KR20060022062A - A diffractive optical modulator using a balanced cantilever - Google Patents
A diffractive optical modulator using a balanced cantilever Download PDFInfo
- Publication number
- KR20060022062A KR20060022062A KR1020040070829A KR20040070829A KR20060022062A KR 20060022062 A KR20060022062 A KR 20060022062A KR 1020040070829 A KR1020040070829 A KR 1020040070829A KR 20040070829 A KR20040070829 A KR 20040070829A KR 20060022062 A KR20060022062 A KR 20060022062A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cantilever
- support means
- driving power
- diffraction
- cantilevers
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0808—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more diffracting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3566—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details involving bending a beam, e.g. with cantilever
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/357—Electrostatic force
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/3572—Magnetic force
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
본 발명은 대칭 형상의 캔티레버가 상호 반대 방향으로 회전시에 형성되는 단차에 의하여 입사빔에 대한 반사 및 회절을 수행하는 회절형 광변조기를 제공하는 것으로서, 소정 거리 이격된 상태로 반대 방향에 각각 배치되는 지지수단; 일측 단부는 상기 지지수단에 부착되어 지지되고 다른 일측 단부는 공중에 현가된 구조를 갖되, 상기 각각의 지지수단에 의해 엇갈린 형상으로 상호 교번하여 지지되는 복수의 캔티레버; 및 상기 캔티레버의 일측 단부에 형성되어 구동 전원을 인가하는 구동 수단을 포함하여 구성되고, 상기 지지수단에 의해 상호 엇갈린 형상으로 인접 배치된 캔티레버가 상이한 회전 중심에 기초하여 반대 방향으로 회전하여 단차를 형성하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a diffraction type optical modulator that performs reflection and diffraction on an incident beam by a step formed when symmetrical cantilevers are rotated in opposite directions, and are disposed in opposite directions with a predetermined distance apart. Support means; A plurality of cantilevers, one end of which is attached to the supporting means and the other end of which has a structure suspended in the air, being alternately supported in a staggered shape by the respective supporting means; And a driving means formed at one end of the cantilever to apply driving power, wherein cantilevers disposed adjacent to each other in a staggered shape by the support means are rotated in opposite directions based on different rotation centers to form a step. Characterized in that.
회절형 광변조기, 지지수단, 캔티레버, 구동수단, 각도 보정 수단, 대칭, 회전 중심점.Diffraction type optical modulator, support means, cantilever, drive means, angle correction means, symmetry, center of rotation.
Description
도 1은 종래 기술의 정전기 방식 격자 광 변조기를 도시하는 도면.1 illustrates a prior art electrostatic grating light modulator.
도 2는 종래 기술의 정전기 방식 격자 광 변조기가 변형되지 않는 상태에서 입사광을 반사시키는 것을 도시하는 도면.2 is a diagram illustrating reflecting incident light in a state where the electrostatic grating light modulator of the prior art is not deformed.
도 3은 종래 기술의 격자 광 변조기가 정전기력에 의해 변형된 상태에서 입사광을 회절시키는 것을 도시하는 도면.3 shows a diffraction of incident light in a state in which a prior art grating light modulator is deformed by electrostatic force.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 대칭형 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기의 구성도.Figure 4 is a block diagram of a diffractive optical modulator using a symmetrical cantilever according to an embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 다른 일실시예에 따른 대칭형 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기의 구성도.5 is a block diagram of a diffractive optical modulator using a symmetrical cantilever according to another embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 구동 전원에 연동하여 대칭형 캔티레버(300)에 형성되는 커브 영역(Curved Area)과 유효 반사 영역(Effective Mirror Area)을 도시한 도면. FIG. 6 illustrates a curved area and an effective mirror area formed in a symmetrical cantilever 300 in conjunction with a driving power source according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 캔티레버의 일측 단부에 형성된 구동 수단을 도시한 도면.Figure 7 shows the drive means formed on one end of the cantilever according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 구동 전원에 연동하여 반대 방향으로 회전하는 대칭 형상을 갖는 인접한 캔틸러버의 동작을 도시한 도면.8 illustrates the operation of an adjacent cantilever having a symmetrical shape that rotates in the opposite direction in association with a drive power source according to the present invention.
도 9는 본 발명에 따른 대칭 형상을 갖는 인접한 캔티레버 상호간에 형성된 단차에 의하여 발생하는 반사 및 회절빔의 광경로를 도시한 도면.9 is a view showing optical paths of reflection and diffraction beams caused by steps formed between adjacent cantilevers having symmetrical shapes according to the present invention;
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
100 : 지지수단100: support means
200 : 캔티레버200: cantilever
300 : 구동수단300: driving means
310 : 하부 전극층310: lower electrode layer
320 : 압전층320: piezoelectric layer
330 : 상부 전극층330: upper electrode layer
400 : 각도 보정 수단400: angle correction means
본 발명은 대칭 형상의 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기에 관한 것이다.The present invention relates to a diffraction type optical modulator using a symmetrical cantilever.
보다 구체적으로는, 대향 배치된 지지수단에 의해 엇갈린 형상으로 교번하여 배치되는 복수의 캔티레버 상호간에 형성되는 단차에 의해 입사광에 대한 반사 및 회절을 수행하는 회절형 광변조기에 관한 것이다.More specifically, the present invention relates to a diffraction type optical modulator that performs reflection and diffraction on incident light by a step formed between a plurality of cantilevers alternately arranged in a staggered shape by oppositely arranged supporting means.
일반적으로, 광신호처리는 많은 데이타 양과 실시간 처리가 불가능한 기존의 디지탈 정보처리와는 달리 고속성과 병렬처리 능력, 대용량의 정보처리의 장점을 지니고 있으며, 공간 광변조이론을 이용하여 이진위상 필터 설계 및 제작, 광논리게이트, 광증폭기 등과 영상처리 기법, 광소자, 광변조기 등의 연구가 진행되고 있다. In general, optical signal processing has advantages of high speed, parallel processing capability, and large-capacity information processing, unlike conventional digital information processing, which cannot process a large amount of data and real-time processing, and design a binary phase filter using spatial light modulation theory. Research on fabrication, optical logic gates, optical amplifiers, image processing techniques, optical devices, optical modulators, etc.
이중 공간 광변조기는 광메모리, 광디스플레이, 프린터, 광인터커넥션, 홀로그램 등의 분야에 사용되며, 이를 이용한 표시장치의 개발 연구가 진행되고 있다.The dual spatial optical modulator is used in the fields of optical memory, optical display, printer, optical interconnection, hologram, and the like, and research on the development of a display device using the same is underway.
이러한 공간 광변조기로는 일예로 도 1에 도시된 바와 같은 반사형 변형 가능 격자 광변조기(10)이다. 이러한 광변조기(10)는 블룸 등의 미국특허번호 제 5,311,360호에 개시되어 있다. 광변조기(10)는 반사 표면부를 가지며 기판(16) 상부에 부유(suspended)하는 다수의 일정하게 이격하는 변형 가능 반사형 리본(18)을 포함한다. 절연층(11)이 실리콘 기판(16)상에 증착된다. 다음으로, 희생 이산화실리콘 막(12) 및 저응력 질화실리콘 막(14)의 증착이 후속한다. Such a spatial light modulator is, for example, a reflective deformable
질화물 막(14)은 리본(18)으로부터 패터닝되고 이산화실리콘층(12)의 일부가 에칭되어 리본(18)이 질화물 프레임(20)에 의해 산화물 스페이서층(12)상에 유지되도록 한다. The
단일 파장 λ0를 가진 광을 변조시키기 위해, 변조기는 리본(18)의 두께와 산화물 스페이서(12)의 두께가 λ0/4가 되도록 설계된다.In order to modulate light having a single wavelength λ 0, the modulator is designed thick with a thickness of the
리본(18)상의 반사 표면(22)과 기판(16)의 반사 표면 사이의 수직 거리 d로 한정된 이러한 변조기(10)의 격자 진폭은 리본(18)(제 1 전극으로서의 역할을 하는 리본(16)의 반사 표면(22))과 기판(16)(제 2 전극으로서의 역할을 하는 기판(16) 하부의 전도막(24)) 사이에 전압을 인가함으로써 제어된다. The lattice amplitude of this
변형되지 않은 상태에서, 즉, 어떠한 전압도 인가되지 않은 상태에서, 격자 진폭은 λ0/2와 같고, 리본과 기판으로부터 반사된 광 사이의 전체 경로차는 λ0와 같아서 이러한 반사광에 위상을 보강시킨다. In the undeformed condition, that is, while no voltage is not applied, the grating amplitude is equal to λ 0/2, then the reinforcing phase such reflected light like a full path difference λ 0 between reflected from the ribbon and substrate optical .
따라서, 변형되지 않은 상태에서, 광변조기(10)는 평면거울로서 광을 반사한다. 변형되지 않은 상태가 입사광과 반사광을 도시하는 도 2에 20으로서 표시된다. Thus, in the undeformed state, the
적정 전압이 리본(18)과 기판(16) 사이에 인가될 때, 정전기력이 리본(18)을 기판(16) 표면 방향으로 다운(down) 위치로 변형시킨다. 다운 위치에서, 격자 진폭은 λ0/4와 같게 변한다. 전체 경로차는 파장의 1/2이고, 변형된 리본(18)으로부터 반사된 광과 기판(16)으로부터 반사된 광이 상쇄 간섭을 하게 된다. When a proper voltage is applied between the
이러한 간섭의 결과, 변조기는 입사광(26)을 회절시킨다. 변형된 상태가 +/- 회절모드(D+1, D-1)로 회절된 광을 도시하는 도 3에 각각 28과 30으로 표시된다.As a result of this interference, the modulator diffracts
그러나, 상술한 바와 같은 종래의 광변조기는 입사광에 대한 회절을 수행하기 위하여 리본에 대해 수직 방향으로 변위를 발생시켜야 하고, 이에 의하여 리본 중에서 입사빔에 대한 반사 및 회절을 수행하는 부분에 곡귤이 발생하여 반사 및 회절광에 대한 특성이 열화된다는 단점이 있었다.However, the conventional optical modulator as described above has to generate displacement in the vertical direction with respect to the ribbon in order to perform diffraction on incident light, whereby a grain is generated in the portion of the ribbon that performs reflection and diffraction on the incident beam. As a result, the characteristics of reflection and diffracted light deteriorate.
또한, 종래의 광변조기는 입사빔에 대한 반사 및 회절을 수행하기 위해서는 리본을 수직 방향으로 변위시켜야 하기 때문에 높은 구동 전압이 요구되었을 뿐만 아니라 구동 속도가 느리다는 문제점이 또한 있었다.In addition, the conventional optical modulator requires not only a high driving voltage but also a low driving speed because the ribbon must be displaced in the vertical direction in order to perform reflection and diffraction with respect to the incident beam.
또한, 종래의 광변조기는 리본의 두께를 대략 0.5㎛ 정도로 제작되기 해야 되기 때문에 그 제조 공정이 까다롭고, 이에 의하여 정확하게 동작하는 광변조기를 대량 생산할 수 없다는 문제점이 있었다.In addition, the conventional optical modulator has a problem that the manufacturing process is difficult because the thickness of the ribbon has to be manufactured to about 0.5 ㎛, and there is a problem that mass production of the optical modulator that operates correctly.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 대향 배치된 지지수단에 의해 엇갈린 형상으로 상호 교번하여 배치되는 복수의 캔티레버 상호간에 발생하는 단차에 의하여 입사광에 대한 반사 및 회절을 수행하는 회절형 광변조기를 제공하는 데 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION In order to solve the problems as described above, the present invention provides diffraction type light for performing reflection and diffraction on incident light by a step generated between a plurality of cantilevers which are alternately arranged in a staggered shape by oppositely disposed support means. To provide a modulator.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 대칭 형상의 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기는, 소정 거리 이격된 상태로 반대 방향에 각각 배치되는 지지수단; 일측 단부는 상기 지지수단에 부착되어 지지되고 다른 일측 단부는 공중에 현가된 구조를 갖되, 상기 각각의 지지수단에 의해 엇갈린 형상으로 상호 교번하여 지지되는 복수의 캔티레버; 및 상기 캔티레버의 일측 단부에 형성되어 구동 전원을 인가하는 구동 수단을 포함하여 구성되고, 상기 지지수단에 의해 상호 엇갈린 형상으로 인접 배치된 캔티레버가 상이한 회전 중심에 기초하여 반대 방향으로 회전하여 단차를 형성하는 것을 특징으로 한다.Diffraction-type optical modulator using a symmetrical cantilever according to the present invention for achieving this object, the support means are respectively disposed in the opposite direction at a predetermined distance apart; A plurality of cantilevers, one end of which is attached to the supporting means and the other end of which has a structure suspended in the air, being alternately supported in a staggered shape by the respective supporting means; And a driving means formed at one end of the cantilever to apply driving power, wherein cantilevers disposed adjacent to each other in a staggered shape by the support means are rotated in opposite directions based on different rotation centers to form a step. Characterized in that.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 대칭 형상의 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기의 구성 및 동작을 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the diffractive optical modulator using a symmetrical cantilever according to the present invention.
본 발명에 따른 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기는 구동 전원에 연동하여 소정 각도로 회전하는 캔티레버 사이에 발생하는 단차에 의거하여 입사광의 회절을 수행하는 것으로서, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 지지수단(100), 캔티레버 (200) 및 구동 수단(300)을 포함하여 구성되어 있다.The diffraction type optical modulator using the cantilever according to the present invention performs diffraction of incident light based on a step generated between cantilevers that rotate at a predetermined angle in conjunction with a driving power source, as shown in FIGS. 4 and 5. It comprises a support means 100, the
이때, 본 발명에 따른 대칭 형상의 캔티레버를 이용한 광변조기는, 도 9에 도시된 바와 같이, 캔티레버 상호간 발생하는 굽힘(휨)의 상이함으로 인하여 발생하는 회절빔의 광경로 차이를 보정하기 위한 각도 보정 수단(400)을 더 포함하여 구성할 수 도 있다.At this time, the optical modulator using the symmetrical cantilever according to the present invention, as shown in Figure 9, the angle correction for correcting the optical path difference of the diffraction beam generated due to the difference in bending (bending) generated between the cantilever It can also be configured to include a
지지수단(100)은 입사빔에 대한 회절 및 반사를 수행하는 캔티레버(200)의 일측 단부를 지지시키는 역할을 수행하는 것으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 캔티레버의 배열 방향에 대해 장축이 형성된 직사각형 형상으로 구성되어 상호 반대 방향에 소정 간격 이격되어 배치된다.The support means 100 serves to support one end of the
이때, 캔티레버(200)는 반대 방향에 각각 배치되는 지지수단(100)에 엇갈린 형상으로 상호 교번하여 부착되고, 이에 의하여 캔티레버(200)는 상호 반대 방향에 회전 중심점을 갖게 되어 인가되는 구동전원에 연동하여 상호 반대 방향으로 회전하게 되는 것이다.At this time, the
따라서, 지지수단(100)에 엇갈린 형상으로 교번하여 부착된 캔티레버(200)가 반대 방향으로 상호 회전하는 경우, 인접한 캔티레버(200)는 상호 반대 방향에 형성되는 회전 중심에 근거하여 반대 방향으로 각각 회전하여 입사광 파장(λo)에 대해 (λo/4)*r(r은 실수)에 해당하는 단차를 형성한다.Therefore, when the
또한, 지지수단(100)은 입사빔에 대한 회절 및 반사를 수행하는 캔티레버 (200)의 일측 단부를 지지시키는 역할을 수행하는 것으로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 막대 형상의 구조를 갖고 반대 방향에 배치된 지지수단(100)과 엇갈린 형상으로 배치할 수 도 있다.In addition, the support means 100 serves to support one end of the
캔티레버(200)는 반대 방향에 각각 배치되는 지지수단(100)에 일측 단부가 상호 교번하여 엇갈린 형상으로 지지되고, 다른 일측 단부는 지지되지 않고 현가된 상태로 구성되어 인가되는 구동 전원에 연동하여 굽힘(휨) 현상을 발생시키는 것으로서, 보다 구체적으로는 단결정 실리콘 웨이퍼(SOI : Si on insulator)을 이용하여 약 3㎛ 내지 5㎛의 높이와 100㎛ 내지 120㎛의 길이를 갖도록 제작된다.The
상술한 바와 같이, 캔티레버(200)는 반대 방향에 상호 배치되는 지지수단 (100)에 일측 단부가 교번하여 엇갈린 형상으로 지지되는 동시에 상호 대향하는 위치에 동일 높이로 회전 중심점이 형성됨으로써, 인접한 캔티레버(200)가 반대 방향으로 상호 회전하는 경우 입사광에 대한 회절 및 반사를 수행하는 단차가 형성된다.As described above, the
이때, 엇갈린 형상으로 상호 인접한 캔티레버(200)는 대향하는 위치에 형성되는 회전 중심점으로 인하여 상호 반대 방향으로 회전하게 되고, 이에 의하여 저 전압을 인가하는 경우에도 인접한 캔티레버(200) 상호간에는 단차가 용이하게 형성되는 것이다.At this time, the
도 6을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 구동 수단(300)으로부터 캔티레버(200)를 소정 각도로 회전시키기 위한 구동 전원이 인가되는 경우, 상호 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버(200)는 구동 전원의 세기에 연동하여 굽힘(휨) 현상이 발생하고, 이에 의하여 굽힘이 발생하기 시작하는 커브 영역(Curved Area)(210)과 입사광에 대한 반사를 수행하는 유효 반사 영역 (Effective Mirror Area)(220)을 형성하게 된다.More specifically, referring to FIG. 6, when driving power for rotating the
이때, 캔티레버(200)의 유효 반사 영역(Effective Mirror Area)(220)은 회전 방향에 대해 법선 방향을 유지하면서 각각 반대 방향으로 회전하게 되고, 이에 의하여 인접한 캔티레버(200)에 형성된 유효 반사 영역(220) 상호간에는 소정 깊이의 단차를 형성하게 된다.At this time, the
여기서, 유효 반사 영역(220) 상호간에 형성되는 단차는 입사광의 파장(λo)에 대해(λo/4)*r(여기서, r은 실수)에 대응하게 되고, 이에 의하여 입사빔에 대한 반사 및 회절이 발생하게 되는 것이다.Here, the steps formed between the
상술한 바와 같은 원리에 의하여 상호 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버 (200) 사이에 발생하는 단차로 인하여, 캔티레버(200)는 입사광에 대한 반사 및 회절을 수행하게 되고, 이에 의하여 0차 회절계수는 갖는 반사빔과 소정의 회절계수를 갖는 회절빔을 형성하게 된다.Due to the steps generated between the
이때, 상기 캔티레버(200)는 인가되는 구동 전원의 크기에 연동하여 굽힘 (휨)의 정도를 제어하는 것이 가능하고, 이에 의하여 입사광에 대한 회절의 정도를 또한 제어하는 것이 가능하다.At this time, the
구동 수단(300)은 캔티레버(200)의 일측 단부에 형성되어 상기 캔티레버 (200)를 소정 각도로 회전시키기 위한 구동 전원을 공급하는 역할을 수행하는 것으로서, 도 7에 도시된 바와 같이, 하부 전극층(310), 압전층(320) 및 상부 전극층 (330)을 포함하여 구성된다.The driving means 300 is formed at one end of the
여기서, 하부 전극층(310)은 캔티레버(200)의 일측 단부에 형성되어 외부 전원으로부터 구동 전원을 인가받아 압전층에 제공하는 역할을 수행하는 것으로서, Pt, Ta/Pt, Ni, Au, Al, RuO2 등의 전극 재료를 이용한 스퍼터링 또는 증착공정에 의하여 형성된다.Here, the lower electrode layer 310 is formed at one end of the
압전층(320)은 상기 하부 전극층(310)과 후술하는 상부 전극층(330) 사이에 개재하여 형성되고, 상기 상·하 전극층(310),(330)에 의하여 인가되는 구동 전원에 연동하여 수축 및 팽창하여 상·하 방향 또는 좌·우 방향으로 변화하여 캔티레버(200)를 소정 각도로 회전시키는 역할을 수행하는 것으로서, 보다 구체적으로는 PzT, PNN-PT, ZnO. Pb, Zr 또는 타이타늄 등의 압전부재로 구성되어 있다. The piezoelectric layer 320 is interposed between the lower electrode layer 310 and the
이때, 상기 압전층(320)은 상술한 바와 같은 압전부재를 습식(스크린 프린팅, Sol-Gel coting 등) 및 건식 방법(스퍼터링, Evaporation, Vapor Deposition 등)을 통하여 0.01~20.0㎛ 범위로 상기 하부 전극층(310)에 형성된다. At this time, the piezoelectric layer 320 is the lower electrode layer in the range of 0.01 ~ 20.0㎛ through the wet method (screen printing, Sol-Gel coting, etc.) and dry methods (sputtering, Evaporation, Vapor Deposition, etc.) as described above It is formed at 310.
상부 전극층(330)은 하부 전극층(310)과 함께 외부로부터 인가되는 구동전원을 압전층(320)에 제공하는 역할을 수행하는 것으로서, 보다 구체적으로는 Pt, Ta/Pt, Ni, Au, Al, RuO2 등의 전극 부재를 스퍼터링 또는 증착공정을 통하여 압전층상에 형성된다.The
여기서, 상기 구동 수단(300)은 상술한 바와 같은 압전소자를 이용하여 구현 가능하나, 이에 한정되는 것은 아니고 정전기력 또는 자기력을 이용하여도 구현할 수 있다는 점에 유의 하여야 한다.Here, it should be noted that the driving means 300 may be implemented using the piezoelectric element as described above, but is not limited thereto and may be implemented using an electrostatic force or a magnetic force.
이하, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명에 따른 대칭 형상의 캔티레버를 이용한 회절형 광변조기의 동작 과정을 상세하게 설명한다.8 and 9 will be described in detail the operation of the diffractive optical modulator using a symmetrical cantilever according to the present invention.
여기서, 도 8은 본 발명에 따른 구동 전원에 연동하여 상호 반대 방향으로 회전하는 캔딜러버의 동작을 도시한 도면이고, 도 9는 본 발명에 따른 인접한 캔티레버의 회전 각도에 따른 반사 및 회절빔의 광경로를 설명하기 위한 도면이다.Here, FIG. 8 is a view showing the operation of the candiver rotating in opposite directions in conjunction with the driving power source according to the present invention, Figure 9 is a reflection and diffraction beam according to the rotation angle of the adjacent cantilever according to the present invention It is a figure for demonstrating an optical path.
먼저, 도 8을 참조하여 본 발명에 따른 구동 전원에 연동하여 상호 반대 방향으로 회전하는 캔티레버의 동작을 상세하게 설명한다.First, the operation of the cantilever rotating in opposite directions in conjunction with the driving power source according to the present invention will be described in detail with reference to FIG. 8.
도 8a에 도시된 바와 같이, 캔티레버(200)는 상호 교번하여 엇갈린 형상으로 일측 단부가 지지대에 부착되어 지지되고 다른 일측 단부는 지지되지 않은 구조로 구성되되, 엇갈린 형상으로 상호 인접한 캔티레버(300) 사이에는 대향하는 위치에 동일 높이로 회전 중심점(A),(B)이 각각 형성되어 있다.As shown in FIG. 8A, the
상술한 바와 같이 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버(200)에 구동 전원이 각각 인가되는 경우, 도 8b 내지 도 8d에 도시된 바와 같이, 인접한 캔티레버(200)에 는 인가되는 구동 전원의 세기에 연동하여 상호 반대 방향으로 굽힘(휨) 현상이 발생하고, 이에 의하여 상기 인접한 캔티레버(300)는 상호 반대 방향으로 소정 각도를 갖고 회전하게 된다.As described above, when driving powers are respectively applied to the
이때, 구동 전원에 연동하여 발생하는 굽힘(휨) 현상으로 인하여 캔티레버 (200)에는 굽힘이 발생하기 시작하는 커브 영역(Curved Area)(210)과, 입사광에 대한 반사를 수행하는 유효 반사 영역(Effective Mirror Area)(220)이 형성되게 된다.At this time, due to a bending (bending) phenomenon generated in conjunction with the driving power source, the
여기서, 상기 캔티레버(200)의 커브 영역(210)은 구동수단에 의하여 인가되는 구동 전원에 의하여 굽힘력(bending force)이 인가되어 굴곡이 형성되는 영역이고, 유효 반사 영역 (Effective Mirror Area)(220)은 전단 스트레스(shear stress)의 부재로 인하여 평탄함을 유지하는 영역으로서 입사빔에 대한 반사 및 회절을 수행하는 영역이다.Here, the
상술한 바와 같이, 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버(200)가 상호 반대 방향으로 회전하는 경우, 인접한 캔티레버(300)에 각각 형성된 유효 반사 영역 (Effective Mirror Area)(220)은 회전 방향에 대해 접선 방향으로 회전하여 상호간에 입사광의 파장(λo)에 대해 (λo/4)*r(여기서, r은 실수)에 해당하는 단차를 형성하게 된다.As described above, when
여기서, 상기 인접한 캔티레버(200)의 유효 반사 영역(Effective Mirror Area)(220) 사이에 형성되는 갭은 캔탈레버(200)의 굽힘량을 조절하여 제어 가능하 고, 이에 의하여 입사빔에 대한 회절의 강도를 또한 제어할 수 있는 것이다.Here, the gap formed between the
상술한 바와 같은 원리에 의하여, 상호 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버 (200)는 유효 반사 영역(Effective Mirror Area)(220) 사이에 발생하는 단차에 의하여 입사광에 대한 반사 및 회절을 수행함으로써 0차 회절계수를 갖는 반사빔 또는 소정의 회절 계수를 갖는 회절빔을 형성한다.According to the above-described principle, the
도 8을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 대칭 형상의 지지수단(100)에 상호 교변하여 엇갈린 형상으로 지지되는 인접한 캔티레버(200)에 구동 전원이 인가되지 않은 경우(θ= 0), 인접한 캔티레버(200)에 형성된 각각의 유효 반사 영역은 입사빔에 대해 반사체로서의 역할을 수행한다.More specifically, referring to FIG. 8, when the driving power is not applied to the
이때, 구동 수단(400)으로부터 소정의 구동 전원이 상호 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버(200)에 인가되는 경우, 인접한 캔티레버(200)는 대향하는 위치에 형성된 회전 중심점(A),(B)을 기준으로 하여 상호 반대 방향으로 굽힘 현상을 초래한다.At this time, when a predetermined driving power is applied from the driving means 400 to the
상술한 바와 같이 반대 방향으로 발생하는 굽힘 현상으로 인하여, 인접한 캔티레버(200)는 인가되는 구동 전원의 세기에 연동하여 반대 방향으로 소정 각도 회전하고, 이에 의하여 상기 인접한 캔티레버(200)는 상호간에 소정의 각도(θ=θ1 또는 θ=θ2)를 형성하게 된다.As described above, due to the bending phenomenon occurring in the opposite direction, the
이때, 상호 반대 방향으로 회전하는 인접한 캔티레버(200)에 형성된 유효 반사 영역(Effective Mirror Area)(220)은 회전 방향에 대해 접선 방향으로 각각 회 전하게 되고, 이에 의하여 상기 유효 반사 영역(220) 사이에는 입사광의 파장(λo)에 대해 (λo/4)*n에 해당하는 단차를 형성하게 된다.In this case, the
즉, 인접한 캔티레버(200)에 형성되는 유효 반사 영역(220)은 입사광의 파장(λo)에 대해 (λo/4)*r에 해당하는 단차를 형성하게 되고, 이에 의하여 캔티레버(200)는 입사빔을 소정 각도로 회절시키는 회절체로서의 역할을 수행하게 된다.That is, the
이때, 상호 엇갈린 형상으로 인접한 캔티레버(200) 상호간에 형성된 단차에 의하여 발생하는 반사빔 및 회절빔은 다양한 각도를 갖고 반사 및 회절되되, 상기 반사빔 및 회절빔은 캔티레버(200)가 배열된 방향으로 배치된 각도 보정 수단(400)인 실린더리컬 렌즈에 의하여 광경로 방향으로 진행하게 된다.In this case, the reflection beam and the diffraction beam generated by the step difference formed between the
상기한 바와 같이, 본 발명은 대칭 형상의 지지수단에 일측단이 엇갈린 형상으로 상호 교번하여 지지되는 캔티레버를 반대 방향으로 회전하도록 구성함으로써, 저전압 구동에 의하여도 인접하는 캔티레버 상호간에 입사빔에 대한 반사 및 회절을 수행하는 단차를 용이하게 형성할 수 있다는 효과를 제공한다.As described above, the present invention is configured to rotate the cantilever in which the one end is alternately supported in a symmetrical support means in a staggered shape, thereby reflecting the incident beams between adjacent cantilevers even by low voltage driving. And the step of easily forming a step for performing diffraction.
또한, 본 발명은 종래의 얇은 리본 형상의 반사체로 구성된 광변조기와는 달리 두꺼운 캔티레버를 이용할 수 있기 때문에 광변조기를 용이하게 제작할 수 있다는 효과를 제공한다.In addition, the present invention provides an effect that the optical modulator can be easily manufactured because a thick cantilever can be used unlike an optical modulator composed of a conventional thin ribbon-shaped reflector.
여기에서, 상술한 본 발명에서는 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 , 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Herein, while the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, those skilled in the art will variously modify the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. And can be changed.
Claims (7)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040070829A KR100632548B1 (en) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | Diffraction type optical modulator using symmetrical cantilever |
US10/951,260 US6977765B1 (en) | 2004-09-06 | 2004-09-27 | Diffractive light modulator using cantilevers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040070829A KR100632548B1 (en) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | Diffraction type optical modulator using symmetrical cantilever |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060022062A true KR20060022062A (en) | 2006-03-09 |
KR100632548B1 KR100632548B1 (en) | 2006-10-09 |
Family
ID=37128700
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040070829A KR100632548B1 (en) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | Diffraction type optical modulator using symmetrical cantilever |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100632548B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011106553A2 (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | The Regents Of The University Of California | Planar, low loss transmitting or reflecting lenses using sub-wavelength high contrast grating |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011106551A2 (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | The Regents Of The University Of California | Hcg reflection enhancement in diverse refractive index material |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5661592A (en) | 1995-06-07 | 1997-08-26 | Silicon Light Machines | Method of making and an apparatus for a flat diffraction grating light valve |
US6169624B1 (en) * | 1999-08-11 | 2001-01-02 | Asif A. Godil | Achromatic optical modulators |
EP1172686A3 (en) | 2000-07-03 | 2004-07-14 | Creo IL. Ltd. | Controllable diffractive grating array with perpendicular diffraction |
US6908201B2 (en) | 2002-06-28 | 2005-06-21 | Silicon Light Machines Corporation | Micro-support structures |
-
2004
- 2004-09-06 KR KR1020040070829A patent/KR100632548B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011106553A2 (en) * | 2010-02-24 | 2011-09-01 | The Regents Of The University Of California | Planar, low loss transmitting or reflecting lenses using sub-wavelength high contrast grating |
WO2011106553A3 (en) * | 2010-02-24 | 2012-01-19 | The Regents Of The University Of California | Planar, low loss transmitting or reflecting lenses using sub-wavelength high contrast grating |
US8755118B2 (en) | 2010-02-24 | 2014-06-17 | The Regents Of The University Of California | Planar, high NA, low loss transmitting or reflecting lenses using sub-wavelength high contrast grating |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100632548B1 (en) | 2006-10-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7626745B2 (en) | Diffractive thin-film piezoelectric micromirror and method of producing the same | |
US7206118B2 (en) | Open hole-based diffractive light modulator | |
US7173751B2 (en) | Open hole-based diffractive light modulator | |
US7133184B2 (en) | Variable grating diffractive light modulator | |
KR100919535B1 (en) | Diffractive optical modulator | |
KR20060031452A (en) | Digital micro blaze grating optical modulator | |
US7170668B2 (en) | Hybrid light modulator | |
US6977765B1 (en) | Diffractive light modulator using cantilevers | |
KR100632548B1 (en) | Diffraction type optical modulator using symmetrical cantilever | |
KR100632547B1 (en) | Diffraction type optical modulator using cantilever | |
US7289258B2 (en) | Light modulator having variable blaze diffraction grating | |
US7209276B2 (en) | Fishbone diffraction-type light modulator | |
US7099064B2 (en) | Electrostatic-type variable diffractive light modulator and manufacturing method thereof | |
GB2413647A (en) | Open hole-based diffractive light modulator | |
KR100878921B1 (en) | Embedded Diffractive Optical Modulator | |
KR100815338B1 (en) | Optical modulator drived by low-voltage | |
KR100619335B1 (en) | Optical modulator using a near-field | |
KR100878922B1 (en) | Single body hybrid diffractive optical Modulator | |
KR100843380B1 (en) | Optical modulator controlled by a pitch gap and manufacturing method thereof | |
KR100861623B1 (en) | Vibrating diffractive optical modulator | |
KR20050104760A (en) | Vibrating diffractive optical modulator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |