KR20060104288A - Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device - Google Patents

Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device Download PDF

Info

Publication number
KR20060104288A
KR20060104288A KR1020050026297A KR20050026297A KR20060104288A KR 20060104288 A KR20060104288 A KR 20060104288A KR 1020050026297 A KR1020050026297 A KR 1020050026297A KR 20050026297 A KR20050026297 A KR 20050026297A KR 20060104288 A KR20060104288 A KR 20060104288A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
reference point
stretching
alignment mark
display device
Prior art date
Application number
KR1020050026297A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100705316B1 (en
Inventor
탁윤흥
박종현
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020050026297A priority Critical patent/KR100705316B1/en
Publication of KR20060104288A publication Critical patent/KR20060104288A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100705316B1 publication Critical patent/KR100705316B1/en

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01F—PROCESSING OF HARVESTED PRODUCE; HAY OR STRAW PRESSES; DEVICES FOR STORING AGRICULTURAL OR HORTICULTURAL PRODUCE
    • A01F12/00—Parts or details of threshing apparatus
    • A01F12/30—Straw separators, i.e. straw walkers, for separating residual grain from the straw
    • A01F12/305—Straw separators, i.e. straw walkers, for separating residual grain from the straw combined with additional grain extracting means
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01F—PROCESSING OF HARVESTED PRODUCE; HAY OR STRAW PRESSES; DEVICES FOR STORING AGRICULTURAL OR HORTICULTURAL PRODUCE
    • A01F11/00—Threshing apparatus specially adapted for maize; Threshing apparatus specially adapted for particular crops other than cereals
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01F—PROCESSING OF HARVESTED PRODUCE; HAY OR STRAW PRESSES; DEVICES FOR STORING AGRICULTURAL OR HORTICULTURAL PRODUCE
    • A01F12/00—Parts or details of threshing apparatus
    • A01F12/18—Threshing devices
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01F—PROCESSING OF HARVESTED PRODUCE; HAY OR STRAW PRESSES; DEVICES FOR STORING AGRICULTURAL OR HORTICULTURAL PRODUCE
    • A01F12/00—Parts or details of threshing apparatus
    • A01F12/44—Grain cleaners; Grain separators
    • A01F12/446—Sieving means
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01F—PROCESSING OF HARVESTED PRODUCE; HAY OR STRAW PRESSES; DEVICES FOR STORING AGRICULTURAL OR HORTICULTURAL PRODUCE
    • A01F7/00—Threshing apparatus
    • A01F7/02—Threshing apparatus with rotating tools

Abstract

본 발명은 마스크 스트레칭의 정확성을 향상시킬 수 있는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus and method for clamping a mask for an organic light emitting display device capable of improving the accuracy of mask stretching.

본 발명의 유기 전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치는 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; 상기 마스크 주변에 배치되어 상기 마스크를 스트레칭시키는 스트레칭 장치와; 상기 마스크의 하부에 위치하며 상기 마스크의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 적어도 하나의 얼라인 마크가 마련된 기준 마스터와; 상기 마스크 상부에서 상기 마스크에 마련되는 기준 포인트와 상기 얼라인 마크와의 정합여부를 판단하는 고정 카메라와; 상기 고정 카메라들의 시야영역을 제외하는 영역으로의 기준 포인트의 위치여부를 판단하는 이동 카메라를 구비하는 것을 특징으로 한다.A clamping apparatus for a mask for an organic electroluminescent display device of the present invention comprises: a mask for selectively transmitting a deposit to form a thin film on a substrate; A stretching device disposed around the mask to stretch the mask; A reference master positioned below the mask and provided with at least one alignment mark presenting a criterion of the degree of stretching of the mask; A fixed camera which determines whether the reference point provided on the mask is aligned with the alignment mark on the mask; And a mobile camera that determines whether a reference point is located in an area excluding the viewing areas of the fixed cameras.

Description

유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF CLAMPING MASK FOR ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}Clamping apparatus and method for masks for organic light emitting display devices {APPARATUS AND METHOD OF CLAMPING MASK FOR ORGANIC ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자의 하나의 픽셀을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing one pixel of a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 마스크가 마스크 클램핑 장치에 의해 스트레칭되는 공정을 설명하기 위한 도면이다.2 is a diagram for explaining a process in which a mask is stretched by a mask clamping device.

도 3은 마스크의 기준 포인트와 마스터의 얼라인 마크의 부정합을 나타내는 도면이다.3 is a diagram showing mismatch between the reference point of the mask and the alignment mark of the master.

도 4는 본 발명에서의 마스크 클램핑 장치를 나타내는 평면도이다. 4 is a plan view showing a mask clamping device in the present invention.

도 5는 본 발명에서의 마스크 스트레칭 공정을 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a mask stretching process in the present invention.

도 6은 도 5의 B영역을 확대하여 본원 발명에서의 이동 카메라의 역할을 구체적으로 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a diagram illustrating the role of a mobile camera in the present invention by enlarging the region B of FIG. 5.

도 7은 본 발명에 따른 마스크 클램핑 장치에 의해 형성된 마스크를 이용하여 형성된 유기 전계발광표시소자를 나타내는 도면이다.7 illustrates an organic electroluminescent display device formed using a mask formed by a mask clamping device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>    <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드 전극 2,102: substrate 4,104: anode electrode

108 : 격벽 10,110 : 유기발광층 108: partition 10,110: organic light emitting layer

10c : 발광층 122,112 : 캐소드 전극 10c: light emitting layer 122, 112: cathode electrode

63,163 : 글리퍼 171 : 파워트리 레버 63,163: Gripper 171: Power Tree Lever

169 : 동력 전달부 167 : 볼 스크류 박스 169: power transmission unit 167: ball screw box

166 : 모터 60,160 : 마스크 166: motor 60160: mask

85,185 : 마스터 186 : 얼라인 마크85,185: Master 186: Align Mark

61,161 : 기준 포인트 195 : 고정 카메라61161: Reference Point 195: Fixed Camera

205 : 이동 카메라205: Moving Camera

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑을 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to an apparatus and method for clamping a mask for an organic electroluminescent display device.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel) 및 유기 전계발광(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함)표시소자 등이 있다. Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such flat panel displays include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an organic electroluminescence display. Etc.

이들 중 유기EL표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로 기대되고 있다. Among these, organic EL display devices are self-luminous devices that emit phosphors by recombination of electrons and holes, and are classified into inorganic ELs using inorganic compounds and organic ELs using organic compounds. Such an EL display device has an advantage that the response speed is as fast as that of a cathode ray tube compared to a passive light emitting device requiring a separate light source such as a liquid crystal display device. In addition, the EL display element has many advantages such as low voltage driving, self-luminous, thin film type, wide viewing angle, fast response speed, high contrast, and the like, and is expected to be the next generation display device.

도 1은 유기EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기EL셀 구조를 도시한 단면도이다. 유기EL셀은 애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 위치하는 유기발광층(10)을 구비하고, 유기발광층(10)은 전자주입층(10a), 전자수송층(10b), 발광층(10c), 정공수송층(10d), 정공주입층(10e)을 구비한다. 1 is a cross-sectional view showing a general organic EL cell structure for explaining the light emission principle of an organic EL display element. The organic EL cell has an organic light emitting layer 10 positioned between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, and the organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer 10a, an electron transport layer 10b, and a light emitting layer 10c. ), A hole transport layer 10d, and a hole injection layer 10e.

애노드전극(4)과 캐소드전극(12) 사이에 전압을 인가하면, 캐소드전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자주입층(10a) 및 전자수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 또한, 에노드전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공주입층(10e) 및 정공수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. When a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 move toward the light emitting layer 10c through the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the light is emitted to the outside through the anode electrode 4. To display an image.

한편, 종래의 유기 EL표시소자의 발광층(10c)은 그릴마스크를 이용한 열증착 및 진공증착 공정에 의해 형성되며, 이때 이용되는 그릴마스크는 별도의 공정에 의해 제작된 후 마스크 클램프장치를 이용하여 사용자와 원하는 크기로 스트레칭 된 후 마스크 프레임에 고정되어 발광층(10c) 형성시 이용된다. Meanwhile, the light emitting layer 10c of the conventional organic EL display device is formed by a thermal deposition and vacuum deposition process using a grill mask, and the grill mask used at this time is manufactured by a separate process and then used by a mask clamp device. After stretching to the desired size and fixed to the mask frame is used to form the light emitting layer (10c).

도 2는 마스크 글램핑 장치에 의한 마스크의 스트레칭 공정을 설명하기 위한 도면이다. 2 is a view for explaining a stretching process of the mask by the mask gripping device.

먼저, 마스크(60)가 소정의 시스템에 로딩된 후 상하 운동에 의해 마스크(60)가 마스크(60)를 스트레칭 시키기 위한 글리퍼(63)가 위치하는 영역에 정렬된다. 이후, 글리퍼(63)가 전진하여 마스크(60)를 물게 된다.First, after the mask 60 is loaded into a predetermined system, the mask 60 is aligned with the region where the glyph 63 for stretching the mask 60 is located by vertical movement. Then, the gripper 63 is advanced to bite the mask 60.

이후, 마스크(60)에 마련된 다수의 포인트(61)와 마스크(60) 하부에 위치하는 마스터(master)(85)를 이용하여 마스크(60)를 스트레칭시킨 후 카메라로 얼라인 여부를 판별한 후 마스크(60)의 위치를 보정하여 마스크(60)를 마스터(85)를 기준으로 정위치에 정렬시킨다. Thereafter, the mask 60 is stretched using a plurality of points 61 provided on the mask 60 and a master 85 positioned below the mask 60, and then the alignment is determined by a camera. The position of the mask 60 is corrected to align the mask 60 in position with respect to the master 85.

이를 도 3을 참조하여 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail with reference to FIG. 3 as follows.

마스터(85)에는 그의 외곽에 위치하여 마스크(60)의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 얼라인 마크(86)를 구비한다. 즉, 마스크(60)를 스트레칭하는 경우 마스터(85)의 얼라인 마크(86)에 마스크(60)의 다수의 기준 포인트(61)가 대응되도록 마스크(60)를 스트레칭시킨다. The master 85 is provided with an align mark 86 located at its outer edge to provide a reference for the degree of stretching of the mask 60. That is, when the mask 60 is stretched, the mask 60 is stretched so that the plurality of reference points 61 of the mask 60 correspond to the alignment mark 86 of the master 85.

이후 마스크(60) 상단에 위치하는 카메라(95)로 마스크(60)의 기준 포인트(61)와 마스터(85)의 얼라인 마크(86)가 정합되는 경우 스트레칭을 중단하게 된다. 여기서, 카메라(95)의 수는 예를 들어, 기준 포인트(61) 또는 마스터(85)에 마련된 얼라인 마크(86)의 수와 동일하게 마련된다. 이러한, 각각의 카메라(95)는 자기가 담당하는 기준 포인트(61)와 얼라인 마크(86)의 정위치를 판단하게 된다. After that, when the reference point 61 of the mask 60 and the alignment mark 86 of the master 85 are matched with the camera 95 positioned on the mask 60, the stretching is stopped. Here, the number of cameras 95 is provided equal to the number of alignment marks 86 provided in the reference point 61 or the master 85, for example. Each of the cameras 95 determines the exact positions of the reference point 61 and the alignment mark 86 in charge of the camera 95.

이러한 종래의 각각의 카메라(95)들은 고정되게 위치하고 소정의 시야영역(A) 만을 관찰할 수 있게 된다. 즉, 각 카메라(95)들은 그의 시야영역(A)에 들어오는 기준 포인트(61) 및 얼라인 마크(86)의 위치만을 비교 및 판단하여 오차가 확인되는 경우 마스크(60)를 보정시켜 정확한 얼라인을 실시할 수 있게 된다. Each of these conventional cameras 95 is fixedly located so that only a predetermined field of view A can be observed. That is, each of the cameras 95 compares and judges only the positions of the reference point 61 and the alignment mark 86 entering the field of view A, and corrects the mask 60 when the error is confirmed. Can be performed.

그러나, 마스터(85)의 얼라인 마크(86)와 마스크(60)의 기준 포인트(61)의 공차가 큰 경우가 발생되어 도 3에서와 같이 마스크(60)의 기준 포인트(61)가 카메라(95)의 시야영역(A)을 벗어나는 경우(도 3에서의 B영역) 종래의 고정카메라(95)라에 의해 오차정도를 확인할 수 없는 문제가 발생된다. However, there is a case where the tolerance between the alignment mark 86 of the master 85 and the reference point 61 of the mask 60 is large, and as shown in FIG. 3, the reference point 61 of the mask 60 is connected to the camera ( In the case of moving outside the field of view A of FIG. 95 (area B in FIG. 3), the conventional fixed camera 95 causes a problem that the degree of error cannot be confirmed.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크 스트레칭의 정확성을 향상시킬 수 있는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치 및 방법을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a clamping apparatus and method for a mask for an organic light emitting display device capable of improving the accuracy of mask stretching.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치는 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; 상기 마스크 주변에 배치되어 상기 마스크를 스트레칭시키는 스트레칭 장치와; 상기 마스크의 하부에 위치하며 상기 마스크의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 적어도 하나의 얼라인 마크가 마련된 기준 마스터와; 상기 마스크 상부에서 상기 마스크에 마련되는 기준 포인트와 상기 얼라인 마크와의 정합여부를 판단하는 고정 카메라와; 상기 고정 카메라들의 시야영역을 제외하는 영역으로의 기준 포인트의 위치여부를 판단하는 이동 카메라를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the clamping device of the mask for an organic electroluminescent display device according to the present invention comprises a mask for selectively transmitting the deposit to form a thin film on the substrate; A stretching device disposed around the mask to stretch the mask; A reference master positioned below the mask and provided with at least one alignment mark presenting a criterion of the degree of stretching of the mask; A fixed camera which determines whether the reference point provided on the mask is aligned with the alignment mark on the mask; And a mobile camera that determines whether a reference point is located in an area excluding the viewing areas of the fixed cameras.

상기 적어도 하나의 기준 포인트는 상기 마스크 스트레칭이 완료된 후 상기 얼라인 마크와 서로 마주보게 정렬된 것을 특징으로 한다.The at least one reference point may be aligned to face the alignment mark after the mask stretching is completed.

상기 기준 포인트의 위치여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 마스크의 위치를 보정시키기 위한 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.And a control unit for correcting the position of the mask according to a determination result of the position of the reference point.

본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 방법은 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크를 마련하는 단계와; 상기 마스크의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 얼라인 마크를 구비하는 기준 마스터를 상기 마스크 하부에 정렬시키는 단계와; 상기 마스크를 스트레칭시켜 상기 마스크에 마련되는 기준 포인트를 상기 얼라인 마크의 위치로 정합시키는 단계와; 상기 마스크 상부에서 상기 얼라인 마크에 대응되게 위치하는 고정 카메라를 이용하여 상기 마스크의 기준 포인트와 상기 얼라인 마크의 정합여부를 판단하는 단계와; 고정 카메라를 이용하여 상기 고정 카메라들의 시야영역을 제외하는 영역으로의 상기 기준 포인트의 위치여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The clamping method of the mask for an organic electroluminescent display device according to the present invention comprises the steps of providing a mask for forming a thin film on the substrate by selectively transmitting the deposit; Aligning a reference master with an alignment mark below the mask, wherein the reference master provides an indication of the degree of stretching of the mask; Stretching the mask to match reference points provided on the mask with the alignment marks; Determining whether or not the reference point of the mask is aligned with the alignment mark by using a fixed camera positioned corresponding to the alignment mark on the mask; And determining whether the reference point is positioned to an area excluding the viewing areas of the fixed cameras by using the fixed camera.

상기 기준 포인트와 상기 얼라인 마크의 정합여부의 판단 결과에 따라 상기 마스크의 스트레칭 정도를 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The method may further include correcting the degree of stretching of the mask according to a determination result of whether the reference point is aligned with the alignment mark.

상기 기준 포인트의 위치여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 마스크의 스트레칭 정도를 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The method may further include correcting the degree of stretching of the mask according to the determination result of the position of the reference point.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 7.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL표시소자의 제조장치 즉, 마스크 클램핑 장치의 일부를 나타내는 도면이다. 4 is a view showing a part of an apparatus for manufacturing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention, that is, a mask clamping device.

도 4에 도시된 마스크 클램핑 장치(130)는 마스크(160)의 장변 및 단변에 위치하여 상기 마스크(160)를 물어주는 글리퍼(163)와, 마스크(160)를 스트레칭할 수 있도록 동력을 공급하는 동력공급부(165)와, 상기 동력공급부(165)와 글리퍼(163) 사이에 위치하여 상기 동력공급부(165)에서 공급되는 동력을 글리퍼(163)로 전달하는 동력전달부(169)를 구비한다. 이러한, 마스크 클램핑 장치(130)는 클램프 다이(미도시)에 의해 지지된다. The mask clamping device 130 shown in FIG. 4 is located on the long side and short side of the mask 160 to supply power to the glyph 163 and the mask 160 to be bit the mask 160. A power transmission unit 169 positioned between the power supply unit 165 and the power supply unit 165 and the gripper 163 to transfer the power supplied from the power supply unit 165 to the gripper 163. Equipped. This, mask clamping device 130 is supported by a clamp die (not shown).

글리퍼(163)는 마스크(60)의 장변에 예를 들어, 10개 정도 배치되고, 단변에는 예를 들어, 8개 정도 배치된다. 또한, 글리퍼(163)에는 글리퍼(163)의 마찰저항을 조정할 수 있는 조정나사가 장착되어 있다. About 10 glippers 163 are arranged on the long side of the mask 60 and about 8 on the short side, for example. The gripper 163 is also equipped with an adjustment screw for adjusting the frictional resistance of the gripper 163.

동력공급부(165)는 상기 마스크(160)의 각 변에 예를 들어, 3개씩 배치되도록 상기 동력전달부(169)에 연결된 다수의 모터(166)와, 상기 모터(166)에 각각 연결되어 모터(166)의 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 박스(167)로 구성되어 있다. The power supply unit 165 includes a plurality of motors 166 connected to the power transmission unit 169 and three motors 166 connected to the power transmission unit 169 so as to be arranged at each side of the mask 160, respectively. It is comprised by the ball screw box 167 which converts the rotational motion of 166 into linear motion.

동력전달부(169)는 파워트리(power tree) 레버(171)와 다수의 파워트리 레버 (171)의 결합에 의해 이루어지며, 각각의 파워트리 레버(171)는 다수의 브렌치(branch)(172)들의 조합으로 이루어진다. The power transmission unit 169 is formed by a combination of a power tree lever 171 and a plurality of power tree levers 171, and each power tree lever 171 has a plurality of branches 172. ) Is a combination of

마스크(160)는 유기 EL표시소자의 발광층 형성시 이용되는 그릴 마스크로써 유효영역(160a)과 유효영역(160a)을 제외한 비유효영역(160b)을 구비한다. 마스크(160)의 유효영역(160a)에는 R,G,B를 구현하기 위한 발광층의 형성영역을 선택적으로 투과시키는 어레이영역(P1)이 다수 형성되고, 유효영역(160a)에서의 외곽에는 마스크(160) 스트레칭시 기준을 제공하는 다수의 포인트(161)가 형성된다. The mask 160 is a grill mask used for forming the light emitting layer of the organic EL display device and includes an effective region 160a and an invalid region 160b except for the effective region 160a. In the effective region 160a of the mask 160, a plurality of array regions P1 for selectively transmitting the formation regions of the light emitting layer for implementing R, G, and B are formed. A mask (a mask) is formed outside the effective region 160a. 160 A number of points 161 are formed that provide a reference during stretching.

이러한, 마스크(160)의 하단에는 도 5에 도시된 바와 같이 마스터(185)가 위치하게 되고, 마스크(160)의 상단에는 그의 위치가 고정되는 다수의 고정카메라(195)와 위치가 이동가능한 이동카메라(205)가 정렬된다. As shown in FIG. 5, the master 185 is positioned at the lower end of the mask 160, and a plurality of fixed cameras 195 and positions of which are fixed at the upper end of the mask 160 are movable. Camera 205 is aligned.

마스터(185)에는 그의 외곽에 위치하여 마스크(160)의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 적어도 하나 이상의 얼라인 마크(186)를 구비한다. The master 185 is provided with at least one alignment mark 186 located at its periphery to provide a reference for the degree of stretching of the mask 160.

고정 카메라(195)들은 마스크(160)의 스트레칭시 자기가 담당하는 시야여역에서의 마스크(160)의 기준 포인트(161)와 마스터(185)의 얼라인 마크(186) 간의 정합여부를 판별하는 역할을 한다. The fixed cameras 195 determine whether a match between the reference point 161 of the mask 160 and the alignment mark 186 of the master 185 in the field of view of the mask 160 when the mask 160 stretches. Do it.

이동 카메라(205)는 고정 카메라(195)와는 달리 마스크(160) 상에서 이동가능하게 마련되어 고정카메라(195)의 시야영역 이외의 영역을 관찰하게 된다. Unlike the fixed camera 195, the mobile camera 205 is movable on the mask 160 to observe an area other than the field of view of the fixed camera 195.

즉, 마스크(160) 스트레칭시 고정카메라(195)는 자기의 시야영역에 기준 포인트(161)가 들어오는 경우 기준 포인트(161)와 마스터(185)의 얼라인 마크(186)와의 정합여부를 판단하고 이 결과를 제어부(도시하지 않음)에 전달한다. 이 후, 제 어부가 마스크(160)의 위치를 보정시킴으로써 마스크(160)의 기준 포인트가 정위치되어 마스크(160)가 정확하게 스트레칭 된다. 이와 달리, 이동카메라(205)는 도 6에 도시된 바와 같이 마스크(160)의 기준 포인트(61)가 고정카메라(195) 들이 담당하는 시야영역에서 벗아나는 경우 벗어난 기준 포인트(161)의 위치를 인지 및 판단한다. 이와 같이 판단된 기준 포인트(161)의 위치는 제어부에 전달되고 제어부는 마스크(160)의 위치를 보정시킴으로써 마스크(160)가 정확하게 스트레칭 된다.That is, when the mask 160 is stretched, the fixed camera 195 determines whether the reference point 161 is aligned with the alignment mark 186 of the master 185 when the reference point 161 enters its field of view. The result is transmitted to a control unit (not shown). Thereafter, the control unit corrects the position of the mask 160 so that the reference point of the mask 160 is correctly positioned so that the mask 160 is accurately stretched. On the other hand, the mobile camera 205 is located in the position of the reference point 161 when the reference point 61 of the mask 160 deviates from the viewing area of the fixed camera 195 as shown in FIG. 6. Recognize and judge. The position of the reference point 161 determined as described above is transmitted to the controller, and the controller corrects the position of the mask 160 so that the mask 160 is accurately stretched.

이와 같이, 본 발명에서의 마스크 클램핑 장치는 기준 포인트(161)들의 위치를 파악할 수 있는 고정 카메라(195) 이외에 고정 카메라(195)의 시야영역 이외의 영역에서의 기준 포인트(161)의 위치를 파악할 수 있는 이동카메라(205)를 구비한다. 이에 따라, 마스크(160)의 기준 포인트(161) 및 마스터(185)의 얼라인 마크(186)의 위치간에 오차가 크게 발생되는 경우에도 마스크(160)의 스트레칭에 대한 보정이 가능할 수 있게 된다. 그 결과, 마스크(160)의 스트레칭의 정확성을 향상시킬 수 있게 된다. As described above, the mask clamping apparatus according to the present invention may determine the position of the reference point 161 in an area other than the viewing area of the fixed camera 195 in addition to the fixed camera 195 capable of determining the position of the reference points 161. A mobile camera 205 can be provided. Accordingly, even when a large error occurs between the reference point 161 of the mask 160 and the position of the alignment mark 186 of the master 185, the stretching of the mask 160 may be corrected. As a result, the accuracy of the stretching of the mask 160 can be improved.

이하, 도 4 내지 6에 도시된 마스크 클램핑 장치(130)를 이용하여 마스크의 클램핑 동작 및 방법을 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the clamping operation and method of the mask using the mask clamping device 130 illustrated in FIGS. 4 to 6 will be described.

먼저, 마스크(160)가 소정의 시스템에 로딩된 후 상하 운동에 의해 글리퍼(163)가 위치하는 영역에 정렬된다. 이후, 글리퍼(163)가 전진하여 마스크(160)를 클램핑(clamping)하고, 모터(166)가 구동되어 모터(166)의 회전운동이 볼 스크류 박스(167)에 의하여 직선운동으로 변환되어 동력이 동력전달부(169)를 경유하여 글리퍼(163)에 전달된다. First, the mask 160 is loaded into a given system and then aligned with the region where the glyph 163 is located by vertical motion. Thereafter, the gripper 163 moves forward to clamp the mask 160, and the motor 166 is driven to convert the rotational motion of the motor 166 into a linear motion by the ball screw box 167, thereby driving power. It is transmitted to the glyph 163 via this power transmission unit 169.

이때, 모터(166)의 동력을 전달받은 동력전달부(169)가 후진되면 글리퍼(163)가 후진되고, 그에 따라 글리퍼(163)가 마스크(160)를 클램핑(clamping)함으로써 마스크(160)가 스트레칭 된다. 이때, 마스크(160)는 마스크(160)의 기준 포인트(161)가 그의 하부에 위치하는 마스터(185)의 얼라인 마크(186)와 정합될때가지 스트레칭되게 된다. At this time, when the power transmission unit 169 received the power of the motor 166 is reversed, the gripper 163 is reversed, and accordingly, the gripper 163 clamps the mask 160 to clamp the mask 160. ) Is stretched. In this case, the mask 160 is stretched until the reference point 161 of the mask 160 is aligned with the alignment mark 186 of the master 185 positioned below the mask 160.

여기서, 고정 카메라(195)는 그의 시야영역에서의 기준 포인트(161)와 얼라인 마크(186)와의 정합여부를 관할하게 되고, 이동 카메라(205)는 고정 카메라(195)의 시야영역을 벗어나는 영역에 기준 포인트(161)가 스트레칭 되는 경우 벗어난 영역에의 기준 포인트(161)의 위치를 관할하게 된다. 이에 따라, 마스크(160)의 기준 포인트(161)의 위치와 마스터(185)의 얼라인 마크(186)와의 위치간에 오차가 발생되는 경우 마스크(160)의 스트레칭에 대한 보정이 용이하게 실시될 수 있게 된다. Here, the fixed camera 195 is responsible for matching the reference point 161 and the alignment mark 186 in its field of view, and the mobile camera 205 is an area outside the field of view of the fixed camera 195. When the reference point 161 is stretched, the position of the reference point 161 in the out of the region is controlled. Accordingly, when an error occurs between the position of the reference point 161 of the mask 160 and the position of the alignment mark 186 of the master 185, correction of the stretching of the mask 160 may be easily performed. Will be.

이와 같이, 스트레칭된 마스크(160)는 마스크 프레임에 고정되어 상기 마스터(185)로 이용된 기판 에의 소정 증착물의 증착을 위해 이용된다. As such, the stretched mask 160 is fixed to a mask frame and used for the deposition of certain deposits on the substrate used as the master 185.

이와 같이 형성된 마스크(160)는 유기 EL표시소자의 박막 형성시 이용된다. 예를 들어, 적색, 녹색 및 청색 중 적어도 어느 하나를 구현하는 발광영역 중 적어도 어느 하나를 선택적으로 노출시켜 유기물질을 소정의 기판 상에 형성되게 한다. The mask 160 thus formed is used when forming a thin film of the organic EL display element. For example, at least one of the light emitting regions implementing at least one of red, green, and blue may be selectively exposed to form an organic material on a predetermined substrate.

도 7은 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 EL표시소자를 나타내는 사시도이다. 7 is a perspective view showing an organic EL display element formed using the apparatus for manufacturing an organic electroluminescent display element according to the present invention.

도 7에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(102) 상에 제1 전극(또는 애노드전 극)(104)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. In the organic EL display device shown in FIG. 7, the first electrode (or anode) 104 and the second electrode (or cathode) 112 are formed on the substrate 102 in a direction crossing each other.

제1 전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(미도시)이 형성된다. 절연막 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 제2 전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 제2 전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)은 도 1에 도시된 바와 같이 정공주입층(10e), 정공수송층(10d), 발광층(10c), 전자수송층(10b) 및 전자주입층(10a)이 적층되어 형성된다. The first electrode 104 is formed on the substrate 102 spaced apart by a predetermined interval. On the substrate 102 on which the first electrode 104 is formed, an insulating film (not shown) having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating layer, a partition 108 for separating the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 to be formed thereon is positioned. The partition 108 is formed in a direction crossing the second electrode 104 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. As shown in FIG. 1, the organic light emitting layer 110 is formed by stacking a hole injection layer 10e, a hole transport layer 10d, a light emitting layer 10c, an electron transport layer 10b, and an electron injection layer 10a.

여기서, 유기발광층의 발광층(10c)은 본 발명에서의 제조장치를 이용하여 스트레칭된 마스크(160)를 이용하여 R,G,B 별 발광층이 순차적으로 형성된다. Here, in the light emitting layer 10c of the organic light emitting layer, light emitting layers for R, G, and B are sequentially formed by using the mask 160 stretched using the manufacturing apparatus of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치 및 방법은 고정 카메라의 시야영역 이외의 영역에서의 기준 포인트의 위치를 파악할 수 있는 이동카메라를 구비한다. 이에 따라, 마스크의 기준 포인트 및 마스터의 얼라인 마크의 위치간에 오차가 크게 발생되는 경우에도 마스크의 스트레칭에 대한 보정이 가능할 수 있게 된다. 그 결과, 마스크의 스트레칭의 정확성을 향상시킬 수 있게 된다. As described above, the apparatus and method for clamping a mask for an organic light emitting display device according to the present invention includes a mobile camera capable of identifying the position of a reference point in an area other than the viewing area of the fixed camera. Accordingly, even when a large error occurs between the reference point of the mask and the position of the alignment mark of the master, correction of the stretching of the mask may be possible. As a result, the accuracy of the stretching of the mask can be improved.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (6)

증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크와; A mask for selectively transmitting the deposit to form a thin film on the substrate; 상기 마스크 주변에 배치되어 상기 마스크를 스트레칭시키는 스트레칭 장치와; A stretching device disposed around the mask to stretch the mask; 상기 마스크의 하부에 위치하며 상기 마스크의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 적어도 하나의 얼라인 마크가 마련된 기준 마스터와; A reference master positioned below the mask and provided with at least one alignment mark presenting a criterion of the degree of stretching of the mask; 상기 마스크 상부에서 상기 마스크에 마련되는 기준 포인트와 상기 얼라인 마크와의 정합여부를 판단하는 고정 카메라와; A fixed camera which determines whether the reference point provided on the mask is aligned with the alignment mark on the mask; 상기 고정 카메라들의 시야영역을 제외하는 영역으로의 기준 포인트의 위치여부를 판단하는 이동 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치. And a mobile camera for determining whether a reference point is located in an area excluding the viewing areas of the fixed cameras. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 적어도 하나의 기준 포인트는 상기 마스크 스트레칭이 완료된 후 상기 얼라인 마크와 서로 마주보게 정렬된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치. And the at least one reference point is aligned to face the alignment mark after the mask stretching is completed. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 기준 포인트의 위치여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 마스크의 위치 를 보정시키기 위한 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 장치. And a control unit for correcting the position of the mask according to a determination result of the position of the reference point. 증착물을 선택적으로 투과시켜 기판 상에 박막을 형성시키기 위한 마스크를 마련하는 단계와; Selectively permeating the deposit to provide a mask for forming a thin film on the substrate; 상기 마스크의 스트레칭 정도의 기준을 제시하는 얼라인 마크를 구비하는 기준 마스터를 상기 마스크 하부에 정렬시키는 단계와; Aligning a reference master with an alignment mark below the mask, wherein the reference master provides an indication of the degree of stretching of the mask; 상기 마스크를 스트레칭시켜 상기 마스크에 마련되는 기준 포인트를 상기 얼라인 마크의 위치로 정합시키는 단계와; Stretching the mask to match reference points provided on the mask with the alignment marks; 상기 마스크 상부에서 상기 얼라인 마크에 대응되게 위치하는 고정 카메라를 이용하여 상기 마스크의 기준 포인트와 상기 얼라인 마크의 정합여부를 판단하는 단계와; Determining whether or not the reference point of the mask is aligned with the alignment mark by using a fixed camera positioned corresponding to the alignment mark on the mask; 고정 카메라를 이용하여 상기 고정 카메라들의 시야영역을 제외하는 영역으로의 상기 기준 포인트의 위치여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 방법. And determining whether the reference point is positioned to an area excluding the viewing areas of the fixed cameras by using the fixed camera. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 기준 포인트와 상기 얼라인 마크의 정합여부의 판단 결과에 따라 상기 마스크의 스트레칭 정도를 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 방법. And correcting the degree of stretching of the mask according to a result of determining whether the reference point is aligned with the alignment mark. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 기준 포인트의 위치여부에 대한 판단 결과에 따라 상기 마스크의 스트레칭 정도를 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자용 마스크의 클램핑 방법. And clamping the degree of stretching of the mask according to a determination result of the position of the reference point.
KR1020050026297A 2005-03-30 2005-03-30 Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device KR100705316B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050026297A KR100705316B1 (en) 2005-03-30 2005-03-30 Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050026297A KR100705316B1 (en) 2005-03-30 2005-03-30 Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060104288A true KR20060104288A (en) 2006-10-09
KR100705316B1 KR100705316B1 (en) 2007-04-09

Family

ID=37634353

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050026297A KR100705316B1 (en) 2005-03-30 2005-03-30 Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100705316B1 (en)

Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103160775A (en) * 2011-12-14 2013-06-19 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 Vapor deposition shadow mask alignment system
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US8945979B2 (en) 2012-11-09 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8962360B2 (en) 2013-06-17 2015-02-24 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9136476B2 (en) 2013-03-20 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
CN112695272A (en) * 2019-10-22 2021-04-23 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Mask manufacturing device and method

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100251162B1 (en) * 1997-12-09 2000-04-15 구자홍 Apparatus for welding mask and panel in flatron manufacture system
KR100407172B1 (en) * 2001-08-09 2003-11-28 박수관 Mask/ panel welding apparatus and method in flat panel production

Cited By (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11920233B2 (en) 2009-05-22 2024-03-05 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US11624107B2 (en) 2009-05-22 2023-04-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10689746B2 (en) 2009-05-22 2020-06-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9873937B2 (en) 2009-05-22 2018-01-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9224591B2 (en) 2009-10-19 2015-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing a thin film
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10287671B2 (en) 2010-01-11 2019-05-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9453282B2 (en) 2010-03-11 2016-09-27 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9136310B2 (en) 2010-04-28 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
CN103160775A (en) * 2011-12-14 2013-06-19 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 Vapor deposition shadow mask alignment system
CN103160775B (en) * 2011-12-14 2016-03-16 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 Vapor deposition shadow mask alignment system
US8945979B2 (en) 2012-11-09 2015-02-03 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US9136476B2 (en) 2013-03-20 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method
US8962360B2 (en) 2013-06-17 2015-02-24 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the organic layer deposition apparatus
CN112695272A (en) * 2019-10-22 2021-04-23 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Mask manufacturing device and method

Also Published As

Publication number Publication date
KR100705316B1 (en) 2007-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100705316B1 (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
KR20060114462A (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
TWI540777B (en) Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus
TWI607598B (en) Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
KR101097311B1 (en) Organic light emitting display apparatus and apparatus for thin layer deposition for manufacturing the same
JP5259886B2 (en) Vapor deposition method and vapor deposition apparatus
JP5328727B2 (en) Thin film deposition apparatus and organic light emitting display device manufacturing method using the same
JP5269256B2 (en) Vapor deposition method and vapor deposition apparatus
US7806982B2 (en) Apparatus for fabricating electroluminescent display device
US20120009328A1 (en) Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
KR101548841B1 (en) Substrate to which film is formed, organic el display device, and vapor deposition method
KR101570072B1 (en) Thin layers deposition apparatus
US11177464B2 (en) Display apparatus
KR100676177B1 (en) Apparatus for fabricating organic electro luminescence display device
KR100705317B1 (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
JP2012506567A (en) Photosensor array
KR100705347B1 (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
US9685637B2 (en) Method and apparatus for repairing a display panel
KR20060102093A (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
KR20060104287A (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
KR20060102091A (en) Apparatus for fabricating organic electro luminescence display device
KR101139524B1 (en) Apparatus and method of stretching a mask for organic electro-luminescence display device
KR100765520B1 (en) Apparatus and method for fabricating organic electro luminescence display device
KR20060102092A (en) Apparatus and method of clamping mask for organic electro luminescence display device
KR20070055827A (en) Masking apparatus, apparatus for fabricating organic electro luminescence device using the same and method for fabricating thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120330

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130329

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160329

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170320

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190318

Year of fee payment: 13