KR20060059906A - Thin plate-supporting body - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 자중에 의해 휘는 박판형상물이 복수의 지지부재 위에 적재되는 받침형상체, 판형상체, 봉형상체 혹은 이들의 조합체에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 유리판, 플라스틱판 등을 수평으로 적재하기 위한 가적재대, 이들을 수납하는 카세트, 또한 이들 박판을 기계를 사용해서 반송할 때에, 그들 박판형상물이 적재되어서 지지하는 포크형상의 엔드 이펙터(로보트 핸드)에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a support body, a plate body, a rod body, or a combination thereof in which a thin plate-like article bent by its own weight is loaded on a plurality of support members. More specifically, the loading stand for horizontally loading a glass plate, a plastic plate, etc., the cassette which accommodates them, and the fork-shaped end effector which these thin plate materials are loaded and supported when conveying these thin plates using a machine ( Robot hand).
최근 액정표시장치, 플라즈마 디스플레이, 플라즈마 구동 액정표시장치 등에 사용되는 유리기판은 표시장치 그 자체의 대형화와 함께, 다수장 취함에 의한 생산성 향상 때문에, 대면적화되어 오고 있다. 이들 유리기판은 진애를 싫어하기 때문에 될 수 있는 한 접촉면이 작은 부재로 지지해야 한다. 또한 경량화 때문에 0.7~0.4㎜로 박육화되어 오고 있고, 수평상태에서 이것을 핀 등의 지지부재에 적재해서 부분적으로 지지하면 자중으로 휘어, 그 지지에는 여러 가지 연구가 이루어지고 있다.Background Art In recent years, glass substrates used in liquid crystal displays, plasma displays, plasma drive liquid crystal displays, and the like, have been large in size due to the increase in the size of the display device itself and the productivity improvement by taking a large number. Since these glass substrates do not like dust, they should be supported by small members as far as possible. In addition, it has been thinned to 0.7 to 0.4 mm due to light weight, and when it is partially supported by loading it on a supporting member such as a pin in a horizontal state, it is bent by its own weight, and various studies have been made on the support thereof.
예를 들면 일본 특허공개 평9-80404호 공보에는, 유리기판을 적재하는 넓은 스테이지면에, 그 주변부뿐만 아니라 중심부 부근에도 진공흡착구를 형성해서, 스테이지 중심부에 있어서의 유리기판의 부상을 방지함으로써 유리기판을 평면상에 확실하게 고정하고자 하는 방법이 제안되어 있다. 그러나, 이 문헌에는 유리기판보다 스테이지면이 작을 경우의 유리판의 휘어짐을 최소한으로 하고자 하는 사상은 기술되어 있지 않다.For example, Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 9-80404 discloses a vacuum suction port formed not only on the periphery but also on the central part of a wide stage surface on which a glass substrate is loaded, thereby preventing the glass substrate from rising on the center of the stage. A method for reliably fixing a glass substrate on a plane has been proposed. However, this document does not describe the idea of minimizing the warpage of the glass plate when the stage surface is smaller than the glass substrate.
또한, 일본 특허공개 평10-109751호 공보에는, 유리기판 적재용 엔드 이펙터의 폭을 유리기판 수납용 카세트의 내측의 기판지지 포켓의 선단에 접촉하지 않을 정도로 크게 해서 유리기판의 한 변의 길이에 가깝게 하고, 또한, 엔드 이펙터를 두 갈래로 해서 유리기판이 가랑이부에서 아래로 드리워져도 엔드 이펙터의 기부에 접촉하지 않도록 고민되어 있지만, 유리기판이 아래로 드리워짐을 방지하는 방법은 제안되어 있지 않다.Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-109751 discloses that the width of the end effector for loading a glass substrate is made large so as not to come into contact with the tip of the substrate support pocket inside the cassette for storing the glass substrate so as to be close to the length of one side of the glass substrate. In addition, although the end effector is bifurcated, it is considered that the glass substrate does not come into contact with the base of the end effector even when the glass substrate is lowered from the crotch portion. However, a method of preventing the glass substrate from lowering is not proposed.
한편, 유리기판을 다수장 수납하는 카세트에 있어서도 유리판의 휘어짐은 큰 문제이고, 최근 개발되고 있는 한 변이 1000㎜에서 2000㎜를 넘는 유리기판용 대형 카세트에서는, 그 좌우의 내부측면에 설치하는 작은 포켓이 아니라, 도 3의 카세트(5)에 나타내는 바와 같이, 좌우의 내부측면에 설치되는 기판지지를 위한 기부로서, 수평으로 부착되어 길이가 200㎜를 초과하는 빗살형 핀(51)을 가지는 지지체를 내측을 향해서 설치하거나, 또한, 일본 특허공개 평11-35089호 공보에 개시된 카세트와 같이 유리판의 폭방향으로 봉형상체를 걸쳐서 봉상부의 중앙부를 포함하는 복수 개소에 지지핀을 설치하는 등, 휘어짐을 억제하는 연구를 하고 있다.On the other hand, the bending of the glass plate is a big problem even in a cassette for storing a large number of glass substrates, and in a large-sized cassette for glass substrates in which a side is more than 1000 mm to 2000 mm in recent years, a small pocket is provided on the inner side of the left and right sides thereof. Instead, as shown in the
이러한 유리판의 대형화에 대해서는, 이미 상기 일본 특허공개 평10-109751공보에 기재된 바와 같이 적재용 엔드 이펙터(1)(도 16)와 같이, 단순히 두 갈래로 하는 것 만으로는 대처할 수 없는 상태가 되었다. 여기에, 도면 중 부호6은 유리기 판, 11은 엔드 이펙터의 주요부, 14는 합성고무제 지지부재, 15는 수지제 지지부재, 21은 로보트 암을 각각 나타낸다.As for the enlargement of such a glass plate, as already described in the said Unexamined-Japanese-Patent No. 10-109751, it became a state which cannot cope simply by making it into two parts like the loading end effector 1 (FIG. 16). In the drawings,
또한, 대형 카세트의 종류에 따라서는, 상기 일본 특허공개 평11-35089호 공보의 경우는 물론, 상기 빗살형상의 핀을 가지는 기판지지를 위한 기부가 카세트 내부측면의 좌우뿐만 아니라 안쪽의 면이라고 하는 데에도 형성된 것이 있고, 상기 일본 특허공개 평9-80404공보에 기재된 평판형상의 스테이지를 엔드 이펙터로서 사용한 것에서는 그 안쪽의 핀에 간섭할 뿐만 아니라, 일본 특허공개 평11-35089호 공보에 개시된 카세트에서는 중앙부근의 지지핀(기부에 상당)에 닿아서 유리기판을 안쪽까지 삽입할 수 없거나 하는 문제가 생긴다. 또한, 유리기판의 대형화에 의한 중량증가의 영향을 경감하기 위해서는, 엔드 이펙터 자체의 중량의 경감도 기대되고 있다.In addition, depending on the type of large cassette, the base for supporting the substrate having the comb-shaped pins as well as in the case of Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-35089 is referred to as the inner side as well as the left and right sides of the cassette inner side surface. In the case where the flat stage described in Japanese Patent Laid-Open No. 9-80404 is used as an end effector, the cassette disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-35089 is not only interfered with the pins therein. In contact with the support pin (corresponding to the base) near the center, the glass substrate cannot be inserted all the way. In addition, in order to reduce the influence of the weight increase due to the enlargement of the glass substrate, the reduction of the weight of the end effector itself is also expected.
본원의 발명자는, 자중에 의해 휘는 박판이 적재되는 박판지지체로서, 복수의 지지부재와 이들을 상부에 구비하는 기부로 이루어지는 박판지지체에 있어서, 상기 박판이 복수의 산부(山部)를 형성해서 휘도록 배치된 지지부재와, 상기 박판의 휘어짐량을 감소시키는 수단을 가짐으로써, 그 박판의 휘어짐량을 대폭 감소시킬 수 있다는 것을 발견하여, 본 발명에 이르렀다.The inventor of the present application is a thin plate support on which a thin plate bent by its own weight is mounted, and in a thin plate support made of a plurality of support members and a base having the upper portion thereof, the thin plate forms a plurality of hills to bend. The present invention has found that by having a supporting member arranged and a means for reducing the amount of warpage of the thin plate, the amount of warpage of the thin plate can be greatly reduced.
상기 일본 특허공개 평10-109751에 제안되는 바와 같이, 유리기판 등의 박판을 곡부(谷部)가 1개, 또는 산부가 1개가 되도록 휘게 하는 것이 아니라, 본 발명자들은, 박판에 복수의 산부를 형성시킴으로써 산부의 높이, 즉, 휘어짐량을 작게 할 수 있는 것을 발견하고, 또한, 복수의 산부의 높이를 작게 하기 위한 수단, 즉, 상기 박판의 휘어짐량을 감소시키는 수단을 발견했다.As suggested in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-109751, a thin plate such as a glass substrate is not bent to have one curved portion or one acid portion, but the present inventors have described a plurality of acid portions in the thin plate. By forming it, it was found that the height of the peak, that is, the amount of warpage can be reduced, and also a means for reducing the height of the plurality of peaks, that is, a means of reducing the amount of warpage of the thin plate.
우선, 복수의 산부를 형성시키기 위해서는, 예를 들면 간격이 60㎝정도의 체조용 평행봉 위에 1m평방, 두께 1㎜정도의 플라스틱판을 두면 자중으로 휘어서 2개의 산을 형성한다. 유리기판 등 강성이 높은 재료라도 얇을 경우는, 일본 특허공개 평11-35089호 공보의 도 1에 제안되는 카세트와 같이, 같은 높이의 9개 세운 봉재 위에 수납하면, 산부가 9개 또는 능선부 3개를 형성해서 휜다. 본 발명은, 이렇게 복수의 산부 등을 형성해서 자중으로 휘는 박판에, 휘어짐량을 감소시키는 수단을 더 실시해서 될 수 있는 한 박판을 평탄하게 유지할 수 있는 지지체를 제공하고자 하는 것이다.First, in order to form a plurality of peaks, for example, if a plastic plate of about 1 m square and a thickness of about 1 mm is placed on a parallel bar for gymnastics having a distance of about 60 cm, two peaks are formed by bending. Even when a rigid material such as a glass substrate is thin, when it is stored on nine upright bars of the same height, such as the cassette proposed in FIG. 1 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-35089, nine peaks or three ridges Formed a dog and broke it. An object of the present invention is to provide a support capable of keeping the thin plate flat as much as possible by further providing a means for reducing the amount of warp to the thin plate bent in its own weight by forming a plurality of peaks and the like.
상기 휘어짐량을 감소시키는 수단으로서의 하나는, 박판지지체의 기준 수평면으로부터 지지부재의 정상부가 다른 높이가 되도록 복수의 지지부재를 배치하는 것이다. 예를 들면, 산부의 정상부, 사면부, 곡부를 지지하는 부재의 정상부 높이를 바꿈으로써 복수의 산부를 형성시킨다. 여기서 모든 높이를 지지할 필요는 없고, 유리기판 등의 박판은 어느 정도의 강성이 있기 때문에, 예를 들면, 상기 사면부만을 단수 또는 복수의 지지부재로 지지한다는 수단도 있다. 이때, 지지부재의 정상부는 박판의 경사를 따라 경사시켜도 된다. 여기서 기준 수평면은, 복수의 지지부재의 정상부의 높이를 정하기 위한 일정한 수평면이면, 상기 기부의 상부면 또는 하부면 등의 기부의 일부를 포함하는 수평면이어도 되고, 혹은 기부설치부의 일부를 포함하는 수평면 등, 임의로 기준면을 설정할 수 있다.One means for reducing the amount of warpage is to arrange a plurality of support members so that the tops of the support members have different heights from the reference horizontal plane of the thin plate support. For example, a plurality of peaks are formed by changing the heights of the tops of the peaks, the slopes, and the members supporting the curved portions. It is not necessary to support all the height here, and since thin plates, such as a glass substrate, have some rigidity, for example, there also exists a means of supporting only the said slope part by single or multiple support members. At this time, the top of the support member may be inclined along the inclination of the thin plate. Here, the reference horizontal plane may be a horizontal plane including a part of a base such as an upper surface or a lower surface of the base, or a horizontal plane including a part of the base installation portion, as long as the reference horizontal plane is a constant horizontal plane for determining the height of the top portions of the plurality of support members. The reference plane can be set arbitrarily.
본 발명에서는 박판이 이루는 산부는 복수이면 형상에는 제한은 없다. 예를 들면, 정렬한 복수의 독립 봉우리형 박판의 산부를 형성시키기 위해서, 지지부재를 각 산부의 정상부를 지지하도록 정렬해서 배치한다. 또한, 산부의 일종인 복수의 직선형상의 능선부로 이루어지는 파판형상의 산부군을 형성시키기 위해서는, 복수의 능선부를 지지하기 위해서, 지지부재를 열형상으로 배치해 열상에서의 지지부재간격을 열간보다 넓게 한다. 혹은 수면의 원형파무늬형상형의 원형 능선부군을 형성시키기 위해서는, 지지부재를 동심원형상으로 배치하여, 각 원주상의 지지부재간격을 각 원주사이보다 넓게 하면 된다.In the present invention, there are no limitations on the shape if there are a plurality of acid portions formed by the thin plate. For example, in order to form the peaks of the plurality of independent peak-shaped thin plates aligned, the supporting members are arranged so as to support the tops of the peaks of each peak. In addition, in order to form a wave-shaped ridge group consisting of a plurality of linear ridges, which are a kind of ridges, in order to support the plurality of ridges, the supporting members are arranged in a column shape so that the support member spacing in the thermal phase is wider than that of the hot. . Alternatively, in order to form a surface group of circular ridges having a circular wave pattern shape on the surface, the support members may be arranged in a concentric circle shape, and the space between supporting members on each circumference may be wider than that between each circumference.
능선부가 복수일 경우, 이것이 3 이상이면 대면적의 박판이어도 휘어짐을 작게 할 수 있어 바람직하다. 또한, 직선형상의 능선부를 형성시키는 방향은 기부를 한 방향으로부터 봐서 평행, 혹은 직교, 사교하는 등 임의로 설정해도 된다.In the case where there are a plurality of ridges, the curvature can be made small even if it is a thin plate having a large area. The direction in which the linear ridges are formed may be arbitrarily set such that the base is viewed from one direction in parallel, orthogonal, or diagonal.
본 발명의 지지부재는, 점형상 부품 또는 작은 면적으로 박판을 떠받치는 부품이다. 그 형상은 버튼형상, 원기둥형상, 반구형상, 각판형상, 옆으로 긴 봉편, 혹은, 직립한 봉형상물의 위에 상기의 버튼형상, 반구형상 등의 임의의 지지부재를 설치할 수도 있다. 이 지지부재는, 단순히 박판을 적재하기 위한 작은 받침이어도 되고, 일부에 진공흡인구를 형성해도 된다.The support member of the present invention is a point-shaped part or a part that supports a thin plate with a small area. The shape may be provided with any supporting member such as a button shape, a hemispherical shape, or the like on a button shape, a cylinder shape, a hemispherical shape, a square plate shape, a long side bar piece, or an upright bar shape. This support member may be a small support for simply stacking a thin plate, or a vacuum suction port may be formed in part.
상기 휘어짐량을 감소시키는 수단이, 1개의 능선부를 복수열로 배치한 지지부재군인 것을 특징으로 할 수 있다. 여기서 복수열이란, 지지부재가 평행선상에 있어도 되고 작은 각도를 이루는 직선상에 있어도 되며, 또한, 완만한 복수의 곡선상에 배열되어도 된다. 이 경우, 휘어짐량을 더욱 감소시키는 수단으로서, 1개의 능선부를 떠받치는 지지부재의 복수열의 간격을 넓혀서, 능선의 높이를 낮추는 지지부재의 배치를 할 수 있다. 여기서 지지부재는, 열간에서 서로 이웃해서 배치되어도 되고, 교대로 배치되어도 되며, 동열상에서 같은 간격이어도 다른 간격이어도 된다.The means for reducing the amount of warpage may be characterized in that the support member group in which one ridge portion is arranged in a plurality of rows. Herein, the plurality of rows may be on parallel lines or on straight lines that form a small angle, or may be arranged on a plurality of gentle curves. In this case, as a means of further reducing the amount of warpage, it is possible to arrange the support member to lower the height of the ridge line by widening the interval of a plurality of rows of the support members supporting one ridge portion. Here, the support members may be arranged adjacent to each other in the heat, may be arranged alternately, or may be the same interval or different interval on the same column.
또한, 상기 휘어짐량을 감소시키는 수단이, 복수열 중 어느 하나의 지지부재의 정상부가 다른 열의 그것보다 높아도 되고, 같아도 된다. 특히 2개의 산의 능선부를 형성시켜 박판의 측근부가 지나치게 아래로 드리워질 경우는 박판지지용 기부상에 있는 2열의 지지부재 중 열방향의 가장 외측열에 위치하는 지지부재를 높게 하거나, 반대로 곡간부가 지나치게 낮을 경우는 외측지지부를 낮게 하고 내측지지부를 높게 하여 곡간부를 얕게 하는 수단, 같은 열상에 있어도 열의 시작 부분과 끝 부분 중 어느 하나 혹은 양쪽을 높게 해서 앞 드리워짐과 뒤 드리워짐 중 어느 하나 혹은 양쪽의 휘어짐량을 감소시키는 수단, 박판의 두께나 휘어짐 상태에 따라서 지지부재의 높이를 임의로 바꿀 수 있는 지지부재 구동수단, 지지부재의 정상부에 각도를 내서 박판의 경사각도에 맞추는 수단 등을 실시할 수 있다.Further, the means for reducing the amount of warpage may be higher than or equal to that of the other rows in the top of any of the supporting members in the plurality of rows. In particular, when two side ridges are formed so that the inner part of the thin plate is drooped downward, the supporting member positioned in the outermost column in the column direction among the two rows of supporting members on the base for supporting the thin plate is raised, or, on the contrary, If it is too low, a means for lowering the outer support and raising the inner support to shallow the grain stem, or one or both of the front and the end of the row, even in the same row, may be raised or dropped. Means for reducing the amount of warpage of both sides, support member driving means for arbitrarily changing the height of the support member in accordance with the thickness and the warpage of the sheet, and means for adjusting the inclination angle of the sheet to the top of the support member Can be.
또한, 상기 지지부재의 사이에 적어도 1개에 흡착수단을 가지게 할 수도 있다. 이것에 의해 강제적으로 박판을 지지부재에 끌어당겨서 유리판의 부상을 방지할 수 있다. 특히 지지부재가 같은 높이일 경우, 박판을 2열의 지지부재 사이에 흡착수단이 있는 지지부재를 설치해서 끌어당기면, 능선부의 정상부의 높이를 누르고, 곡간부의 높이를 높이는 작용이 일어나, 휘어짐을 적게 할 수 있어서 바람직하다.It is also possible to have at least one adsorption means between the support members. Thereby, a thin plate can be forcibly attracted to a support member, and the injury of a glass plate can be prevented. In particular, when the supporting members are of the same height, when the thin plates are pulled by installing the supporting members with the suction means between the two rows of supporting members, the height of the top of the ridge is pressed, and the height of the grain stem is increased, thereby reducing the warpage. It is preferable because it can be done.
또한, 상기 휘어짐량을 감소시키는 수단은, 상기 능선부를 지지하고, 또한, 능선방향으로 직교하는 방향으로 배치되어, 능선폭에 비해서 작은 봉편형상의 지지부재로 할 수도 있다. 이 봉편형상의 지지부재의 정상면은 수평이어도, 능선부를 이루는 박판의 이곡면(裏曲面)에 맞춰도 된다. 즉, 상기의 봉편형상의 지지부재의 상면은, 휘어서 경사져 있는 박판의 이면에 맞춰서 경사시킬 수도 있다.In addition, the means for reducing the amount of warp may support the ridge and be arranged in a direction orthogonal to the ridge direction, and may be a rod-shaped support member that is smaller than the ridge width. The top surface of the rod-shaped support member may be horizontal or may be aligned with the curved surface of the thin plate forming the ridge. That is, the upper surface of the rod-shaped support member may be inclined in accordance with the rear surface of the thin plate which is bent and inclined.
상술과 같은 수단에 의해서 박판에 복수의 산부 혹은 능선부의 고저차를 작게 한 박판지지체는, 반송기용 포크형상 엔드 이펙터로서 이용할 수 있다. 포크형상 엔드 이펙터가 갖는 기부의 수는 2 내지 3 이상이고, 각각의 기부가 동일평면상에 배치되어도 되고 다른 높이의 평면상에 배치되어도 된다.The thin plate support body which made the height difference of several mountain part or ridge part small in the thin plate by the above means can be used as a fork-shaped end effector for conveyers. The number of bases of the fork-shaped end effector is 2 to 3 or more, and each base may be arranged on the same plane or on different planes of different heights.
또한, 엔드 이펙터의 기부가 3 이상일 경우는 그들 중 적어도 1개는 지지부재가 1열이어도 되고, 이 지지부재의 작용은 단순한 적재대여도, 적재대이고 또한 흡착수단을 가져도 된다. 여기서 엔드 이펙터의 기부는 긴 판형상, 각진 봉형상, 둥근 봉형상, 각진 파이프형상, 둥근 파이프형상 등이며, 선단과 밑둥에서 굵기가 같아도, 달라도 된다.In the case where the base of the end effector is three or more, at least one of them may have one row of support members, and the action of the support members may be a simple loading stand or a loading stand and may have a suction means. The base of the end effector may have a long plate shape, an angled rod shape, a round rod shape, an angled pipe shape, a round pipe shape, or the like, and may be the same or different in thickness from the tip and the bottom.
도 16에 나타낸 비교예는, 내측 양측면에 박판지지체의 빗살형상 핀(51)이 길게 옆으로 돌출되어서 설치되어 있는 대형 유리기판용 카세트(5)와, 종래의 V자형상 엔드 이펙터와 조합과 같이, 엔드 이펙터의 2개의 기부 외측사이의 거리를 필요 충분히 넓힐 수 없기 때문에, 유리기판은 이것에 적재되면 도 4(c)와 같이 1개의 능선부를 형성해서 휜다.In the comparative example shown in Fig. 16, a large
이것에 대하여 본원의 발명자는, 그들 엔드 이펙터의 기부의 측부 중 적어도 한 방향으로 복수의 박판지지용 수평방향 돌기부를 형성함으로써, 이것과 기부상에 지지부재를 열형상으로 배치함으로써, 복수의 낮은 높이의 능선형상의 휘어짐을 발현시키는 것에 성공하여, 신규 박판반송용 엔드 이펙터를 개발할 수 있었다. 또한, 이 수평방향 돌기부의 길이를 카세트의 크기에 맞춰서 조절하는 것은, 휘어짐을 감소시키는 수단으로서 유효하다.On the other hand, the inventor of the present application forms a plurality of thin plate supporting horizontal protrusions in at least one of the side portions of the bases of the end effectors, thereby arranging the supporting members in a column shape on the bases and the plurality of low heights. Succeeded in expressing the ridge warp of the ridge, and thus could develop a new end effector for thin plate conveyance. In addition, adjusting the length of the horizontal projection to the size of the cassette is effective as a means of reducing the warpage.
여기서 상기 수평방향 돌기부는, 상기 엔드 이펙터가 박판수납용 카세트내에 삽입되어 박판을 적재하는 위치에 정지했을 때에, 수평방향 돌기부의 길이방향 길이가 박판수납용 카세트내의 수평면내에서의 복수의 빗살형상 핀간 거리보다 충분히 작고, 또한, 상기 수평방향 돌기부의 두께가 상기 카세트의 선반단간 거리에 비해서 충분히 작은 것이 바람직하다. 이것에 의해, 엔드 이펙터가 카세트내를 자유롭게 이동할 수 있고, 휘어짐이 적은 대형 박판을 지장 없이, 카세트나 처리실로의 반입반출을 할 수 있게 되었다. 여기서 상기 박판지지용 수평방향 돌기부는, 이펙터 기부의 상부 표면높이와 동일면을 이루어도 되고, 이펙터 기부상에 소형 판편을 부착한 것이어도 된다.Here, the horizontal projection is a plurality of comb-shaped pins in the horizontal plane in the thin sheet storage cassette when the end effector is inserted into the thin plate storage cassette and stopped at the position where the thin plate is loaded. It is preferable that the thickness is sufficiently smaller than the distance, and the thickness of the horizontal projection is sufficiently smaller than the distance between the shelf ends of the cassette. As a result, the end effector can freely move in the cassette, and it is possible to carry in and out of the cassette and the processing chamber without disturbing a large thin plate with little warpage. In this case, the thin plate supporting horizontal projection may be flush with the upper surface height of the effector base, or may be a small plate piece attached to the effector base.
다음에, 본원의 발명자들은 본 발명의 엔드 이펙터를 1부품으로 해서, 컴퓨터를 가지는 통상의 박판반송용 로보트에 탑재함으로써, 궤도연산수단 및 구동수단으로서의 컴퓨터와, 위치를 검출하는 센서를 사용하여, 자중에 의해서 휘는 박판을 대형 카세트의 내면이나 다른 유리기판에 접촉시키지 않고, 또한, 목적장소에 반송 적재하도록 엔드 이펙터의 궤도를 제어하며, 이로써 대형 박판을 반송해서 여러 가지로 처리, 가공하는 박판가공 시스템도 실현했다. 본 발명의 엔드 이펙터를 탑재하는 반송기는 상기 로보트에 한하지 않고, 다관절 로보트, 암 반송기, 컨베이어식 반송기 등, 자중에 의해서 휘는 박판을 반송하는 기계 전부에 응용할 수 있다.Next, the inventors of the present application use the end effector of the present invention as one part and mount it on a normal thin plate conveying robot having a computer, thereby using a computer as orbital computing means and driving means and a sensor for detecting a position. It is possible to control the trajectory of the end effector so that the thin plate bent by its own weight does not contact the inner surface of the large cassette or other glass substrates, and to carry and load the sheet at the target place. The system has also been realized. The conveying machine which mounts the end effector of this invention is not limited to the said robot, but can be applied to all the machines which convey thin plate bent by self weight, such as a multi-joint robot, an arm conveyer, a conveyor conveyer, and the like.
본 발명에 있어서는 상기 박판지지용 수평방향 돌기부의 상면뿐만 아니라, 엔드 이펙터상의 필요한 장소에 고무제 지지부재와 플라스틱제 지지부재 중 어느 하나 혹은 양쪽을 배치해서 상기 지지부재로 해도 된다. 또한, 진공흡착구을 갖는 지지부재를 복수 배치함으로써 상기 박판을 엔드 이펙터에 고정하거나, 휘어짐의 발현상태를 제어해도 된다.In the present invention, any one or both of the rubber support member and the plastic support member may be disposed at the required position on the end effector as well as the upper surface of the horizontal projection for the thin plate support. Further, by arranging a plurality of supporting members having a vacuum suction port, the thin plate may be fixed to the end effector, or the state of warpage may be controlled.
또한, 본 발명의 엔드 이펙터는 수평으로 유지해서 박판을 탑재하는 것을 통상의 상태로 하지만, 반송 중은 박판이 바람에 펄럭이는 것을 피하기 위해, 반송방향 전방측을 약간 낮게 하는 것이 바람직하다. 또한, 공지의 수단에 의해서 박판을 흡착하여 엔드 이펙터에 고정하면, 박판을 수직으로 유지하거나, 반전시켜도 된다.In addition, although the end effector of this invention keeps horizontally and mounts a thin plate, it is preferable to carry out the conveyance direction front side a little low in order to avoid that a thin plate flutters in the wind during conveyance. In addition, when a thin plate is adsorbed and fixed to an end effector by a known means, the thin plate may be held vertically or inverted.
본 발명의 박판지지체로서 다른 예에, 박판을 1장마다 적어도 1개의 선반단에 적재해서 수납하는 카세트가 있다. 즉, 상기의 복수열로 배치한 지지부재, 또는 상기의 봉형상의 지지부재를 세워서 기부인 빔 또는, 평판상에 설치하고, 본 발명의 수단에 의해서 박판에 복수의 산부 또는 능선부를 형성시켜, 휘어짐량을 적게 한다. 여기서, 능선부를 형성시킬 경우 그 방향은, 박판이 출입하는 방향에 직교여도, 평행하여도 사행(斜行)해도 된다. 박판이, 복수열상에 배치된 지지부재에 적재되어서 복수의 능선부를 형성해서 휘어지는 상태는, 실험에 의해서 관찰, 측정하는 것이 바람직하지만, 재료역학적 계산에 의해서 계산하여 구해도 된다. As another example of the thin plate support of the present invention, there is a cassette in which a thin plate is stacked on at least one shelf end for each sheet. That is, the support members arranged in the plurality of rows or the rod-shaped support members are erected and mounted on a beam or a flat plate, and a plurality of peaks or ridges are formed on the thin plate by the means of the present invention, and they are warped. Reduce the amount. Here, when forming a ridge, the direction may be orthogonal to, or parallel to, the meandering direction of the thin plate. It is preferable to observe and measure the state where a thin plate is mounted in the support member arrange | positioned on a plurality of rows, and it bends a some ridgeline part by experiment, but you may calculate and calculate | require by material dynamic calculation.
본 발명의 박판지지체가 엔드 이펙터일 경우는, 대형이고 중량물을 적재해서 기민하게 반송할 필요가 있기 때문에, 주로 탄소섬유 강화재료 등 비탄성율이 높은 재료를 사용해서 형성하는 것이 바람직하고, 또한, 탄소섬유 중에서도 가장 비탄성율이 높은 피치계 탄소섬유를 사용하는 것이 바람직하다. 마찬가지로, 본 발명의 박판지지체가 박판수납용 카세트일 경우도, 다수의 유리판을 수납한 카세트를 반송하기 위해 경량 고강도인 상기 탄소섬유 강화재료나 유리섬유 강화재료를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 경량화하기 위해서 이들 섬유강화재료를 파이프형상으로 가공해서 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 지지부재로서는 경질수지제 지지부재, 합성고무제 지지부재, 흡착구를 가지는 지지부재 등이 있다.In the case where the thin plate support of the present invention is an end effector, since it is large and needs to be loaded and carried promptly, it is preferable to form mainly using a material having a high inelasticity such as a carbon fiber reinforcement material. It is preferable to use pitch-based carbon fiber with the highest inelasticity among fibers. Similarly, in the case where the thin plate support of the present invention is a thin plate storage cassette, it is preferable to use the above-mentioned carbon fiber reinforced material or glass fiber reinforced material of light weight and high strength in order to convey the cassette which accommodated many glass plates. Moreover, in order to reduce weight, it is preferable to process and use these fiber-reinforced materials in pipe form. As the support member, there are a hard resin support member, a synthetic rubber support member, a support member having an adsorption port, and the like.
또한, 본 발명에서 말하는 박판이란 액정표시용 유리기판뿐만 아니라, 플라스틱 기판, 플라즈마 디스플레이용 유리기판, 플라즈마 구동 액정표시용 유리기판, 유기 전계발광 표시기용 유리기판, 무기 전계발광 표시기용 유리기판이나 금속판 등, 자중에 의해 휘는 공지의 박판을 나타낸다.In addition, the thin plate referred to in the present invention is not only a glass substrate for liquid crystal display, but also a plastic substrate, a glass substrate for plasma display, a glass substrate for plasma driving liquid crystal display, a glass substrate for an organic electroluminescent display, a glass substrate for an inorganic electroluminescent display, or a metal plate. The known thin plate bent by its own weight is shown.
도 1은, 본 발명의 박판지지체인 엔드 이펙터를 갖는 반송기, 및 본 발명의 박판지지체인 유리기판 수납용 카세트를 구비한 박판가공 시스템의 일례이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an example of a sheet processing system provided with a conveying machine having an end effector which is a thin plate support of the present invention, and a cassette for storing a glass substrate which is a thin plate support of the present invention.
도 2는, 본 발명의 일실시예이고 엔드 이펙터를, 유리기판이 수납된 카세트에 삽입한 상태에서 나타내는 평면도이다.Fig. 2 is an embodiment of the present invention and is a plan view showing the end effector in a state where a glass substrate is inserted into a cassette.
도 3은, 본 발명의 다른 일실시예이고 엔드 이펙터를, 유리기판이 수납된 카세트에 삽입한 상태에서 나타내는 평면도이다.3 is another embodiment of the present invention and is a plan view showing the end effector in a state where a glass substrate is inserted into a cassette.
도 4(a) 및 (b)는, 본 발명의 엔드 이펙터에 의해 각각 유리기판을 수평으로 지지한 상태를 나타내는 수직단면도이고, (c)는 2개의 엔드 이펙터의 기부 간격이 좁은 엔드 이펙터에 의해 유리기판을 지지한 비교예의 수직단면도이다.4 (a) and 4 (b) are vertical cross-sectional views each showing a state in which the glass substrate is horizontally supported by the end effector of the present invention, and (c) is an end effector having a narrow base spacing between two end effectors. The vertical cross section of the comparative example which supported the glass substrate.
도 5는, 본 발명의 지지부재를 사용한 일실시예의 엔드 이펙터의 단면도이고 (a)는 기부가 3개일 경우, (b)는 기부가 4개일 경우이다.Figure 5 is a cross-sectional view of the end effector of an embodiment using the support member of the present invention (a) is the case of three bases, (b) is the case of four bases.
도 6은, 본 발명의 일실시예의 엔드 이펙터의 단면도이고, 지지부재의 종류 및 그들의 배열을 바꾼 예이다.6 is a cross-sectional view of an end effector according to an embodiment of the present invention, and is an example in which the types of support members and their arrangements are changed.
도 7은, 본 발명의 지지체에 있어서 가운데 열에 흡착구를 가지는 지지부재와 양측에 2열의 지지부재를 배치한 각종 기부의 단면도이고, (a)는 기부가 각 봉, (b)는 기부가 각진 파이프, (c)는 기부가 H형 재료인 예이다.7 is a cross-sectional view of various bases in which a support member having a suction hole in a middle row and two support members are arranged on both sides of a support according to the present invention, (a) a base being each rod, and (b) a base being angled Pipe, (c) is an example where the base is an H-shaped material.
도 8은, 본 발명의 지지체에 있어서 가운데 열에 수지제 지지부재와 양측에 2열의 합성고무제 지지부재를 배치한 각종 기부의 단면도이고, (d)는 C형 재료, (e)는 지지부재를 구비한 판편을 가지는 각진 파이프, (f)는 흡착을 가지고 또한 경사진 정상부의 지지부재를 구비한 예이다.Fig. 8 is a cross-sectional view of various bases in which a support member made of resin is arranged in a middle row and two rows of synthetic rubber support members are arranged on both sides of a support of the present invention, (d) is a C-type material, and (e) is a support member. (F) is an example provided with the support member of the top part which has adsorption and inclined, and has the plate piece provided.
도 9는, 본 발명의 2개의 기부를 가지는 엔드 이펙터에, 높은 지지부재와 낮은 지지부재를 설치해서 좌우 측변의 아래로 드리워짐을 적게 한 유리판을 적재한 예의 사시도이다.Fig. 9 is a perspective view of an example in which a glass plate having a high support member and a low support member attached to the end effector having two bases of the present invention with less drooping down the left and right sides is mounted.
도 10은, 본 발명의 2개의 기부를 가지는 엔드 이펙터의 사시도이고, 높이가 다른 2열의 지지부재를 구비한 판편이 있는 각진 파이프를 기부로 하는 예이다.Fig. 10 is a perspective view of an end effector having two bases of the present invention, and is an example in which a plate-shaped angled pipe having two rows of supporting members having different heights is used as the base.
도 11은, 본 발명의 엔드 이펙터가 종래의 빗살형상 기부를 갖는 유리기판 수납용 카세트내에서 유리기판을 지지하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.Fig. 11 is a cross-sectional view showing a state in which the end effector of the present invention supports a glass substrate in a glass substrate storage cassette having a conventional comb-shaped base.
도 12는, 본 발명의 카세트의 일례를 나타내는 사시도이다.12 is a perspective view showing an example of the cassette of the present invention.
도 13은, 도 12의 카세트의 단면도이고 유리기판을 수납하고 있는 예이다.FIG. 13 is a cross-sectional view of the cassette of FIG. 12 and is an example of storing a glass substrate.
도 14는, 본 발명의 유리기판 수납용 카세트의 다른 예의 사시도이다.14 is a perspective view of another example of the glass substrate storage cassette of the present invention.
도 15는, 안쪽에 빗살형상으로 복수의 기부를 갖는 본 발명의 유리기판 수납용 카세트의 입면도이다.Fig. 15 is an elevation view of a glass substrate storage cassette of the present invention having a plurality of bases in a comb-tooth shape inside.
도 16은, 종래의 엔드 이펙터와 종래의 대형 카세트를 조합한 예의 평면도이다.16 is a plan view of an example in which a conventional end effector is combined with a conventional large cassette.
이하에, 본 발명의 최량의 실시형태의 예를 도 1에서 도 15에 기초해서 설명한다. 또한, 이하의 실시형태는 본원 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 즉 당업자이면 본원 발명의 원리의 범위에서 다른 실시형태를 채용하는 것이 가능하다.Below, the example of the best embodiment of this invention is demonstrated based on FIG. In addition, the following embodiment does not limit the scope of the present invention. That is, those skilled in the art can adopt other embodiments within the scope of the principles of the present invention.
도 1은, 본 발명의 박판가공 시스템의 일례로서의, 액정기판의 화학처리 시스템을 나타낸다. 이 실시예의 가공처리 시스템에서는, 엔드 이펙터(1)를 암(21)에 핸드로서 탑재한 로보트형 반송기(2)가, 박판인 유리기판(6)을 카세트(5)로부터 꺼내서 현상 등의 가공처리장치(4)에 투입한다. 다음에, 가공처리종료 후, 로보트형 반송기(2)가 유리기판(6)을 가공장치(4)로부터 꺼내서 카세트(5)에 반송하여, 카세트(7)안의 선반단에 적재한다. 또한, 이 카세트는 도 12에 기재된 본 발명의 박판지지체이다.1 shows a chemical treatment system for a liquid crystal substrate as an example of the thin plate processing system of the present invention. In the processing system of this embodiment, the robot-
도 2는, 본 발명의 박판반송용 엔드 이펙터의 일실시예이고, 수평방향 돌기부(12)를 가지는 엔드 이펙터(1)를 카세트(5)내에서 유리기판의 아래에 삽입한 상 태를 나타내는 평면도이다. 2개의 기부(11)는 각각 장척형상인 거의 직사각형으로 성형하고, 그들의 기부(11)의 외측부에 수평방향 돌기부(12)를 각각 5개씩 설치했다. 각 기부(11)의 표면에는 합성고무제 지지부재(14)를 각 수평방향 돌기부(12)에 1개씩, 기부(11)의 내측부에 수지제 지지부재(15)를 3개, 진공흡착구(13)를 2개 부착하고, 또 각 이펙터 주요부(11)의 밑둥에는, 카세트(5)나 유리기판(6)을 검출하기 위한 센서(17)(이 예에서는 반사형 센서)를 1개 부착했다. 같은 높이에 있는 2개의 기부(11)의 상부 표면을 기준면으로 하면, 각 지지부재(13, 14, 15)의 높이는 모두 같다.Fig. 2 is an embodiment of the end effector for thin plate conveyance of the present invention, and a plan view showing the
본 실시예의 전에, 빗살형상 핀(51)이 긴 대형의 카세트(5)에 적합시키기 위해서, 2개의 직사각형의 기부(11)에만 지지부재(14)나 지지부재(15)를 배치해서 유리기판을 엔드 이펙터(1)에 적재해도 도 4(c)와 같이 1개의 산으로밖에 되지 않았지만, 지지부재(14)를 구비한 수평방향 돌기부(12)를 설치하여, 빗살형상 핀(51)의 선단으로부터 안쪽까지 돌출시킴으로써 지지부재(14)의 열과 지지부재(15)와 지지부재(13)의 열상에 유리기판이 2개의 능선부를 형성하여 휘어서, 휘어짐량은 대폭 감소했다.Before the present embodiment, in order to fit the
또한, 수평방향 돌기부(12)와 빗살형상 핀(51)은 같은 높이에서는 서로 간섭하므로, 엔드 이펙터(1)를 카세트(5)에 삽입할 경우는 상하방향에 있는 빗살형상 핀(51) 사이에 삽입하여 빗살형상 핀(51)의 수평방향 사이에 정지하고, 다음에 위로 이동시켜서 유리기판을 들어올린다. 이 적재동작에 의해 카세트(5)의 빗살형상 핀(51)상에서 중앙부가 골짜기형상으로 휜 유리기판이, 엔드 이펙터의 기부(11)상 에서 낮은 능선부를 형성해서 대폭 휘어짐량이 감소하여, 외견으로는 플랫형상이 된다. 유리기판을 카세트로부터 빼낼 때는, 상하방향에 있는 빗살형상 핀(51) 사이를 엔드 이펙터(1)가 수평이동한다. 유리기판을 카세트에 삽입할 때는 이 동작의 반대를 행하면 된다. In addition, since the
도 2에 나타내는 실시예의 구체예로서, 카세트(5)에 유리기판(6)을 수납하기 위한 엔드 이펙터(1)를 하기 치수로 설계 제작했다. 재료는 피치계 탄소섬유 복합재료이다.As a specific example of the embodiment shown in FIG. 2, the
<카세트(5)의 내측 치수><Inner dimension of the
전면의 폭(frontage) 1126㎜×높이 900㎜×깊이 1300㎜, Frontage 1126 mm x height 900 mm x depth 1300 mm,
<기판지지체의 빗살형상 핀(51)의 치수와 수><Dimensions and Number of Comb-Shaped
빗살형상 핀:길이 233㎜×폭 15㎜×높이 14㎜의 핀 24개, 선단에 합성고무제 캡 있음.Comb-shaped pins: 24 pins of length 233 mm x
각 빗살형상 핀의 간격(안 치수):22㎜, Spacing (inner dimensions) of each comb-shaped pin: 22 mm,
기판지지체:11세트를 양옆 내면 및 안쪽 내면에 세로로 해서 배열 설치, Board support: Arrange and install 11 sets vertically on both inner and inner sides
<액정표시기용 유리기판><Glass substrate for liquid crystal display>
치수:옆 1100㎜×세로 1250㎜×두께 0.6㎜, 카세트내에서의 하방 휘어짐:13㎜Dimensions: 1100mm in width X 1250mm in height X thickness 0.6mm, downward bending in cassette: 13mm
<엔드 이펙터><End effector>
기부(11):폭 54㎜×두께 10㎜×길이 1037㎜, 2개, Base 11: width 54 mm x thickness 10 mm x length 1037 mm, two,
수평방향 돌기부(12):폭 30㎜×길이 28㎜×두께 5㎜, Horizontal projection 12: width 30 mm x length 28 mm x
엔드 이펙터 밑둥부:폭 640㎜×깊이 약 300㎜, End effector base part: 640mm in width X approximately 300mm in depth,
2개의 기부의 내측 간격:456㎜로 평행 배치.Inner spacing of two bases: arranged in parallel at 456 mm.
<지지부재의 배치><Arrangement of support member>
배치위치는 도 2에 나타낸다. 합성고무제 지지부재(14), 합성수지제 지지부재(15), 진공흡인구를 가지는 흡착지지부재(13)를 배치하고, 또 이펙터 밑둥부에 센서(17)를 설치했다.The arrangement position is shown in FIG. A synthetic
이펙터 기부 내측 지지부재 열 간격:472㎜, Effector base inner support member row spacing: 472 mm,
2개의 이펙터 기부 외측(수평방향 돌기부 위) 지지부재 열간거리:608㎜.Distance between two effector bases (on horizontal projections) Support member hot distance: 608 mm.
상기 치수의, 도 2에 나타내는 실시예의 엔드 이펙터(1)를 사용해서 그 중앙부에 상기 유리기판(6)을 지지하면, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 유리기판(6)은 2개의 산형상으로 휘고, 최상부와 최저부의 고저차(hb)는 4.3㎜였다. 또한, 엔드 이펙터(1) 자체의 휘어짐은 3.1㎜이고, 합계 7.5㎜이며, 카세트(5)의 상하의 빗살형상 핀(51) 사이의 22㎜의 간극에 대해서, 수평돌기부(12)는 유리기판(6)을 적재하여 이들 핀을 지장없이 교환해서 유리기판(6)을 반입 반출할 수 있었다.When the
<비교예>Comparative Example
도 2에 있어서, 수평돌기부(12)를 형성하지 않고 기부(11)상의 외측에 지지부재(14)를 옮겨 도시생략한 엔드 이펙터를 제작했다. 따라서, 2개의 기부(11)의 외측에 지지부재(14)가 늘어 놓아지는 열의 간격이 작아져 552㎜이다. 유리기판(6)을 이것에 적재한 결과 도 4(c)에 나타내는 바와 같은 1개의 산으로 휘어서, 지지부재(15)의 위치에서는 떠오르고, 최정상부와 최저부의 고저차(hc)는 39㎜이며, 엔 드 이펙터(1) 자체의 휘어짐은 3.8㎜였다. 따라서, 상하의 핀(51) 사이는 22㎜이므로 카세트(5)로의 반입반출을 할 수 없는 결과가 되었다.In FIG. 2, the
이렇게 해서, 상기 실시예와 비교예의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이 본 실시예의 엔드 이펙터를 사용함으로써, 유리기판(6)의 휘어짐을 39㎜에서 4.3㎜로 거의 9분의 1로 감소시킬 수 있었다. 또한, 대형 카세트에 다수장의 유리기판(6)을 더 수납할 수 있기 때문에, 액정표시기의 생산성 향상과 비용절감에 공헌할 수 있게 되었다.Thus, as can be seen from the results of the above examples and comparative examples, the warp of the
도 3에 나타내는 실시예는, 카세트(5)내의 유리기판 지지용 기부인 빗살형상 지지핀(51)이 짧고, 직사각형의 엔드 이펙터(1)의 2개의 기부(11)상에 설치한 합성고무제의 지지부재(14)의 열과, 수지제 지지부재(15)와 흡착구가 있는 지지부재(13)로 이루어지는 열상에, 유리기판(6)은 능선부를 형성해서 2개의 산형상으로 휘어진 예이다. 이 엔드 이펙터(1)에 의해서도 유리기판의 휘어짐은 1개의 산의 경우에 비해서 대폭 감소한 것이다.In the embodiment shown in FIG. 3, the synthetic rubber agent provided on the two
도 4(a) 및 (b)는, 본 발명의 실시예의 엔드 이펙터(1)를 수평으로 해서 각각 유리기판(6)을 지지한 상태를 나타내는 수직단면도이고, 유리기판(6)은 낮은 2개의 산형상으로 휘어지며, 고저차(ha, hb)는 비교예인 도 4(c)의 고저차(hc)보다 모두 작다. 여기서는 도 4(b)에, 도 2에서 나타낸 엔드 이펙터(1)의 연장방향으로 직각인 단면도이고, 엔드 이펙터의 기부(11)와 그 위의 같은 높이의 지지부재(14, 15) 위에 적재된 유리기판(6)이 2개의 산형상으로 휘어져 있는 상태를 나타낸다. 도 4(a)의 단면도는, 2개의 기부(11)의 외측에 설치한 수평돌기부(12)상에 높은 지 지부재(16)의 열과 기부(11)의 내측에 설치한 낮은 지지부재(18)의 열에 의해 유리기판은 2개의 산을 형성해서 휘어져 있는 상태를 나타낸다. 도 4의 (a)의 경우는, 지지부재의 높이를 바꾼다는 본 발명의 휘어짐을 감소시키는 수단에 의해서, (b)의 경우보다 한층 고저차가 작아져 ha<hb로 할 수 있었다.4 (a) and 4 (b) are vertical cross-sectional views showing a state in which the
도 5는 본 발명의 복수의 기부(11)에 유리기판을 적재한 박판지지체의 예이고, 기부(11)의 연장방향으로 직각인 단면도이다. 도 5(a)는 엔드 이펙터(1)가 3개의 기부(11)로 이루어지는 예이고, 도 5(b)는 기부(11)가 4개인 예이다. 여기서는 지지부재의 높이는 일정하게 해서 기부(11)에 부착하고, 기부(11) 자체의 높이를 바꾸어서 휘어짐를 감소시킨 예이며, 한 변이 2m 전후 혹은 이것을 초과하는 유리기판을 지지하기 위해서 유효한 것이다.5 is an example of a thin plate support on which a glass substrate is mounted on a plurality of
도 6은, 한 변이 1800㎜를 초과하는 유리판(6)을 3개의 기부(11)에 유리기판(6)을 적재한 본 발명의 박판지지체의, 기부연장방향으로 직각인 단면도이다. 중앙부의 기부(11)에는 합성고무제 지지부재(14)를 2열 같은 높이로 배치하고, 그 사이에 흡착구를 가지는 지지부재(13)의 열을 같은 높이로 배치하고 있다. 이 지지부재(13)는 휘어지는 유리판(6)의 능선부의 정점을 그 뒤에서 흡착하여 끌어당기고, 정점이 높아지지 않는 수단, 즉, 휘어짐을 감소시키는 수단이 실시되어 있다. 다음에, 양 사이드의 기부(11)에는 외측열에 통상의 지지부재(14)를 배치하고, 내측열에 흡착구를 가지는 지지부재(13)의 열을 배치해서, 그 위에서 유리기판(6)이 떠오르지 않도록 흡착하여 끌어당기며, 동시에 그 좌우의 끝이 늘어뜨려짐을 방지한 것으로, 여기에도 휘어짐을 감소시키는 수단이 실시되어 있다.Fig. 6 is a cross-sectional view perpendicular to the base extending direction of the thin plate support of the present invention, in which a
도 7에는, 각종 본 발명의 기부(11)에 지지부재(14)의 2개의 열과 흡착구를 가지는 지지부재(13)의 열과 배치된 예를 나타낸다.FIG. 7 shows an example in which two rows of the
(a)는 기부(11)가 단순한 각 봉이고, 구조가 가장 간단하고 비중이 비교적 가볍고 탄성율이 높은 세라믹 재료, 탄소섬유 강화재료, 유리섬유 강화재료 등을 사용해서 제작한다. 여기서 기부(11)는 두께가 얇은 판재여도 된다.(a) is made of each rod having a
(b)는 기부(11)가 각진 파이프이고, 가운데가 비어서 가볍기 때문에 대형 엔드 이펙터용으로 사용되는 것이다. 재질은 알루미늄 합금, 강재 등 금속이어도 좋지만 탄성율이 높은 탄소섬유 강화재료 등을 사용해서 제작하는 것이 바람직하다. 각진 파이프는 고강성을 유지하면서 경량화할 수 있어 비용절감도 가능하다.(b) is used for large end effectors because the
(c)는 기부가 H형 재료이고, 재질은 알루미늄 합금, 강재 등 금속이어도 되지만 탄성율이 높은 세라믹 재료, 탄소섬유 강화재료, 유리섬유 강화재료 등을 사용해서 제작하는 것이 바람직하고, 경량화에도 공헌한다.(c) The base may be an H-type material, and the material may be a metal such as aluminum alloy or steel, but it is preferable to fabricate using a high elastic modulus ceramic material, a carbon fiber reinforcing material, a glass fiber reinforcing material, etc., and contribute to weight reduction. .
도 8에는, 본 발명의 지지체에 있어서 가운데 열에 수지제 지지부재와 양측에 2열의 합성고무제 지지부재를 배치한 각종 기부의 단면도이고, 도 8(d)는 C형 재료이며, 재질은 알루미늄 합금, 강재 등 금속이어도 되지만, 탄성율이 높은 세라믹 재료, 탄소섬유 강화재료, 유리섬유 강화재료 등을 사용해서 제작하는 것이 바람직하고, 경량화, 비용절감에도 공헌한다.Fig. 8 is a cross-sectional view of various bases in which a support member made of resin is arranged in the middle row and two rows of synthetic rubber support members are arranged on both sides of the support of the present invention, and Fig. 8 (d) is a C type material, and the material is aluminum alloy. Although metal, such as steel, may be sufficient, it is preferable to manufacture using the high elastic modulus ceramic material, carbon fiber reinforced material, glass fiber reinforced material, etc., and it contributes to weight reduction and cost reduction.
(e)는 지지부재(14, 15)를 구비한 판편(19)을 가지는 각진 파이프의 예이고, 탄성율이 높은 세라믹 재료, 탄소섬유 강화재료, 유리섬유 강화재료, 혹은 이들을 조합시키거나 해서 제작하는 것이 바람직하며, 경량화, 비용절감에도 공헌한다.(e) is an example of an angled pipe having a
(f)는 흡착구를 가지고 또한 경사진 정상부의 지지부재(13)를 구비한 기부(11)의 예이고, 이것은 지면방향으로 가로로 길고, 박판의 경사진 휘어짐을 의도한 상태로 이끄는데 유효하다.(f) is an example of the base 11 having an adsorption port and having a
도 9는 도 3의 엔드 이펙터를 개량한 예를 나타내는 사시도이고, 이 엔드 이펙터의 연장방향으로 수직단면도인 도 4(a)에 상당한다. 즉, 2개의 기부(11)의 외측에 높은 지지부재(16)의 열과 기부(11)의 내측에 설치한 낮은 지지부재(18)의 열에 의해서 유리기판을 2개의 산 형상으로 휘어지게 하고 있다. 이 경우는, 지지부재의 높이를 바꾼다는 본 발명의 휘어짐을 감소시키는 수단에 의해서, 도 4의 (a), (b)를 비교해서 서술한 바와 같이, 도 3의 경우보다 한층 고저차를 작게 할 수 있었다.Fig. 9 is a perspective view showing an example in which the end effector of Fig. 3 is improved, and corresponds to Fig. 4 (a) which is a vertical sectional view in the extending direction of this end effector. That is, the glass substrate is bent into two mountain shapes by the row of the
도 10은, 도 9의 엔드 이펙터를 더욱 대형 유리판용으로 개량한 예를 나타내는 사시도이다. 즉, 2개의 기부(11)에 판편(19)을 5장씩 부착하고, 그 위의 외측에 높이 5㎜의 지지부재(16)의 예와 내측에 설치한 높이 4㎜의 낮은 지지부재(18)의 예(2개의 기부상의 각각의 지지부재(18)의 열간거리는 600㎜)에 의해서 유리기판을 2개의 산 형상으로 휘어지게 하고 있다. 이 경우는, 지지부재의 높이를 바꾼다는 본 발명의 휘어짐을 감소시키는 수단에 더해서, 1개의 기부상의 지지부재의 열간거리를 크게 해서 300㎜로 한다는, 휘어짐을 감소시키는 수단에 의해서, 도 3이나 도 9의 경우보다 한층 대판의 1800㎜×2200㎜×0.6㎜ 유리판의 고저차를 10㎜ 정도로 작게 해서 적재할 수 있었다. 본 도면의 엔드 이펙터는, 도 12에 나타내는 본 발명의 카세트나, 일본 특허공개 11-35089호 공보에서 제안되어 있는 카세트와 조합해 서 사용할 수 있다.FIG. 10 is a perspective view illustrating an example in which the end effector of FIG. 9 is further improved for a large glass plate. FIG. That is, five pieces of
도 11은 빗살형상 핀(51)이 있는 카세트(5)내에서, 본 발명의 엔드 이펙터(1)에 유리기판(6)을 적재한 장면의, 엔드 이펙터의 연장방향으로 직각인 단면도이다. 유리기판(6)은 카세트(5)내의 빗살형상 핀(51)상에서는, 중앙부가 골짜기형상으로 크게 휘어져 있다. 이 엔드 이펙터는 2개의 기부의 각각 내측 상부에 배열된 낮은 지지부재(18)와, 외측부에 설치된 수평방향 돌기부(12)의 상부에 배열된 높은 지지부재(16)가 특징이고, 도 2의 경우에 비해서 유리기판(6)의 좌우양단이 아래로 드리워짐은 적어졌다. 또한, 본 도면의 예에서는 지지부재(16)와 지지부재(18)의 정상면은 능선부가 의도한 경사가 되도록 설계하여, 그 경사에 맞추어져 있다.Fig. 11 is a cross-sectional view perpendicular to the extending direction of the end effector of the scene in which the
도 12는, 본 발명의 박판지지체가 유리기판 수납용 카세트(7)일 경우의 사시도이다. 유리기판을 도 12의 왼쪽 앞, 또는 오른쪽 안쪽 측으로부터 꺼내고 넣는다. 카세트(7)에 구비된 기부인 복수의 빔(52) 위에 지지부재가 2개씩 3세트가, 두정(頭頂)에 수지제 지지부재(15)를 설치한 봉재가 수직으로 배치되고, 전체 빔을 통해서 2열씩 3세트 배치되어 있다. 적재한 유리기판은 꺼내고 넣는 방향에서 빔(52)에 직각방향으로 능선를 형성시킴으로써, 카세트내에 있어서도 휘어짐량이 현저하게 적어졌다. 본 도면의 카세트는 한 변이 1m를 초과하거나, 두께가 0.6㎜ 이하인 휘어지기 쉬운 유리기판을 수납하는데 유효하다.12 is a perspective view when the thin plate support of the present invention is a glass
도 13은, 본 발명의 박판지지체가 유리기판 수납용 카세트(7)인 경우이고, 유리기판을 삽입 반출하는 방향으로부터 본 도 12의 단면도이다. 봉편(53)상에 같은 높이로 2열로 배치한 지지부재(15)상에 유리기판이 3개의 능선부를 형성해서 적 재되어 있다.Fig. 13 is a sectional view of Fig. 12 as seen from the direction in which the thin plate support of the present invention is a glass
도 14는, 본 발명의 전면의 폭 1m 전후의 유리기판 수납용 카세트(7)의 사시도이고, 도 2에서 사용한 카세트(5)를 다음과 같이 개조했다. 즉, 유리기판(6)을 적재하는 빗살형상 핀(51)의 선단에 카세트 중앙을 향해서 내려가는 경사를 낸 캡 형상의 본 발명의 지지부재(15)를 부착하고, 빗살형상 핀(51)과 같은 길이인 233㎜로 하여 안쪽의 면 중앙에 세로로 길이 350㎜의 빗살형상 핀(51)을 새롭게 설치했다.Fig. 14 is a perspective view of the glass
도 15는, 안쪽의 면의 중앙에 세로로 빗살형상 핀(51)을 배치한 도 14의 유리기판 수납용 카세트(5)의 단면도이다. 안쪽의 면 중앙에 세로로 길이 350㎜의 빗살형상 핀(51)을 새롭게 설치했다. 유리기판의 휘어짐량이 본 발명의 개량에 의해 2개의 산으로 휘어서 휘어짐량은 감소했다.FIG. 15 is a cross-sectional view of the glass
도 16은, 종래의 대형 카세트와 종래의 엔드 이펙터를 조합시킨 비교예의 평면도이다. 이 엔드 이펙터는 폭이 좁고, 유리판을 적재하면 도 4(c)와 같이 1개의 산이 되며, 고저차도 컸다.16 is a plan view of a comparative example in which a conventional large cassette is combined with a conventional end effector. This end effector was narrow, and when loading a glass plate, it became one mountain as shown in FIG.4 (c), and the height difference was also large.
이상, 도시예에 기초하여 설명했지만, 본 발명은 상술의 예에 한정되는 것은 아니고, 특허청구항의 범위에 기재된 범위내에서 적절하게 변경할 수 있다.As mentioned above, although demonstrated based on the illustration, this invention is not limited to the above-mentioned example, It can change suitably within the range as described in a claim.
본원 발명에 의하면, 자중에 의해 휘어버리는 액정표시기용 대형 유리기판 등의 박판을 반송하거나 적재할 때에, 박판이 복수의 산부 내지 능선부를 형성해서 휘도록, 복수의 지지부재를 기부상에 배치함으로써 이 휘어짐량을 작게 할 수 있었 다. 또한, 2개의 장척형상의 기부(11)상에 복수열의 지지부재의 열을 설치한 것 만으로는 복수의 능선부가 형성되지 않았을 경우, 기부(11)의 외측에 수평방향 돌기부(12)를 형성하고, 그 위에 지지부재(14)의 열을 배치하며, 이 기부(11)의 내측 상부에 지지부재(13, 15)를 부착하면, 2개의 기부(11)상의 유리기판에 각각 능선부가 발생했다. 또한, 1개의 능선부를 지지하는 지지부재의 열간거리를 넓힘으로써 이 휘어짐량을 더욱 감소시킬 수도 있었다.According to the present invention, when conveying or stacking a thin plate such as a large glass substrate for a liquid crystal display that is warped by its own weight, the plurality of support members are arranged on the base such that the thin plate forms and bends a plurality of peaks or ridges. The amount of warpage could be reduced. Further, when a plurality of ridges are not formed only by providing a plurality of rows of support members on two
또한, 복수의 산부 내지 능선부를 형성하도록 지지한 유리기판에서도 아래로 드리워짐에 차이가 있을 경우, 그것이 큰 측에 배치한 지지부재의 열의 높이를 그 반대측 열의 지지부재보다 높게 하면, 아래로 드리워짐이 들어 올려져 고저차는 감소한다.Also, if there is a difference in the draping down even in the glass substrate supported to form the plurality of the ridges or the ridges, if the height of the row of the supporting member disposed on the larger side is higher than that of the supporting member in the other row, the draping is lowered. This lift raises and lowers the level.
한 변이 2m 전후인 대형 유리기판의 경우는, 엔드 이펙터의 기부를 4개 이상으로 할 경우가 많지만, 본 발명의 외측에 돌기부를 설치한 엔드 이펙터는 이펙터 주요부에 수평방향 돌기부를 설치함으로써 2개 또는 3개로 감소시킬 수 있어 비용삭감에 기여할 수 있다.In the case of a large glass substrate having a side of about 2m, the base of the end effector is often 4 or more.However, the end effector provided with the protrusion on the outside of the present invention may be provided with two or more horizontal protrusions by installing the protrusion on the main part of the effector. It can be reduced to three, contributing to cost reduction.
또한, 본 발명의 박판지지체가 유리기판용 카세트일 때, 유리기판의 휘어짐량을 감소시킬 수 있기 때문에 카세트의 기부인 선반단수를 늘릴 수 있고, 생산성을 향상시킬 수 있으며, 혹은, 선반단수가 같으면 카세트의 높이를 낮게 할 수 있어, 경량화와 함께 비용절감을 실현할 수 있다.In addition, when the thin plate support of the present invention is a cassette for a glass substrate, the amount of warpage of the glass substrate can be reduced, so that the number of shelves which are the base of the cassette can be increased, productivity can be improved, or the number of shelves is the same. The height of the cassette can be made low, and the weight can be reduced and the cost can be realized.
또한, 본원 발명에 따른 엔드 이펙터에 유지되는 박판은 액정표시기용 유리기판에 한하지 않고 플라즈마 디스플레이용 유리기판, 플라스틱판, 금속판 등 온갖 박판형상물이어도 된다.In addition, the thin plate held in the end effector according to the present invention may be not only a glass substrate for liquid crystal display but also various thin plate-like objects such as a glass substrate for plasma display, a plastic plate, and a metal plate.
Claims (12)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020057024362A KR20060059906A (en) | 2005-12-19 | 2003-06-19 | Thin plate-supporting body |
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Cited By (3)
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WO2013022229A3 (en) * | 2011-08-08 | 2013-07-04 | Lee Sang Geun | Method for forming pattern on surface of board and pattern-formed board formed by method |
KR20190046512A (en) * | 2017-10-26 | 2019-05-07 | 주식회사 로보스타 | Robot hand for transporting film |
KR20200112392A (en) | 2019-03-22 | 2020-10-05 | 주식회사 로보스타 | Clamping apparatus for display panel film |
-
2003
- 2003-06-19 KR KR1020057024362A patent/KR20060059906A/en not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2013022229A3 (en) * | 2011-08-08 | 2013-07-04 | Lee Sang Geun | Method for forming pattern on surface of board and pattern-formed board formed by method |
KR20190046512A (en) * | 2017-10-26 | 2019-05-07 | 주식회사 로보스타 | Robot hand for transporting film |
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