KR20050089745A - Magnetic field generator and magneto-optical information storage device - Google Patents
Magnetic field generator and magneto-optical information storage device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050089745A KR20050089745A KR1020047020895A KR20047020895A KR20050089745A KR 20050089745 A KR20050089745 A KR 20050089745A KR 1020047020895 A KR1020047020895 A KR 1020047020895A KR 20047020895 A KR20047020895 A KR 20047020895A KR 20050089745 A KR20050089745 A KR 20050089745A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- magnetic
- coil
- magnetic field
- field generator
- rod
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
Description
본 발명은 자계를 발생시키는 자계 발생기, 및 정보 기록 매체에 대하여 광 및 자장을 이용하여 정보 액세스를 행하는 광자기 정보 기억 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic field generator for generating a magnetic field, and a magneto-optical information storage device for performing information access to an information recording medium using light and a magnetic field.
종래부터, 음성 신호나 화상 신호를 기억하는 대용량의 기록 매체로서, CD, CD-ROM, CD-R, DVD, PD, MO, MD 등과 같은 정보 기록 매체가 널리 사용되고 있다. 특히, 광과 자장으로 정보 액세스가 행해지는 광자기 정보 기록 매체는 정보의 재기록이 가능한 고밀도 기록 매체로서 주목받고 있으며, 더욱 높은 기록밀도화 등을 위하여 활발하게 연구 개발이 행해지고 있다. 또한, 이러한 광자기 정보 기록 매체에 대한 정보 재생이나 정보 기억을 더욱 고속으로 행하기 위한 광자기 정보 기억 장치의 연구 개발도 활발하게 행해지고 있다.Background Art Conventionally, information recording media such as CD, CD-ROM, CD-R, DVD, PD, MO, MD and the like have been widely used as a large-capacity recording medium for storing audio signals and image signals. In particular, the magneto-optical information recording medium on which information is accessed by light and magnetic field has attracted attention as a high-density recording medium capable of rewriting information, and research and development are actively conducted for higher recording density and the like. In addition, research and development of magneto-optical information storage devices for performing information reproduction and information storage on such a magneto-optical information recording medium at higher speeds are also being actively conducted.
종래의 광자기 정보 기억 장치에서는, 정보에 따른 광변조에 의하여 기록 매체에 정보를 기록하는 광변조 방식이 채용되고 있으나, 상술한 바와 같은 높은 기록밀도화에 따라서, 종래의 광변조 방식 대신에, 정보에 따른 자계 변조에 의하여 정보를 기록하는 자계 변조 방식을 채용하는 경향이 생기고 있다. 자계 변조 방식을 채용한 일반적인 광자기 정보 기억 장치에서는 반도체 프로세스에 의하여 제작되는 박막 코일을 이용하여, 변조된 자계를 발생시킨다. In the conventional magneto-optical information storage device, an optical modulation method for recording information on a recording medium by optical modulation according to the information is adopted. However, in accordance with the high recording density as described above, instead of the conventional optical modulation method, There is a tendency to adopt a magnetic field modulation method for recording information by magnetic field modulation according to the information. In a general magneto-optical information storage device employing a magnetic field modulation method, a modulated magnetic field is generated by using a thin film coil manufactured by a semiconductor process.
자계 변조 방식을 이용한 광자기 정보 기억 장치는 기록을 위한 레이저광을 집광함으로써 기록 매체의 기록막의 온도를 큐리점(Curie point)에 가깝게 하고, 그 상태에서, 코일에 의해 발생된 자계를 기록막에 인가함으로써 기록막의 자화 방향을 정보에 따른 방향으로 향하여 정보를 기록한다.The magneto-optical information storage device using the magnetic field modulation scheme condenses the laser beam for recording to bring the temperature of the recording film of the recording medium closer to the Curie point, and in this state, the magnetic field generated by the coil to the recording film. The information is recorded by applying the magnetization direction of the recording film in the direction corresponding to the information by applying.
이와 같은 자계 변조 방식을 이용한 광자기 정보 기억 장치에서, 대용량 데이터의 기록이나 재생을 고속으로 실행하기 위해서는, 기록 매체에 광을 집광하는 광학계와, 자계를 발생시키는 자기 코일을, 기록 매체에서 보아 동일한 측에 배치하는 프론트 일루미네이션 타입의 구성을 갖는 것이 바람직하고, 이 구성에서는 광학계와 기록 매체와의 사이에 고리 형상의 자기 코일이 배치되는 것이 일반적이다.In a magneto-optical information storage device using such a magnetic field modulation method, in order to perform recording and reproduction of large-capacity data at high speed, an optical system for condensing light on a recording medium and a magnetic coil for generating a magnetic field are the same. It is preferable to have the structure of the front illumination type arrange | positioned at the side, and in this structure, it is common that an annular magnetic coil is arrange | positioned between an optical system and a recording medium.
또한, 자계의 발생 효율을 높이기 위해서는, 자기 코일의 자심으로서 기능하는 자성체층이 자기 코일과 광학계 사이에 형성된 구성이 유효하다는 것이 알려져 있으며, 예를 들면 특허 문헌 1에는, 중앙에 구멍이 뚫린 원반형의 자성체층이 형성된 예가 개시되어 있다.Moreover, in order to raise the generation efficiency of a magnetic field, it is known that the structure in which the magnetic body which functions as a magnetic core of a magnetic coil is formed between a magnetic coil and an optical system is effective. For example, Patent Document 1 describes a disk-shaped hole having a central hole. An example in which a magnetic layer is formed is disclosed.
(특허 문헌 1)(Patent Document 1)
일본 특허공개 평10-320863호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 10-320863
이와 같은 자성층이 형성되어 있는 경우에 자기 코일을 고주파수(예를 들면 50㎒)로 구동하면, 이 자성층내에는 자성층의 자화 변화에 따른 와전류가 발생하고, 이 와전류가 손실이 되어 자성체의 온도를 상승시킨다. 이 온도 상승은 자기 코일의 온도 상승을 초래하고, 마이그레이션이라 불리우는, 자기 코일이 가늘어져서 극단적인 경우에는 단선에 이르는 현상의 원인이 되는 경우가 있다. 또한, 자기 코일의 온도 상승은 자기 코일의 저항을 상승시키고, 발열에 의한 자기 코일의 손상을 초래한다.When such a magnetic layer is formed, when the magnetic coil is driven at a high frequency (for example, 50 MHz), an eddy current is generated in the magnetic layer due to the magnetization change of the magnetic layer, and the eddy current is lost to raise the temperature of the magnetic body. Let's do it. This increase in temperature causes a rise in the temperature of the magnetic coil, which may be a cause of a phenomenon in which the magnetic coil, called migration, becomes thin and, in extreme cases, leads to disconnection. In addition, the temperature rise of the magnetic coil raises the resistance of the magnetic coil and causes damage to the magnetic coil due to heat generation.
이와 같은 와전류에 의한 손실을 저감시키는 기술로서, 자성층을 박막 다층화하는 기술이 제안되어 있다. 그러나, 이 박막 다층 구조의 자성층을 작성하기 위해서는, 진공 증착이나 스퍼터 등과 같은 고도의 제조 기술이 필요하기 때문에, 제조 코스트의 상승이나 생산성의 저하를 초래한다는 문제가 있다. As a technique of reducing the loss by such an eddy current, the technique which thin-layers a magnetic layer is proposed. However, in order to produce the magnetic layer of this thin film multilayer structure, since advanced manufacturing techniques, such as vacuum deposition and a sputter | spatter, are required, there exists a problem of raising a manufacturing cost and a fall of productivity.
도 1은 본 발명의 자계 발생기의 한 실시 형태가 내장된, 본 발명의 광자기 정보 기억 장치의 한 실시 형태를 도시한 도면이다.1 is a diagram showing an embodiment of the magneto-optical information storage device of the present invention in which one embodiment of the magnetic field generator of the present invention is incorporated.
도 2는 헤드의 구성을 도시한 사시도이다.2 is a perspective view showing the configuration of the head.
도 3은 이동 어셈블리의 집광 렌즈(300) 주변을 도시한 확대도이다.3 is an enlarged view of the vicinity of the condenser lens 300 of the moving assembly.
도 4는 자기 발생부의 1/4 구성도이다.4 is a 1/4 configuration diagram of the magnetic generator.
도 5는 자기 발생부의 부분 확대도이다.5 is a partially enlarged view of the magnetic generating unit.
도 6은 비교예에 있어서의 자계 발생 능력을 나타내는 그래프이다.6 is a graph showing the magnetic field generating capability in the comparative example.
도 7은 본 실시 형태에 있어서의 자계 발생 능력을 나타내는 그래프이다.7 is a graph showing the magnetic field generating capability in the present embodiment.
도 8은 와전류 손실의 저감 효과를 나타내는 그래프이다.8 is a graph showing the effect of reducing the eddy current loss.
도 9는 본 실시 형태에 구비되는 자심의 작성 방법의 설명도이다.9 is an explanatory diagram of a method of preparing a magnetic core provided in the present embodiment.
도 10은 다른 실시 형태에 있어서의 자기 발생부의 1/4 구성도이다.FIG. 10 is a 1/4 configuration diagram of a magnetic generating unit in another embodiment. FIG.
도 11은 자기 발생부의 단면도이다.11 is a cross-sectional view of the magnetic generator.
본 발명은 상기 사정을 감안하여, 도금법 등과 같은 간단한 제조 기술에 의해 작성할 수 있으며, 와전류의 발생을 억제할 수 있는 자계 발생기, 및 데이터의 고속 기록 재생이 가능한 광자기 정보 기억 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a magnetic field generator which can be produced by a simple manufacturing technique such as a plating method, which can suppress the generation of eddy currents, and a magneto-optical information storage device capable of high-speed recording and reproducing of data. It is done.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 자계 발생기는, The magnetic field generator of the present invention to achieve the above object,
내부 구멍을 둘러감은 고리 형상의 코일과,An annular coil wound around the inner hole,
코일에 겹쳐지도록, 코일의 내부 구멍을 중심으로 한 방사상으로 배치되며, 코일과는 절연되고, 자성 재료로 이루어지고, 최대폭과 최소폭의 비가 2배 이하인 복수의 자성봉을 갖는 것을 특징으로 한다.It is characterized by having a plurality of magnetic rods disposed radially about the inner hole of the coil so as to overlap the coil, insulated from the coil, made of a magnetic material, and having a ratio of the maximum width and the minimum width not more than twice.
본 발명의 자계 발생기에 따르면, 코일에 의해 발생된 자계가 자성봉에 의해 증강됨과 아울러, 자성봉의 봉상(棒狀) 구조에 의해 와전류 손실이 작게 억제되어 있다. 또한, 이와 같은 자성봉의 봉상 구조는 도금법 등과 같은 간단한 제조 기술에 의해 작성할 수 있어, 제조 코스트도 억제되어 있다.According to the magnetic field generator of the present invention, the magnetic field generated by the coil is enhanced by the magnetic rod, and the eddy current loss is suppressed small by the rod-shaped structure of the magnetic rod. In addition, such a rod-shaped structure of the magnetic rod can be prepared by a simple manufacturing technique such as a plating method, and the manufacturing cost is also suppressed.
본 발명의 자계 발생기는 상기 자성봉이 1.5(T) 이상의 포화 자속 밀도를 갖는 자성 재료로 이루어지고, 두께가 3㎛ 이하이고 또한 폭이 6㎛ 이하인 것이 바람직하다.The magnetic field generator of the present invention is preferably made of a magnetic material whose magnetic rod has a saturation magnetic flux density of 1.5 (T) or more, having a thickness of 3 m or less and a width of 6 m or less.
이와 같은 치수의 자성봉은 와전류 손실을 효과적으로 저감시킬 수 있어, 1.5(T) 이상의 포화 자속 밀도를 가짐으로써 충분한 자계 발생 능력을 얻을 수 있다.The magnetic rod having such a dimension can effectively reduce the eddy current loss, and can have a sufficient magnetic field generating ability by having a saturation magnetic flux density of 1.5 (T) or more.
또한, 본 발명의 자계 발생기는 상기 자성봉이 코일의 내부 구멍의 가장자리로부터 외측 가장자리까지의 폭의 2배 이상의 길이를 갖는 것도 바람직하다. The magnetic field generator of the present invention also preferably has the magnetic rod having a length of at least twice the width from the edge of the inner hole of the coil to the outer edge.
이와 같은 길이를 갖는 자성봉은 코일이 발생하는 자계를 효율적으로 증강할 수 있다.The magnetic rod having such a length can efficiently enhance the magnetic field generated by the coil.
또한, 본 발명의 자계 발생기에 있어서, 상기 복수의 자성봉은 이들 복수의 자성봉의 총 체적이 이들 복수의 자성봉 상호간의 공간의 총 체적보다도 적은 것이 바람직하다.In the magnetic field generator of the present invention, it is preferable that the total magnetic rods of the plurality of magnetic rods are smaller than the total volume of spaces between the plurality of magnetic rods.
이와 같이 자성봉의 총 체적이 제약되어 있으면, 코일에서 발생하는 자계에 대하여 자성봉에서 발생하는 반자계가 작고, 이로 인해, 자계 발생기의 자성체에 있어서의 자화가 크다.When the total volume of the magnetic rods is limited in this way, the semi-magnetic field generated by the magnetic rods is small with respect to the magnetic field generated by the coil, and therefore, the magnetization in the magnetic body of the magnetic field generator is large.
또한, 본 발명의 자계 발생기는 상기 자성봉이 코일에 겹쳐지는 위치에 폭넓은 부분을 갖는 것이 바람직하다.In addition, the magnetic field generator of the present invention preferably has a wide portion at the position where the magnetic rod overlaps the coil.
이와 같은 폭넓은 부분을 가짐으로써, 자성봉은 자계를 효율적으로 증강시킬 수 있다.By having such a wide part, a magnetic rod can efficiently augment a magnetic field.
또한, 본 발명의 자계 발생기는 상기 자성봉이 500 이상의 투자율을 갖는 자성 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.The magnetic field generator of the present invention is preferably made of a magnetic material having the magnetic permeability of 500 or more magnetic bars.
자성봉의 본래 기능인, 자계를 증강시키는 기능을 충분히 발휘시키면서, 충분히 가느다란 봉상 구조에 의한 와전류 손실의 저감도 실현하기 위해서는, 500 이상의 높은 투자율을 갖는 자성 재료를 이용하는 것이 바람직하다.It is preferable to use a magnetic material having a high permeability of 500 or more in order to sufficiently reduce the eddy current loss due to the sufficiently thin rod-shaped structure while fully exhibiting the function of enhancing the magnetic field, which is the original function of the magnetic rod.
본 발명의 자계 발생기에 있어서의 전형적인 상기 자성봉은 CoNiFe로 이루어지는 것이다.Typical magnetic rods in the magnetic field generator of the present invention are made of CoNiFe.
또한, 본 발명의 자계 발생기는 코일의 외측 가장자리로부터 코일의 외부 직경의 1/6 이상을 오픈한 위치에 형성된, 자성봉에 열적으로 접하여 자성봉의 열을 빼앗는 코일외 방열체를 구비하는 것이 바람직하다.In addition, the magnetic field generator of the present invention preferably includes an out-of-coil radiator for thermally contacting the magnetic rods, which are formed at positions where one-sixth or more of the outer diameters of the coils are opened from the outer edges of the coils to deprive the magnetic rods of heat. Do.
이와 같은 코일외 방열체에 의해 자성봉의 열이 빼앗겨짐으로써, 자계 발생기의 열적인 성능이 더 한층 향상된다.The heat of the magnetic rods is taken away by such a non-coil radiator, so that the thermal performance of the magnetic field generator is further improved.
본 발명의 자계 발생기에 있어서의 전형적인 코일외 방열체는 구리로 이루어지는 것이다.A typical non-coil radiator in the magnetic field generator of the present invention is made of copper.
또한, 본 발명의 자계 발생기는 상기 복수의 자성봉 상호간에 형성되고, 자성봉과 절연되어 열적으로 접하고, 자성봉의 열을 빼앗는 봉간(棒間) 방열체를 구비하는 것도 바람직하다.In addition, the magnetic field generator of the present invention is preferably provided with a rod radiator formed between the plurality of magnetic rods, insulated from the magnetic rods and in thermal contact with each other, to take heat away from the magnetic rods.
이와 같은 봉간 방열체도 자성체의 열을 빼앗기 때문에, 자계 발생기의 열적인 성능이 향상된다.Since such a bar-shaped radiator also loses heat of the magnetic body, the thermal performance of the magnetic field generator is improved.
본 발명의 자계 발생기에 있어서의 전형적인 봉간 방열체는 구리로 이루어지는 것이다.Typical rod-to-bar radiators in the magnetic field generator of the present invention are made of copper.
또한, 본 발명의 자계 발생기는 코일의 외측 가장자리로부터 코일의 외부 직경의 1/6 이상을 오픈한 위치에 형성되고, 봉간 방열체에 접합된, 봉간 방열체를 통하여 자성봉의 열을 빼앗는 코일외 방열체를 구비하는 것도 바람직하다.In addition, the magnetic field generator of the present invention is formed at a position where one-sixth or more of the outer diameter of the coil is opened from the outer edge of the coil, and the outside of the coil to take heat of the magnetic rod through the rod-to-bar radiator joined to the bar-to-bar radiator. It is also preferable to provide a heat sink.
이와 같은 구성의 자계 발생기에서는, 봉간 방열체에 의해 자성봉의 열이 빼앗겨져서 코일외 방열체로 효율적으로 전달되고, 코일외 방열체에 의해 외부로 방열된다. 이에 따라, 자계 발생기의 열적인 성능이 더욱 향상된다.In the magnetic field generator having such a configuration, the heat of the magnetic rods is taken away by the rod radiator, and is efficiently transmitted to the radiator outside the coil, and radiated to the outside by the radiator outside the coil. Accordingly, the thermal performance of the magnetic field generator is further improved.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 광자기 정보 기억 장치는,The magneto-optical information storage device of the present invention which achieves the above object,
정보 기록 매체에 대하여, 광 및 자장을 이용하여 정보 액세스를 행하는 광자기 정보 기억 장치에 있어서,In a magneto-optical information storage device for performing information access to an information recording medium using light and a magnetic field,
광을 발하는 광원과,A light source emitting light,
광원이 발한 광을 정보 기록 매체상에 집광하는 집광 렌즈와,A condenser lens for condensing the light emitted by the light source on the information recording medium;
집광 렌즈의 정보 기록 매체측에 형성되고, 정보 기록 매체상의, 집광 렌즈가 광을 집광하는 위치에 자장을 발생시키는, 내부 구멍을 둘러감은 고리 형상의 코일과,An annular coil formed on the information recording medium side of the condensing lens and surrounding the inner hole to generate a magnetic field at a position where the condensing lens collects light on the information recording medium;
코일과 집광 렌즈 사이에, 코일의 내부 구멍을 중심으로 한 방사상으로 배치되고, 코일과는 절연되고, 자성 재료로 이루어지며, 최대폭과 최소폭의 비가 2배 이하인 복수의 자성봉을 갖는 것을 특징으로 한다.Between the coil and the condenser lens, having a plurality of magnetic rods disposed radially about the inner hole of the coil, insulated from the coil, made of a magnetic material, and having a ratio of maximum width to minimum width not more than twice do.
또, 본 발명에서 말하는 광자기 정보 기억 장치에 대해서는, 여기에서는 그 기본 형태만을 나타내는데 그치지만, 이것은 단순히 중복을 피하기 위함이고, 본 발명에서 말하는 광자기 정보 기억 장치에는 상기의 기본 형태 뿐만 아니라, 상술한 자계 발생기의 각 형태에 대응하는 각종 형태가 포함된다.In addition, the magneto-optical information storage device referred to in the present invention only shows the basic form thereof, but this is merely to avoid duplication, and the magneto-optical information storage device according to the present invention is not only described above, but also described above. Various forms corresponding to each form of one magnetic field generator are included.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described.
도 1은 본 발명의 자계 발생기의 한 실시 형태가 내장된, 본 발명의 광자기 정보 기억 장치의 한 실시 형태를 도시한 도면이다.1 is a diagram showing an embodiment of the magneto-optical information storage device of the present invention in which one embodiment of the magnetic field generator of the present invention is incorporated.
여기에 예시한 광자기 정보 기억 장치(100)에는 광자기 정보 기억 장치(100)의 토대가 되는 알루미늄 합금제의 드라이브 베이스(110)가 구비되어 있으며, 드라이브 베이스(110)는 프레임(130)에 장착되어 있다. 또한, 드라이브 베이스(110)에는 상면 커버(140) 및 하면 커버(도시 생략)이 각각 나사식 고정되어 있다.The magneto-optical information storage device 100 illustrated here includes a drive base 110 made of an aluminum alloy, which is the basis of the magneto-optical information storage device 100, and the drive base 110 is mounted on the frame 130. It is installed. In addition, the top cover 140 and the bottom cover (not shown) are screwed to the drive base 110, respectively.
프레임(130)에는 프론트 패널(160)이 장착되어 있으며, 이 프론트 패널(160)에는 본 발명에서 말하는 정보 기록 매체의 일례에 상당하는 광자기(MO) 디스크를 내장한 MO 디스크 카트리지가 광자기 정보 기억 장치(100)내에 삽입되기 위한 삽입구(161)가 형성되어 있다.The frame 130 is equipped with a front panel 160. The front panel 160 includes a magneto-optical disc containing a magneto-optical (MO) disk corresponding to an example of the information recording medium of the present invention. An insertion hole 161 is formed to be inserted into the memory device 100.
광자기 정보 기억 장치(100)의, 프론트 패널(160)이 장착된 전단(前端)에 대한 후단에는, 광자기 정보 기억 장치(100)를 컴퓨터 등과 같은 기기와 전기적으로 접속하기 위한 커넥터(170)가 탑재되어 있다.A connector 170 for electrically connecting the magneto-optical information storage device 100 with a device such as a computer, at the rear end of the front-end of the magneto-optical information storage device 100 is mounted. Is mounted.
광자기 정보 기억 장치(100)의 내부에는 MO 디스크를 보유하여 회전시키는 스핀들 모터나, MO 디스크에 대하여 광의 조사나 자장의 인가를 행하여 정보의 기록이나 재생을 행하는 헤드가 탑재되어 있다.Inside the magneto-optical information storage device 100, there is mounted a spindle motor for holding and rotating the MO disk, and a head for recording or reproducing information by irradiating light or applying a magnetic field to the MO disk.
도 2는 헤드의 구성을 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing the configuration of a head.
헤드는 MO 디스크(240)의 반경 방향으로 이동이 자유로운 이동 어셈블리(190)와, 도 1에 도시한 드라이브 베이스(110)에 고정되는 고정 어셈블리(200)로 구성되어 있다.The head is composed of a moving assembly 190 freely movable in the radial direction of the MO disk 240, and a fixing assembly 200 fixed to the drive base 110 shown in FIG.
고정 어셈블리(200)에는 정보의 읽기/쓰기에 이용되는 레이저광을 발생하는, 본 발명에서 말하는 광원의 일례인 레이저 다이오드(202)와, MO 디스크(240)가 반사한 광에 포함되어 있는, MO 디스크(240)에 기억되어 있는 정보에 따른 신호를 검출하는 광검출기(203)와, 정보를 기억하는 장소로서 MO 디스크상에 나선형으로 다수 둘레에 형성되어 있는 트랙에 대한 집광 스폿의 어긋남을 검출하기 위한 광검출기(204)와, 집광 스폿의 포커스의 어긋남을 검출하기 위한 광검출기(205)가 장착되어 있다.The fixed assembly 200 includes a laser diode 202, which is an example of a light source according to the present invention, which generates laser light used for reading / writing information, and a MO included in the light reflected by the MO disk 240. Detecting the deviation of the condensed spot with respect to the photodetector 203 which detects the signal according to the information stored in the disk 240, and the track which is formed around a large number spirally on a MO disk as a place to store the information. The photodetector 204 and the photodetector 205 for detecting the shift | offset | difference of the focus of a condensing spot are attached.
이동 어셈블리(190)는 한쌍의 자기 회로(250)에 의해 구동되고, 한쌍의 가이드 레일(260)을 따라서 MO 디스크(240)의 반경 방향으로 이동한다. 이동 어셈블리(190)상에는 MO 디스크(240)상에 광을 집광하는 집광 렌즈(300)나, 집광 렌즈에 의한 집광 스폿의 위치에 자계를 발생시키는 자기 코일이나, 집광 렌즈(300)의 위치를 미세 조정함으로써, 집광 스폿의 포커스를 조정함과 동시에 집광 스폿을 트랙상에 위치시키는 액츄에이터 등이 탑재되어 있다. 액츄에이터에 의한 집광 렌즈(300)의 위치의 미세 조정은 상술한 광검출기(204, 205)에 의해 검출된 어긋남에 기초하여 행해진다.The moving assembly 190 is driven by a pair of magnetic circuits 250 and moves in the radial direction of the MO disk 240 along the pair of guide rails 260. On the moving assembly 190, the condenser lens 300 for condensing light on the MO disk 240, the magnetic coil for generating a magnetic field at the condensing spot position by the condenser lens, or the position of the condenser lens 300 are finely adjusted. By adjusting the focus of the focusing spot, an actuator or the like for positioning the focusing spot on the track is mounted. Fine adjustment of the position of the condenser lens 300 by the actuator is performed based on the deviation detected by the photodetectors 204 and 205 described above.
또한, 이동 어셈블리(190)에는 단면이 사각형인 노즐(192)이 형성되어 있으며, 고정 어셈블리(200)의 레이저 다이오드(12)에 의해 발사된 레이저광이 이 노즐(192)로부터 이동 어셈블리(190)내로 들어온다. 또한, MO 디스크(240)가 반사한 광이 이 노즐(192)로부터 고정 어셈블리(200)로 복귀한다. 또한, 이동 어셈블리(190)내의, 노즐(192)의 안쪽에는, 노즐(192)로부터 들어온 레이저광을 집광 렌즈(300)에 입사시키는 기동 미러도 내장되어 있다.In addition, the moving assembly 190 is formed with a nozzle 192 having a rectangular cross section, and laser light emitted by the laser diode 12 of the fixed assembly 200 is transferred from the nozzle 192 to the moving assembly 190. Coming into me. In addition, the light reflected by the MO disk 240 returns from the nozzle 192 to the fixing assembly 200. In addition, inside the nozzle 192 in the moving assembly 190, a starting mirror for injecting the laser light from the nozzle 192 into the condensing lens 300 is also incorporated.
도 3은 이동 어셈블리의 집광 렌즈(300) 주변을 도시한 확대도이다.3 is an enlarged view of the vicinity of the condenser lens 300 of the moving assembly.
MO 디스크(240)는 기판(241)과 기록층(242)으로 구성되어 있으며, 상술한 집광 렌즈는 반구 렌즈(301)와 비구면 렌즈(302)로 구성되어 있다. 상술한 고정 어셈블리로부터 유도되어 온 레이저광(L)은 반구 렌즈(301)와 비구면 렌즈(302)를 거쳐서 MO 디스크(240)상의 기록층(242)에 집광되어 광스폿을 형성한다.The MO disk 240 is comprised of the board | substrate 241 and the recording layer 242, and the condensing lens mentioned above is comprised with the hemispherical lens 301 and the aspherical lens 302. The laser light L guided from the fixing assembly described above is focused on the recording layer 242 on the MO disk 240 via the hemispherical lens 301 and the aspherical lens 302 to form an optical spot.
비구면 렌즈(302)의 MO 디스크(240)측에는, 본 발명의 자계 발생기의 한 실시 형태에 상당하는 자기 발생부(310)가 형성되어 있으며, 기록층(242)상의, 집광 스폿이 형성된 위치에, 기록층(242)에 대하여 수직인 자계를 발생시킨다. On the MO disk 240 side of the aspherical lens 302, a magnetic generating portion 310 corresponding to one embodiment of the magnetic field generator of the present invention is formed, and at the position where the condensing spot is formed on the recording layer 242, A magnetic field perpendicular to the recording layer 242 is generated.
기록층(242)상의, 집광 스폿이 형성된 위치에서는, 레이저광(L)의 조사에 의해 온도가 큐리점에 달하고, 자기 발생부(310)가 발생하는 자계에 의해 기록층(242)의 자구(磁區)의 자화 방향이, 기록 정보에 따른 방향으로 정해진다. 이에 따라 MO 디스크(240)에 정보가 기록된다.At the position where the condensation spot is formed on the recording layer 242, the magnetic domain of the recording layer 242 is caused by a magnetic field in which the temperature reaches the Curie point by irradiation of the laser light L, and the magnetic generating section 310 generates. The magnetization direction of vi) is determined in the direction according to the recording information. As a result, information is recorded on the MO disk 240.
자기 발생부(310)는 코일(311)과 자심(312)과 방열체(313)를 갖고 있다.The magnetic generator 310 has a coil 311, a magnetic core 312, and a heat sink 313.
도 4는 자기 발생부의 1/4 구성도이고, 도 5는 자기 발생부의 부분 확대도이다.4 is a 1/4 configuration diagram of the magnetic generator, and FIG. 5 is a partially enlarged view of the magnetic generator.
코일(311)은 본 발명에서 말하는 코일의 일례에 상당하고, 레이저광(L)이 투과하는 내부 구멍을 둘러감은 고리 형상의 형상을 갖는, 이른바 박막 코일이다. 이 코일(311)의 내부 구멍의 직경은 200㎛, 외부 직경은 600㎛로 되어 있으며, 따라서, 내부 구멍의 가장자리로부터 외측 가장자리까지의 폭은 200㎛이다. 정보 기록시에는 코일(311)에 대하여, 기록 정보에 따른 방향으로 변화하는 전류가 인가되고, 그 전류가 갖는 최대 주파수는 기록 데이터의 전송 속도를 고려하면 20㎒ 이상이 된다. 즉, 코일(311)에 흐르는 전류나 코일(311)이 발생하는 자계는 50㎱ 이하의 단시간내에 급속히 반전되게 된다.The coil 311 corresponds to an example of the coil according to the present invention, and is a so-called thin film coil having an annular shape surrounding an inner hole through which the laser light L passes. The diameter of the inner hole of this coil 311 is 200 micrometers, and the outer diameter is 600 micrometers, Therefore, the width from the edge of an inner hole to an outer edge is 200 micrometers. At the time of information recording, the current which changes in the direction according to the recording information is applied to the coil 311, and the maximum frequency which the current has becomes 20 MHz or more considering the transmission speed of the recording data. In other words, the current flowing through the coil 311 or the magnetic field generated by the coil 311 are rapidly reversed within a short time of 50 mV or less.
자심(312)은 본 발명에서 말하는 자성봉의 일례에 상당하고, CoNiFe로 이루어지고, 두께 3㎛이고 폭 6㎛의 봉상의 형상을 갖고 있다. 이들 자심(312)은 코일(311)의 내부 구멍을 중심으로 하여 방사상으로 배치되어 있으며, 각 자심(312)의 길이는 코일(311)의 내부 구멍의 가장자리로부터 외부 가장자리까지의 폭의 2배에 해당하는 400㎛로 되어 있다. 또한, 자심(312)의 총 체적은 자심(312)간의 공간의 총 체적보다도 적게되어 있다.The magnetic core 312 corresponds to an example of the magnetic rod in the present invention, is made of CoNiFe, and has a rod-like shape having a thickness of 3 µm and a width of 6 µm. These magnetic cores 312 are arranged radially around the inner hole of the coil 311, and the length of each magnetic core 312 is twice the width from the edge of the inner hole of the coil 311 to the outer edge. It corresponds to 400 micrometers. In addition, the total volume of the magnetic core 312 is smaller than the total volume of the space between the magnetic cores 312.
코일(311)에 의해 발생된 자계의 자력선은 방사상으로 배치된 자심(312)에 유도되어 코일(311)의 내부 구멍에 집중되고, MO 디스크상의 스폿 위치에 있어서의 자계 강도가 증대된다. 자심(312)을 구성하고 있는 CoNiFe는 1.5T를 초과하는 포화 자속 밀도를 갖는 자성 재료이므로, 자심(312)은 자계 강도를 충분히 증대시킬 수 있다. 또한, 코일(311)에 의해 발생되는 자계에 대하여 자심(312)은 반자계를 발생하는데, 이 반자계가 강하면 자심(312)의 내부 자계가 감쇠하여 자심(312)의 자화가 억제되고, 자심(312)에 의한 자계 강도의 증대 효과도 억제되게 된다. 이 반자계의 강도는 자심(312)의 구조에 의해 결정되고, 본 실시 형태에서는, 자심(312)이 상술한 바와 같은 봉상의 형상을 갖고 있어 총 체적이 억제되고 있기 때문에, 자심(312)의 반자계는 작고 자화가 크다.The magnetic force lines of the magnetic field generated by the coil 311 are guided by the magnetic cores 312 arranged radially, concentrated in the inner holes of the coil 311, and the magnetic field strength at the spot position on the MO disk is increased. Since CoNiFe constituting the magnetic core 312 is a magnetic material having a saturation magnetic flux density exceeding 1.5T, the magnetic core 312 can sufficiently increase the magnetic field strength. In addition, the magnetic core 312 generates a semi-magnetic field with respect to the magnetic field generated by the coil 311. If the semi-magnetic field is strong, the internal magnetic field of the magnetic core 312 is attenuated and the magnetization of the magnetic core 312 is suppressed. The effect of increasing the magnetic field strength by 312) is also suppressed. The strength of the semi-magnetic field is determined by the structure of the magnetic core 312. In this embodiment, since the magnetic core 312 has the rod-like shape as described above and the total volume is suppressed, The diamagnetic field is small and large in magnetization.
각 자심(312)에는 코일(311)과 겹치는 주변에 폭넓은 부분(312a)이 형성되어 있으며, 이에 따라, 자계 강도의 증대 효과가 더욱 향상되고 있다.Each of the magnetic cores 312 is provided with a wide portion 312a around the coil 311, whereby the effect of increasing the magnetic field strength is further improved.
코일(311)이 발생하는 자계가 상술한 바와 같이 급속히 반전되면, 각 자심(312)에는 와전류 손실이 생겨서 열을 발하지만, 본 실시 형태에서는 각 자심(312)이 봉상의 형상을 갖고 있기 때문에, 자력선에 직교하는 단면의 면적이 작고, 와전류 손실이나 발열이 억제되어 있다. 이 결과, 높은 주파수로 코일(311)을 구동한 경우이더라도 코일(311)의 소비 전력을 억제하여 코일(311)의 온도 상승을 회피할 수 있다. 이와 같이 코일(311)의 온도 상승이 회피된 결과, 코일(311)은 더욱 강한 자계를 발생할 수 있다. 큰 자화를 유지하면서 와전류 손실을 저감하기 위해서는 자심(312)이 최대폭과 최소폭의 비가 2배 이하인 봉상의 형상을 갖고 있는 것이 효과적이다.When the magnetic field generated by the coil 311 is rapidly reversed as described above, each magnetic core 312 generates an eddy current loss and generates heat. However, in the present embodiment, each magnetic core 312 has a rod-like shape. The area of the cross section orthogonal to the magnetic lines is small, and eddy current loss and heat generation are suppressed. As a result, even when the coil 311 is driven at a high frequency, the power consumption of the coil 311 can be suppressed to prevent the temperature rise of the coil 311. As a result of the temperature rise of the coil 311 is avoided, the coil 311 may generate a stronger magnetic field. In order to reduce eddy current loss while maintaining large magnetization, it is effective that the magnetic core 312 has a rod-like shape in which the ratio between the maximum width and the minimum width is two times or less.
방열체(313)는 본 발명에서 말하는 코일외 방열체의 일례에 상당하고, 코일(311)이 발생하는 자계의 반전에 수반하여 와전류를 발생하는 것을 회피하기 위하여, 코일(311)의 외부 직경의 1/6에 해당하는 100㎛라는 거리를 코일(311)의 외측 가장자리로부터 이격한 위치에 형성되어 있다. 이 방열체(313)는 각 자심(312)과 열적으로 접촉해 있으며, 각 자심(312)으로부터 열을 빼앗는다. 이 방열체(313)가 형성됨으로써, 자계 발생부의 열특성은 더욱 향상된다.The radiator 313 corresponds to an example of the non-coil radiator according to the present invention, and in order to avoid generating an eddy current with the inversion of the magnetic field generated by the coil 311, the outer diameter of the coil 311 A distance of 100 µm corresponding to 1/6 is formed at a position spaced apart from the outer edge of the coil 311. This heat sink 313 is in thermal contact with each of the magnetic cores 312, and takes heat from each magnetic core 312. By forming this heat sink 313, the thermal characteristics of the magnetic field generating portion are further improved.
여기서, 상술한 자심(312)이 상호 연결된 둥근 고리 형상의 자성층을 갖는 비교예에 있어서의 자계 발생 능력과, 본 실시 형태에 있어서의 자계 발생 능력을 비교하여 설명한다.Here, the magnetic field generating ability in the comparative example in which the above-described magnetic core 312 has a round ring-shaped magnetic layer interconnected with the magnetic field generating ability in the present embodiment will be described.
도 6은 비교예에 있어서의 자계 발생 능력을 나타낸 그래프이고, 도 7은 본 실시 형태에 있어서의 자계 발생 능력을 나타낸 그래프이다.6 is a graph showing the magnetic field generating capability in the comparative example, and FIG. 7 is a graph showing the magnetic field generating capability in the present embodiment.
이들 그래프의 각 횡축은 코일의 중심축(즉 집광 렌즈의 광축)상의 위치를, 코일 중심을 기준으로 하여 나타내고 있으며, 종축은 자계 강도를 나타내고 있다. 또한, 각 그래프에 있어서, 실선 L1, L4는 투자율(μ’)이 1000인 자성 재료로 자심이나 자성층이 구성되어 있는 경우의 자계 발생 능력을 나타내고 있으며, 파선 L2, L5는 투자율(μ’)이 500인 자성 재료로 자심이나 자성층이 구성되어 있는 경우의 자계 발생 능력을 나타내고 있으며, 일점쇄선 L3, L6은 투자율(μ’)이 200인 자성 재료로 자심이나 자성층이 구성되어 있는 경우의 자계 발생 능력을 나타내고 있다.Each horizontal axis of these graphs shows the position on the central axis of the coil (that is, the optical axis of the condenser lens) on the basis of the coil center, and the vertical axis represents the magnetic field strength. In the graphs, the solid lines L1 and L4 represent magnetic field generating capability when the magnetic core or magnetic layer is made of a magnetic material having a magnetic permeability (μ ') of 1000, and the dashed lines L2 and L5 have a magnetic permeability (μ'). Magnetic field generating ability when magnetic core or magnetic layer is composed of a magnetic material of 500, and the single-dot chain lines L3 and L6 are magnetic materials having magnetic permeability or magnetic layer with magnetic permeability (μ ') of 200. Indicates.
도 6에 나타낸 그래프에서는, 투자율이 200에서 1000까지의 범위로 상이하더라도, 자계 강도에는 거의 차이가 없다. 이것은 둥근 고리 형상의 자성층에 있어서의 반자계가 크기 때문에, 투자율이 크더라도, 그에 따라서 반자계가 커지고, 결국, 자성층의 자화는 거의 불변이고, 자계 강도도 거의 불변이 되는 것을 의미하고 있다.In the graph shown in FIG. 6, even if the magnetic permeability varies from 200 to 1000, there is little difference in magnetic field strength. This means that even if the magnetic permeability is large, the semi-magnetic field increases accordingly because the semi-magnetic field in the round ring-shaped magnetic layer is large. Consequently, the magnetization of the magnetic layer is almost unchanged, and the magnetic field strength is almost unchanged.
이에 비하여, 도 7에 나타낸 그래프에서는, 투자율이 200에서 1000까지의 범위로 상이하면, 자계 강도에도 차이가 생기고, 투자율이 500을 초과하면, 비교예와 같은 정도의 자계 강도를 얻을 수 있다. 이것은 봉상의 자심에서는 반자계가 작기 때문에, 투자율이 크면 자계 강도도 크다는 것을 의미하고 있다. 자계 발생기의 본래의 목적에서 보면, 자계 발생기의 자계 발생 능력은 비교예의 자계 발생 능력과 같은 정도인 것이 바람직하므로, 자심을 구성하는 자성 재료로서는, 투자율이 500을 초과하는 자성 재료인 것이 바람직하다. 또한, 비교예의 자계 발생 능력과 동일 정도의 자계 발생 능력을 유지하면서, 봉상의 형상에 의해 와전류 손실을 저감시키는 것이 요망되고, 두께 3㎛이고 폭 6㎛라는 가느다란 봉상의 형상으로 충분한 자계 발생 능력을 얻기 위해서는 1.5T 이상의 포화 자속 밀도를 갖는 것이 바람직하다. 이와 같은 투자율이나 포화 자속 밀도를 갖는 자성 재료로서는, 예를 들면 CoNiFe가 존재한다. 또, 상술한 투자율이나 포화 자속 밀도에는 약간 떨어지지만, NiFe도 자성 재료로서 적합하다.On the other hand, in the graph shown in FIG. 7, when magnetic permeability differs in the range from 200 to 1000, a difference also arises in magnetic field strength, and when magnetic permeability exceeds 500, the magnetic field strength similar to a comparative example can be obtained. This means that the magnetic field strength is large when the permeability is large because the half magnetic field is small in the magnetic core of the rod. From the original purpose of the magnetic field generator, the magnetic field generating capacity of the magnetic field generator is preferably about the same as the magnetic field generating capacity of the comparative example. Therefore, the magnetic material constituting the magnetic core is preferably a magnetic material having a magnetic permeability of more than 500. In addition, it is desired to reduce the eddy current loss by the rod shape while maintaining the magnetic field generating ability similar to that of the comparative example, and having sufficient magnetic field generating ability in the shape of a thin rod having a thickness of 3 μm and a width of 6 μm. It is preferable to have a saturation magnetic flux density of 1.5T or more in order to obtain. As a magnetic material having such permeability and saturation magnetic flux density, CoNiFe is present, for example. In addition, although slightly inferior to the above-mentioned permeability and saturation magnetic flux density, NiFe is also suitable as a magnetic material.
다음으로, 봉상의 자심을 채용함에 따른 와전류 손실의 저감 효과에 대하여 설명한다.Next, the effect of reducing the eddy current loss by adopting the rod-shaped magnetic core will be described.
도 8은 와전류 손실의 저감 효과를 나타낸 그래프이다.8 is a graph showing the effect of reducing the eddy current loss.
이 도 8의 횡축은 코일의 구동 주파수를 나타내고 있으며, 종축은 코일의 구동에 의해 생기는 저항을 나타내고 있다. 또한, 이 그래프의 실선 L7은 상술한 비교예에 있어서 생기는 저항을 나타내고 있고, 그래프의 파선 L8은 본 실시 형태에 있어서 생기는 저항을 나타내고 있으며, 그래프의 일점쇄선 L9은 자심이나 자성층을 갖지 않는 코일에서만 발생하는 저항을 나타내고 있다.8 represents the drive frequency of the coil, and the vertical axis represents the resistance generated by the drive of the coil. In addition, the solid line L7 of this graph shows the resistance which arises in the comparative example mentioned above, the broken line L8 of the graph shows the resistance which arises in this embodiment, and the dashed-dotted line L9 of the graph shows only the coil which does not have a magnetic core or a magnetic layer. The resistance generated is shown.
자심이나 자성층을 갖지 않는 코일만의 경우에는, 당연하게도 와전류는 생기지 않지만, 표피 효과에 의해 100㎒ 부근에서부터 저항이 증가하고 있다. 한편, 비교예에서는, 수㎒ 부근에서부터 저항이 급격히 증가해 가서, 큰 와전류 손실이 생기고 있다. 이에 비하여, 본 실시 형태에서는, 수㎒ 부근에서부터 저항이 증가하지만, 증가의 정도는 완만하고, 와전류 손실의 저감 효과가 얻어지고 있다.In the case of only the coil which does not have a magnetic core or a magnetic layer, eddy current does not arise naturally, but resistance increases from around 100 MHz by skin effect. On the other hand, in the comparative example, resistance increases rapidly from around several MHz, and large eddy current loss arises. In contrast, in the present embodiment, the resistance increases from around several MHz, but the degree of increase is moderate, and the effect of reducing the eddy current loss is obtained.
다음으로, 본 실시 형태에 구비되는 자심의 작성 방법에 관하여 설명한다. 한편, 자계 발생부에 있어서의 자심 이외의 각 구성부분에 대해서는, 도금 처리나 노광 처리 등을 이용하는 반도체 프로세스에 의해 작성할 수 있다는 것이 종래부터 알려져 있으므로, 작성 방법의 설명은 생략한다.Next, the preparation method of the magnetic core provided in this embodiment is demonstrated. On the other hand, since it is conventionally known that each component part other than the magnetic core in a magnetic field generating part can be created by the semiconductor process using a plating process, an exposure process, etc., description of a creation method is abbreviate | omitted.
도 9는 본 실시 형태에 구비되는 자심의 작성 방법의 설명도이다.9 is an explanatory diagram of a method of preparing a magnetic core provided in the present embodiment.
먼저, 유리 기판(401)으로서, 원하는 굴절율을 갖는 것이 선정되고(단계 S1), 이 유리 기판(401)상에, 자성 재료의 층을 형성하기 위한 도금 베이스(하지)(402)를, 진공 증착법 또는 스퍼터법에 의해 성막한다(단계 S2). 이 경우의 하지(402)의 두께는 수㎚∼수십㎚가 바람직하다.First, as the glass substrate 401, one having a desired refractive index is selected (step S1), and a plating base (base) 402 for forming a layer of a magnetic material on the glass substrate 401 is vacuum deposited. Alternatively, the film is formed by the sputtering method (step S2). In this case, the thickness of the base 402 is preferably several nm to several tens nm.
이 하지(402)상에 레지스트(403)를 도포하고, 방사상으로 패턴화된 마스크를 이용하여 노광 현상을 행한다. 그 결과, 마스크 패턴과 동일 형상의 레지스트(403)가 도금 베이스(402)상에 남겨진다(단계 S3).The resist 403 is apply | coated on this base 402, and exposure development is performed using the mask patterned radially. As a result, a resist 403 having the same shape as the mask pattern is left on the plating base 402 (step S3).
다음으로, 도금 처리에 의해, 레지스트(403)로 피복된 부분 이외의 하지(402)상에, 자성 재료의 층(404)이 형성된다(단계 S4). 그 후, 박리액이 사용되어 레지스트(404)가 제거된다(단계 S5).Next, by the plating process, a layer 404 of magnetic material is formed on the base 402 other than the portion covered with the resist 403 (step S4). Thereafter, the stripping solution is used to remove the resist 404 (step S5).
다음으로, 밀링 등에 의해 하지(402)의 두께만큼 전면이 균등하게 연삭되어 돌출부가 서로 분리됨으로써, 상술한 봉상의 자심(312)이 형성된다(단계 S6).Next, the entire surface is ground evenly by the thickness of the base 402 by milling or the like, and the protrusions are separated from each other, thereby forming the bar-shaped magnetic core 312 described above (step S6).
다음으로, 봉상의 자심(312)과, 이 후에 적층되는 다른 층을 절연하기 위하여, 봉상의 자심(312) 위를 덮도록, 알루미나 등의 절연 재료의 막(405)을 형성하고(단계 S7), 또한 알루미나층(406)을 성장시킨다(단계 S8).Next, in order to insulate the rod-shaped magnetic core 312 and other layers laminated thereafter, a film 405 of an insulating material such as alumina is formed so as to cover the rod-shaped magnetic core 312 (step S7). Also, the alumina layer 406 is grown (step S8).
마지막으로, 알루미나층(406)의 요철 형상을 CMP(Chemical Mechanical Polish)에 의해 평탄화하는 처리를 실시한다(단계 S9). Finally, a process of flattening the concave-convex shape of the alumina layer 406 by CMP (Chemical Mechanical Polish) is performed (step S9).
이상 설명한 바와 같이, 봉상의 자심 등은 반도체 프로세스의 응용에 의해 작성할 수 있다. 특히, 자심이 되는 자성 재료의 층을 성장시킬 때에는, 코스트가 낮은 도금 처리를 이용할 수 있으므로, 자계 발생부 그 자체의 작성 코스트를 억제할 수 있다.As described above, the rod-shaped magnetic core or the like can be created by the application of the semiconductor process. In particular, when growing a layer of magnetic material serving as a magnetic core, a plating process having a low cost can be used, so that the production cost of the magnetic field generating portion itself can be suppressed.
이하, 상술한 실시 형태와는 상이한 다른 실시 형태에 관하여 설명한다.Hereinafter, other embodiment different from embodiment mentioned above is demonstrated.
이 다른 실시 형태는 봉상의 자심 상호간에 방열체가 매립되는 점을 제외하고, 상술한 실시 형태와 거의 동일한 실시 형태이므로, 이하에서는, 상위점에만 착안하여 설명을 행한다.This other embodiment is almost the same embodiment as the above-mentioned embodiment except that the heat dissipation body is embedded between rod-shaped magnetic cores, and therefore, focusing only on difference point, it demonstrates below.
도 10은 또하나의 실시 형태에 있어서의 자기 발생부의 1/4 구성도이고, 도 11은 자기 발생부의 단면도이다.FIG. 10 is a 1/4 configuration diagram of the magnetic generating unit in still another embodiment, and FIG. 11 is a cross-sectional view of the magnetic generating unit.
여기에서 나타내는 실시 형태에서는, 상술한 봉상의 자심(312) 상호간에, Cu로 이루어지는 방열체(314)가 매립되어 있다. 이 방열체(314)는 본 발명에서 말하는 봉간 방열체의 일례에 상당하고, 도 9에 나타낸 작성 순서의 단계 S8에서, 알루미나층 대신에 Cu층이 성장됨으로써 형성된다. 따라서, 자심(312)과 방열체(314) 사이에는 상술한 알루미나의 막이 존재하고, 절연되어 있다.In embodiment shown here, the heat radiator 314 which consists of Cu is buried between the bar-shaped magnetic cores 312 mentioned above. This heat sink 314 corresponds to an example of the rod-to-bar heat sink according to the present invention, and is formed by growing a Cu layer instead of an alumina layer in step S8 of the preparation procedure shown in FIG. 9. Therefore, the above-mentioned alumina film exists between the magnetic core 312 and the heat sink 314, and is insulated.
또한, 자심(312)간의 방열체(314)는 코일(311) 주위에 배치된 방열체(313)에 대하여, 접합층(315)을 통하여 접합되어 있으며, 자심(312)이 발생하는 열을 빼앗아 코일(311) 주위의 방열체(313)로 효율적으로 방출할 수 있다.In addition, the radiator 314 between the magnetic cores 312 is bonded to the radiator 313 arranged around the coil 311 via the bonding layer 315, and takes away the heat which the magnetic core 312 produces | generates. The heat dissipation member 313 around the coil 311 can be efficiently discharged.
또, 상기 설명한 각 실시 형태에서는, 본 발명에서 말하는 자성봉의 일례로서, 폭이 거의 일정한 봉상의 자심이 예시되어 있으나, 본 발명에서 말하는 자성봉은 최대폭과 최소폭의 비가 2배를 넘지 않는 범위내라면, 예를 들면 한쪽 단을 향함에 따라서 서서히 굵어지는 형상이어도 된다.In each of the above-described embodiments, a magnetic rod having a substantially constant width is exemplified as an example of the magnetic rod of the present invention. However, the magnetic rod of the present invention has a maximum width and a minimum width within a range not exceeding twice. If it is, for example, it may be a shape that gradually thickens toward one end.
Claims (13)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020047020895A KR100704819B1 (en) | 2004-12-22 | 2002-12-26 | Magnetic field generator and magneto-optical information storage device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020047020895A KR100704819B1 (en) | 2004-12-22 | 2002-12-26 | Magnetic field generator and magneto-optical information storage device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20050089745A true KR20050089745A (en) | 2005-09-08 |
| KR100704819B1 KR100704819B1 (en) | 2007-04-10 |
Family
ID=37272099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020047020895A KR100704819B1 (en) | 2004-12-22 | 2002-12-26 | Magnetic field generator and magneto-optical information storage device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100704819B1 (en) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2964517B2 (en) * | 1989-07-29 | 1999-10-18 | ソニー株式会社 | Magneto-optical pickup device |
| US6305523B1 (en) * | 1999-10-22 | 2001-10-23 | Japan Tobacco Inc. | Coin discriminating apparatus |
| JP2003272264A (en) * | 2002-03-14 | 2003-09-26 | Sony Corp | Magneto-optical recording medium and manufacturing method thereof |
| KR100761205B1 (en) * | 2006-05-04 | 2007-09-21 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | Magnetooptic head |
-
2002
- 2002-12-26 KR KR1020047020895A patent/KR100704819B1/en active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100704819B1 (en) | 2007-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4037055B2 (en) | Magnetic recording apparatus, magnetic recording / reproducing apparatus, and magnetic recording method | |
| EP0742557B1 (en) | Thin film magnetic head for use with magneto-optic disc drive | |
| KR100377980B1 (en) | Magneto-optical head device having integrated auxiliary lens and magnetic reproducing haed and recording and reproducing device using magneto-optical head device | |
| US6631099B1 (en) | Magnetic field modulation magnetic head, magneto-optical element, optical pickup device, and optical disk drive, in which first and second magnetic cores are placed on opposite sides of magnetic field generation coil to achieve low power consumption and high efficiency | |
| KR100784396B1 (en) | Method of manufacturing a magnetic head having a planar coil | |
| CN105304096A (en) | Split-ring resonator (SRR) NFT design for use in HAMR | |
| KR100704819B1 (en) | Magnetic field generator and magneto-optical information storage device | |
| JP4047861B2 (en) | Magnetic field generator and magneto-optical information storage device | |
| KR100781184B1 (en) | Magnetic head having a magnetic coil | |
| US20060114756A1 (en) | Light-assisted type magnetic recording head, magnetic recording apparatus and laser-assisted type magnetic recording head manufacturing method | |
| JP2005141810A (en) | Magneto-optical head and magneto-optical disk device | |
| JP2003178498A (en) | Magnetic head and data recording and reproducing device | |
| JPH11232718A (en) | Magneto-optical head and magneto-optical recording device | |
| JP2005011400A (en) | Magnetic field generator and magneto-optical memory device | |
| JP2004087068A (en) | Compound optical head and optical disk device using the same | |
| JP2000285542A (en) | Magnetooptic head | |
| US20050105402A1 (en) | Magneto-optical head and magneto-optical disk drive | |
| JP4949313B2 (en) | Information recording medium, information recording apparatus, information recording method, and method for manufacturing the information recording medium | |
| KR20000042134A (en) | Optical magnetic recording medium and playback method thereof | |
| JP2000306283A (en) | Method and device for recording/reproducing, and magneto-optical head | |
| JPH11191246A (en) | Information record medium and its manufacture | |
| JPH03260936A (en) | Magneto-optical disk device for magnetic field modulated overwrite | |
| JPH1166656A (en) | Magnetic head for super resolution magneto-optical recording medium and magneto-optical recording device | |
| JP2003257099A (en) | Magnetic head, data recording and reproducing device and method for forming magnetic film to magnetic head | |
| JPH1145472A (en) | Optical information recording/reproducing device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130321 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140319 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160318 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170302 Year of fee payment: 11 |