KR20070001599A - Apparutus for method liquid crystal display - Google Patents

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Abstract

An apparatus for manufacturing an LCD(Liquid Crystal Display) panel is provided to easily sense whether a cassette is loaded or not by separating a cassette loading unit and a sensing unit for sensing whether a cassette is loaded or not. An apparatus for manufacturing an LCD panel includes a cassette(110), a first conveying unit, a cassette loading port device, and a second conveying unit. The cassette accommodates LCD substrates(112). The first conveying unit conveys the cassette to a space where a predetermined process is performed. The cassette loading port device includes a loading unit(130) for loading the cassette, and a sensing unit(140) arranged around the loading unit to sense whether the cassette is loaded in the loading unit. The second conveying unit moves the substrates accommodated in the cassette to a process space.

Description

액정표시패널의 제조장치{APPARUTUS FOR METHOD LIQUID CRYSTAL DISPLAY} Liquid crystal display panel manufacturing apparatus {APPARUTUS FOR METHOD LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

도 1은 종래의 액정표시패널의 제조장치에 포함되는 카세트 및 카세트 적재 포트장치를 나타내는 도면. 1 is a view showing a cassette and a cassette stacking port device included in a conventional apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel.

도 2는 도 1의 카세트 및 카세트 적재 포트장치의 동작과정을 설명하기 위한 도면. 2 is a view for explaining the operation of the cassette and the cassette loading port device of FIG.

도 3a 및 3b는 종래의 카세트 및 카세트 적재 포트장치의 동작과정에서 나타나는 문제점을 나타내는 도면.Figures 3a and 3b is a view showing a problem appearing in the operation of the conventional cassette and cassette loading port device.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조장치에 포함되는 카세트 및 카세트 적재 포트장치를 나타내는 도면. 4 is a diagram illustrating a cassette and a cassette stacking port device included in an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 감지부를 구체적으로 나타내는 도면.5 is a view illustrating in detail the sensing unit of FIG. 4.

도 6은 도 5의 감지부의 동작과정을 설명하기 위한 도면.6 is a view for explaining an operation process of the sensing unit of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>      <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10,110 : 카세트 32,134 : 스테이지부10,110: cassette 32,134: stage portion

60,160 : 지지대 46,150 : 센서60,160: support 46,150: sensor

12,112 : 기판 146 : 감지 스프링 12,112: substrate 146: sensing spring

154 : 제1 전달바 142 : 롤링볼        154: first delivery bar 142: rolling ball

본 발명은 액정표시장치의 제조장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 유/무를 판단할 수 있는 감지부를 가지며 카세트가 안착되는 카세트 적재 포트에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a manufacturing apparatus of a liquid crystal display device, and more particularly, to a cassette loading port having a sensing unit capable of determining whether a cassette is present or not.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube : CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치에는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : 이하 "FED"라 함) 및 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel : PDP), 일렉트로 루미네센스(Electro-Luminescence : EL) 등이 있다. 표시품질을 개선하기 위하여, 평판 표시장치의 휘도, 콘트라스트 및 색순도를 높이기 위한 연구개발이 활발이 진행되고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes (CRTs). Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), field emission displays (FEDs), plasma display panels (PDPs), and electroluminescence (Electro). -Luminescence (EL). In order to improve the display quality, research and development for increasing the brightness, contrast and color purity of flat panel displays have been actively conducted.

이 중 액정 표시 장치는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여 액정표시장치는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정패널과, 액정패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비한다. Among them, the liquid crystal display device displays an image by adjusting the light transmittance of the liquid crystal using an electric field. To this end, the liquid crystal display includes a liquid crystal panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix, and a driving circuit for driving the liquid crystal panel.

액정패널은 서로 대향하는 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 칼러필터 어레이 기판과, 두 기판 사이에 일정한 셀갭 유지를 위해 위치하는 스페이서와, 그 셀갭에 채워진 액정을 구비한다.The liquid crystal panel includes a thin film transistor array substrate and a color filter array substrate facing each other, a spacer positioned to maintain a constant cell gap between the two substrates, and a liquid crystal filled in the cell gap.

박막 트랜지스터 어레이 기판은 하부기판 상에 형성된 게이트 라인들 및 데이터 라인들과, 그 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차부마다 스위치소자로 형성된 박막 트랜지스터와, 액정셀 단위로 형성되어 박막 트랜지스터에 접속된 화소 전극 등과, 그들 위에 도포된 배향막으로 구성된다. 게이트 라인들과 데이터 라인들은 각각의 패드부를 통해 구동회로들로부터 신호를 공급받는다. 박막 트랜지스터는 게이트 라인에 공급되는 스캔신호에 응답하여 데이터 라인에 공급되는 화소전압신호를 화소 전극에 공급한다.The thin film transistor array substrate includes gate lines and data lines formed on a lower substrate, thin film transistors formed of switch elements at intersections of the gate lines and data lines, and pixels formed in liquid crystal cell units and connected to the thin film transistors. Electrode and an alignment film coated thereon. The gate lines and the data lines receive signals from the driving circuits through the respective pad parts. The thin film transistor supplies the pixel voltage signal supplied to the data line to the pixel electrode in response to the scan signal supplied to the gate line.

칼라필터 어레이 기판은 상부기판 상에 액정셀 단위로 형성된 칼라필터들과, 칼러필터들간의 구분 및 외부광 반사를 위한 블랙 매트릭스와, 액정셀들에 공통적으로 기준전압을 공급하는 공통 전극 등과, 그들 위에 도포되는 배향막으로 구성된다.The color filter array substrate includes color filters formed in units of liquid crystal cells on the upper substrate, a black matrix for distinguishing between color filters and reflecting external light, a common electrode for supplying a reference voltage to the liquid crystal cells in common, and the like. It consists of an orientation film apply | coated on it.

액정패널은 박막 트랜지스터 어레이 기판과 칼라필터 어레이 기판을 별도로 제작하여 합착한 다음 액정을 주입하고 봉입함으로써 완성하게 된다.The liquid crystal panel is completed by separately manufacturing a thin film transistor array substrate and a color filter array substrate, and then injecting and encapsulating a liquid crystal.

한편, 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 칼라필터 어레이 기판에서의 각 박막층을 형성하기 위하여는 증착, 노광 및 현상, 세정, 검사 공정등 다수의 공정을 거치게 된다. 여기서, 각각의 공정 또는 또 다른 박막을 형성하기 위한 장소로 이동하기 위해서는 기판은 기판은 카세트에 수납되어 타 장소로 이동되게 된다. Meanwhile, in order to form each thin film layer on the thin film transistor array substrate and the color filter array substrate, a plurality of processes such as deposition, exposure and development, cleaning, and inspection processes are performed. Here, in order to move to each process or place for forming another thin film, the substrate is accommodated in a cassette and moved to another place.

도 1은 종래의 기판이 수납된 카세트(10)와 카세트(10)가 적재될 수 있는 포트(Port)장치(20)를 나타내는 도면이다. 1 is a diagram illustrating a cassette 10 in which a conventional substrate is accommodated, and a port device 20 in which the cassette 10 may be loaded.

도 1에 도시된 카세트(10)는 증착 챔버 등의 소정의 프로세스가 진행될 공간으로의 기판(12) 이송시 기판(12)이 수납되게 된다. In the cassette 10 illustrated in FIG. 1, the substrate 12 is accommodated when the substrate 12 is transferred to a space where a predetermined process such as a deposition chamber is to be performed.

포터부(20)는 카세트(10)가 적재되는 로딩부(30)와, 로딩부(30)를 지지하기 위한 지지부(60)를 구비한다. The porter unit 20 includes a loading unit 30 on which the cassette 10 is loaded, and a support unit 60 for supporting the loading unit 30.

로딩부(30)는 카세트(10)가 직접 적재되며 카세트(10) 안착시의 완충역할을 할 수 있는 스프링(34)을 포함하는 스테이지부(32)와, 스테이지부(32) 상에 카세트(10)의 적재유무를 감지하기 위한 센서(46)와, 스테이지부(32)에서의 카세트(10) 안착유무는 센서(46)에 전달시키는 전달바(44)를 구비한다. 또한, 스테이지부(32)와 감지부(46) 사이에는 스테이지부(32)와 감지부(46) 사이를 소정 거리만큼 이격시키기 위한 플레이트(42)가 구비되고, 플레이트(42)와 스테이지부(32)의 스프링(34) 사이에 위치하여 스프링(34)의 압축 및 복원시의 지지역할을 하는 스프링 지지부(38)를 구비한다. The loading unit 30 includes a stage unit 32 including a spring 34 on which the cassette 10 is directly loaded and may act as a buffer when the cassette 10 is seated, and a cassette (on the stage unit 32). 10 is provided with a sensor 46 for detecting the presence or absence of the stack, and the transfer bar 44 for transmitting the cassette 10 in the stage portion 32 to the sensor 46. In addition, a plate 42 is provided between the stage 32 and the sensing unit 46 to separate the stage 32 and the sensing unit 46 by a predetermined distance, and the plate 42 and the stage unit ( It is provided with a spring support 38 which is located between the springs 34 of 32 and serves as a support area when the spring 34 is compressed and restored.

이러한, 구조를 가지는 종래의 카세트 적재 포트장치의 동작을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다. The operation of the conventional cassette loading port device having such a structure will be described with reference to FIG. 2 as follows.

먼저, 기판(102)이 수납된 카세트(10)가 포트장치의 스테이지부(32)에 안착되면 스테이지부(32)의 스프링(34)의 압축되게 됨과 동시에 전달바(44)가 센서(46)를 자극하게 된다. 이후, 센서(46)는 시스템(또는 제어부) 등에 카세트(10)의 적재여부를 전달하게 되고 제어부는 로봇 등을 이용하여 카세트(10)에 수납된 기판(12)을 프로세스가 진행될 챔버 등으로 이송시킨다. First, when the cassette 10 containing the substrate 102 is seated on the stage 32 of the port device, the spring 34 of the stage 32 is compressed and at the same time, the transfer bar 44 is connected to the sensor 46. Will stimulate. Thereafter, the sensor 46 transmits the loading of the cassette 10 to the system (or the control unit), and the controller transfers the substrate 12 accommodated in the cassette 10 to the chamber where the process is to be processed, using a robot or the like. Let's do it.

그러나, 종래의 카세트 적재 포트장치는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이 스테이지부(32)에 카세트(10)의 적재가 균형있게 이루어지지 않는 경우에 도 3a에 도시된 바와 같이 전달바(44)가 센서(46)를 자극하지 못하거나 센서(46)의 주변영역을 자극하게 되어 감지 에러(error)문제가 발생된다. 또한, 로딩부(30) 전반에 걸쳐서 스프링(34) 등의 압축복원 등이 원활이 이루어지지 않아 파티클 등이 발생하게 된다. However, the conventional cassette loading port apparatus has a transfer bar 44 as shown in FIG. 3A when the stacking of the cassette 10 on the stage 32 is not balanced as shown in FIGS. 3A and 3B. ) Does not stimulate the sensor 46 or stimulates the peripheral area of the sensor 46 causes a detection error problem. In addition, compression restoring of the spring 34 or the like is not smoothly performed throughout the loading unit 30, and thus particles are generated.

따라서, 본 발명의 목적은 기판 적재용 카세트의 감지기능을 향상시킴과 아울러 감지 중에 발생될 수 있는 파티클 등을 발생을 방지할 수 있는 액정표시패널의 제조장치를 제공하는데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel which can improve the detection function of a cassette for loading a substrate and also prevent generation of particles and the like that can be generated during detection.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 박막 패턴들이 형성되는 기판이 수납되는 카세트 장치와; 상기 기판이 수납되는 카세트를 소정의 공정이 실시될 장소로 이동시키는 제1 이송수단과: 상기 이송수단에 의해 이송된 카세트 장치를 적재하기 위한 로딩부, 상기 로딩부 주변에 적어도 하나 이상 배치되어 상기 카세트 적재유무를 감지하기 위한 감지부를 구비하는 카세트 적재 포트장치와; 상기 감지부의 감지에 의해 상기 카세트에 수납된 기판을 프로세스 장소로 이동시키기 위한 제2 이송수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a cassette device that accommodates a substrate on which the thin film patterns of the liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention is received; A first transfer means for moving the cassette in which the substrate is stored to a place where a predetermined process is to be performed; a loading unit for loading the cassette device transferred by the transfer means, and at least one or more arrangements around the loading unit A cassette stacking port device having a sensing unit for sensing a cassette stacking state; And a second transfer means for moving the substrate accommodated in the cassette to a process location by sensing of the detector.

상기 감지부는 상기 카세트 하부와 접촉되는 롤링볼과; 상기 롤링볼에 가해 지는 하중에 의해 카세트 적재유무를 감지하는 센서와; 상기 롤링볼에 가해지는 압력을 센서에 전달하기 위한 전달바를 구비하는 것을 특징으로 한다.The sensing unit and the rolling ball in contact with the lower cassette; A sensor for detecting the presence or absence of a cassette loading by the load applied to the rolling ball; It characterized in that it comprises a transfer bar for transmitting the pressure applied to the rolling ball to the sensor.

상기 전달바는 상기 롤링볼을 수용하며 상기 롤링볼로 가해지는 하중을 전달받는 제1 전달바와; 상기 제1 전달바로 부터의 하중을 전달받아 상기 센서부를 직접적으로 자극하는 제2 전달바를 포함하는 것을 특징으로 한다.The transfer bar includes a first transfer bar that receives the rolling ball and receives a load applied to the rolling ball; It characterized in that it comprises a second transfer bar for receiving the load from the first transfer bar to directly stimulate the sensor unit.

상기 1 전달바를 둘러싸며 상기 제1 전달바의 상하운동을 가이드 하는 가이드부와; 상기 제2 전달부를 둘러싸며 상기 제2 전달부에 전달되는 하중을 완충하여 상기 제2 전달부의 이동정도를 제어하는 감지 스프링을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.A guide part surrounding the first transfer bar and guiding a vertical movement of the first transfer bar; And a sensing spring that surrounds the second transfer part and buffers a load transmitted to the second transfer part to control a degree of movement of the second transfer part.

상기 로딩부는 상기 카세트가 안착되는 스테이지부와; 상기 스테이지부를 지지하기 위한 로딩 바디부와; 상기 스테이지부와 로딩 바디부 사이에 위치하여 상기 스테이지부에 가해지는 하중을 완충하기 위한 로딩 스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다.The loading unit and a stage unit on which the cassette is seated; A loading body portion for supporting the stage portion; And a loading spring positioned between the stage part and the loading body part to cushion a load applied to the stage part.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 6.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 적재용 포트장치를 나타내는 도면이다. 4 is a view showing a cassette loading port apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 포트장치는 종래와 달리 카세트 적재유무 감지를 위한 센서가 로딩부에서 분리되게 위치하게 된다. Unlike the conventional port device shown in Figure 4 is a sensor for detecting the presence of the cassette is positioned to be separated from the loading unit.

로딩부(130)는 기판(112)이 수납된 카세트(110)가 적재되는 스테이지부(134)와, 스테이지부(134)가 카세트(110)에 적재되는 경우 스테이지부(134)에 가해지는 하중에 따라 압축 및 복원되는 로딩 스프링부(132), 로딩 스프링부(132)를 사이에 두고 스테이지부(134)와 반대방향에 위치하는 로더 바디부(136)를 구비한다. 본 발명에서는 로딩부(130)는 카세트(110) 적재 유무를 위한 센서가 제거됨으로써 카세트(110) 적재기능 만을 수행하게 된다. The loading unit 130 may include a stage unit 134 on which the cassette 110 containing the substrate 112 is stored, and a load applied to the stage unit 134 when the stage unit 134 is loaded on the cassette 110. According to the present invention, there is provided a loading spring portion 132 that is compressed and restored, and a loader body portion 136 positioned opposite to the stage portion 134 with the loading spring portion 132 interposed therebetween. In the present invention, the loading unit 130 performs only the cassette 110 stacking function by removing the sensor for the cassette 110 loading.

감지부(140)는 종래와 달리 로딩부(130)에서 분리되어 별도로 로딩부(130)의 주변에 적어도 하나이상 마련되게 된다. Unlike the prior art, the sensing unit 140 is separated from the loading unit 130 so that at least one or more are provided around the loading unit 130 separately.

도 5를 참조하면, 감지부(140)는 카세트(110)가 접촉되는 롤링볼(142)과, 롤링볼(142)을 수용하는 제1 전달바(154), 제1 전달바(154)를 둘러싸며 제1 전달바(154)의 상하운동을 가이드 하는 상하운동 가이드부(144)와, 제1 전달바(154)와 체결됨과 아울러 감지 스프링(146)이 감겨져 있는 제2 전달바(148)와, 상하운동 가이드부(144) 및 감지 스프링(146)을 감싸는 감지 바디부(152)와, 제2 전달바(148)의 자극에 의해 카세트(110)의 적재유무를 판단하는 센서(150)를 구비한다. Referring to FIG. 5, the sensing unit 140 includes a rolling ball 142 to which the cassette 110 contacts, a first transfer bar 154 and a first transfer bar 154 to accommodate the rolling ball 142. The vertical movement guide part 144 which surrounds and guides the vertical movement of the first transmission bar 154, and the second transmission bar 148 fastened to the first transmission bar 154 and wound around the sensing spring 146. And a sensor 150 for determining whether the cassette 110 is loaded by the sensing body 152 surrounding the vertical movement guide part 144 and the sensing spring 146, and the magnetic pole of the second transfer bar 148. It is provided.

이와 같은 구조를 가지는 카세트 적재 포트장치의 동작과정을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the cassette loading port device having such a structure as follows.

먼저, 기판(102)이 수납된 카세트(110)가 포트장치의 스테이지부(134)에 안착되면 스테이지부(134)의 스프링(132)이 압축되게 됨과 동시에 감지부(140)의 롤링볼(142)에도 압력을 가하게 된다. First, when the cassette 110 containing the substrate 102 is seated on the stage unit 134 of the port device, the spring 132 of the stage unit 134 is compressed and at the same time the rolling ball 142 of the sensing unit 140. ) Is also pressurized.

이에 따라, 스테이지부(134) 하부에 위치하는 스프링(132) 또한 압축되면서 카세트(110)가 스테이지부(134)에 적재된다. 이와 동시에 감지부(140)의 롤링볼(134)을 수용하는 제1 전달바(154)와 상하운동 가이드부(144)에 의해 가이드 되어 제2 전달바(148)에 압력을 가하게 된다. 제1 전달바(154)에 의해 전달된 압력은 제2 전달바(148)는 감지 스프링(146)에 의해 이동구간이 제한되면서 센서(150)를 자극하게 된다. 그 결과, 카세트(110) 적재유무를 센서가 감지할 수 있게 된다. Accordingly, the cassette 110 is loaded onto the stage unit 134 while the spring 132 positioned below the stage unit 134 is also compressed. At the same time it is guided by the first transfer bar 154 and the vertical movement guide unit 144 to accommodate the rolling ball 134 of the sensing unit 140 to apply pressure to the second transfer bar 148. The pressure transmitted by the first transfer bar 154 stimulates the sensor 150 while the second transfer bar 148 is restricted by the sensing spring 146. As a result, the sensor can detect whether the cassette 110 is loaded.

이와 같은 일련의 동작에 의해 카세트(110) 적재유무가 판단되면 로봇 등에 의해 카세트(110) 내의 기판(112)이 소정의 챔버 등의 프로세스 공간으로 이송되게 된다.When it is determined whether the cassette 110 is loaded by such a series of operations, the substrate 112 in the cassette 110 is transferred to a process space such as a predetermined chamber by a robot or the like.

이후, 카세트(110)가 포트 장치에서 분리되는 경우 감지부(140)의 감지 스프링(146)은 복원하게 되어 제1 전달부(152) 및 제2 전달부(148) 각각은 원위치되게 되고, 로딩부(130)의 로딩 스프링(132)도 복원하게 됨으로써 스테이지부(134) 또한 원위치하게 된다. Subsequently, when the cassette 110 is separated from the port device, the sensing spring 146 of the sensing unit 140 is restored so that each of the first transfer unit 152 and the second transfer unit 148 is returned to its original position and is loaded. As the loading spring 132 of the part 130 is also restored, the stage part 134 is also returned to its original position.

이와 같이, 본 발명의 카세트 적재 포트장치는 카세트(110)가 로딩되는 로딩부(130)와 카세트(110)의 적재유무를 감지하는 감지부(140)가 서로 분리됨으로써 스테이지부(134)에 카세트(110)의 적재가 균형있게 이루어지지 않더라도 카세트(110) 적재 유무를 용이하게 감지할 수 있게 된다. 또한, 감지를 위한 구성요소들이 로딩부(130)에서 제거됨으로써 스프링 등의 압축복원시 파티클 등이 발생하지 않게 된다. As described above, in the cassette stacking port apparatus of the present invention, the loading unit 130 on which the cassette 110 is loaded and the detection unit 140 detecting whether the cassette 110 is loaded are separated from each other, thereby making the cassette on the stage unit 134. Even if the stacking of the 110 is not balanced, the presence of the cassette 110 can be easily detected. In addition, since the components for sensing are removed from the loading unit 130, particles, etc. are not generated during compression restoration such as a spring.

한편, 본 발명에 따른 카세트의 적재용 포트장치는 LCD뿐만 아니라 FED, PDP, EL 등을 포함하는 표시소자에도 용이하게 적용될 수 있다. On the other hand, the porting device for loading cassettes according to the present invention can be easily applied to display elements including FED, PDP, EL and the like as well as LCD.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정표시패널의 제조장치는 카세트가 로딩되는 로딩부와 카세트의 적재유무를 감지하는 감지부와 분리됨으로써 스테이지부에 카세트의 적재가 균형있게 이루어지지 않더라도 카세트 적재 유무를 용이하게 감지할 수 있게 된다. 더 나아가서, 감지를 위한 구성요소들이 로딩부에서 제거됨으로써 스프링 등의 압축복원 시 파티클 등이 발생하지 않게 된다.As described above, the apparatus for manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention is separated from the loading unit into which the cassette is loaded and the detection unit detecting the loading state of the cassette. Can be easily detected. Furthermore, since the components for detection are removed from the loading unit, particles, etc. are not generated during compression restoration of the spring.

본 발명에 이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술 적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (5)

액정표시패널의 박막 패턴들이 형성되는 기판이 수납되는 카세트 장치와; A cassette device accommodating a substrate on which the thin film patterns of the liquid crystal display panel are formed; 상기 기판이 수납되는 카세트를 소정의 공정이 실시될 장소로 이동시키는 제1 이송수단과: First transfer means for moving the cassette containing the substrate to a place where a predetermined process is to be performed; 상기 이송수단에 의해 이송된 카세트 장치를 적재하기 위한 로딩부, 상기 로딩부 주변에 적어도 하나 이상 배치되어 상기 카세트 적재유무를 감지하기 위한 감지부를 구비하는 카세트 적재 포트장치와;A cassette loading port device having a loading unit for loading the cassette device conveyed by the conveying means, and at least one or more detectors disposed around the loading unit to detect whether the cassette is loaded; 상기 감지부의 감지에 의해 상기 카세트에 수납된 기판을 프로세스 장소로 이동시키기 위한 제2 이송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치. And a second transfer means for moving the substrate accommodated in the cassette to a process location by the detection of the sensing unit. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 감지부는 The sensing unit 상기 카세트 하부와 접촉되는 롤링볼과; A rolling ball in contact with the cassette bottom; 상기 롤링볼에 가해지는 하중에 의해 카세트 적재유무를 감지하는 센서와; A sensor for detecting the presence or absence of a cassette loading by the load applied to the rolling ball; 상기 롤링볼에 가해지는 압력을 센서에 전달하기 위한 전달바를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치. And a transmission bar for transmitting the pressure applied to the rolling ball to a sensor. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 전달바는 The delivery bar is 상기 롤링볼을 수용하며 상기 롤링볼로 가해지는 하중을 전달받는 제1 전달바와;A first transfer bar which receives the rolling ball and receives a load applied to the rolling ball; 상기 제1 전달바로 부터의 하중을 전달받아 상기 센서부를 직접적으로 자극하는 제2 전달바를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.And a second transmission bar receiving the load from the first transmission bar and directly stimulating the sensor unit. 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 1 전달바를 둘러싸며 상기 제1 전달바의 상하운동을 가이드 하는 가이드부와;A guide part surrounding the first transfer bar and guiding a vertical movement of the first transfer bar; 상기 제2 전달부를 둘러싸며 상기 제2 전달부에 전달되는 하중을 완충하여 상기 제2 전달부의 이동정도를 제어하는 감지 스프링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치.And a sensing spring which surrounds the second transfer unit and buffers a load transmitted to the second transfer unit to control a degree of movement of the second transfer unit. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 로딩부는 The loading unit 상기 카세트가 안착되는 스테이지부와; A stage part on which the cassette is seated; 상기 스테이지부를 지지하기 위한 로딩 바디부와; A loading body portion for supporting the stage portion; 상기 스테이지부와 로딩 바디부 사이에 위치하여 상기 스테이지부에 가해지는 하중을 완충하기 위한 로딩 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조장치. And a loading spring positioned between the stage portion and the loading body portion to buffer a load applied to the stage portion.
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