KR20060108461A - 자동초점 조절패턴을 채택하는 자동초점 조절장치 및그것을 사용한 자동초점 조절방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 광학렌즈들을 갖는 광학계의 자동초점 조절장치에 있어서,자동초점 광을 출사하는 광원;상기 광원에서 출사된 광을 상기 광학렌즈들로 반사시키고, 상기 광학렌즈들을 통해 입사된 광을 상기 광원 방향으로 반사시키는 제1 광분할기;상기 광원과 상기 제1 광분할기 사이에 위치하되, 길이방향이 상기 광원의 광축에 대해 소정의 경사각으로 기울어진 자동초점 조절패턴;상기 제1 광분할기와 상기 자동초점 조절패턴 사이에 위치하여 상기 제1 광분할기에서 상기 광원방향으로 반사된 광을 다른 방향으로 반사시키는 제2 광분할기; 및상기 제2 광분할기에서 반사된 광을 감지하는 자동초점 CCD 카메라를 포함하는 자동초점 조절장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 자동초점 조절패턴의 길이방향이 상기 광원의 광축에 대해 1도 내지 10도 범위 내의 경사각으로 기울어진 자동초점 조절장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 광원과 상기 자동초점 조절패턴 사이에 위치하여 광을 집광시키는 집광 렌즈를 더 포함하는 자동초점 조절장치.
- 청구항 3에 있어서,상기 제2 광분할기에서 반사된 광을 자동초점 CCD 카메라로 반사시키는 반사기를 더 포함하는 자동초점 조절장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 광원과 상기 자동초점 조절패턴 사이에 위치하여 상기 광원으로부터 출사된 광을 일축방향으로 편광시키는 제1 편광판; 및상기 광학렌즈들 및 상기 제1 광분할기를 통해 진행하는 광 경로상에 위치하여 상기 일축방향과 다른 방향으로 편광시키는 제2 편광판을 더 포함하는 자동초점 조절장치.
- 청구항 5에 있어서,상기 반사기와 상기 자동초점 CCD 카메라 사이에 위치하여 상기 제1 편광판과 동일한 방향으로 광을 편광시키는 제3 편광판을 더 포함하는 자동초점 조절장치.
- 청구항 1에 있어서,투명기판을 더 포함하되, 상기 투명기판 상에 상기 자동초점 조절패턴이 패 터닝된 것을 특징으로 하는 자동초점 조절장치.
- 광학렌즈들을 갖는 광학계의 자동초점 조절방법에 있어서,기준 픽셀 위치를 결정하고,관찰용 시료 표면에 자동초점 조절패턴의 이미지를 투영하고,CCD 카메라를 사용하여 시료 표면에 투영된 상기 이미지를 감지하고,상기 카메라의 픽셀 위치별로 감지된 이미지의 선명도를 계산하여 선명도가 가장 큰 픽셀 위치를 정하고,상기 기준 픽셀 위치에 대한 상기 선명도가 가장 큰 픽셀 위치의 이동량을 계산하고,상기 연산된 이동량을 상기 관찰용 시료의 상대적인 이동량으로 환산하고,상기 환산된 이동량 만큼 상기 관찰용 시료를 상기 광학렌즈들에 대해 상대적으로 이동시키는 것을 포함하는 자동초점 조절방법.
- 청구항 8에 있어서,상기 관찰용 시료 표면에 자동초점 조절패턴의 이미지를 투영하는 것은,광원을 사용하여 자동초점 조절패턴에 자동초점 광을 출사하는 것을 포함하되,상기 자동초점 조절패턴의 길이방향이 상기 광원의 광축에 대해 소정의 경사각으로 기울어져 있어, 상기 관찰용 시료 표면과 상기 광학렌즈들 사이의 거리에 따라 상기 자동초점 조절패턴의 투영되는 이미지의 초점 위치가 변하는 자동초점 조절방법.
- 청구항 9에 있어서,기준 픽셀 위치를 결정하는 것은관찰용 시료 표면에 초점을 맞추고,관찰용 시료 표면에 자동초점 조절패턴의 이미지를 투영하고,CCD 카메라를 사용하여 시료 표면에 투영된 상기 이미지를 감지하고,상기 카메라의 픽셀 위치별로 감지된 이미지의 선명도를 계산하여 선명도가 가장 큰 픽셀 위치를 정하고,상기 선명도가 가장 큰 픽셀 위치를 저장하는 것을 포함하는 자동초점 조절방법.
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