KR20060041861A - 노광장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 노광광을 이용함으로써, 레티클의 패턴을 노광되어야 할 물체 상에 투영하는 투영광학계;유효광원의 형상을 판정하는 광학소자;상기 광학소자를 구동하는 구동유닛;유효광원의 형상 또는 대응하는 노광광의 형상을 측정하는 측정유닛;상기 측정유닛에 의한 측정결과에 의거하여 상기 구동유닛에 의한 상기 광학소자의 구동을 제어해서 유효광원의 형상을 조정하는 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 유효광원은 광축으로부터 제 1거리만큼 떨어진 제 1조명영역, 및 광축으로부터 상기 제 1거리와는 다른 제 2거리만큼 떨어진 제 2조명영역을 가진 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학소자는 회절광학소자를 포함하고,상기 제어기는 상기 회절광학소자의 구동을 제어해서 유효광원의 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학소자는 프리즘을 포함하고,상기 제어기는 상기 프리즘의 구동을 제어해서 유효광원의 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학소자는 주밍광학계를 포함하고,상기 제어기는 상기 주밍광학계의 구동을 제어해서 유효광원의 형상을 조정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광학소자는 형상이 가변적인 부채꼴 개구부를 가진 조리개를 가진 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,레티클을 유지하는 레티클스테이지를 더 포함하고,상기 측정유닛은:상기 레티클스테이지와 상기 투영광학계 사이에 배치되어, 노광광의 형상을 측정하는 검출기; 및레티클과 상기 투영광학계 사이의 공간에 검출기를 삽입하고 그로부터 제거하는 기구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,물체를 유지하는 스테이지를 더 포함하고,상기 측정유닛은, 상기 스테이지 상에 배치되어, 노광광의 형상을 측정하는 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1항에 있어서,상기 패턴에 적합한 유효광원의 형상을 표시하는 제 1정보, 및 유효광원의 형상을 조정하는 데에 필요한 상기 구동유닛에 의한 구동을 표시하는 제 2정보를 저장하는 메모리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 노광광을 이용함으로써 레티클의 패턴을 노광되어야 할 물체 상에 투영하는 투영광학계;레티클을 유지하는 레티클스테이지; 및상기 레티클스테이지와 상기 투영광학계 사이에 배치되어, 노광광의 형상을 검출하는 검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 노광광을 이용함으로써 레티클의 패턴을 노광되어야 할 물체 상에 투영하는 투영광학계; 및유효광원의 형상을 판정하는 광학소자;를 포함하는 노광장치로서,상기 광학소자는:노광광의 형상을 소정의 형상으로 변환하는 회절광학소자; 및상기 회절광학소자로부터의 노광광의 형상을 회전대칭인 형상으로 변환하는 광디플렉터;를 포함하고,상기 소정의 형상은 광축으로부터 제 1거리만큼 떨어진 제 1조명영역, 및 광축으로부터 상기 제 1거리와는 다른 제 2거리만큼 떨어진 제 2조명영역을 가진 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 11항에 있어서,상기 광디플렉터는 노광광의 형상을 광축 주위에 이동시키는 프리즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 11항에 있어서,상기 광디플렉터는 노광광의 형상을 확대하거나 축소하는 주밍광학계를 포함 하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 레티클의 패턴을 노광광을 사용하는 투영광학계를 개재해서 노광되어야 할 물체 상에 전사하는 노광방법으로서,상기 노광방법은:유효광원의 형상의 정보를 획득하는 공정;상기 정보에 의거해서 물체 상에 전사되어야 할 패턴의 화상성능을 연산하는 공정; 및연산된 화상성능에 의거하여 유효광원의 형상을 판정하는 광학소자를 구동하는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광방법.
- 제 14항에 있어서,상기 연산공정은 유효광원의 형상의 정보 및 투영광학계의 화상성능에 의거하여 물체 상에 전사되어야 할 패턴의 화상성능을 연산하는 것을 특징으로 하는 노광방법.
- 제 14항에 있어서,상기 연산공정은 유효광원의 형상의 정보 및 광학근접효과의 정보에 의거하여 물체 상에 전사되어야 할 패턴의 화상성능을 연산하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.
- 제 14항에 있어서,상기 획득공정은 테스트노광으로부터 획득된 유효광원의 상을 측정함으로써 유효광원의 형상의 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 노광방법.
- 제 10항에 기재된 노광장치를 사용해서 물체를 노광하는 공정; 및노광된 물체를 현상하는 공정;을 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
- 노광광을 이용함으로써 레티클의 패턴을 노광되어야 할 물체 상에 투영하는 투영광학계;유효광원의 형상을 판정하는 광학소자;상기 광학소자를 구동하는 구동유닛;유효광원의 형상 또는 대응하는 노광광의 형상; 및상기 측정유닛에 의한 측정결과에 의거해서 물체에 전사되어야 할 패턴의 화상성능을 연산하고, 상기 연산된 화상성능에 의거하여 유효광원의 형상을 판정하는 광학소자의 구동을 제어하는 제어기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
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