KR20060081943A - Linear type multi-point crucible assembly for large-size oled deposition process - Google Patents

Linear type multi-point crucible assembly for large-size oled deposition process Download PDF

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Abstract

본 발명은 대면적 유기 박막 소자의 제작 시 증착 공정용 선형 다점 도가니 장치에 관한 것으로서 특히, 유기물질을 담는 약실 공간이 있는 선형의 긴 직육면체 형태의 도가니와 상부벽에 다수개의 분출구가 형성된 도가니 덮개가 결합된 것을 면 필라멘트로 저항 가열하여 도가니 내에 담긴 유기물질을 분출구를 통해 직선운동을 하는 기판에 증착시킴에 있어, 기존의 점 증발원에 비해 균일한 두께의 박막을 형성하여 유기 박막 소자의 품질을 향상시키고 유기물질을 담는 약실의 용량이 커 잦은 유기물질 재충전을 방지하고 시간당 유기물질 사용량을 최소화하여 값비싼 유기물질 사용량을 줄이는 효과가 있는 것으로서, 선형의 직육면체 형태의 도가니와 선형의 직육면체 형태의 도가니에 끼워지는 도가니 덮개와 마개와 면 필라멘트 또는 다수개의 선형의 직육면체 형태의 조각 도가니와 이에 끼워지는 선형의 조각 도가니 덮개와 마개와 면 필라멘트로 구성된 도가니 장치에 관한 발명이다.
The present invention relates to a linear multi-point crucible apparatus for a deposition process in the manufacture of a large-area organic thin film device. In particular, a linear elongated cuboid crucible having a chamber space containing organic materials and a crucible cover having a plurality of spouts formed on the upper wall are provided. Improve the quality of the organic thin film device by forming a thin film of uniform thickness compared to the conventional point evaporation source in resistive heating of the bonded ones with the surface filament and depositing organic substances contained in the crucible on the linearly moving substrate through the spout. The capacity of the chamber to contain organic materials is large, which prevents frequent recharging of organic materials and minimizes the use of organic materials per hour, thereby reducing the consumption of expensive organic materials.The crucible in the form of a linear cuboid and the crucible in the form of a linear cuboid Crucible cover and plug and cotton filament inserted or multiple The invention relates to a piece of the crucible in the form of a rectangular parallelepiped-shaped, and this is configured as a linear piece of the crucible cover and the cap surface and the filament sandwiched crucible device.

도가니, 필라멘트, 유기 박막 Crucibles, Filaments, Organic Thin Films                                    

Description

대면적 유기박막 제작용 선형 다점 도가니 장치{Linear type multi-point crucible assembly for large-size OLED deposition process} Linear type multi-point crucible assembly for large-size OLED deposition process

도 1은 본 발명의 선형 다점 도가니 장치와 기판의 실시예를 나타내는 사시도1 is a perspective view showing an embodiment of a linear multi-point crucible apparatus and substrate of the present invention

도 2는 본 발명의 선형의 도가니와 도가니 덮개로 구성된 도가니 장치의 실시예를 나타내는 사시도2 is a perspective view showing an embodiment of a crucible device composed of a linear crucible and a crucible lid of the present invention

도 3은 본 발명의 선형 다점 도가니 장치의 실시예의 단면을 나타내는 단면도3 is a cross-sectional view showing a cross section of an embodiment of the linear multi-point crucible apparatus of the present invention.

도 4는 본 발명의 도가니 덮개의 다양한 실시예를 나타내는 사시도Figure 4 is a perspective view showing various embodiments of the crucible lid of the present invention

도 5는 본 발명의 도가니 덮개의 분출구의 단면으로 다양한 형태를 나타내는 단면도Figure 5 is a cross-sectional view showing a variety of forms in the cross section of the jet port of the crucible cover of the present invention

도 6은 본 발명의 다수개의 선형 조각 도가니와 선형 조각 도가니 덮개로 구성된 도가니 장치의 다른 실시예를 나타내는 사시도Figure 6 is a perspective view showing another embodiment of the crucible device consisting of a plurality of linear engraving crucible and linear engraving crucible cover of the present invention

도 7은 본 발명의 도가니와 도가니 덮개의 결합에 있어 다른 실시예를 나타내는 단면도Figure 7 is a cross-sectional view showing another embodiment in the combination of the crucible and crucible lid of the present invention

도 8은 본 발명의 면 필라멘트를 나타내는 사시도8 is a perspective view showing a surface filament of the present invention

도 9는 본 발명의 도가니와 도가니 덮개와 면 필라멘트가 결합된 도가니 장치를 나타내는 단면도

9 is a cross-sectional view showing a crucible device in which a crucible, a crucible cover, and a surface filament of the present invention are combined;

< 도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명 ><Description of the code | symbol about the main part of drawing>

1: 유기 물질2: 기판1: organic material 2: substrate

10: 도가니 덮개11: 분출구10: crucible cover 11: spout

12: 이음새 돌출부13: 이음새 삽입부12: seam protrusion 13: seam insert

14: 돌출부20: 선형 도가니14: protrusion 20: linear crucible

21: 약실 22: 걸림턱21: Chamber 22: Hanging jaw

23: 열전대 삽입홈24: 삽입홈23: thermocouple insertion groove 24: insertion groove

30: 마개40: 면 필라멘트30: stopper 40: cotton filament

50: 조각 도가니 덮개60: 선형 조각 도가니
50: engraving crucible cover 60: linear engraving crucible

저분자 유기EL 박막은 저분자 유기 물질을 담은 도가니를 감싼 열선에 전류를 흘려 가열하고 도가니에 전달된 열이 도가니 내의 유기물질의 온도를 상승시키며 유기물질의 온도가 상승됨에 따라 유기물질이 기체의 형태로 도가니를 빠져나가 기판에 증착되는 방식으로 주로 만들어진다. 이러한 열 증착법에 의한 유기 박막의 제작에는 대부분 점 증발원을 사용해 왔다.The low molecular organic EL thin film is heated by applying a current to a heating wire wrapped in a crucible containing a low molecular organic material, and the heat transferred to the crucible increases the temperature of the organic material in the crucible, and as the temperature of the organic material increases, the organic material is in the form of gas. It is primarily made by exiting the crucible and depositing it on a substrate. Most of the point evaporation sources have been used for the production of organic thin films by the thermal evaporation method.

점 증발원은 기판에 유기물질이 증착됨에 있어 점 증발원에 가까운 기판 부분은 두껍게 박막이 형성되고 먼 기판 부분은 얇게 형성되어 박막이 균일하게 만들어지지 못하기 때문에 기판 중심으로부터 먼 곳에 점 증발원을 설치하고 기판을 회전하는 방법을 사용한다. 하지만 이 경우, 증착 챔버의 크기가 커지고 기판을 잡고 회전해야 하며 박막의 균일성도 원하는 만큼 얻지 못하고 있다. 그리고 점 증발원의 용량이 작고 기판 중심에서 먼 곳에 설치되기 때문에 점 증발원으로부터 분출된 유기물질 기체의 대부분은 기판이 아닌 증착 챔버에 증착되어 유기물 사용의 효율성이 현저히 떨어지게 되므로 잦은 유기물질의 재충전이 필요하거나 증착 챔버에 다수의 점 증발원을 넣어 복잡한 제어를 통해 돌려가며 사용하는 등의 문제가 있다. 게다가 대면적 기판의 경우, 이들 문제가 더욱 심해진다.
In the point evaporation source, organic material is deposited on the substrate, so the thin film is formed in the part near the point evaporation source and the thin part in the distant substrate is not formed uniformly, so the point evaporation source is installed far from the center of the substrate. Use the method to rotate it. However, in this case, the deposition chamber has to be large, the substrate must be rotated and the uniformity of the thin film is not obtained as desired. And since the capacity of the point evaporation source is small and is installed far from the center of the substrate, most of the organic material gas ejected from the point evaporation source is deposited in the deposition chamber, not the substrate, and the efficiency of using the organic material is significantly reduced. There are problems such as putting a plurality of point evaporation sources in the deposition chamber and using them through complicated control. In addition, for large area substrates, these problems become more severe.

상기와 같이 기존의 점증발원은 유기EL 박막 두께의 균일성을 확보하기 어려운 문제와 비싼 유기물질의 비효율적인 사용과 복잡한 제어 등의 문제가 있다. 그리고 대면적 유기EL 기판을 생산할 경우에는 큰 기판의 회전이 쉽지 않으며 유기물질 사용량이 더욱 증가하므로 점 증발원의 유기물질 사용의 비효율성을 개선해야 한다. 본 발명은 기판이 회전 운동보다 용이하게 구현되는 직선운동을 하거나 기판을 고정시키고 도가니 장치가 직선운동을 하는 상태에서 대면적 기판에 균일한 두께의 유기EL 박막을 형성하고 효율적으로 유기물질을 사용하는 선형 다점 도가니 장치를 제공하는데 있다.
As described above, the conventional evaporation source has problems such as difficulty in securing uniformity of the organic EL thin film thickness, inefficient use of expensive organic materials, and complicated control. In the case of producing large-area organic EL substrates, the rotation of large substrates is not easy, and the use of organic materials is further increased. The present invention is to form an organic EL thin film of uniform thickness on a large-area substrate and to efficiently use organic materials in a state in which the substrate is linearly or easily fixed to the substrate and the crucible device is linearly moved. It is to provide a linear multi-point crucible apparatus.

도 1은 유기박막 소자 제작에 있어 선형 다점 도가니 장치와 직선운동을 하는 기판(2)의 실시예를 나타낸 도면으로 선형 다점 도가니 장치를 고정하고 기판(2)이 직선운동을 하거나 또는 기판(2)이 고정되고 선형 다점 도가니 장치가 직선운동을 하여 선형 다점 도가니 장치로부터의 유기물질 기체가 기판(2)에 균등하게 도포되어 균일한 두께의 유기박막을 형성하게 한다.FIG. 1 is a view showing an embodiment of a substrate 2 that linearly moves with a linear multi-point crucible device in fabricating an organic thin film device. The linear multi-point crucible device is fixed and the substrate 2 moves linearly or the substrate 2 The fixed, linear multipoint crucible apparatus is subjected to linear motion so that the organic material gas from the linear multipoint crucible apparatus is evenly applied to the substrate 2 to form an organic thin film of uniform thickness.

발명의 실시예를 나타내는 도 2를 참고하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다. 하부벽(25)과 측벽(26)들로 이루어져 유기물질(1)을 담는 약실(21) 공간이 형성된 선형 도가니(20)가 있고, 원형의 구멍이 일정간격으로 장축방향으로 중앙을 따라 다수 개 뚫린 분출구(11)들을 상부벽(15)에 갖는 도가니 덮개(10)가 있고, 원형의 구멍 형태의 분출구(11)들에 끼워지는 상측이 잘린 원뿔 형태의 마개(30)가 있는 모습이 도 2이며, 도 3은 도 2의 단면을 나타내는 단면도이다.Referring to Figure 2 showing an embodiment of the present invention will be described in detail the configuration of the present invention. There is a linear crucible 20 formed of a lower chamber 25 and side walls 26 and a chamber 21 space for containing the organic material 1, and a plurality of circular holes along the center in the long axis direction at regular intervals. There is a crucible cover (10) having perforated spouts (11) on the upper wall (15), and the top of the cone-shaped stopper (30) cut into the upper portion fitted to the spherical spouts (11) is shown in Figure 2 3 is a cross-sectional view illustrating a cross section of FIG. 2.

도 3에서 보면, 선형 도가니(20)는 하부벽(25)에 도가니 온도를 측정하는 열전대를 끼우는 열전대 삽입홈(23)이 있으며 측벽(26)들의 상부에 도가니 덮개(10)가 내려와 걸리도록 걸림턱(22)이 있고, 도가니 덮개(10)는 상부벽(15)과 측벽(16)들로 이루어져 있으며 선형 도가니(20)와 결합될 때 측벽(16)들이 선형 도가니의 걸림턱(22)에 걸려 고정되며 상부벽(15)에 원형의 구멍이 뚫린 동일한 분출구(11)들을 다수 개 가지고 있다. 유기물질(1)이 도가니 주위에 감긴 면 필라멘트(40)에 의해 가열되어 기체 상태로 분출구(11)를 빠져나가 기판(2)에 증착될 때 이 분출구(11)들에 끼워지는 마개(30)를 이용하여 유기물질(1) 기체의 양과 분포를 조절하고 기판(2)에 균일한 두께의 유기박막을 형성하기 위해 도가니 덮개(10)의 중심부에서 양끝으로 가면서 점차 분출구(11)를 막는 마개(30)의 사용 개수를 적게 하여 균일한 두께의 박막을 얻는다. Referring to FIG. 3, the linear crucible 20 has a thermocouple insertion groove 23 through which a thermocouple for measuring the crucible temperature is inserted into the lower wall 25, and the crucible cover 10 is caught by the top of the side walls 26. There is a jaw 22, and the crucible lid 10 consists of a top wall 15 and side walls 16 and when the side walls 16 are engaged with the linear crucible 20, Hanging and fixed, the upper wall 15 has a plurality of the same outlet port 11 is a circular hole drilled. A stopper 30 fitted with these spouts 11 when the organic material 1 is heated by the surface filament 40 wound around the crucible, exits the spout 11 in a gaseous state and is deposited on the substrate 2. A stopper for gradually controlling the amount and distribution of the organic substance (1) gas and going from the center of the crucible cover (10) to both ends in order to control the amount and distribution of the organic material (1) gas and to form a uniform thin film on the substrate ( The number of uses of 30) is reduced to obtain a thin film of uniform thickness.

도 4는 다양한 모양의 분출구(11)들이 뚫린 도가니 덮개(10)와 분출구(11) 모양에 따라 달라지는 마개(30a, 30b)를 나타내는데 도가니 덮개(10)는 장축방향으로 중앙에서 양 끝으로 갈수록 원형의 구멍이 점차 커지는 분출구(11a)들을 가지거나, 동일 크기의 사각형의 구멍들이 장축방향으로 일정 간격으로 뚫린 분출구(11b,11d)들을 가지거나, 사각형의 가로나 세로 길이가 장축방향으로 도가니 덮개 중앙에서 양끝으로 갈수록 점차 커지는 분출구(11c,11e)들을 가진다. 동일한 크기의 분출구(11)들을 일정 간격으로 갖는 도가니 덮개(10)를 이용하여 기판(2)에 증착할 때 선형의 도가니 덮개(10)의 중앙을 마주 보는 기판(2) 중앙에는 도가니 덮개(10) 중앙부분의 분출구(11)들로부터의 유기물질 기체와 도가니 덮개(10)의 양끝의 분출구(11)들로부터 날아온 유기물질 기체가 함께 증착되고 도가니 덮개(10) 양끝을 마주 보는 기판(2) 양끝은 기판(2) 아래의 도가니 덮개(10) 끝부분의 분출구(11)들로부터 날아온 유기물질 기체와 중앙부분의 분출구(11)들로부터 날아온 유기물질 기체가 증착(도가니 덮개의 반대쪽 끝부분의 분출구들에서 날아오는 유기물질 기체의 양은 미미함)되므로 기판(2) 중앙과 양끝 부분의 유기 박막의 두께는 달라진다. 이러한 현상을 최소화하기 위해 선형의 도가니 덮개(10) 상의 분출구(11) 모양을 중앙에서 양끝으로 갈수록 면적을 크게 하거나 중앙부분의 분출구(10)들에 마개(30)를 사용하여 막아주는 방법을 사용한다. Figure 4 shows the crucible cover 10 and the stopper (30a, 30b) that varies depending on the shape of the spout (11) in which the spouts 11 of various shapes are drilled, the crucible cover (10) is circular in the longitudinal direction from the center to both ends Of the crucible cover in the direction of the longitudinal axis of the rectangular or vertical holes of the same size rectangular holes are drilled at regular intervals in the major axis direction It has a jetting port (11c, 11e) that gradually increases toward both ends in. When depositing on the substrate 2 using the crucible cover 10 having the same size ejection outlets 11 at regular intervals, the crucible cover 10 is placed in the center of the substrate 2 facing the center of the linear crucible cover 10. The substrate (2) having the organic material gas from the spouts (11) at the central portion and the organic material gas from the spouts (11) at both ends of the crucible cover (10) are deposited together and facing both ends of the crucible cover (10). At both ends, the organic material gas flying from the spouts 11 at the end of the crucible cover 10 under the substrate 2 and the organic material gas flying from the spouts 11 at the center are deposited (at the opposite end of the crucible cover). Since the amount of the organic material gas flying from the ejection openings is small), the thickness of the organic thin film at the center and both ends of the substrate 2 is different. In order to minimize this phenomenon, the shape of the spout 11 on the linear crucible cover 10 is increased from the center to both ends, or a plug 30 is used to block the spouts 10 in the central part. do.

도 5는 도가니 덮개(10)의 분출구(11)의 수직 단면으로 분출구의 수직 단면 모양이 일직선으로 수직하게 뚫려 있는 모양이거나 위로 갈수록 점차 넓어지는 모양이거나 위로 갈수록 좁아졌다 다시 넓어지는 모양을 나타낸다.FIG. 5 shows a vertical cross-section of the jet port as a vertical cross section of the jet port 11 of the crucible cover 10 or a shape in which the jet port is vertically drilled in a straight line, or gradually widens upward, or narrows and widens upward.

본 발명인 선형 다점 도가니 장치는 유기물질(1)을 담는 약실(21)이 긴 선형의 직육면체 형태를 가져 기존의 점 증발원에 비해 용량이 크므로 한 번에 최대 1주일정도 사용하기에 충분한 양의 유기물질(1)을 담는 것이 가능하고 도가니 덮개 상부벽(15)에 위치한 분출구(11)들로부터 방출된 유기물질(1) 기체의 대부분이 기판(2)에 직접 닿아 증착하므로 시간당 유기물 사용량이 효율적이기 때문에 잦은 유기물질(1) 재충전 없이 대면적 유기 박막 소자의 연속적인 양산이 가능하도록 한다. The linear multi-point crucible apparatus of the present invention has a large linear cuboid shape in which the chamber 21 containing the organic material 1 has a large capacity compared to the conventional point evaporation source, so that the organic solvent has a sufficient amount of organic matter to be used for up to one week at a time. Efficient use of organic matter per hour is possible because it is possible to contain the material (1) and to deposit most of the organic material (1) gas emitted from the ejection openings (11) located on the top of the crucible cover (15). Therefore, it is possible to continuously mass-produce large-area organic thin film devices without frequent recharging of organic materials (1).

도 6은 730mm x 920mm 이상 대면적 유기 박막 소자 제작에 용이하게 사용될 수 있는 선형 조각 도가니(60)로서 상기에서 언급한 도가니와 도가니 덮개에 이음새 돌출부(12)와 이음새 삽입부(13)를 만들어 서로 연결하여 다수개의 선형 조각 도가니(60)와 조각 도가니 덮개(50)가 긴 선형의 대면적 유기박막 소자 제작용 도가니를 형성한다. 6 is a linear engraving crucible 60 which can be easily used for fabricating a large-area organic thin film device of 730 mm x 920 mm or more, and the seam protrusion 12 and the seam insert 13 are formed on the crucible and the crucible cover mentioned above. The plurality of linear engraving crucibles 60 and the crucible crucible cover 50 form a long crucible for manufacturing a large linear organic thin film device.

도 7은 선형 도가니(20)와 도가니 덮개(10)가 결합되는 다른 실시예를 보여주는 것으로 선형 도가니(20)는 도가니 측벽(26)들 상부에 이중의 삽입홈(24)을 가지고 도가니 덮개(10)는 도가니 덮개의 측벽(16)들 하부에 이중의 돌출부(14)를 가져 선형 도가니(20)의 삽입홈(24)에 도가니 덮개(10)의 돌출부(14)를 삽입하여 선형 도가니(20)와 도가니 덮개(10)가 결합되도록 한다. 이와 같은 이중의 삽입홈(24)과 이중의 돌출부(14)를 이용한 결합 방식은 도가니 내의 담긴 유기물질(1)이 면 필라멘트(40)에 의해 가열되어 기체 상태로 도가니 덮개(10)의 분출구(11)들을 통해 방출될 때 선형 도가니(20)와 도가니 덮개(10)의 결합된 틈으로 방출되는 것을 방지한다.FIG. 7 shows another embodiment in which the linear crucible 20 and the crucible cover 10 are coupled. The linear crucible 20 has a double inserting groove 24 over the crucible sidewalls 26 and the crucible cover 10. ) Has a double protrusion 14 below the sidewalls 16 of the crucible cover, and inserts the protrusion 14 of the crucible cover 10 into the insertion groove 24 of the linear crucible 20 to provide a linear crucible 20. And the crucible cover 10 to be coupled. The coupling method using the double insertion groove 24 and the double protrusion 14 is such that the organic material 1 contained in the crucible is heated by the cotton filament 40 so that the spout of the crucible cover 10 in the gas state ( 11) to prevent it from being released into the combined gap of the linear crucible 20 and the crucible lid 10 when released through them.

도 8은 본 발명인 선형 다점 도가니 장치에 사용되는 면 필라멘트(40)의 모습이고 도 9는 면 필라멘트(40)가 선형 다점 도가니 장치에 적용된 모습의 단면도로 면 필라멘트(40)는 일정 폭과 일정 두께를 가진 긴 직사각형 모양의 판(41)들이 상부와 하부에서 일정간격으로 번갈아가며 연속적으로 연결된 형태로 선형 도가니 측벽(26)들의 주위를 따라 설치된다. 기존의 열선이 방사형으로 복사열을 방출하여 도가니로 향하는 복사열의 양이 적어 도가니로의 비효율적으로 열전달을 하는데 비해 면 필라멘트(40)는 면 필라멘트(40)의 각 판(41)의 면이 도가니를 바로 바라보므로 면 필라멘트(40)로부터 방사된 복사열이 도가니에 효율적으로 전달되는 효과를 갖는다. 이러한 효율적인 열전달은 면 필라멘트(40)에 흐르는 전류를 제어하여 도가니 내의 온도를 빠르게 상승시키거나 하강시킬 수 있도록 해 주어 원하는 유기물질 기체의 증착속도에 빠른 시간 내에 도달하게 해 주며 점증발원에 비해 적은 소비전력을 소모하게 한다.

8 is a cross-sectional view of the surface filament 40 used in the linear multi-point crucible apparatus of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the surface filament 40 applied to the linear multi-point crucible apparatus. Long rectangular plate 41 having a is installed along the circumference of the linear crucible side wall 26 in a continuous connection alternately at regular intervals from the top and bottom. Conventional heating wire radiates radiant heat radially, so that the amount of radiant heat directed to the crucible is less efficient than heat transfer to the crucible, whereas the surface filament 40 has a surface of each plate 41 of the surface filament 40 directly at the crucible. As seen, the radiant heat radiated from the cotton filament 40 is effectively transmitted to the crucible. This efficient heat transfer controls the current flowing through the cotton filament 40 so that the temperature in the crucible can be quickly raised or lowered to reach the desired deposition rate of the organic gas in a short time and consumes less than the evaporation source. It consumes power.

본 발명은 대면적 유기EL 기판의 제작에 사용되는 선형 다점 도가니 장치에 관한 것으로서, 용량이 큰 약실(21)을 가진 선형 도가니(20)와 다수개의 분출구(11)들을 가진 도가니 덮개(10)와 균일한 유기박막 두께를 얻기 위해 분출구(11)들을 적절히 막는 마개(30)와 도가니로의 열전달 효율이 높은 면 필라멘트(40)을 사용한 선형 다점 도가니 장치로 대면적 유기EL 박막 두께의 균일성을 향상시키고 유기물질(1)의 효율적인 사용으로 유기물질(1) 사용량을 낮추는 효과가 있는 발명인 것이다



The present invention relates to a linear multi-point crucible apparatus used for fabricating a large-area organic EL substrate, comprising a crucible cover (10) having a linear crucible (20) having a large capacity chamber (21) and a plurality of outlets (11); Improved uniformity of large area organic EL thin film thickness with linear multi-point crucible apparatus using a stopper 30 to properly block the ejection openings 11 and a surface filament 40 having high heat transfer efficiency to the crucible to obtain a uniform organic thin film thickness. It is an invention that has the effect of lowering the amount of the organic material (1) by using and efficient use of the organic material (1)



Claims (11)

선형의 긴 직육면체 모양의 도가니 덮개에 다수개의 작은 분출구들이 뚫려있는 도가니 덮개와, 그 분출구들에 끼워 분출구를 막는 마개와, 약실 공간이 형성된 선형의 긴 직육면체 모양의 선형 도가니와, 선형 도가니 주위에 감겨져 선형 도가니를 가열하는 면 필라멘트로 구성된 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치A crucible cover in which a plurality of small spouts are drilled in a linear long cuboid crucible cover, a stopper that plugs into the spouts to block the spout, a linear long cuboid linear crucible with a chamber space, wound around the linear crucible Linear multipoint crucible device, consisting of face filaments for heating linear crucibles 제 1항에 있어서, 도가니 덮개는 긴 직육면체 모양으로 상부벽과 측벽들로 이루어져 있으며 상부벽에 다수개의 분출구들이 도가니 덮개의 장축방향으로 중앙을 따라 일정 간격으로 뚫려 있는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치The crucible cover of claim 1, wherein the crucible cover has an elongated rectangular parallelepiped shape consisting of an upper wall and side walls, and a plurality of blowout ports are formed at a predetermined interval along a center in the longitudinal direction of the crucible cover. 제 1항과 제 2항에 있어서, 도가니 덮개 상부벽의 분출구 모양과 나열된 모양은 동일 크기의 원형의 구멍들이 일정 간격으로 뚫려 나열된 모양이거나, 도가니 덮개의 중심에서 양 바깥쪽으로 점차 커지는 원형의 구멍들이 일정 간격으로 뚫려 나열된 모양이거나, 동일 크기의 사각형의 구멍들이 일정 간격으로 뚫려 나열된 모양이거나, 도가니 덮개의 중심에서 양 바깥쪽으로 가로길이나 세로길이가 점차 커지는 직사각형의 구멍들이 일정 간격으로 뚫려 나열된 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치According to claim 1 and 2, wherein the spout shape of the top wall of the crucible cover and the shape of the listed shape is the shape of the circular holes of the same size are arranged at regular intervals, or the circular holes gradually growing outwardly from the center of the crucible cover It is a shape that is arranged to be spaced at regular intervals, or is a shape where holes of the same size are drilled at regular intervals, or rectangular holes that are gradually enlarged horizontally or vertically outward from the center of the crucible cover. Linear multipoint crucible device having 제 1항과 제 2항, 제 3항에 있어서, 도가니 덮개의 상부벽에 형성된 분출구의 수직 단면 모양은 일직선으로 형성된 모양이거나 위로 갈수록 넓어지는 모양이거나 위로 갈수록 좁아졌다가 넓어지는 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치According to claim 1, 2, 3, wherein the vertical cross-sectional shape of the spout formed in the upper wall of the crucible cover is a straight shape, or a shape that is wider toward the top, or narrower and wider to the top Linear multipoint crucible device 제 1항에 있어서, 마개는 도가니 덮개에 형성된 분출구들 중 일부를 막아 분출 가스의 양과 분포를 조절하는 것으로 동일한 분출구가 일정 간격으로 나열된 경우에 중앙 부분은 마개를 이용하여 많이 막고 양끝으로 갈수록 마개를 이용하여 적게 막는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치According to claim 1, wherein the stopper is to block some of the spouts formed in the crucible cover to control the amount and distribution of the spout gas, when the same spout is listed at regular intervals, the central part is blocked with a stopper and the stopper is gradually closed to both ends. Linear multi-point crucible device, characterized by using less blocking 제 1항과 제 5항에 있어서, 마개는 상부가 잘린 원뿔 모양이거나 직육면체 모양으로 상부 면적이 넓고 하부 면적인 좁은 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치The linear multi-point crucible apparatus according to claim 1 or 5, wherein the plug has a conical shape or a rectangular parallelepiped shape having a large upper area and a lower shape with a lower area. 제 1항에 있어서, 선형 도가니는 하부벽과 측벽들로 이루어져 있으며 내부에 약실 공간이 형성된 선형의 긴 직육면체로 측벽 상부에 걸림턱이 형성되어 있으며 하부벽에 열전대 삽입홈이 형성된 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치The linear crucible is composed of a lower wall and sidewalls, and a linear long rectangular parallelepiped having a chamber space formed therein, wherein a locking jaw is formed on the upper sidewall, and a thermocouple insertion groove is formed on the lower wall. Multipoint crucible device 제 1항과 제 6항에 있어서, 장축의 양쪽 측벽에 이음새 돌출부와 이음새 삽입부를 가진 긴 직육면체의 선형 조각 도가니와 조각 도가니 덮개는 한 선형 조각 도가니의 이음새 돌출부가 인접한 선형 조각 도가니의 이음새 삽입부에 삽입되어 연결되는 식으로 일직선으로 다수 개 연결되어 긴 도가니 장치를 형성하는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치7. A long cuboid linear engraving crucible and a crucible lid with seam projections and seam inserts on both sidewalls of the major axis are provided in the seam insert of a linear engraving crucible adjacent to the seam projection of one linear engraving crucible. Linear multi-point crucible device, characterized in that the form of a long crucible device by connecting a plurality of in a straight line in such a way that it is inserted and connected 제 1항과 제 2항, 제 6항, 제 7항에 있어서, 도가니 덮개 측벽 하부에는 이중의 돌출부가 형성되고 선형 도가니 측벽 상부에는 이중의 삽입홈이 형성되어 이중으로 도가니 덮개와 선형 도가니가 결합되는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치The crucible cover and the linear crucible are coupled to each other according to claim 1, 2, 6 and 7, wherein a double protrusion is formed at the lower side of the crucible cover sidewall and a double insertion groove is formed at the top of the linear crucible sidewall. Linear multipoint crucible device, characterized in that 제 1항에 있어서, 면 필라멘트는 일정 길이와 일정 폭, 일정 두께를 가지는 다수개의 긴 직사각형의 판들이 일정 간격으로 배열되고 상부와 하부에서 번갈아가며 연결되어 있으며 선형 도가니 측벽 주위를 따라 배치되어 선형 도가니를 감싸는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치The crucible according to claim 1, wherein the face filament is formed of a plurality of elongated rectangular plates having a predetermined length, width, and thickness, arranged at regular intervals, alternately connected at upper and lower sides, and disposed around a linear crucible sidewall. Linear multi-point crucible device, characterized by wrapping 제 1 항에 있어서, 선형 다점 도가니 장치가 고정되고 기판이 직선운동을 하거나 기판이 고정되고 선형 다점 도가니 장치가 직선운동을 하여 유기EL 박막을 기판에 균일한 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 선형 다점 도가니 장치The linear multipoint crucible according to claim 1, wherein the linear multipoint crucible device is fixed and the substrate is linearly moved or the substrate is fixed and the linear multipoint crucible device is linearly moved to apply the organic EL thin film to the substrate with a uniform thickness. Crucible device
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