KR20060126006A - Apparatus for mounting screw - Google Patents

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KR20060126006A
KR20060126006A KR1020050047547A KR20050047547A KR20060126006A KR 20060126006 A KR20060126006 A KR 20060126006A KR 1020050047547 A KR1020050047547 A KR 1020050047547A KR 20050047547 A KR20050047547 A KR 20050047547A KR 20060126006 A KR20060126006 A KR 20060126006A
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screw
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KR1020050047547A
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심무경
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삼성전자주식회사
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23P19/00—Machines for simply fitting together or separating metal parts or objects, or metal and non-metal parts, whether or not involving some deformation; Tools or devices therefor so far as not provided for in other classes
    • B23P19/04—Machines for simply fitting together or separating metal parts or objects, or metal and non-metal parts, whether or not involving some deformation; Tools or devices therefor so far as not provided for in other classes for assembling or disassembling parts
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Abstract

A screw coupling apparatus is provided to significantly shorten time taken for screw coupling by coupling two screws at the same time. A screw coupling apparatus comprises a handle unit(10), a first direction converting unit(20), a second direction converting unit(30), and a wrench unit(40). The handle unit is arranged in an upper portion of the screw coupling apparatus in such a manner that the handle unit is manually rotatable. The first direction converting unit is arranged at a lower end of the handle unit in such a manner that the first direction converting unit transmits torque in opposite directions. The second direction converting unit is coupled to ends of connection pipes(22) arranged at both sides of the first direction converting unit in such a manner that the second direction converting unit converts the rotation direction of two shafts arranged perpendicularly to ends of the connection pipes and torque is transmitted. The wrench unit is arranged beneath the second direction converting unit so that a lower end of the wrench unit is fitted to a head portion of a screw.

Description

스크류 체결장치{Apparatus for mounting screw}Screw fastening device {Apparatus for mounting screw}

도 1은 종래의 반도체 설비에서 정전 척이 구비되는 구성을 도시한 요부 단면도, 1 is a sectional view showing the main parts of a structure in which an electrostatic chuck is provided in a conventional semiconductor device;

도 2는 종래의 반도체 설비에서 정전 척의 스크류 체결 구조를 도시한 평면도,2 is a plan view illustrating a screw fastening structure of an electrostatic chuck in a conventional semiconductor device;

도 3은 종래의 반도체 설비에서 정전 척의 스크류를 체결하는 상태를 도시한 예시도,Figure 3 is an exemplary view showing a state of fastening the screw of the electrostatic chuck in a conventional semiconductor equipment,

도 4는 본 발명에 따른 스크류 체결장치의 정면도,4 is a front view of the screw fastener according to the present invention,

도 5는 본 발명의 제1 방향 전환 수단을 구체적으로 예시한 요부 단면도,5 is a cross-sectional view of a main portion specifically illustrating a first direction switching means of the present invention;

도 6은 본 발명의 제2 방향 전환 수단을 구체적으로 예시한 요부 단면도,6 is a sectional view showing the main parts of a second embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 스크류 체결장치를 이용한 스크류 체결 상태를 도시한 예시도.7 is an exemplary view showing a screw fastening state using a screw fastening device according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 핸들 수단10 handle means

11 : 회전축11: axis of rotation

12 : 손잡이12: handle

20 : 제1 방향 전환 수단20: first turning means

30 : 제2 방향 전환 수단30: second turning means

21, 31 : 기어 박스21, 31: gearbox

22 : 연결관22: connector

23, 33 : 베벨 기어23, 33: Bevel Gear

24, 34 : 축지지부재24, 34: shaft support member

25 : 연동축25: linkage shaft

32 : 종동축32: driven shaft

40 : 렌치 수단40: wrench means

본 발명은 스크류 체결장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외주연부를 따라서 다수의 스크류를 균형있게 체결해야 하는 체결 구조에서 서로 대응되는 방향 즉 대각선 방향의 스크류를 동시에 체결할 수 있도록 함으로써 체결 부재를 보다 균일하게 체결할 수 있도록 하는 스크류 체결장치에 관한 것이다.The present invention relates to a screw fastening device, and more particularly, in a fastening structure in which a plurality of screws are to be fastened along the outer circumference in a balanced manner, the fastening member can be fastened by allowing screws to be simultaneously screwed in a direction corresponding to each other. The present invention relates to a screw fastening device capable of fastening uniformly.

일반적으로 스크류는 토크 렌치나 드라이버와 같은 공구를 사용하여 체해결시키게 된다.Generally, screws are replaced by tools such as torque wrenches or drivers.

하지만 일정한 체결력을 요구하는 부위에서는 보다 정교한 체해결이 가능한 토크 렌치를 이용하며, 특히 스크류가 복수개로 체결되면서 각 스크류의 체결력이 균일해야 하는 부위에서는 더욱 정밀한 방법에 의해서 스크류를 체결하도록 하고 있다.However, a torque wrench capable of more precise body resolution is used in a part requiring a constant tightening force, and in particular, a screw is fastened by a more precise method in a part where a fastening force of each screw is uniform as a plurality of screws are fastened.

스크류를 체결하는 분야는 대단히 많으나 보다 정밀한 체결이 필요로 되는 분야에서의 스크류 체결은 그 중요성이 더욱 요구된다.Although there are many fields for screw fastening, screw fastening is more important in a field requiring more precise fastening.

일례로 반도체 제조 장치 중에서 에칭 설비의 챔버에는 웨이퍼를 정전기력에 의해 안착되게 하는 정전 척이 구비된다.For example, in a semiconductor manufacturing apparatus, a chamber of an etching facility is provided with an electrostatic chuck for mounting a wafer by electrostatic force.

정전 척은 평판의 형상으로 이루어지며, 통상 도 1에서와 같이 캐소드(1)의 상부면에 다수의 스크류 체결에 의해서 견고하게 결합되도록 한다.The electrostatic chuck is made in the shape of a flat plate, and as shown in FIG. 1, is firmly coupled to the upper surface of the cathode 1 by a plurality of screw fastenings.

이러한 정전 척(2)의 체결은 공정에서 CD(Critical Dimension)와 thinning과 헬륨(He) 리크에 직접적인 영향을 주는 원인이 되고 있으므로 정전 척(2)은 더욱 정밀성이 요구된다.Since the fastening of the electrostatic chuck 2 is a cause that directly affects CD (Critical Dimension), thinning and helium (He) leak in the process, the electrostatic chuck (2) is required to be more precise.

정전 척(2)의 체결은 통상 도 2에서와 같이 정전 척(2)의 원주연을 따라 서로 대응되는 방향 즉 대각선 방향으로 스크류(3)가 체결되게 함으로써 균일한 체결력을 유지하도록 하며, 이때의 체결 수단으로는 토크 렌치를 주로 사용하도록 하고 있다.Fastening of the electrostatic chuck (2) is to maintain a uniform fastening force by allowing the screw (3) is fastened in a direction corresponding to each other, ie diagonal direction, along the circumferential edge of the electrostatic chuck (2), as shown in FIG. A torque wrench is mainly used as a fastening means.

하지만 종전의 토크 렌치를 이용하여 스크류(3)를 하나씩 체결하다 보면 도 3에서와 같이 최초로 토크 렌치(4)에 의해 조여지는 스크류(3) 체결 부위에 대해 그와 대각선 위치의 체결 부위가 들뜨는 현상이 발생되면서 이 들뜬 부위의 스크류(3)를 토크 렌치(4)를 이용하여 체결하게 될 때에 스크류 마모가 초래되고, 이로 인해 체결력 저하와 공정 수행 중 공정 불량을 발생시키는 대단히 심각한 문제가 있다.However, when the screws 3 are fastened one by one using the conventional torque wrench, as shown in FIG. When this occurs, when the screw 3 of the excitement is fastened using the torque wrench 4, screw wear is caused, which causes a very serious problem of lowering the fastening force and generating a process defect during the process.

따라서 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 발명된 것으로서, 본 발명의 주된 목적은 균일한 체결력으로 체결될 수 있도록 하는 스크류 체결장치를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention has been invented to solve the above-described problems of the prior art, the main object of the present invention is to provide a screw fastening device to be fastened with a uniform fastening force.

또한 본 발명은 정전 척에서의 안정된 체결력 유지로 공정 수행 효율이 향상되도록 하는 스크류 체결장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a screw fastening device for improving the process performance efficiency by maintaining a stable fastening force in the electrostatic chuck.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상부에서 수동으로 회전 조작이 가능하게 구비되는 핸들 수단과; 상기 핸들 수단의 하단부에서 서로 반대방향의 양측으로 회전력을 전달하는 제1 방향 전환 수단과; 상기 제1 방향 전환 수단으로부터 양측으로 소정의 길이를 연결관에 의해서 연결되도록 하고, 상기 연결관의 단부에서 서로 직각으로 만나는 두 축간 회전 방향을 전환시키면서 회전력이 전달되게 하는 제2 방향 전환 수단; 및 상기 제2 방향 전환 수단으로부터 수직으로 하향 구비되어 스크류의 헤드부에 하단부가 맞춤 끼워지도록 하는 렌치 수단으로 이루어지는 구성이다.In order to achieve the above object, the present invention includes a handle means which is provided to enable a manual rotation operation from the top; First direction switching means for transmitting rotational forces from both lower ends of said handle means to opposite sides of each other; Second direction switching means for connecting a predetermined length from the first direction switching means to both sides by a connecting pipe, and transmitting rotational force while switching a rotational direction between two axes which meet at right angles to each other at an end of the connecting pipe; And a wrench means provided vertically downward from the second direction switching means so that the lower end portion is fitted to the head portion of the screw.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명 하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 스크류 체결장치를 개략적으로 도시한 것으로서, 본 발명은 크게 핸들 수단(10)과 제1 방향 전환 수단(20)가 제2 방향 전환 수단(30)과 렌치 수단(40)으로서 이루어진다.Figure 4 schematically shows a screw fastening device according to the present invention, the present invention is largely the handle means 10 and the first direction switching means 20 is the second direction switching means 30 and the wrench means 40 As is done.

상기의 구성에서 핸들 수단(10)은 수동으로 회전 조작이 가능하게 구비되는 구성이며, 회전축(11)과 손잡이(12)는 편심되게 위치되도록 하는 것이 보다 바람직하며, 이를 위해서 도시한 바와 같이 수직의 상단부가 일측으로 수평 절곡되게 하여 크랭크 타입으로 회전축(11)이 구비되도록 하고, 회전축(11)의 일측으로 절곡된 단부에는 상부로 손잡이(12)가 축고정되도록 한다.In the above configuration, the handle means 10 is configured to be manually rotated, the rotation shaft 11 and the handle 12 is more preferably eccentrically positioned, for this purpose as shown in the vertical The upper end portion is horizontally bent to one side so that the rotary shaft 11 is provided in a crank type, and the handle 12 is fixed to the upper end at the end bent to one side of the rotary shaft 11.

제1 방향 전환 수단(20)은 핸들 수단(10)의 하단에서 핸들 수단(10)의 회전축(11)을 통해 전달되는 회전력을 서로 반대되는 양측으로 전달될 수 있도록 회전력을 전달 및 방향 전환하도록 하는 구성이다.The first turning means 20 is to transmit and change the rotational force so that the rotational force transmitted through the rotating shaft 11 of the handle means 10 at the lower end of the handle means 10 can be transmitted to both sides opposite to each other Configuration.

제1 방향 전환 수단(20)은 도 5에서 예시한 바와 같이 크게 기어 박스(21)와 양측에서 일정 길이로 구비되는 연결관(22)과 기어 박스(21)의 내부에 구비되는 다수의 베벨 기어(23)와 축지지부재(24)로서 이루어지는 구성이다.As shown in FIG. 5, the first direction switching means 20 includes a gear box 21 and a plurality of bevel gears provided in the connection pipe 22 and the gear box 21 which are provided with a predetermined length on both sides. It consists of 23 and the shaft support member 24. As shown in FIG.

즉 기어 박스(21)에는 양측으로 연결관(22)의 일단이 각각 결합되고, 기어 박스(21)와 상부로부터는 핸들 수단(10)의 회전축(11) 하단부가 삽입되며, 각 연결관(22)에는 연동축(25)이 회전 가능하게 삽입되도록 한다.That is, one end of the connecting pipe 22 is coupled to both sides of the gear box 21, respectively, and the lower end of the rotation shaft 11 of the handle means 10 is inserted from the gear box 21 and the upper part, and each connecting pipe 22 is inserted. ) To allow the interlocking shaft 25 to be rotatably inserted.

이때 기어 박스(21)의 내부에서 회전축(11)과 양측으로 구비되는 연동축(25)의 삽입 단부에는 각각 베벨 기어(23)가 축결합되면서 특히 회전축(11)에 축결합한 베벨 기어(23)에 양측 연동축(25)에 축결합된 베벨 기어(23)들이 양측에서 기어간 맞물리도록 연결한다.At this time, the bevel gear 23 is axially coupled to the rotary shaft 11, respectively, while the bevel gear 23 is axially coupled to the insertion end of the interlocking shaft 25 provided on both sides of the rotary shaft 11 and both sides of the gear box 21. Bevel gears 23 axially coupled to both interlocking shafts 25 are connected to mesh between the gears at both sides.

또한 회전축(11)과 양측의 연동축(25)은 기어 박스(21)의 내부에서 각각 축지지부재(24)에 의해 회전 가능하게 축지지되도록 한다. 이러한 축지지부재(24)로는 통상 베어링을 적용한다.In addition, the rotary shaft 11 and the interlocking shaft 25 on both sides are rotatably supported by the shaft support member 24 in the gear box 21, respectively. As the shaft support member 24, a bearing is usually applied.

한편 기어 박스(21)의 상부는 내부로 베벨 기어(23)와 축지지부재(24)들의 조립 및 분해가 용이하도록 캡(26)에 의해서 커버되도록 하는 것이 보다 바람직하다.On the other hand, the upper portion of the gear box 21 is more preferably to be covered by the cap 26 to facilitate the assembly and disassembly of the bevel gear 23 and the shaft support member 24 therein.

제2 방향 전환 수단(30)은 제1 방향 전환 수단(20)을 통해 전달되는 회전력을 다시 수평 회전 방향으로 전환되도록 제1 방향 전환 수단(20)측 양측의 연결관(22) 단부에 결합되는 구성이다.The second direction switching means 30 is coupled to the ends of the connecting pipes 22 on both sides of the first direction switching means 20 so as to switch the rotational force transmitted through the first direction switching means 20 back to the horizontal rotation direction. Configuration.

즉 연결관(22)의 단부에서 두 개의 축이 서로 회전 방향을 전환하면서 회전력이 전달될 수 있도록 하는 것이다.In other words, the two axes at the end of the connecting pipe 22 to be rotated to each other while the rotational force can be transmitted.

제2 방향 전환 수단(30) 또한 제1 방향 전환 수단(20)과 마찬가지로 도 6에서와 같이 기어 박스(31)와 종동축(32)과 베벨 기어(33) 및 축지지부재(34)의 결합에 의해 이루어지는 구성이다.As in the first direction switching means 20, the second direction switching means 30 is also coupled to the gear box 31, the driven shaft 32, the bevel gear 33 and the shaft support member 34 as in FIG. 6. It is a configuration made by.

제2 방향 전환 수단(30)에서 기어 박스(31)는 내부가 비고, 연결관(22)의 단부가 결합되면서 이 연결관(22)을 통해 연동축(25)이 삽입되는 구성이다.In the second direction switching means 30, the gear box 31 is empty and the end of the connecting pipe 22 is coupled to the configuration that the interlocking shaft 25 is inserted through the connecting pipe 22.

이 연동축(25)과 수직의 방향인 기어 박스(31)의 하부로부터는 종동축(32)의 상단부가 삽입된다.An upper end of the driven shaft 32 is inserted from the lower portion of the gear box 31 in a direction perpendicular to the linkage shaft 25.

기어 박스(31)에 삽입된 연동축(25)과 종동축(32)에는 각각 베벨 기어(33)가 축고정되며, 연동축(25)측의 베벨 기어(33)와 종동축(32)측의 베벨 기어(33)는 각각 상호 기어 맞물림에 의해 연결되도록 한다.Bevel gears 33 are fixed to the interlocking shaft 25 and the driven shaft 32 inserted into the gear box 31, respectively, and the bevel gear 33 and the driven shaft 32 side of the interlocking shaft 25 side. Bevel gears 33 are each connected by mutual gear meshing.

서로 기어결합된 연동축(25)과 종동축(32)은 기어 박스(31)의 내부에서 축지지부재(34)에 의해 견고하게 지지되면서 회전이 가능하도록 한다.The interlocking shaft 25 and the driven shaft 32 geared to each other are supported by the shaft support member 34 in the gear box 31 so as to be rotatable.

따라서 직각으로 배치되는 연동축(25)과 종동축(32)은 베벨 기어(33)간 기어 결합에 의해서 회전 방향이 전환되도록 하는 것이다.Therefore, the interlocking shaft 25 and the driven shaft 32 arranged at right angles are such that the rotation direction is switched by the gear coupling between the bevel gears 33.

렌치 수단(40)은 제2 방향 전환 수단(30)으로부터 수직으로 하향 구비되어 스크류의 헤드부에 하단부가 맞춤 끼워지도록 하는 구성이다.The wrench means 40 is configured to be provided vertically downward from the second direction switching means 30 so that the lower end portion is fitted to the head portion of the screw.

즉 제2 방향 전환 수단(30)으로부터는 기어 박스(31)로부터 종동축(32)이 하향 인출되는 형상으로 구비되므로 도 5에서와 같이 종동축(32)의 하단부로 어뎁터(41)를 결합시켜 체결하고자 하는 스크류에 적절한 체결 구조를 갖는 렌치(42)를 맞춤결합하는 구성이다.That is, since the driven shaft 32 is formed to be pulled downward from the gear box 31 from the second direction switching means 30, the adapter 41 is coupled to the lower end of the driven shaft 32 as shown in FIG. It is a configuration for custom coupling the wrench 42 having an appropriate fastening structure to the screw to be fastened.

한편 본 발명에서 양측의 제2 방향 전환 수단(30)간 거리는 조정이 가능하게 구비되게 할 수도 있으나, 일정한 거리로서 규격화하여 다양한 거리를 갖는 구성으로 다양하게 구비하는 것이 가장 바람직하다.Meanwhile, in the present invention, the distance between the second direction switching means 30 on both sides may be provided to be adjustable, but it is most preferable to provide a variety of configurations having various distances by standardizing as a constant distance.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 작용에 대해서 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.When described in more detail with respect to the action according to the invention configured as described above are as follows.

본 발명은 일정한 거리를 이격한 체결 부위에 스크류를 체결하고자 하는 경우 스크류를 동시에 체결할 수 있도록 하는 것이다.The present invention is to be able to fasten the screw at the same time if you want to fasten the screw to a fastening spaced apart a certain distance.

즉 반도체 설비의 정전 척과 같이 원주연부를 따라서 다수의 스크류를 체결하여 장착하게 되는 구성에서 통상 서로 대각선 방향에 위치한 스크류를 체결시키도록 한다.That is, in a configuration in which a plurality of screws are fastened along a circumferential edge such as an electrostatic chuck of a semiconductor facility, the screws are usually fastened to be disposed in diagonal directions.

따라서 도 7에서와 같이 본 발명의 스크류 체결장치를 체결하고자 하는 정전 척과 같은 체결 구성의 서로 대각선 방향에 위치하는 스크류 체결 위치에 각각 스크류(50)가 끼워지게 한 상태에서 본 발명에 따른 렌치 수단(40)에 각각 구비되는 렌치(42)의 하단부가 스크류(50)의 머리에 정확히 맞춤결합되도록 한 다음 핸들 수단(10)의 손잡이(12)를 잡고 체결 방향으로 회전시키게 되면 회전축(11)이 도 5의 방향으로 회전한다.Therefore, as shown in FIG. 7, the wrench means according to the present invention in a state in which the screws 50 are fitted in screw fastening positions positioned diagonally to each other in a fastening configuration such as an electrostatic chuck to fasten the screw fastening device of the present invention ( When the lower end of the wrench 42 provided in each of the 40 is precisely fitted to the head of the screw 50, and then holding the handle 12 of the handle means 10 to rotate in the fastening direction, the rotary shaft 11 is shown in FIG. Rotate in the direction of 5.

회전축(11)이 회전하면 이 회전축(11)에 축고정된 베벨 기어(23)와 기어결합된 양측의 베벨 기어(23)가 서로 반대 방향으로 회전하게 되고, 따라서 양측의 베벨 기어(23)에 축고정된 각 연동축(25)이 반대 방향으로 회전한다.When the rotating shaft 11 rotates, the bevel gear 23 axially fixed to the rotating shaft 11 and the bevel gears 23 on both sides rotated in opposite directions to each other, so that the bevel gears 23 on both sides are rotated. Each shaft shaft 25 fixed is rotated in the opposite direction.

연동축(25)이 서로 반대로 회전하게 되면 이들 연동축(25)의 타단에서 각각 베벨 기어(33)간 기어결합되면서 이들 베벨 기어(33)에 축결합되는 각 종동축(32)들은 도 6에서와 같이 다시 동일한 회전 방향으로 회전하게 된다.When the interlocking shaft 25 rotates opposite to each other, each of the driven shafts 32 axially coupled to these bevel gears 33 is geared between the bevel gears 33 at the other end of the interlocking shaft 25. It is rotated in the same direction of rotation again.

이러한 종동축(32)들의 회전 방향은 최초 회전축(11)의 회전 방향과 동일하므로 이들 종동축(32)에 어뎁터(41)를 이용하여 결합한 렌치(42)에 의해 서로 대각선 방향의 스크류(50)를 동시에 균일하게 체결시킬 수가 있게 된다.Since the rotational direction of the driven shafts 32 is the same as the rotational direction of the initial rotational shaft 11, the screws 50 in diagonal directions to each other by the wrenches 42 coupled to the driven shafts 32 using the adapter 41. It can be fastened uniformly at the same time.

이와 같이 동시에 대각선 방향의 스크류(50)를 체결시키게 되면 종전과 같이 일측의 스크류를 체결하면서 타측의 스크류 체결 부위가 들뜨게 되는 사례를 미연 에 방지할 수가 있다.As such, when the screw 50 in the diagonal direction is fastened, the screw fastening portion on the other side can be prevented in advance while the screw on one side is fastened as before.

따라서 스크류(50)의 체결에 있어 항상 안정적이면서 균일하게 수행되도록 함으로써 특히 정전 척에서의 체결력 불량으로 인한 CD 불량 및 헬륨 리크 등의 공정 오류 발생을 방지하여 보다 공정 신뢰성이 향상될 수 있도록 한다.Therefore, the screw 50 is always stable and uniformly performed, thereby preventing process errors such as CD defects and helium leaks due to poor fastening force in the electrostatic chuck, thereby improving process reliability.

특히 다수의 스크류(50)를 동시에 보다 손쉽고 빠르게 체결 또는 해결할 수가 있으므로 설비의 조립 및 분해와 같은 작업 시간을 대폭적으로 단축시킬 수도 있게 된다.In particular, since a plurality of screws 50 can be fastened or solved more easily and quickly at the same time, a work time such as assembly and disassembly of equipment can be significantly shortened.

한편 상기한 설명에서 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나, 이들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다는 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. On the other hand, while many matters have been described in detail in the above description, these should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention.

따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정하여 질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정하여져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be defined by the described embodiments, but should be determined by the technical spirit described in the claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 정전 척과 같이 외주연을 따라 다수의 스크류 체결에 의해 체결하게 되는 구성에서 서로 대각선 방향에 위치하는 스크류(50)를 동시에 체결할 수 있도록 함으로써 보다 균일한 체결력을 제공하면서 체결 불량을 방지시키게 된다.As described above, according to the present invention, in the configuration of fastening by a plurality of screw fastening along the outer circumference, such as an electrostatic chuck, it is possible to simultaneously fasten the screws 50 positioned diagonally to each other while providing a more uniform fastening force. This prevents the fastening failure.

또한 본 발명은 두 개의 스크류(50)를 한번에 체결할 수가 있으므로 스크류 체결 시간을 대폭적으로 단축시키면서 조립 및 분해 작업 시간을 줄일 수가 있고, 또한 그만큼 빠른 작업이 되도록 함으로써 작업 효율성과 작업자의 편의를 대폭적으로 개선시키게 되는 매우 유용한 효과를 제공한다.In addition, the present invention can fasten the two screws 50 at a time, significantly reducing the screw fastening time, while reducing the assembly and disassembly work time, and by making the work as fast as that, greatly improving work efficiency and operator convenience It provides a very useful effect that will be improved.

Claims (5)

상부에서 수동으로 회전 조작이 가능하게 구비되는 핸들 수단과; A handle means provided at a top to enable a manual rotation operation; 상기 핸들 수단의 하단부에서 서로 반대방향의 양측으로 회전력을 전달하는 제1 방향 전환 수단과; First direction switching means for transmitting rotational forces from both lower ends of the handle means to opposite sides of each other; 상기 제1 방향 전환 수단으로부터 양측으로 소정의 길이를 연결관에 의해서 연결되도록 하고, 상기 연결관의 단부에서 서로 직각으로 만나는 두 축간 회전 방향을 전환시키면서 회전력이 전달되게 하는 제2 방향 전환 수단; 및 Second direction switching means for connecting a predetermined length from the first direction switching means to both sides by a connecting pipe, and transmitting rotational force while switching a rotational direction between two axes which meet at right angles to each other at an end of the connecting pipe; And 상기 제2 방향 전환 수단으로부터 수직으로 하향 구비되어 스크류의 헤드부에 하단부가 맞춤 끼워지도록 하는 렌치 수단;Wrench means provided vertically downward from the second direction switching means to fit the lower end portion of the head portion of the screw; 의 결합으로 이루어지는 스크류 체결장치.Screw fastening device consisting of a combination of. 제 1 항에 있어서, 상기 핸들 수단은 수직의 상단부가 일측으로 수평 절곡되게 하여 크랭크 타입으로 회전축을 구비하고, 상기 회전축의 일측으로 절곡된 단부에는 상부로 손잡이가 축고정되는 스크류 체결장치.The screw fastener of claim 1, wherein the handle means has a vertical axis of horizontal bending at one side to have a rotating shaft in a crank type, and a handle is fixed to the upper end at an end bent at one side of the rotating shaft. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제1 방향 전환 수단은 상기 핸들 수단의 회전축 하단부가 삽입되는 기어 박스와, 상기 기어 박스의 양측에 일정 길이로 구비되는 연결관과, 상기 기어 박스의 내부에 삽입되는 상기 회전축과 양측의 연동축에 각각 축고정되면서 상호 기어결합되는 베벨 기어와, 상기 기어 박스의 내부에서 상기 회전축과 양측의 연동축이 회전 가능하게 축지지되도록 하는 축지지부재로서 이루어지는 스크류 체결장치.According to claim 1 or claim 2, wherein the first direction switching means is a gear box into which the lower end of the rotary shaft of the handle means is inserted, a coupling pipe provided on both sides of the gear box with a predetermined length, the inside of the gear box Bevel gears which are geared to each other while being axially fixed to the rotary shaft and the interlocking shafts on both sides inserted into the screw, and the screw as a shaft support member to allow the rotary shaft and the interlocking shafts on both sides rotatably supported inside the gear box Fasteners. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 방향 전환 수단은 상기 제1 방향 전환 수단과 연결관에 의해 연결되는 기어 박스와, 상기 기어 박스의 내부에 상단부가 삽입되어 수직으로 구비되는 종동축과, 상기 연결관 내의 연동축과 상기 종동축에 각각 축고정되면서 상호 기어맞물림에 의해 결합되는 베벨 기어 및 상기 기어 박스의 내부에서 상기 종동축과 상기 연동축이 각각 회전 가능하게 축지지되도록 하는 축지지부재로서 이루어지는 스크류 체결장치.The method of claim 1, wherein the second direction switching means is a gear box connected by the first direction switching means and a connecting pipe, a driven shaft inserted into the upper end of the gear box vertically provided, and the connection Bevel gears are fixed to the interlocking shaft and the driven shaft in the tube, respectively, and coupled by mutual gear engagement, and an axis support member for rotatably supporting the driven shaft and the interlocking shaft in the gear box. Screw fasteners. 제 1 항에 있어서, 상기 렌치 수단은 상기 제2 방향 전환 수단으로부터 하향 인출되는 종동축에 어뎁터를 결합하고, 상기 어뎁터에는 하단부가 스크류의 헤드부에 맞춤결합되는 형상을 갖는 렌치가 결합되도록 하는 구성인 스크류 결합장치.The method of claim 1, wherein the wrench means is configured to couple the adapter to the driven shaft pulled down from the second direction switching means, the adapter is configured to engage a wrench having a shape that the lower end is fitted to the head portion of the screw Screw coupling device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103206949A (en) * 2013-04-11 2013-07-17 野象自动化机械(上海)有限公司 Self-detecting self-positioning universal screw machine and positioning method thereof
CN110497358A (en) * 2019-09-23 2019-11-26 长沙航空职业技术学院 The extracting tool and application method of a kind of screw on curved surface, nut
CN110732994A (en) * 2019-10-31 2020-01-31 西安图唯谷创新科技有限公司 multi-head cooperating wrench
CN111168364A (en) * 2019-12-31 2020-05-19 天长市天利达电子厂 Television remote controller assembling equipment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103206949A (en) * 2013-04-11 2013-07-17 野象自动化机械(上海)有限公司 Self-detecting self-positioning universal screw machine and positioning method thereof
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CN110732994A (en) * 2019-10-31 2020-01-31 西安图唯谷创新科技有限公司 multi-head cooperating wrench
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