KR20050092408A - 다중 분배 체크 밸브 송출 시스템 - Google Patents

다중 분배 체크 밸브 송출 시스템 Download PDF

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KR20050092408A
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valve element
pressure
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Application number
KR1020057013010A
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더글라스 찰스 헤이더만
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프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 가압 용기(1)의 출구로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 장치에 관한 것이며, 특히 유체 또는 가스의 보관 및 용기의 외부로의 유체 또는 가스의 유동을 제어하기 위한 용기(1) 내의 다중 유체 분배 체크 밸브 장치(7, 10)에 관한 것이다.

Description

다중 분배 체크 밸브 송출 시스템 {MULTIPLE DISPENSING CHECK VALVE DELIVERY SYSTEM}
본 발명은 유체를 보관 및 분배하기 위한 밸브 조립체에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 본 발명은 가압 가스를 보관 및 분배하고 용기로부터의 가압 가스의 제어되지 않은 배출을 방지하는 다중 송출 밸브 조립체(multiple delivery valve assembly)에 관한 것이다.
유독성, 가연성, 부식성 가스를 대기압보다 낮은(sub-atmospheric) 압력에서 취급하기 위한 안전하고 효과적인 방법을 제공하는 것은 본 산업 분야의 목표가 되어 왔다. 특히, 이러한 가스는 도펀트 가스(dopant gas)를 포함한다. 일반적으로, 도펀트 가스는 특정 가스의 특성에 따라 주어진 또는 특정한 압력에서의 개별 가스의 증기압과 동일한 압력에서 압축 가스 실린더 내에 보관된다. 이러한 가스는 반도체 장치의 제조를 위한 도펀트 재료의 원료로서 역할한다. 이들 도펀트 가스는 이온 주입장치(ion implanter)로 불리는 공구 내에서 사용된다. 이온 주입장치는 수백 또는 심지어 수천 명의 직원이 반도체 제조 공정에 종사하는 반도체 생산 시설의 제조 영역 내에 위치된다. 이러한 공구는 매우 높은 전압, 전형적으로는 수천 킬로볼트까지의 높은 전압에서 작동된다. 이러한 높은 전압으로 인해, 도펀트 원료 가스는 공구 자체에 또는 그 내부에 위치되어야 한다.(대부분의 다른 반도체 공구는 원료 가스를 직원이나 주 생산 영역의 외부에 위치시킨다.) 이온 주입장치 공구의 하나의 뚜렷한 특징은 이들이 대기압보다 낮은 압력에서 작동한다는 것이다. 실린더로부터 제품을 송출하기 위하여 공구에 제공되는 진공의 사용은, 진공이 인가될 때까지는 제품이 실린더 패키지로부터 제거될 수 없다는 점에서 보다 안전한 패키지를 형성한다. 이러한 진공 송출 개념은 가압 가스에 대한 우발적인 노출을 방지한다.
현재, 도펀트 가스의 대기압보다 낮은 압력에서의 송출과 관련된 문제점을 해결하기 위한 4가지의 다른 방법이 존재하는 것으로 여겨진다. 첫 번째 방법은 압축 가스 실린더를 물리적으로 흡착성인 재료(예컨대, 구슬 활성화 탄소(beaded activated carbon))로 충전하는 단계와, 도펀트 가스를 재료 상으로 가역적으로 흡착시키는 단계를 수반한다. 이러한 개념은 통상 SDS™ 기술로 공지되어 있다. 탈착 공정은 진공 또는 열을 흡착성 재료/실린더에 인가하는 단계를 수반한다. 실제로, 이온 주입장치로부터의 진공은 가스를 고체상(solid-phase) 흡착제로부터 탈착시키는 데에 사용된다. SDS 기술의 문제점과 관련된 소정의 제한이 존재하며, 이는 1) 흡착성 재료가 한정된 적재 용량을 가짐으로써 주어진 크기의 실린더에서 이용할 수 있는 제품의 양을 제한한다는 것과, 2) 탈착 공정이 실린더 패키지를 열에 노출시킴으로써 개시될 수 있어, 실린더가 많은 실린더 창고 위치에서 통상적인 21.1℃(70℉)를 초과하는 온도에 노출된 때에 가스가 대기압 및 대기압보다 높은 압력에 도달하여 송출되게 한다는 것과, 3) 실린더로부터 송출된 가스의 순도가 흡착성 재료 상의 다른 재료/가스의 흡착/탈착으로 인해 저하될 수 있다는 것과, 4) 흡착제 마찰(adsorbent attrition)이 가스 송출 시스템 내의 미립자 오염을 초래할 수 있다는 것을 포함한다.
도펀트 가스의 대기압보다 낮은 압력에서의 송출과 관련된 문제를 해결하기 위한 두 번째 방법은 제품을 대기압보다 낮은 압력에서 송출하기 위하여 기계적인 체크 밸브의 사용을 수반한다. 이러한 장치는 대기압보다 낮은 상태 또는 진공 상태가 장치에 인가된 때 개방되도록 구성된다. 장치는 종래의 온/오프 실린더 밸브 시트 기구(seat mechanism)의 상류에 위치된다. 장치의 이러한 상류의 정확한 위치는 밸브 본체 내, 실린더 목부(neck) 공동 내, 실린더 자체의 내부, 또는 이러한 3개의 위치 모두의 조합일 수 있다. 각각의 경우에서, 장치는 실린더의 내부로부터 송출 포트로의 가스의 유동에 대하여 실린더 밸브 시트의 상류에 위치된다.
미국 특허 제5,937,895호는 가압 실린더 또는 탱크로부터 유체의 위험한 배출을 방지하기 위하여 진공 작동형 분배 체크 밸브와 유동 제한 장치의 형태로 체크 밸브를 개시한다. 미국 특허 제6,045,115호는 체크 밸브 고장의 경우에 압축 가스 실린더로부터의 유독성 가스의 임의의 배출을 최소화하는 모세관 크기의 개구를 제공하기 위한 유동 제한기를 개시한다. 이들 특허의 개시 내용 모두는 밸브를 통한 가스의 유동에 대하여 밸브 시트의 상류에 위치된 대기압보다 낮은 압력의 송출 장치를 위하여 제공된다. 이들 개시 내용은 최대 입구 압력(또는 실린더 보관 압력)에 관한 상당한 제한을 갖는 장치를 제공하는 것으로 여겨진다. 이러한 압력은 대략 600 psig 이하이어야 한다.
도펀트 가스의 대기압보다 낮은 압력에서의 송출과 관련된 문제를 해결하기 위한 세 번째 방법은 제품을 대기압보다 낮은 압력에서 송출하기 위한 조절기(regulator)(조절기들)의 사용을 수반한다. 조절기(들)는 제품을 특정한 대기압보다 낮은 압력에서 송출하도록 예비 설정된다. 조절기(들)는 실린더 온/오프 밸브 시트의 상류에 위치되고, 실린더 목부 공동 또는 실린더 자체의 내부에 위치될 수 있다. 미국 특허 제6,089,027호와 제6,101,816호는 모두 가스를 요구되는 압력에서 유지하기 위한 용기를 포함하는 유체 보관 및 분배 시스템에 관한 것이다. 용기는 용기의 포트와 연결되고 미리 설정된 압력으로 설정된 압력 조절기, 예컨대 일단(single-stage) 또는 다단(multi-stage) 조절기를 갖는다. 예컨대, 밸브와 같은 유동 제어 수단을 포함하는 분배 조립체는 조절기와의 가스/증기 유동 연통 상태로 배치되어, 밸브의 개방이 용기로부터의 가스/증기의 분배를 달성한다. 용기 내의 유체는 보편적인 온도 상태, 예컨대 주위 온도(실온)에서의 액화 압력을 초과하는 압력에서 용기 내에 보유된 액체에 의해 구성될 수 있다. 특히, '027 특허는 밸브 제어 수단의 상류측 상의 다단 조절기를 개시한다.
전술한 특허들은 실린더의 내부로부터 송출 포트로의 가스의 유동에 대하여 밸브 시트의 상류에 조절 장치를 위치시키는 것을 개시한다. 그러나, 조절 장치는 밸브 본체 내에, 목부 공동 내에, 실린더 자체의 내부에, 또는 이러한 3개의 위치 모두의 조합으로 위치될 수 있다.
도펀트 가스의 대기압보다 낮은 압력에서의 송출과 관련된 문제를 해결하기 위한 네 번째 방법은 실린더 온/오프 밸브의 하류에 위치된 단일 조절기의 사용을 수반하며, 이러한 조절기는 밸브 본체 내에 위치되고 제품을 대기압보다 낮은 압력으로 제어/송출하도록 설계된다. 미국 특허 제6,314,986호는 1차 모듈 및 1차 모듈 상에 장착된 2차 모듈을 포함하는 압축 가스 실린더와 함께 사용하기 위한 모듈형 가스 제어 장치를 개시한다. 이 특허는 주 실린더 차단 밸브의 하류에 위치된 단일 조절기의 사용을 개시한다. 조절기는 밸브 본체 내에 위치되며, 대기압보다 낮은 압력으로부터 대기압보다 높은 압력까지의 임의의 요구되는 출구 압력으로 송출되도록 조절될 수 있다. 차단 밸브는 그의 내장(internal) 및 조절기의 상류에 위치된 시트 기구를 갖는다. 단일 조절기가 개시된다. 이러한 방법과 관련된 소정의 잠재적인 문제점이 존재한다. 예를 들면, 조절기 고장의 경우의 가능한 높은 누출률 및 압력 상승이 발생할 수 있다. 또한, 단일 조절기는 넓은 입구 압력 범위에 대하여 유동을 제어하는 데에 어려움을 가질 수도 있다.
도1은 본 발명의 이중 체크 밸브 송출 밸브 조립체를 합체한 실린더 및 헤드 밸브 조립체의 단면도를 개략적으로 도시하는 도면이다.
도2는 본 발명의 상류 체크 밸브와 모세관 유동 제한기의 대안적인 위치의 개략적인 도면이다.
본 발명의 목적은 밸브 또는 도관 파손의 경우에 유독성 가스의 방출을 제거 또는 방지하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 가스 실린더 내에 더욱 높은 압력 상태의 보관을 가능하게 하는 것이다. 더욱 높은 압력은 실린더 내에 더욱 많은 양의 제품을 포함되게 하여, 소비자에게 더욱 높은 생산성과 더욱 낮은 비용을 제공한다.
다른 목적은 실린더 밸브 시트가 공기 오염에 노출되는 것에 대한 더욱 높은 수준의 보호를 제공하는 것이다.
또 다른 목적은 가압 가스가 특화된 모세관의 제한된 유동 용량으로 인해 대기에 노출되는 것에 대한 매우 높은 수준의 보호를 가압 가스 실린더에 제공하는 것이다.
본 발명은 가압 용기의 출구로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 장치에 관한 것이며, 장치는 a) 가압 탱크의 출구와 연통하여 유체 배출 경로를 형성하는 포트 본체와, b) 포트 본체 내에 또는 상류에 고정되고, 유체 배출 경로를 통한 유체 유동을 차단하는 밀봉 위치와 유체 배출 경로를 따른 유체 유동을 허용하는 개방 위치 사이에서 이동하도록 구성된 실린더 밸브와, c) 밸브 요소의 상류의 압력 상태로부터 격리되어 밸브 요소와 결합된 내부 체적을 형성하여, 다이어프램의 내부 체적과 포트 본체의 내부 사이의 압력 차이가 밸브 요소를 개방 위치로 이동시킬 때까지 밸브 요소를 밀봉 위치로 유지하는 방식으로 밸브 요소의 이동을 제어하는 상류 다이어프램 분배 장치와, d) 밸브 요소의 상류의 압력 상태로부터 격리되어 밸브 요소와 결합된 내부 체적을 형성하여, 다이어프램의 내부 체적과 포트 본체의 내부 사이의 압력 차이가 밸브 요소를 개방 위치로 이동시킬 때까지 밸브 요소를 밀봉 위치로 유지하는 방식으로 밸브 요소의 이동을 제어하는 하류 다이어프램 분배 장치를 포함한다.
다른 실시예에서, 본 발명은 가압 유체를 보유하고 실린더로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 실린더 및 밸브 조립체에 관한 것이며, 실린더 및 밸브 조립체는 a) 실린더 개구를 갖는 실린더와, b) 실린더 개구와 밀봉 결합하도록 구성된 포트 본체와, c) 포트 본체에 의해 형성되어 실린더 외측에 위치된 유체 입구 포트와, d) 유체 입구 포트와 유체 출구 포트 사이의 유체 배출 경로와, e) 유체 배출 경로를 따른 유체 유동을 제어하기 위한 수동으로 작동되는 차단 밸브를 포함하고, 차단 밸브는 유체 배출 경로 및 유체 배출 경로를 따라 적어도 하나는 실린더 밸브의 상류에 위치되고 적어도 하나는 하류에 위치된 복수의 밀봉된 벨로우를 따른 유체 유동을 차단하는 밀봉 위치로 실린더 밸브를 편향시키며, 밀봉된 벨로우는 벨로우의 내부와 외부 사이의 상대 압력이 벨로우를 팽창시킬 때에 밸브 요소를 개방 위치로 이동시키도록 밸브 요소에 작동 가능하게 연결된 하나의 부분을 갖고, 개방 위치는 유체 배출 경로를 따른 유체 유동을 허용한다.
또 다른 실시예에서, 본 발명은 유독성 수소화 또는 할로겐화 화합물을 보유하는 가압 탱크의 출구로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 장치에 관한 것이며, 장치는 a) 적어도 부분적으로 가스상(gas phase)으로 가압 유체를 유지하기 위한 용기와, b) 용기로부터 가압 가스를 방출하기 위한 출구 포트와, c) 가스를 용기로부터 송출하기 위하여 출구 포트에 의해 적어도 부분적으로 형성된 가스 유동 경로와, d) 적어도 하나는 실린더 밸브의 상류에 배치되고 적어도 하나는 하류에 배치된 복수의 별개의 분배 체크 밸브 장치와, e) 가스 유동 경로 내의 유동 제한기 형태의 모세관 장치를 포함한다.
본 발명에서, 용기 또는 포트 본체는 실린더 밸브를 작동시키기 위하여 수동으로, 전기적으로(예컨대, 솔레노이드), 공압으로, 또는 자기적으로 작동되는 차단 밸브를 보유한다. 제한된 유동 경로를 갖는 도관 내의 패킹(packing)이 유체 배출 경로의 일부를 형성한다. 이러한 도관은 0.2 mm 이하의 내경을 갖는 모세관 튜브를 포함한다.
본 발명의 추가적인 목적, 실시예, 장점 및 상세 사항은 양호한 실시예에 대한 하기의 상세한 설명에 기술된다.
본 발명은 송출 시스템 내의 다중 체크 밸브 분배 장치에 관한 것이다. 바람직하게는, 시스템은 제1 분배 장치가 유동 제어 요소(즉, 실린더 밸브)의 상류에 위치된 진공 송출 시스템이다. 제1 밸브는 밸브가 작동되면 실린더의 내부로부터 가스를 송출되게 한다.
본 발명의 중요한 태양은 밸브 본체 내에 배치된 실린더 밸브의 하류에 위치된 제2 분배 체크 밸브 장치의 이용이다. 이러한 제2 분배 장치는 대기압보다 낮은 상태 하에서 개방(또는 가스를 송출)하도록 설계된다.(즉, 분배 장치의 입구는 분배 장치의 출구보다 높은 압력에 있고, 바람직하게는 입구의 압력은 대기압 이상인 반면, 분배 장치의 출구는 대기압보다 낮은 압력에 있다.) 당연히, 분배 장치는 진공 송출로 제한되는 것은 아니다. 2개의 분배 장치는 실린더의 대기압보다 낮은 압력, 대기압 및 대기압보다 높은 압력에서 최대 보관 압력까지를 포함하는 임의의 하류 압력 범위에서 실린더의 내부로부터 가스를 송출하도록 구성될 수 있다.
제2 분배 장치는 실린더 밸브가 개방된 경우에만 실린더 압력을 받게 되도록 하는 위치에 배치되어, 분배 장치가 실린더 내로부터 가스에 노출되는 것을 제한한다. 다른 장점은 분배 장치가 종래의 실린더 개구 내에 설치되기에 충분히 작은 크기를 갖는다는 것이다. 선택적으로, 분배 장치는 장치가 조절될 수 있게(즉, 작동 범위가 조절될 수 있게) 실린더의 외측(예컨대, 소비자가 사용하는 포트)에 배치될 수 있다. 분배 장치의 위치설정은, 하나의 장치는 실린더 밸브의 상류에 위치되는 반면, 제2 장치는 실린더 밸브의 하류에 위치되도록 하여, 본 발명의 유리한 실시예로 귀결될 수 있다. 더욱 구체적으로는, 실린더 밸브의 하류의 제2 분배 장치의 위치는, 분배 장치가 영구적으로 부착되거나 실제로 실린더 밸브 자체에 일부가 된다는 점에서 실린더 밸브와 일체가 된다.
본 발명에 기술된 다중 분배 시스템은 모세관 유동 제한기 조립체와 함께 제공되는 것이 바람직하다. 제한기 조립체는 두 기계 장치가 고장인 경우에 실린더로부터 가스의 유동을 제한하도록 설계된다. 이러한 조립체는 바람직하게는 1) 제1 분배 장치와 실린더 밸브 사이, 또는 2) 제1 분배 장치의 상류에 위치된다. 당업자는 제한기 조립체의 정확한 위치는 특정한 응용예에 따른다는 것을 알 것이다.
도1은 대기압보다 낮은 압력에서의 송출 목적을 달성하는 본 발명의 예시적인 실시예를 도시한다. 적어도 하나의 분배 장치(7)가 차단 밸브(3)(또는 실린더 밸브(11))의 상류에 배치되고, 하나의 분배 장치(10)가 밸브(3)의 하류에 배치된다. 이러한 장치는 실린더 밸브의 공기에 대한 노출을 제거하고, 더욱 많은 패키징 용량(packaging capacity)을 허용하며, 미리 설정된 낮은 속도로 유체의 유동을 제한하기 위하여 모세관 제한기를 이용하는 시스템을 제공한다.
도1에 도시된 바와 같이, 종래의 출구 포트 본체(4)보다 크거나 통상의 밸브 본체보다 약간 큰 다중 분배 진공 송출 밸브 조립체(2)가 제공된다. 실린더 밸브(11)는 밸브 본체 내에 그리고 제1 분배 장치(7)의 하류에 위치된다. 모세관 조립체(9)는 분배 장치(7)와 실린더 밸브(11) 사이에 배치된다.
다중 분배 장치 진공 송출 밸브 조립체(2)를 갖는 압축 가스 실린더(1)의 유체 보관 및 분배 시스템이 도시되어 있다. 압축 가스 실린더는 주어진 압력 또는 제품 중량까지 요구되는 유체(13)(또는 특히, 도펀트 가스)로 충전된다.
일반적으로, 본 발명의 진공 송출 밸브 조립체는 수많은 가스 제품에 응용될 수 있다. 이하의 표 1은 본 발명에서 계획되는 유체들을 포함하지만, 이들로 제한되지 않는다. 다른 유체, 특히 다른 불활성, 가연성, 유독성 또는 반도체 공정 가스를 포함하는 유체가 본 발명의 범주 내에 있다.
가스 또는 유체 실린더 압력(또는 psig 단위의증기 압력) torr 단위의요구되는 하류 송출 압력 psig 단위의선택적인 하류송출 압력
아르신(arsine) 205 <760 <205
삼플루오르화붕소(boron trifluoride) 600-1800 <760 <600
포스핀(phosphine) 583 <760 <583
스티빈(stibine) 780-1100 <760 <1100
시레인(silane) 1100 <50 psig <1100
디보란(diborane) 1000 <760 <1000
삼염화붕소(boron trichloride) 4.4 <760 <4
할로겐화물(halides) 0-1800 <760 <1800
게르마늄 테트라플루오라이드(germanium tetrafluorides) 180 <760 <180
실리콘 테트라플루오라이드(silicon tetrafluoride) 1000 <760 <1000
실린더 충전, 상태 조절(conditioning) 및 제품 실험은 2차 충전 포트(도시되지 않았지만, 도1을 참조하면 밸브 본체 후방에 위치됨)를 통해 수행된다. 충전 포트는 밸브 기구(5) 및 별도의 충전 포트(6)를 통해 개폐된다. 소비자 사용 포트(4)는 수동 차단 밸브(3)를 통해 개/폐된다.
양호한 실시예에서, 가스의 유동은, 제2 분배 체크 밸브(10)와 연통하고 제1 분배 체크 밸브(7)와의 유체 배출 경로 상의 더욱 상류에 있는 출구 포트(4)에 진공을 인가함으로써 달성된다. 본 발명의 분배 체크 밸브는 벨로우(bellow)를 포함하는 다이어프램(diaphragm) 유형일 수 있다. 특히, 다이어프램 하우징은 벨로우를 수용하는 벨로우 챔버를 형성하며, 벨로우 챔버는 밸브 요소의 상류에 위치된 유체 배출 경로의 일부분과 연통하고, 벨로우는 배출 경로 내에서의 연통에 의해 벨로우 챔버 내에 충분한 압력 상태가 발생된 때에 밸브 요소를 개방 위치로 이동시키기에 충분한 내부 압력에 의해 밀봉된다.
밸브 요소는 포핏 밸브(poppet valve)를 포함하며, 벨로우의 팽창에 의해 핀이 포핏 밸브를 개방 위치로 변위시킨다. 하나의 밀봉된 벨로우가 실린더 밸브(11)의 상류에 위치되고 하나의 벨로우가 그 하류에 위치되며, 각각의 벨로우는 밸브 요소를 벨로우 챔버 내의 압력 상태에 반응하여 개방 위치로 이동시키도록 되어 있다. 제한된 통로가, 유체 입구 포트를 형성하고 유체 입구 포트를 실린더의 길이를 따른 중간 지점 부근에 그리고 실린더 내부의 반경방향 중앙에 위치시키는 패킹을 포함한 모세관 튜브를 포함할 수 있다.
따라서, 도1을 참조하면, 출구 포트(4)에 대한 진공의 인가는 제2 분배 체크 밸브 장치(10) 내에서 벨로우를 팽창시키고, 이럼으로써 포핏을 그의 시트로부터 이동시키고 제1 분배 체크 밸브(7)를 통해, 모세관(9)을 통해 그리고 개방 실린더 밸브(11) 둘레로 가스를 실린더(1)의 내부로부터 유동하게 한다. 실린더 밸브(11)의 상류에 배치된 제1 분배 장치(7)는 실린더 체적 내측의 압력 이하의 압력 범위에서 개방되도록 설계된다. 제2 분배 체크 밸브(10)는 반도체 공구에 의해 사용되는 출구 포트로의 가스의 진공 송출을 제공한다. 부가적으로, 제1 필터 장치(8A, 8B)가 미립자 물질을 제거하도록 제공될 수 있다.
도2는 모세관 조립체 및 실린더 밸브에 관한 분배 장치의 배열의 개략적인 도면을 도시한다. 예시적인 일 실시예에서, 모세관 유동 제한기(9)는 분배 체크 밸브(7)의 상류에 위치된다. 유체는 실린더 밸브(11)로 하류로 통과하고, 그 후 하류의 분배 장치(10)로 통과한다. 예시적인 다른 실시예에서, 상류의 분배 체크 밸브는 모세관 유동 제한기(9)의 상류에 위치되고, 그러면 유체는 하류의 분배 장치(10)에 앞서 실린더 밸브(11)로 통과한다. 비제한적으로 분배 체크 밸브 장치와 모세관 유동 제한기의 작동을 포함하는, 본 발명에서 구체적으로 논의되지 않은 다양한 요소 및 이들의 작동은 미국 특허 제5,937,895호, 제6,045,115호, 및 제6,007,609호에서 확인할 수 있으며, 이들 특허는 본 발명에 참조로서 합체되어 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 대한 핵심 태양은 적어도 2개의 분배 체크 밸브의 이용과 이들의 위치(즉, 제1 장치는 실린더 밸브의 상류에 배치되고, 제2 장치는 그 하류에 배치됨)이다. 체크 밸브의 유형은 이용되는 가스, 작동 압력, 유동률 등에 따라 변화할 수 있다. 제2 진공 작동형 분배 체크 밸브는 가스 기밀 밀봉을 제공하는 방식으로 밸브에 부착되어야 하고, 바람직하게는 밸브에 영구적으로 부착된다. 가장 바람직하게는, 분배 체크 밸브는 밸브 본체 자체의 캐스팅(casting) 내에 배치된다. 체크 밸브를 이러한 위치에 배치함으로써 체크 밸브가 밀봉해제(tampered)되는 것을 방지한다. 그러나, 제거 가능한 제2 분배 장치가 가스 기밀 밀봉을 제공하는 임의의 다른 기계적인 방식으로 나사결합 또는 체결될 수 있는 다른 구성도 고려된다.
분배 장치는, 유동 감소 오리피스가 출구 포트에 설치되는 방식과 유사하게 출구 포트의 본체 내에 삽입될 수 있다. 제2 분배 체크 밸브는 실린더의 외부에 위치되기 때문에, 이러한 설비는 장치가 조절될 수 있게 한다. 조절은 소비자의 요구 조건에 부합하도록 이러한 분배 장치의 작동 압력 범위를 변경할 것이다. 예를 들면, 분배 장치는 소비자의 요구/응용예에 따라 하류 압력 범위를 대기압보다 낮은 압력으로부터 대기압 또는 대기압보다 높은 압력 범위로 변경하는 방식으로 조절될 수 있다. 전술한 바와 같이, 이러한 응용예의 경우, 2개의 분배 체크 밸브 장치의 위치는 본 발명의 중요한 태양이다.
본 발명의 별개의 다중 분배 체크 밸브 장치는 용기 내의 가스의 더욱 높은 압력에서의 보관을 용이하게 한다. 더욱 높은 압력은 동일한 체적 내에 더욱 많은 제품(유체 또는 가스)을 보관할 수 있는 더욱 많은 기회를 제공함으로써, 소비자에 대한 소유와 관련된 비용을 감소시킨다. 별개의 다중 분배 장치는 실린더 밸브를 공기 오염으로부터 더욱 보호할 뿐만 아니라 분배 장치 고장의 경우에 더욱 안전한 설계를 제공한다.
다른 실시예에서, 단일 분배 장치를 포함하여, 장치가 밸브에 위치되고 분배 체크 밸브와 밸브 실린더 모두로서 역할하는 변형예도 가능하다. 본 발명의 다른 변형예는 실린더 밸브의 하류에 위치된 단일 분배 체크 밸브 장치의 사용을 수반한다. 이러한 분배 장치는 실린더 밸브 본체의 일부이거나 전술한 바와 같이 출구 포트 내부로 삽입되도록 변형될 수 있다. 이러한 분배 장치의 위치는 넓은 하류 송출 압력 범위에 걸친 가스 제품의 송출을 위한 장치의 조절을 허용할 것이다.
본 발명은 또한 보관 및 분배되는 소정의 가스 또는 유체에 대해 특화된 형상의 실린더의 특정한 사용을 고려한다. 특히, 본 발명은 삼플루오르화붕소를 보관 및 분배하는 경우 상당히 짧고 넓은 실린더를 제공한다. 예를 들면, 이러한 실린더는 그 길이가 30.48 cm(12 인치) 이하(목부 제외) 그리고 외경이 11.43 cm(4.5 인치) 이하일 수 있다. 이러한 유형의 실린더와 관련된 장점은 압력 완화 밸브가 필요없다는 것이다. 그러므로, 장치에 대한 추가적인 누출 지점에 제거되고, 또한 가스의 의도하지 않은 잠재적인 방출이 감소된다.
본 발명의 다중 분배 체크 밸브 송출 시스템은, 본 발명을 제한하는 것으로 해석되지는 않는 하기의 예를 참조하여 추가로 설명될 것이다.
예
가스 실린더(1)는 삼플루오르화붕소(BF3) 가스(13)로 약 1800 psig의 압력에서 충전되었다. 작동자는 수동으로 핸들(3)을 돌려, 실린더 밸브(11)를 개방 위치로 이동시켰다. 정상적으로는 폐쇄되어 있는 다이어프램 분배 체크 밸브(10, 7)들은 각각 400 torr 이하(즉, 대기압보다 낮은 압력) 및 200 psig 이하의 압력에서 개방되도록 설계되었다.
진공은 제2 분배 체크 밸브(10)와 연통하고 실린더 밸브(11)의 하류에 배치된 출구 포트(4)를 통해 가스 실린더(1)에 인가되었다. 체크 밸브(10) 내의 벨로우는 팽창되어 밸브(10) 내의 포핏을 개방시켰다. 분배 체크 밸브(10)가 개방됨에 따라, 제2 분배 체크 밸브(10)와 제1 분배 체크 밸브(7) 사이의 유체 배출 경로를 따른 압력은 200 psig 미만 내지 100 psig로 계속 낮아졌다.
제1 분배 체크 밸브(7)의 하류의 압력이 200 psig 미만으로 낮아짐에 따라, 체크 밸브(7) 내의 벨로우는 팽창되어 밸브(7) 내의 포핏을 개방시켰다.
BF3 가스는 경로(즉, 제1 및 제2 분배 체크 밸브 사이) 내의 압력이 200 psig에 도달할 때까지 유체 배출 경로를 통해 제거되었다. 일단 압력이 미리 설정된 압력(즉, 200 psig)에 도달하면, 제1 분배 체크 밸브(7) 내의 벨로우가 후퇴되어 포핏을 폐쇄시켰으며, 유체 경로 내에 잔류한 BF3 가스는 제2 분배 체크 밸브(10)에 인가된 진공에 의해 제거되었다.
본 기술 분야의 숙련자는 하기의 청구의 범위에서 더욱 특정하게 한정된 바와 같은 본 발명의 범주 또는 사상으로부터 벗어남이 없이, 본 발명에서 상세히 기술된 방법에 대하여 수많은 변경이 이루어질 수 있음을 알 것이다.

Claims (10)

  1. 가압 용기의 출구로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 장치이며,
    a. 가압 탱크의 출구와 연통하여 유체 배출 경로를 형성하는 포트 본체와,
    b. 포트 본체 내에 또는 상류에 고정되고, 유체 배출 경로를 통한 유체 유동을 차단하는 밀봉 위치와 유체 배출 경로를 따른 유체 유동을 허용하는 개방 위치 사이에서 이동하도록 구성된 실린더 밸브와,
    c. 밸브 요소의 상류의 압력 상태로부터 격리되어 밸브 요소와 결합된 내부 체적을 형성하여, 다이어프램의 내부 체적과 포트 본체의 내부 사이의 압력 차이가 밸브 요소를 개방 위치로 이동시킬 때까지 밸브 요소를 밀봉 위치로 유지하는 방식으로 밸브 요소의 이동을 제어하는 상류 다이어프램 분배 장치와,
    d. 밸브 요소의 상류의 압력 상태로부터 격리되어 밸브 요소와 결합된 내부 체적을 형성하여, 다이어프램의 내부 체적과 포트 본체의 내부 사이의 압력 차이가 밸브 요소를 개방 위치로 이동시킬 때까지 밸브 요소를 밀봉 위치로 유지하는 방식으로 밸브 요소의 이동을 제어하는 하류 다이어프램 분배 장치
    를 포함하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 하우징이 상기 상류 다이어프램의 벨로우 챔버를 형성하고, 벨로우 챔버는 밸브 요소의 하류에 위치된 유체 배출 경로의 일부분과 연통하며, 벨로우는 배출 경로와의 연통에 의해 벨로우 챔버 내의 진공 상태 또는 압력 차이가 발생된 때에 밸브 요소를 개방 위치로 이동시키기에 충분한 내부 압력으로 밀봉되는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 밸브 요소는 포핏 밸브를 포함하고, 벨로우의 팽창에 의해 핀이 포핏 밸브를 개방 위치로 변위시키는 장치.
  4. 가압 유체를 보유하고 실린더로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 실린더 및 밸브 조립체이며,
    실린더 개구를 갖는 실린더와,
    실린더 개구와 밀봉 결합하도록 구성된 포트 본체와,
    포트 본체에 의해 형성되어 실린더 외측에 위치된 유체 입구 포트와,
    유체 입구 포트와 유체 출구 포트 사이에 밸브 본체에 의해 형성된 유체 배출 경로와,
    유체 배출 경로를 따른 유체 유동을 제어하기 위한 수동으로 작동되는 차단 밸브를 포함하고,
    상기 수동으로 작동되는 차단 밸브는 유체 배출 경로, 및 유체 배출 경로를 따라 적어도 하나는 실린더 밸브의 상류에 위치되고 적어도 하나는 하류에 위치된 복수의 밀봉된 벨로우를 따른 유체 유동을 차단하는 밀봉 위치로 실린더 밸브를 편향시키며,
    밀봉된 벨로우는 벨로우의 내부와 외부 사이의 상대 압력이 벨로우를 팽창시킬 때에 상기 밸브 요소를 개방 위치로 이동시키도록 밸브 요소에 작동 가능하게 연결된 하나의 부분을 갖고,
    개방 위치는 유체 배출 경로를 따른 유체 유동을 허용하는 실린더 및 밸브 조립체.
  5. 제4항에 있어서, 벨로우는 벨로우 챔버 내의 진공 상태 또는 압력 차이에 반응하여 밸브 요소를 개방 위치로 이동시키도록 구성된 장치.
  6. 제4항에 있어서, 밸브 요소는 포핏 밸브를 포함하는 장치.
  7. 제4항에 있어서, 포트 본체는 유체 배출 경로의 길이를 따른 제한된 통로를 포함하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 모세관 튜브가 유체 입구 포트를 형성하고, 유체 입구 포트를 실린더의 길이를 따른 중간 지점 부근에 위치시키는 장치.
  9. 유독성 수소화 또는 할로겐화 화합물을 보유하는 가압 탱크의 출구로부터의 가압 유체의 배출을 제어하기 위한 장치이며,
    적어도 부분적으로 가스상으로 가압 유체를 유지하기 위한 용기와,
    용기로부터 가압 가스를 방출하기 위한 출구 포트와,
    가압 가스를 용기로부터 송출하기 위하여 출구 포트에 의해 적어도 부분적으로 형성된 가스 유동 경로와,
    적어도 하나는 실린더 밸브의 상류에 위치되고 적어도 하나는 하류에 위치된 복수의 별개의 분배 체크 밸브 장치와 유동 제한기
    를 포함하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 용기 내에 위치된 도관이 유동 경로의 제한된 부분을 포함하는 장치.
KR1020057013010A 2003-01-15 2004-01-08 다중 분배 체크 밸브 송출 시스템 KR20050092408A (ko)

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US10/342,255 US20040000339A1 (en) 2002-07-01 2003-01-15 Multiple dispensing check valve delivery system

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TW (1) TW200422555A (ko)
WO (1) WO2004065750A2 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150096767A (ko) * 2012-12-21 2015-08-25 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 탄소 이온 주입을 위한 도판트 조성물의 저장 및 대기압 이하의 전달

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050263208A1 (en) * 2003-03-06 2005-12-01 Linde Aktiengesellschaft Protected integral gas cylinder with manual on/off and flow control valve
US7811532B2 (en) 2005-04-18 2010-10-12 Air Products And Chemicals, Inc. Dual-flow valve and internal processing vessel isolation system
US7228080B2 (en) * 2005-06-30 2007-06-05 Xerox Corporation System for active toner concentration target adjustments and method to maintain development performance
US20080000532A1 (en) * 2006-06-30 2008-01-03 Matthew Lincoln Wagner Low release rate cylinder package
US8322569B2 (en) 2007-12-06 2012-12-04 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Integrated valve regulator assembly and system for the controlled storage and dispensing of a hazardous material
FR2927979A1 (fr) * 2008-02-21 2009-08-28 Air Liquide Dispositif de remplissage et de distribution de gaz et procede de remplissage.
FR2930619A1 (fr) * 2008-04-24 2009-10-30 Air Liquide Dispositif receveur de gaz sous pression, ensemble distributeur-dispositif receveur et systeme d'alimentation correspondant
FR2931223B1 (fr) * 2008-05-16 2010-08-20 Air Liquide Dispositif distributeur de gaz sous pression, ensemble comprenant un tel dispositif et dispositif de commande, recipient pourvu d'un tel dispositif distributeur
US7905247B2 (en) 2008-06-20 2011-03-15 Praxair Technology, Inc. Vacuum actuated valve for high capacity storage and delivery systems
IT1390876B1 (it) * 2008-07-31 2011-10-19 Cavagna Group S P A Con Socio Unico Gruppo valvolare regolatore di pressione per recipienti destinati a contenere fluidi compressi
GB201309046D0 (en) * 2013-05-20 2013-07-03 Linde Ag A pressurised fluid container
CN104712906A (zh) * 2015-03-20 2015-06-17 日照兴业汽车配件有限公司 一种低温绝热气瓶真空检漏工装
KR102159899B1 (ko) * 2015-05-12 2020-09-24 엔테그리스, 아이엔씨. 밸브 조립체 및 그를 포함하는 유체 저장 및 분배 패키지
CN109538933A (zh) * 2018-12-29 2019-03-29 武汉格罗夫氢能汽车有限公司 一种多个储氢瓶共用瓶阀组件
CN112325146A (zh) * 2019-08-05 2021-02-05 古丰愿 负压供气钢瓶

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1883690A (en) * 1930-02-25 1932-10-18 Gilgenberg Paul Device for withdrawing low pressure gases from high pressure vessels
US2294163A (en) * 1939-06-28 1942-08-25 Edward F Donnelly Hot water heating system
FR2185145A5 (ko) * 1972-05-18 1973-12-28 Gurtner Sa
US5238016A (en) * 1982-07-16 1993-08-24 Eidsmore Paul G Method of supply pressure effect sensing and associated gage
US5033505A (en) * 1984-11-28 1991-07-23 Nupro Company Pressure regulator and method of assembling same
US4844111A (en) * 1987-09-21 1989-07-04 Union Carbide Corporation High pressure regulator valve
US4909269A (en) * 1987-09-21 1990-03-20 Union Carbide Corporation High pressure regulator valve
FR2671598B1 (fr) * 1991-01-16 1993-04-16 Tilles Mec Robinet pour bouteilles de gaz comprimes ou liquefies.
GB9724168D0 (en) * 1997-11-14 1998-01-14 Air Prod & Chem Gas control device and method of supplying gas
US6007609A (en) * 1997-12-18 1999-12-28 Uop Llc Pressurized container with restrictor tube having multiple capillary passages
US6045115A (en) * 1998-04-17 2000-04-04 Uop Llc Fail-safe delivery arrangement for pressurized containers
US5937895A (en) * 1998-04-17 1999-08-17 Uop Llc Fail-safe delivery valve for pressurized tanks
US6101816A (en) * 1998-04-28 2000-08-15 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150096767A (ko) * 2012-12-21 2015-08-25 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 탄소 이온 주입을 위한 도판트 조성물의 저장 및 대기압 이하의 전달
KR20190031594A (ko) * 2012-12-21 2019-03-26 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 탄소 이온 주입을 위한 도판트 조성물의 저장 및 대기압 이하의 전달

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