기 위한 박막 트랜지스터가 더 구비될 수 있다. 물론 디스플레이부 내에도 필요에 따라 박막 트랜지스터가 구비될 수도 있다. 박막 트랜지스터는 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극을 구비하는데, 마스크 프레임 어셈블리의 변형을 체크하기 위한 마크(124)는 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 어느 하나의 전극과 동일한 층상에 구비되도록 할 수 있다. 특히, 이러한 경우 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 등을 형성하면서 마크(124)를 동일한 재료로 동시에 형성할 수도 있으며, 이를 통해 디스플레이부(122) 외측에 마크(124)를 갖는 평판 디스플레이 장치의 제조공정을 단순화시킬 수 있다. 이 경우, 마크(124)는 도전성 물질로 형성되게 된다. 그러나 필요에 따라 마크(124)는 비도전성 물질로 형성될 수도 있으며, 도전성 물질로 형성되더라도 박막 트랜지스터의 각 전극과 별도로 형성되거나 별도의 층에 형성될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 이는 후술할 실시예들 및 변형예들에 있어서도 동일하다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
본 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치(120) 역시 디스플레이부(122) 외측에 마크(124)를 구비하고 있다. 전술한 바와 같이 마크(124)는 마스크 프레임 어셈블리의 변형, 즉 슬릿의 위치의 어긋남을 체크하기 위한 것이다. 이때, 슬릿의 위치의 어긋남을 더욱 정밀하고 정확하게 체크하기 위해, 본 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치(120)에 구비된 마크(124)는 복수개의 스트라이프들 형상을 가지고 있다. 이와 같은 형상을 갖도록 함으로써, 한 개의 슬릿이 마크(124)의 복수개의 스트라이프들에 대응하거나, 한 개 혹은 복수개의 슬릿들에 대응하는 마크(124)의 스트라이프들의 개수가 달라지면 즉시 마스크 프레임 어셈블 리가 변형된 것임을 체크할 수 있다.
도 7은 도 4에 도시된 절단되지 않은 상태의 변형예를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 도 4에 도시된 각각 평판 디스플레이 장치를 이루는 복수개의 단위 패널(120)들은 각각 디스플레이부 외측에 마크를 구비하고 있었다. 그러나 마스크 프레임 어셈블리의 변형에 따른 슬릿의 위치의 변화는 주로 마스크의 가장자리에서 발생한다. 따라서, 도 7에 도시된 바와 같이 절단되지 않은 상태에서의 원판 패널(110)에 있어서 그 모퉁이 부근의 단위 패널에만 디스플레이부(122)의 외측에 마크(124)가 구비되도록 할 수 있다. 도 7에서는 원판 패널(110)의 모퉁이 부근의 하나의 단위 패널에만 마크(124)가 구비되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 원판 패널(110)의 모퉁이 부근의 복수개의 단위 패널들에 마크가 구비되도록 할 수도 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 또한 마크가 구비되는 위치 역시 다양한 변형이 가능한데, 예컨대 절단되지 않은 상태의 다른 변형예를 도시하는 도 8에서 볼 수 있는 바와 같이, 단위 패널(120)의 디스플레이부(122) 외측의 마크(124)가 원판 패널(110)의 가장자리를 향하는 방향에 구비되도록 할 수도 있다.
도 9는 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 복수개 동시에 제조하는 공정 중, 절단되지 않은 상태를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 전술한 실시예들 및 변형예들에 따른 평판 디스플레이 장치는 디스플레이부 외측에 복수개의 마크를 구비하고 있으나, 본 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치의 경우, 디스플레이부(122) 외측에 한 개의 마크(124)를 구비하고 있다. 휴대폰과 같은 소형 모바일 기기에 장착되는 평판 디스플레이 장치는 소형이기에, 그 제조과정에서 마스크 프레임 어셈블리의 변형에 다른 슬릿의 위치 변화를 체크하기 위한 마크(124)가 각 단위 패널(120) 당 한 개만 구비되어도 마스크 프레임 어셈블리의 변형을 체크하기에 충분할 수 있다. 물론 이 경우에도 복수개의 마크가 구비될 수도 있다.
도 10은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 본 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치(220)는 대형 평판 디스플레이 장치로서, 따라서 제조공정에서 마스크 프레임 어셈블리의 변형을 체크하기 위한 마크(224)가 복수개 구비되어 있다. 이러한 마크는 디스플레이부(222)의 외측에 구비되되, 디스플레이부(222)의 적어도 일측을 따라 구비되도록 할 수 있다. 도 10에 도시된 평판 디스플레이 장치의 경우에는 마크(224)가 디스플레이부(222)의 양측을 따라 구비되어 있는 바, 이 양측의 마크(224)를 이용함으로써 어느 일측에서는 마스크의 슬릿이 원 위치에 배치되어 있으나 다른 측에서는 마 스크의 슬릿이 원위치와 어긋나 있는 것을 방지할 수 있다.
이러한 평판 디스플레이 장치의 디스플레이부는 다양한 디스플레이 소자를 구비할 수 있는데, 예컨대 액정 소자 또는 유기 발광 소자 등을 들 수 있다. 그러한 디스플레이 소자 중 특히 유기 발광 소자의 경우 유기막 또는 필요에 따라 각종 전극 등도 증착에 의해 형성되는 바, 본 발명을 적용할 실익이 크다. 이러한 유기 발광 디스플레이 장치의 디스플레이부에 구비되는 유기 발광 소자를 도 11 및 도 12를 참조하여 개략적으로 설명하자면 다음과 같다.
상술한 바와 같이 유기 발광 디스플레이 장치의 디스플레이부 및 그 외측의 마크는 기판(302) 상에 구비되는 바, 이 기판(302)은 투명한 글라스재가 사용될 수 있는 데, 이 외에도, 아크릴, 폴리이미드, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 미라르(mylar) 기타 플라스틱 재료가 사용될 수 있다.
유기 발광 소자는 다양한 형태의 것이 적용될 수 있는 데, 즉, 단순 매트릭스 타입의 수동 구동형(PM: passive matrix) 유기 발광 소자뿐만 아니라, 박막 트랜지스터를 구비한 능동 구동형(AM: active matrix) 유기 발광 소자에도 본 발명이 적용될 수 있다.
먼저, 도 11은 수동 구동형 유기 발광 소자(303)의 일 예를 도시한 것으로, 기판(302) 상에 SiO2 등으로 버퍼층(321)이 형성되어 있고, 버퍼층(321) 상에 제 1 전극(331)이 소정의 패턴으로 형성되며, 이 제 1 전극(331)의 상부로 적어도 발광층을 포함하는 중간층(333) 및 제 2 전극(334)이 순차로 형성된다. 제 1 전극(331) 의 각 라인 사이에는 절연층(332)이 더 개재될 수 있으며, 제 2 전극(334)은 제 1 전극(331)의 패턴과 직교하는 패턴으로 형성될 수 있다. 그리고 도면에 도시되지는 않았지만, 제 2 전극(334)의 패턴을 위해 제 1 전극(331)과 직교하는 패턴으로 별도의 절연층(세퍼레이터)이 더 구비될 수 있다.
적어도 발광층을 포함하는 중간층(333)은 저분자 또는 고분자 유기물로 구비될 수 있다. 저분자 유기물을 사용할 경우 홀 주입층(HIL: hole injection layer), 홀 수송층(HTL: hole transport layer), 유기 발광층(EML: emission layer), 전자 수송층(ETL: electron transport layer), 전자 주입층(EIL: electron injection layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB) , 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기물은 전술한 바와 같이 마스크를 이용하여 진공증착의 방법으로 형성된다. 이때 디스플레이부 외측에 구비된 마크를 이용하여 마스크 프레임 어셈블리의 변형을 체크하여 이 유기막이 올바른 위치에 증착되도록 할 수 있다.
고분자 유기물의 경우에는 대개 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)으로 구비된 구조를 가질 수 있으며, 이 때, 홀 수송층으로 PEDOT를 사용하고, 발광층으로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용한다.
제 1 전극(331)은 애노드 전극의 기능을 하고, 제 2 전극(334)은 캐소드 전극의 기능을 한다. 물론, 이들 제 1 전극(331)과 제 2 전극(334)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
제 1 전극(331)은 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있다. 투명전극으로 사용될 때에는 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 구비될 수 있고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 반사막을 형성한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3를 형성할 수 있다.
제 2 전극(334)도 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는데, 투명전극으로 사용될 때에는 일함수가 작은 금속, 즉 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg 또는 이들의 화합물을 중간층(333) 상에 증착한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등으로 보조 전극이나 버스 전극 라인을 형성할 수 있다. 그리고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 위 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg 또는 이들의 화합물을 전면 증착하여 형성한다.
도 12에는 능동 구동형 유기 발광 소자(303)의 일 예를 도시하였다. 각 부화소들은 도 12에서 볼 수 있는 바와 같은 적어도 하나의 박막 트랜지스터(TFT)를 구비한다.
박막 트랜지스터는 반드시 도 12에 도시된 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형 가능하다. 이러한 능동 구동형 유기 발광 소자를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 12에서 볼 수 있듯이, 글라스 기판(302)상에 SiO2 등으로 버퍼층(321)이 형성되어 있고, 버퍼층(321) 상부로 전술한 박막 트랜지스터가 구비된다.
박막 트랜지스터는 버퍼층(321) 상에 형성된 반도체층(322)과, 이 반도체층(322)의 상부에 형성된 게이트 절연막(323)과, 게이트 절연막(323) 상부의 게이트 전극(324)을 갖는다. 게이트 전극(324)은 박막 트랜지스터 온/오프 신호를 인가하는 게이트 라인과 연결되어 있다. 그리고 게이트 전극(324)이 형성되는 영역은 반도체층(322)의 채널 영역에 대응된다.
게이트 전극(324)의 상부로는 층간 절연막(inter-insulating layer, 325)이 형성되고, 컨택홀을 통해 소스 전극(326)과 드레인 전극(327)이 각각 반도체층(322)의 소스 영역 및 드레인 영역에 접하도록 형성된다.
소스 전극(326) 및 드레인 전극(327) 상부로는 SiO2 등으로 이루어진 패시베이션막(328)이 형성되고, 이 패시베이션막(328)의 상부에는 아크릴, 폴리 이미드 등에 의한 화소 정의막(329)이 형성되어 있다. 패시베이션막(328)은 박막 트랜지스터를 보호하는 보호막의 역할을 할 수도 있고, 그 상면을 평탄화시키는 평탄화막의 역할을 할 수도 있다.
그리고 비록 도면으로 도시하지는 않았지만, 박막 트랜지스터에는 적어도 하나의 커패시터가 연결된다. 그리고, 이러한 박막 트랜지스터를 포함하는 회로는 반드시 도 12에 도시된 예에 한정되는 것은 아니며, 다양하게 변형 가능함은 물론이다.
한편, 드레인 전극(327)에 유기 발광 소자가 연결된다. 유기 발광 소자의 제 1 전극(331)은 패시베이션막(328)의 상부에 형성되어 있고, 그 상부로는 절연성 화소 정의막(329)이 형성되어 있으며, 화소 정의막(329)에 구비된 소정의 개구부에 적어도 발광층을 포함하는 중간층(333) 등이 형성된다. 도 12에는 중간층(333)이 각 부화소에만 대응되도록 패터닝된 것으로 도시되어 있으나 이는 각 부화소의 구성을 설명하기 위해 편의상 그와 같이 도시한 것이며, 인접한 부화소들에 있어서 일체로 형성될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능함은 물론이다. 물론 중간층(333)이 다층일 경우 일부의 층만이 인접한 부화소들에 있어서 일체로 형성될 수도 있다.
제 1 전극(331) 및 제 2 전극(334)의 재질, 전극들 사이에 개재된 중간층(333) 및 중간층 상하부의 중간층(미도시) 등은 전술한 수동 구동형 유기 발광 소자와 동일할 수 있다.
기판(302) 상에 형성된 유기 발광 소자는, 대향 부재(미도시)에 의해 밀봉된다. 대향부재는 기판(302)과 동일하게 글라스 또는 플라스틱재로 구비될 수 있는 데, 이 외에도, 메탈 캡(metal cap) 등으로 형성될 수도 있다.
상기와 같은 구조의 유기 발광 소자들로 구비된 유기 발광 디스플레이 장치에 있어서 디스플레이부 외측에 마크를 두어 유기막 등의 증착 전에 마스크 프레임 어셈블리의 변형여부를 체크함으로써, 제조 공정상의 불량을 방지하고 제조비용을 절감할 수 있다.
상기 실시예는 유기 발광 디스플레이 장치에 대해 설명되었으나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 증착을 통해 제조되는 모든 디스플레이 장치에 적용될 수 있음은 물론이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 평판 디스플레이 장치에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 디스플레이부 외측에 구비된 마크를 이용하여 슬릿의 위치를 체크함으로써, 증착에 앞서 마스크 프레임 어셈블리의 변형여부를 판단할 수 있다.
둘째, 증착에 앞서 마스크 프레임 어셈블리의 변형여부를 판단함으로써, 제조공정상의 불량을 방지하고 제조비용을 절감할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
Claims (12)
- 기판;상기 기판 상에 배치된 디스플레이부;상기 디스플레이부의 외측에 배치된 적어도 하나의 마크;를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 불투명한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 반사성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 직사각형 형상인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 복수개의 스트라이프들 형상인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 도전성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극을 갖는 박막 트랜지스터가 더 구비되며, 상기 마크는 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 어느 하나의 전극과 동일한 층상에 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극을 갖는 박막 트랜지스터가 더 구비되며, 상기 마크는 상기 박막 트랜지스터의 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극 중 적어도 어느 하나의 전극과 동일한 물질로 동일한 층상에 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 한 개인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 복수개이고, 상기 디스플레이부의 적어도 일측을 따라 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 마크는 복수개이고, 상기 디스플레이부의 양측을 따라 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
- 제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 디스플레이부는 유기 발광 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 장치.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| AMND | Amendment | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| J201 | Request for trial against refusal decision | ||
| AMND | Amendment | ||
| E801 | Decision on dismissal of amendment | ||
| B601 | Maintenance of original decision after re-examination before a trial | ||
| J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20070412 Effective date: 20080229 |