KR20060084248A - 유기물 증발원 및 유기물 증착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 일면이 개구된 하우징과,상기 하우징의 내부에 위치하며, 내부에 유기물이 저장되고 상기 하우징의 개구부와 동일한 방향의 개구부를 갖는 유기물 저장부와,상기 하우징의 내부에 위치하며, 일측은 상기 유기물 저장부의 개구부에 체결되고, 타측은 노출되는 몸체를 갖으며, 상기 유기물 저장부와 외부를 관통하는 분사노즐을 구비하는 노즐부와,상기 하우징과 상기 유기물 저장부의 일부 영역 및 상기 노즐부의 몸체 사이에 구비되며, 상기 유기물 분사방향의 수직방향에 대하여 중심부와 가장자리부에서 서로 다른 간격으로 구비되는 열선을 구비하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항에 있어서,상기 하우징의 외곽에 단열부재를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항에 있어서,상기 하우징과 가열부 사이에 열반사판을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항에 있어서,상기 노즐부는 상기 유기물 저장부와 체결된 쪽에 유기물 튐 방지턱을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 4항에 있어서,상기 튐 방지턱은 상기 노즐부와 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항에 있어서,상기 가열부는 열선 및 상기 열선을 지지하는 지지체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항 또는 제 6항에 있어서,상기 열선은 상기 유기물 증발원의 유기물 분사방향에 대하여 수직방향으로 구비되고, 중심부보다 가장자리에서 더 좁은 간격으로 구비되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항에 있어서,상기 가열부가 위치하는 상기 노즐부의 노출된 몸체의 폭이 'a'이고, 상기 유기물 저장부의 폭이 'b'인 경우 a>b가 되도록 가열부를 개재하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 제 1항에 있어서,상기 가열부는 노즐부 및 유기물 저장부의 일면 또는 사면에 구비되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발원.
- 진공챔버와,상기 진공챔버의 일측에 구비되는 기판과,상기 진공챔버의 타측에 구비되며, 일면이 개구된 하우징과, 상기 하우징의 내부에 위치하며, 내부에 유기물이 저장되고 상기 하우징의 개구부와 동일한 방향의 개구부를 갖는 유기물 저장부와, 상기 하우징의 내부에 위치하며, 일측은 상기 유기물 저장부의 개구부에 체결되고, 타측은 노출되는 몸체를 갖으며, 상기 유기물 저장부와 외부를 관통하는 분사노즐을 구비하는 노즐부와, 상기 하우징과 상기 유기물 저장부의 일부 영역 및 상기 노즐부의 몸체 사이에 구비되며, 상기 유기물 분사방향의 수직방향에 대하여 중심부와 가장자리부에서 서로 다른 간격으로 구비되는 열선을 구비하는 가열부로 이루어지는 유기물 증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치.
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