KR20060034043A - 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법 - Google Patents

Abstract

레이저 빔의 에너지 균일성을 향상시킨 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법이 개시된다. 발진부는 레이저를 발진하고, 분할부는 발진된 레이저를 분할하며, 제1 렌즈부는 분할부와 대향하고, 분할된 레이저를 투과시키며, 두 개 이상의 코팅층은 제1 렌즈부 상에 서로 다른 두께나 굴절률을 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성된다. 이에 따라, 레이저의 경로가 서로 다르도록 변환함으로써 조사면에서 균일한 에너지를 갖는 선형 빔을 형성할 수 있다.

펄스 발진, 엑시머 레이저, 선형 빔, 빔 호모지나이저

Description

레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법{APPARATUS FOR PROJECTING LASER AND METHOD FOR PROJECTING LASER USING THEREOF}

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 조사 장치의 측면도이다.

도 2a 내지 도 2c는 두께가 다른 코팅층을 지나는 광의 경로차를 나타내는 개략도들이다.

도 3a 내지 도 3c는 굴절률이 다른 코팅층을 지나는 광의 경로차를 나타내는 개략도들이다.

도 4a 및 도 4b는 도 1의 코팅된 렌즈의 각 실시예에 따른 확대 측면도들이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 레이저 발진부 200 : 빔 호모지나이저

300 : 제1 렌즈부 400 : 제2 렌즈부

500, 700 : 조사면 600 : 코팅층

800 : 광

본 발명은 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레이저의 에너지 균일도를 증가시키기 위한 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 단결정 반도체막을 사용한 TFT는 다결정 반도체막을 사용한 TFT보다, 또 다결정 반도체막을 사용한 TFT는 비정질 반도체막을 사용한 TFT보다 전계효과 이동도가 높기 때문에 고속동작이 가능하다.

그런데, 반도체장치에 사용하는 기판은, 비용면에서 단결정 실리콘기판보다도 유리기판이 유리하다. 따라서 비정질 반도체막을 다결정 혹은 단결정 반도체막으로 변경하는 기술들이 개발되어 왔으며, 이에는 열처리 방법과 레이저 어닐링(annealing) 방법 등이 있다.

그런데 유리기판은 내열성이 떨어지고 열변형이 쉽게 이뤄진다. 그 때문에, 유리기판 상에 폴리실리콘 TFT를 형성하는 경우에 있어서, 반도체막의 결정화에 열처리 방법보다 레이저 어닐링(annealing)을 사용하는 것이 유리기판의 열변형을 피하는 데 상당히 효과적이다. 여기서 '레이저 어닐링법'이란, 발진된 레이저를 기판상에 형성된 반도체막에 조사하여 반도체막을 결정화시키는 방법 혹은 결정 구조를 갖는 반도체막(결정성 반도체막)의 결정성을 향상시키는 방법을 말한다.

이에 적용되는 레이저 발진장치는, 엑시머 레이저로 대표되는 가스레이저 발진장치, 야그(YAG)레이저로 대표되는 고체레이저 발진장치이다. 이러한 장치는 레이저광의 조사에 의해서 반도체의 표면층을 수십 나노초(㎱) 내지 수십 마이크로초(㎲) 정도의 극히 짧은 시간 동안 가열하여 결정화시키는 것으로서 알려져 있다. 레이저빔은, 그 발진 방법에 의해, 펄스 발진과 연속 발진의 2종류로 분류된다.

상기 펄스 발진 레이저는 출력 에너지가 비교적 높기 때문에, 빔 스폿(spot)의 크기를 수 cm² 이상으로 하여 양산성을 높일 수 있다. 특히, 빔 스폿의 형상을 광학계를 사용하여 가공하고 길이 10cm이상의 선형으로 하면(이를 선형 빔이라 한다), 기판에 대한 레이저광의 조사를 효율적으로 행할 수 있고 그 양산성을 더욱 높일 수 있다. 따라서, 반도체막을 결정화함에 있어서, 펄스 발진의 레이저를 사용하는 것이 주류로 되고 있다.

펄스 발진된 레이저를 이용한 어닐링에 있어서, 조사면을 따라서 레이저 빔의 에너지 분포가 균일한 선형 빔을 형성하기 위해 빔 호모지나이저(beam homogenizer)가 이용된다. 그러나 레이저의 높은 간섭성(coherence) 때문에 선형 빔의 장축 및 단축으로 스펙클(speckle)이 발생함으로 인해 조사면에서 레이저의 에너지 분포가 완전히 균일하지는 못해 결국 결정의 균일성 감소로 이어진다.

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에 착안한 것으로, 본 발명의 목적은 에너지가 균일한 선형 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기한 레이저 조사 장치를 이용한 레이저 조사 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위하여 일실시예에 따른 레이저 조사 장치는 발진부, 분할부, 제1 렌즈부, 코팅층 및 제2 렌즈부를 포함한다. 상기 발진부는 레이저를 발진하고, 상기 분할부는 상기 발진된 레이저를 분할하며, 상기 제1 렌즈부는 상기 분할부와 대향하고, 상기 분할된 레이저를 투과시킨다. 상기 코팅층은 두 개 이상으로 이루어져, 상기 제1 렌즈부 상에 서로 다른 두께를 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성되고, 상기 제2 렌즈부는 상기 제1 렌즈부와 대향하고, 상기 제1 렌즈부를 투과한 레이저를 조사면에서 합성하도록 투과시킨다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위하여 다른 실시예에 따른 레이저 조사 장치는, 발진부, 분할부, 제1 렌즈부, 코팅층 및 제2 렌즈부를 포함한다. 상기 발진부는 레이저를 발진하고, 상기 분할부는 상기 발진된 레이저를 분할하며, 상기 제1 렌즈부는 상기 분할부와 대향하고, 상기 분할된 레이저를 투과시킨다. 상기 코팅층은 두 개 이상으로 이루어져, 상기 제1 렌즈부 상에 서로 다른 굴절률을 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성되고, 상기 제2 렌즈부는 상기 제1 렌즈부와 대향하고, 상기 제1 렌즈부를 투과한 레이저를 조사면에서 합성하도록 투과시킨다.

상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위한 일실시예에 따른 레이저 조사 방법은, 레이저를 발진하는 단계, 상기 발진된 레이저를 분할하는 단계, 상기 분할된 레이저의 경로가 서로 다르도록 변환하는 단계, 및 상기 변환된 레이저를 합성하는 단계를 포함한다.

이러한 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 레이저 조사 방법에 의하면, 서로 다른 두께를 갖거나 혹은 서로 다른 굴절률을 갖는 코팅층이 형성된 렌즈에 분할된 레이저 빔을 투과시킴으로써, 조사면에서 균일한 에너지를 갖는 선형 빔을 형성할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 레이저 조사 장치의 측면도이다.

도 1을 참조하면, 레이저 조사 장치는 레이저 발진부(100), 분할부(200), 코팅층이 형성된 제1 렌즈부(300), 및 제2 렌즈부(400)로 이루어져 있다.

상기 레이저 발진부(100)는 출력에너지가 비교적 높기 때문에, 빔 스폿(spot)의 크기를 수 cm² 이상으로 하여 양산성을 높일 수 있는 펄스 레이저 발진 장치를 주로 쓴다. 이때 서로 조합된 두 개의 펄스 발진 장치가 사용될 수도 있다.

상기 레이저는 엑시머 레이저로 대표되는 가스레이저나, 야그(YAG) 레이저로 대표되는 고체레이저가 사용될 수 있다. 상기 야그(YAG) 레이저는 레이저 어닐링 장치에 쓰일 경우, 상기 엑시머 레이저에 비해 비정질 실리콘막을 결정화하는데 그 결정립을 보다 크게 할 수 있는 장점이 있다. 그러나, 상기 엑시머 레이저는 선형 빔에서 코히어런스(coherence) 길이가 상기 야그(YAG) 레이저에 비해 짧다는 장점이 있다.

본 발명에서는 불화크롬(KrF), 불화크세논(XeF)이나 염화크세논(XeCl) 등의 기체를 이용한 엑시머 레이저를 위주로 설명되나, 야그(YAG) 레이저 등 고체레이저에도 적용될 수 있음은 자명하다.

상기 레이저 발진부(100)에는 발진되는 레이저 빔의 조사면(500)에서 빔 스 폿을 가공할 수 있는 광학계(미도시)가 조합된다. 상기 레이저 발진부(100)로부터 사출된 레이저 빔(110)의 형상은, 로드(rod) 형상에 따라 원형이나 직사각형 모양 등이 될 수 있는데, 상기 사출된 레이저 빔(110)은 광학계(미도시)에 의해 조사면(500)에서 원하는 형상으로 만들어질 수 있다.

이때, 상기 광학계(미도시)에는 상기 레이저 빔(110)을 분할하여 투과시키는 기능을 하는 분할부인 빔 호모지나이저(200)가 조합된다. 상기 레이저 발진부(100)로부터 발진된 상기 레이저 빔(110)이, 상기 광학계(미도시)에 의해 줄무늬(stripe) 등의 형상을 갖고 상기 빔 호모지나이저(200)를 투과하면서 몇 개의 균일한 레이저 빔으로 분할되며, 이는 상기 조사면(500)에서 균일한 줄무늬 형상을 갖는 레이저 빔으로 합성된다.

도 1에서 상기 레이저 빔(110)은 상기 빔 호모지나이저(200)에 의해 5개의 빔으로 분할되고 이는 상기 조사면(500)에서 선형 빔으로 재합성된다.

상기 빔 호모지나이저(200)를 통과한 상기 레이저 빔(110)은 서로 다른 두께의 줄무늬 형상으로 나란히 코팅된 코팅층(320)과 상기 코팅층(320)이 형성되어있는 렌즈(310)로 구성되는 제1 렌즈부(300)를 투과한다. 이때, 상기 렌즈(310)는 바람직하게는 평면 렌즈가 사용되며, 상기 빔 호모지나이저(200)와 대향하게 형성된다.

상기 코팅층(320)은 상기 레이저 빔(110)이 줄무늬 형상을 가지는 선형 빔인 경우, 그 길이 방향(장축 방향)과 평행하게 형성될 수도 있고 혹은 그와 수직한 너비 방향(단축 방향)과 평행하게 형성될 수도 있다. 이때 상기 빔 호모지나이저 (200)를 통해 상기 레이저 빔(110)이 5개의 빔으로 분할되었으므로, 상기 코팅층(320)도 5개의 서로 다른 두께를 갖는 것으로 형성됨이 바람직하다.

상기 레이저 빔(110)이 상기 빔 호모지나이저(200)를 통과하여 상기 조사면(500)에서 합성될 때, 균일하게 합성되는 것이 바람직하지만, 상기한 대로 레이저 빔의 높은 간섭성 때문에 스펙클이 형성되며 이를 해결하기 위한 것이 바로 서로 다른 두께를 갖는 상기 코팅층(320)이 형성된 상기 제1 렌즈부(300)이다. 이는 도 2 및 도 3을 통해 설명된다.

도 2a 내지 도 2c는 두께가 다른 코팅층을 지나는 광의 경로차(광로차)를 나타내는 개략도들이다. 특히, 도 2a는 두께가 제1 두께(d1)인 코팅층을 지나는 광의 경로를 나타내는 개략도이고, 도 2b는 두께가 제2 두께(d2)인 코팅층을 지나는 광의 경로를 나타내는 개략도이며, 도 2c는 도 2a와 도 2b를 오버레이 시킨 개략도이다.

도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 공기 중을 지나는 광(800)이 코팅층(600)을 투과하면서 그 굴절률에 따라 굴절되고, 다시 공기 중으로 사출되는데, 이때 제1 두께(d1)의 코팅층(600)을 투과하는 광(810)과 제2 두께(d2)의 코팅층(600)을 투과하는 광(820) 사이에는 조사면(700)에 도달할 때까지 제1 길이(L1)와 제2 길이(L2)의 차이만큼의 광로차가 발생된다.

도 3a 내지 도 3c는 굴절률이 다른 코팅층을 지나는 광로차를 나타내는 개략도들이다. 특히, 도 3a는 제1 굴절률(n1)을 갖는 코팅층을 지나는 광의 경로를 나타내는 개략도이고, 도 3b는 제2 굴절률(n2)을 갖는 코팅층을 지나는 광의 경로를 나타내는 개략도이며, 도 3c는 도 3a와 도 3b를 오버레이 시킨 개략도이다.

도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 도 2a 내지 도 2c와 마찬가지로 광(800)이 코팅층(600)을 투과하면서 굴절되고 다시 공기중으로 사출되어 조사면(700)에 도달한다. 다만 도 2a 내지 도 2c는 서로 다른 두께를 갖는 코팅층을 투과하는 광로차를 도시하는 반면, 도 3a 내지 도 3c는 두께는 같으나 서로 다른 굴절률을 갖는 코팅층을 투과할 경우의 광로차를 도시한다. 즉, 상기 코팅층(600)의 굴절률이 각각 제1 굴절률(n1)과 제2 굴절률(n2)일 때, 각 코팅층(600)을 투과하는 광(810, 820)사이에는 제1 길이(L1)와 제2 길이(L2)의 차이만큼의 광로차가 발생한다.

상기 광로차는 상기 코팅층(600)에 이와 굴절률이 다른 물질, 예를 들어 렌즈가 접해 있어도 마찬가지로 발생한다. 결국 광이 서로 다른 두께를 갖거나, 또는 서로 다른 굴절률을 갖는 코팅층이 형성된 렌즈를 투과할 경우엔 광로차가 생기게 된다. 따라서, 동일한 광이 분할되어 서로 다른 두께나 굴절률을 갖는 코팅층이 형성된 렌즈를 투과한 후 조사면에서 합성될 때, 상기 광로차에 의해 서로에 의한 간섭 효과가 줄어들게 된다.

도 4a 및 도 4b는 도 1의 코팅된 렌즈의 각 실시예에 따른 확대 측면도들이다. 특히, 도 4a는 코팅된 렌즈의 두께가 서로 다른 경우를 도시하고, 도 4b는 코팅된 렌즈의 굴절률이 서로 다른 경우를 도시한다.

도 4a를 참조하면, 평면 렌즈(310)에 서로 다른 두께를 갖는 코팅층(320a)이 형성되어 있고, 도 4b를 참조하면, 평면 렌즈(310)에 서로 다른 굴절률을 갖는 코팅층(320b)이 형성되어 있다. 각각의 경우 상기 빔 호모지나이저(200)를 통과한 상 기 레이저 빔(110)이 상기 코팅층(320) 및 평면 렌즈(310)를 투과하면서 경로차가 발생하며, 그로 인해 상기 조사면(500)에서 합성될 때 간섭 효과가 줄어들게 된다.

이때, 상기 레이저 빔(110)의 경로차는 간섭에 의한 코히어런스 길이보다 클 경우에 상기 간섭 효과가 현저하게 줄어들게 되므로, 코팅층을 형성할 때 유의해야 한다.

또 이와 같은 이유에서, 일반적으로 야그(YAG) 레이저 등 고체레이저는 엑시머 레이저에 비해 코히어런스 길이가 길기 때문에 상기 코팅층의 두께나 굴절률 차이가 더 커야 하므로, 본 발명은 엑시머 레이저를 사용할 경우 보다 작은 두께나 굴절률 차이를 가지고 간섭 효과를 보다 효과적으로 감소시킬 수 있다.

상기한 경로차 형성을 위해 서로 다른 두께의 렌즈를 합착해서 상기 코팅층이 형성된 렌즈를 대용할 수도 있을 것이나, 그렇게 되면 접착면의 열손상이나 간섭의 문제가 발생할 수 있는 바 본 발명에 비해 그 효율성이 떨어진다.

상기 코팅층은 동일 재질의 코팅층을 두께만 다르게 형성시키는 바 렌즈에 간단히 형성시킬 수 있다. 이런 관점에서 굴절률이 다른 코팅층을 형성시키는 본 발명의 다른 실시예에 비해, 두께만 다른 동일 재질의 코팅층을 형성시키는 방법이 보다 간편하고 효율적일 수 있다.

한편, 선형 레이저 빔의 경우 길이 방향(장축 방향)과 이와 수직한 너비 방향(단축 방향)에 있어서 각각 상기 간섭에 의한 스펙클이 발생하며, 따라서 각 방향에 대한 간섭 효과 감소가 필요하다.

상기한 코팅층(320)을 선형 빔의 장축 방향과 평행하고, 서로 나란하게 줄무 늬 형상으로 형성시킬 경우엔, 상기한 빔 호모지나이저(200)에 의해 단축 방향으로 분할된 상기 레이저 빔(110)이 각각 서로 다른 두께나 굴절률을 갖는 코팅층(320)을 투과하여 상기 조사면(500)에서 합성되므로 단축 방향의 간섭 효과 감소 효과가 나타나게 된다. 이 경우는 물론, 상기 빔 호모지나이저(200)는 상기 단축 방향으로 상기 레이저 빔(110)을 분할하도록 형성되어야 한다.

마찬가지로, 상기한 코팅층(320)을 선형 빔의 단축 방향과 평행하고, 서로 나란하게 줄무늬 형상으로 형성시킬 경우엔, 상기한 빔 호모지나이저(200)에 의해 장축 방향으로 분할된 상기 레이저 빔(110)이 각각 서로 다른 두께나 굴절률을 갖는 코팅층(320)을 투과하여 상기 조사면(500)에서 합성되므로 장축 방향의 간섭 효과 감소 효과가 나타나게 된다. 이 경우도 물론, 상기 빔 호모지나이저(200)는 상기 장축 방향으로 상기 레이저 빔(110)을 분할하도록 형성되어야 한다.

상기 코팅된 제1 렌즈부(300)를 투과한 상기 레이저 빔(110)은 이와 대향해서 형성된 제2 렌즈부(400)를 통과하면서 상기 조사면(500)에서 재합성된다. 이때 상기 제2 렌즈부(400)는 일반적으로 상기 제1 렌즈부(300)와 대향하는 부분이 볼록하고, 상기 조사면(500)과 대향하는 부분이 편평한 평볼록렌즈가 사용된다.

상기한 대로 본 발명 레이저 조사 장치는 상기한 레이저 발진부(100), 분할부(200), 코팅층(320)이 형성된 제1 렌즈부(300), 및 제2 렌즈부(400)로 구성되어, 상기 레이저 조사 장치를 통해 조사된 상기 레이저 빔(110)은 조사면(500)에서 균일한 에너지를 갖게 된다.

상기 레이저 조사 장치에서 상기 레이저 빔(110)을 비정질 실리콘막에 조사 하는 경우는 상기한 다결정 혹은 단결정 실리콘막으로 변형시킬 수 있다. 이를 레이저 어닐링 방법이라고 하며, 상기한 대로 조사면(500)에서 형성되는 결정의 균일성을 향상시키기 위해 상기 코팅층(320)이 형성된 제1 렌즈부(300)를 통해 상기 레이저 빔(110)을 투과시킴으로써 간섭 효과를 줄여 목적 달성이 가능하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 레이저 조사 장치에 있어서, 분할부와 제2 렌즈부 사이에 서로 다른 두께나 굴절률을 갖는 코팅층을 형성한 제1 렌즈부를 삽입함으로써, 상기 분할부를 통과하면서 분할된 각 레이저 빔에 경로차를 두어, 조사면에서 재합성되는 레이저 빔의 간섭 효과를 줄여 에너지 분포가 균일하게 되는 효과를 가지게 된다.

상기 레이저가 엑시머 레이저인 경우는 특히 야그(YAG) 레이저 등 고체레이저인 경우보다 상기 코팅층의 두께나 굴절률 차이를 보다 적게 해도 상기 간섭 감소 효과를 가질 수 있다. 또 상기 레이저 빔 형태가 선형인 경우는 장축이나 단축 모두 상기한 방법에 의해 간섭 감소 효과를 가질 수 있다.

또, 상기 레이저 조사 장치 및 방법에 의해 비정질 실리콘막에 상기 레이저를 조사함으로써, 균일한 다결정 혹은 단결정 실리콘막을 형성하는 레이저 어닐링 방법으로 사용 가능하며, 이때 조사되는 레이저 빔의 에너지 균일성으로 인해 실리콘막의 결정립의 균일성도 높아지게 된다.

이상에서는 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (14)

1. 레이저를 발진하는 발진부;

   상기 발진된 레이저를 분할하는 분할부;

   상기 분할부와 대향하고, 상기 분할된 레이저를 투과시키는 제1 렌즈부;

   상기 제1 렌즈부 상에 서로 다른 두께를 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성된 두 개 이상의 코팅층; 및

   상기 제1 렌즈부와 대향하고, 상기 제1 렌즈부를 투과한 레이저를 조사면에서 합성하도록 투과시키는 제2 렌즈부를 포함하는 레이저 조사 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 레이저는 펄스 발진의 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 레이저는 선형 빔인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 코팅층은 상기 선형 빔의 장축과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
5. 레이저를 발진하는 발진부;

   상기 발진된 레이저를 분할하는 분할부;

   상기 분할부와 대향하고, 상기 분할된 레이저를 투과시키는 제1 렌즈부;

   상기 제1 렌즈부 상에 서로 다른 굴절률을 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성된 두 개 이상의 코팅층; 및

   상기 제1 렌즈부와 대향하고, 상기 제1 렌즈부를 투과한 레이저를 조사면에서 합성하도록 투과시키는 제2 렌즈부를 포함하는 레이저 조사 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 레이저는 펄스 발진의 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 레이저는 선형 빔인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 코팅층은 상기 선형 빔의 장축과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
9. 레이저를 발진하는 단계;

   상기 발진된 레이저를 분할하는 단계;

   상기 분할된 레이저의 경로가 서로 다르도록 변환하는 단계; 및

   상기 변환된 레이저를 합성하는 단계를 포함하는 레이저 조사 방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 변환하는 단계는 상기 제1 렌즈부 상에 서로 다른 두께를 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성된 두 개 이상의 코팅층에 상기 분할된 레이저를 투과시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 방법.
11. 제9항에 있어서, 상기 변환하는 단계는 상기 제1 렌즈부 상에 서로 다른 굴절률을 갖고 줄무늬 형태로 나란하게 형성된 두 개 이상의 코팅층에 상기 분할된 레이저를 투과시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 방법.
12. 제9항에 있어서, 상기 레이저는 펄스 발진의 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 방법.
13. 제9항에 있어서, 상기 레이저는 선형 빔인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 코팅층은 상기 선형 빔의 장축과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 방법.

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