KR20050058310A - Fan filter unit with means of air reverse flow prevention - Google Patents
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Abstract
본 발명은 클린룸을 유지하기 위하여 설치되는 팬 필터 유니트 제어장치의 이상감지 및 역기류 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니터에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 클린룸의 천정에 고성능 팬필터 유니트가 부착 설치되고, 필터를 거쳐서 나온 청정공기가 클린 룸에 유입되며, 클린룸에 유입된 공기는 실내에서 발생된 부유 미립자와 실내에 존재하는 다양한 종류의 먼지들이 바닥에 설치된 격자면 사이로 공기의 흐름을 따라서 내려가게 되고, 내려간 부유미립자와 다양한 먼지들은 벽을 타고 다시 천정에 부착된 팬필터 유니트에서 정화하여 클린 룸으로 내보는 과정을 거쳐서 클린룸을 유지하게 되나, 여러 대의 팬필터 유니트 중에서 적어도 한대 이상에서 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬필터 유니트로 공기의 역기류가 발생하게 되어 크린룸의 청정도와 생산되는 제품에 치명적인 영향을 주게 되는데 이를 방지하기 위하여 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와, 압력센서에서 팬의 움직임에 의한 공기의 압력에 이상이 발생하였다고 판단할 경우에 공기를 흡입하는 뎀퍼를 닫아서 공기의 역기류를 막아주는 수단과, 정상동작을 할 경우에는 공기가 자연스럽게 팬 필터 유니트로 유입되도록 뎀퍼를 열어 주는 수단 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함으로써 다양한 원인에 의하여 발생하는 팬필터 유니트의 이상발생에 따른 공기의 역기류를 방지하는데 그 특징이 있다. The present invention relates to a fan filter unit having an abnormality detection and backflow prevention means of a fan filter unit control device installed to maintain a clean room. More specifically, in the present invention, a high-performance fan filter unit is attached to the ceiling of a clean room, and clean air from the filter is introduced into the clean room, and air introduced into the clean room is present in the room with suspended particulates generated in the room. Various kinds of dusts are flowed down the air flow between the grids installed on the floor, and the suspended particulates and various dusts are removed from the fan filter unit attached to the ceiling and discharged to the clean room through the wall. In case of stopping the operation due to abnormality in at least one of the fan filter units among several fan filter units, a back-air flow of air is generated by the abnormal fan filter unit, which is fatal to cleanliness of clean room and produced products. This will affect the fan operation of the fan filter unit. Underground pressure sensor and means to prevent backflow of air by closing the damper that sucks air when it is determined that the abnormality in the air pressure caused by the movement of the fan in the pressure sensor, and in case of normal operation By means of opening the damper so as to naturally flow into the fan filter unit and the control means for controlling the feature is to prevent the back air flow of the air caused by the abnormal occurrence of the fan filter unit caused by various causes.
Description
본 발명은 클린룸을 유지하기 위하여 설치되는 팬 필터 유니트 중에 어느 하나 또는 일부에서 이상이 발생하여 동작하지 않을 경우에 발생하는 공기의 역기류를 방지하기 위하여 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와 공기의 흐름을 제어하는 뎀퍼와 이들을 제어하는 제어수단이 부착된 공기의 역기류를 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니터에 관한 것이다. The present invention is a pressure sensor and air to detect the operation of the fan to prevent the backflow of air generated when any one or some of the fan filter unit is installed to maintain the clean room does not operate A fan filter unit having a damper for controlling the flow of air and a means for preventing backflow of air to which the control means for controlling the flow is attached.
종래에는 클린룸의 청정도를 유지하기 위하여 팬필터 유니트의 모터가 과열되거나 저전류 상태 등의 이상여부를 센서로 감지하여 사용자들이 알 수 있도록 하여 사용자들이 보수하여 유지하는 수단을 구비하고 있으나, 사용들이 조치하기 전까지는 공기의 역기류를 방지하는 별도의 수단이나 구성이 없어서 클린룸의 청정도에 이상이 생기고 생산되는 제품에도 영향을 주는 등의 문제점이 있다. Conventionally, in order to maintain the cleanliness of the clean room, the sensor of the fan filter unit is overheated or low current state is detected by the sensor so that the user can know that the user has a means to repair and maintain, Until the measures are taken, there is a problem in that there is no separate means or configuration for preventing the backflow of air, which causes abnormalities in the cleanliness of the clean room and affects the products produced.
종래기술의 또 다른 문제점은 팬필터 유니트의 모터와 팬의 이음 부분이 파손되어 팬은 동작하지 않고 모터만 동작할 경우와 팬이 어떤 기구물에 의하여 구속되었을 경우에 과열이나 저 전류를 감지하는 팬 필터 유니트로 공급되는 전류의 이상여부로 모터의 정상동작 여부를 감지하는 수단으로는 팬의 동작여부를 감지할 수 없는데 있다. Another problem of the prior art is a fan filter that detects overheating or low current when the motor of the fan filter unit and the joint of the fan are broken and only the motor is operated without the fan operating and the fan is constrained by a certain mechanism. It is impossible to detect whether the fan is operating by means of detecting the normal operation of the motor due to the abnormality of the current supplied to the unit.
본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 상기와 같은 종래기술의 문제점을 인식하고 창안된 것으로, 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와, 압력센서에서 팬의 움직임에 의한 공기의 압력에 이상이 발생하였다고 판단할 경우에 공기를 흡입하는 뎀퍼를 닫아서 공기의 역기류를 막아주는 수단과, 정상동작을 할 경우에는 공기가 자연스럽게 팬 필터 유니트로 유입되도록 뎀퍼를 열어 주는 수단 및 이를 제어하는 제어수단을 구비하고 여러 가지 원인으로 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬으로 공기의 역기류를 방지하여 생산되는 제품에 미치는 영향 및 클린룸의 오염을 최소화할 수 있는 역기류 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니터를 제공하는데 그 목적이 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is to recognize the problems of the prior art as described above, the pressure sensor for detecting the operation of the fan of the fan filter unit, and abnormality in the air pressure due to the movement of the fan in the pressure sensor Means for preventing backflow of air by closing the damper that sucks air when it is determined to occur, and means for opening the damper so that air naturally flows into the fan filter unit during normal operation, and a control means for controlling the damper. And stop the operation due to a variety of causes to prevent the backflow of air to the fan that has the abnormality has a backflow prevention means that can minimize the impact on the product produced and contamination of the clean room Its purpose is to provide a fan filter unit.
본 발명의 또 다른 목적은 상기와 같은 공기의 흐름을 측정하는 압력센서나 압력센서와 연동하는 뎀퍼 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함이 없이 공기의 흐름에 의하여 발생하는 압력을 이용하여 팬필터 유니트가 동작할 경우에는 열리고 팬의 이상 발생시에는 공기가 빨려 들어가는 힘에 의하여 자동으로 닫히는 구조로 구성되어 생산비용을 최소화하는 구성으로 설계 제작하거나 스프링과 선을 이용하여 뎀퍼를 열고 닫을 수 있는 구성함으로써 구성이 비교적 간단하여 고장이 적고 생산 비용을 최소화하여 구성하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a fan filter unit using pressure generated by the flow of air without having a pressure sensor or a damper interlocking with the pressure sensor and a control means for controlling the same. Is open when it is in operation, and in case of an abnormal fan, it is automatically closed by the power of air sucked in. It is designed and manufactured to minimize the production cost, or it can be configured by opening and closing the damper using springs and wires. This is relatively simple, so there is less trouble and the production cost is minimized.
본 발명은 클린룸을 유지하기 위하여 설치되는 팬 필터 유니트 중에 어느 하나 또는 일부에서 이상이 발생하여 동작하지 않을 경우에 발생하는 공기의 역기류흐름을 방지하기 위하여 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와 공기의 흐름을 제어하는 뎀퍼와 이들을 제어하는 제어수단이 부착된 공기의 역기류를 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니터에 관한 것이다. The present invention is a pressure sensor for detecting the operation of the fan to prevent the back flow of air generated when any one or a part of the fan filter unit is installed to maintain the clean room does not operate and A fan filter unit having a damper for controlling the flow of air and a means for preventing backflow of air with a control means for controlling the air.
종래에는 클린룸의 청정도를 유지하기 위하여 팬필터 유니트의 모터가 과열되거나 저전류 상태 등의 이상여부를 센서로 감지하여 사용자들이 알 수 있도록 하여 사용자들이 보수하여 유지하는 수단을 구비하고 있으나, 사용들이 조치하기 전까지는 공기의 역기류를 방지하는 별도의 수단이나 구성이 없어서 클린룸의 청정도에 이상이 생기고 생산되는 제품에도 영향을 주는 등의 문제점이 있다. Conventionally, in order to maintain the cleanliness of the clean room, the sensor of the fan filter unit is overheated or low current state is detected by the sensor so that the user can know that the user has a means to repair and maintain, Until the measures are taken, there is a problem in that there is no separate means or configuration for preventing the backflow of air, which causes abnormalities in the cleanliness of the clean room and affects the products produced.
종래기술의 또 다른 문제점은 팬필터 유니트의 모터와 팬의 이음 부분이 파손되어 팬은 동작하지 않고 모터만 동작할 경우와 팬이 어떤 기구물에 의하여 구속되었을 경우에 과열이나 저 전류를 감지하는 팬 필터 유니트로 공급되는 전류의 이상여부로 모터의 정상동작 여부를 감지하는 수단으로는 팬의 동작여부를 감지할 수 없는데 있다.Another problem of the prior art is a fan filter that detects overheating or low current when the motor of the fan filter unit and the joint of the fan are broken and only the motor is operated without the fan operating and the fan is constrained by a certain mechanism. It is impossible to detect whether the fan is operating by means of detecting the normal operation of the motor due to the abnormality of the current supplied to the unit.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것이다. 본 발명을 용이하게 이해할 수 있는 도면에 대하여 살펴본다. 도1은 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸의 공기 흐름을 나타낸 것이며, 도2는 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸에서 팬필터 유니트가 정상적으로 동작할 경우의 공기 흐름를 보여주고 있다. 도3은 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸에서 팬이 정상적으로 동작하지 않을 경우의 공기 흐름을 나타낸 것이며, 도4는 본 발명에 따라 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트의 구성을 나타낸 것이다. 도5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트의 구성을 나타낸 것이다. 본 발명을 이루기 위한 구성수단들에 대하여 구체적으로 살펴본다. 일반적으로 클린룸에는 천정에 미세 먼지 등을 제거할 수 있는 고성능 팬필터 유니트가 부착 설치되고, 필터를 거쳐서 나온 청정공기를 클린 룸으로 불어 넣고, 클린룸에 유입된 공기는 실내에서 발생된 부유 미립자와 기타 실내에서 발생하는 다양한 종류의 먼지들과 함께 바닥에 설치된 격자면 사이로 공기의 흐름을 따라서 바닥 하부로 내려가게 되고, 내려간 부유미립자과 다양한 먼지들은 벽을 타고 다시 천정에 부착된 팬필터 유니트에서 정화하는 과정을 거쳐서 클린룸을 유지하게 되나, 여러 대의 팬필터 유니트 중에서 적어도 한대 이상이 여러 가지 원인으로 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬 필터 유니트가 공기의 흡입구로 작용하여 공기의 역기류가 심하게 발생하게 된다. 본 발명은 상기 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 팬의 동작에 의하여 발생하는 풍압을 측정하여 감지하기 위하여 팬필터 유니트의 일측에 압력센서를 고정 설치한다. 또한 상기 팬 필터 유니트의 공기를 흡입하는 흡입구는 뎀퍼가 설치되는 부분을 제외한 모든 부분을 밀폐시키기 위하여 직육면체 형상의 구조물을 설치 고정하고 박스의 일측에 상기 압력센서와 연동하여 뎀퍼를 소형 모터와 함께 흡입구 일측에 설치 고정한다. 상기 팬 필터 유니트의 팬의 동작에 따른 풍량을 감지하는 압력센서와 압력센서에서 감지된 신호에 기초하여 뎀퍼를 열고 닫아주는 제어부를 구비한다. 뎀퍼는 팬이 회전하면 열린 상태를 유지하여 팬 필터 유니트로 공기가 용이하게 유입되고, 팬의 동작이 중지되면 닫힌 상태를 유지하여 공기의 역기류를 방지하도록 구성되어 있다. 본 발명에 따른 다양한 실시 예를 살펴본다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above. It looks at the drawings that can be easily understood the present invention. 1 shows the air flow in the clean room in which the fan filter unit is installed, and FIG. 2 shows the air flow when the fan filter unit operates normally in the clean room in which the fan filter unit is installed. Figure 3 shows the air flow when the fan does not operate normally in a clean room in which the fan filter unit is installed, Figure 4 shows the configuration of the fan filter unit having a backflow prevention function according to the present invention. Figure 5 shows a configuration of a fan filter unit having a backflow prevention function according to another embodiment according to the present invention. The construction means for achieving the present invention will be described in detail. In general, the clean room is equipped with a high-performance fan filter unit installed to remove fine dust from the ceiling, and blows clean air from the filter into the clean room, and air introduced into the clean room is suspended particulates generated indoors. And various kinds of dust generated in the room, along with the flow of air between the grid surface installed on the floor and down the floor, and the suspended particulates and various dusts are removed from the fan filter unit attached to the ceiling through the wall. The clean room is maintained through the process, but when at least one of the fan filter units stops working due to various causes, the fan filter unit that acts as an air intake port acts as an air inlet. Airflow is severely generated. The present invention is fixed to the pressure sensor on one side of the fan filter unit in order to detect and measure the wind pressure generated by the operation of the fan operation of the fan of the fan filter unit. In addition, the suction inlet for sucking air of the fan filter unit is fixed to install a rectangular parallelepiped structure to seal all parts except the part where the damper is installed, and the damper is connected to the pressure sensor on one side of the box together with the small motor. Fix it on one side. And a controller for opening and closing the damper on the basis of a pressure sensor for detecting the air volume according to the operation of the fan of the fan filter unit and a signal detected by the pressure sensor. The damper is configured to maintain an open state when the fan is rotated so that air is easily introduced into the fan filter unit, and to maintain a closed state when the fan is stopped to prevent backflow of air. Look at various embodiments according to the present invention.
[실시 예] EXAMPLES
[실시 예1] Example 1
본 발명에 따른 구체적인 실시 예1을 도4에 기초하여 살펴보면, 팬 필터 유니트의 일측에 풍력을 감지할 수 있는 위치에 압력센서를 고정 설치하고, 팬 필터 유니트의 뒷면 공기가 흡입되는 부분에는 정사각형 또는 직사각형의 형상으로 소정의 높이로 뎀퍼가 설치되어 공기를 흡입하는 면을 제외한 모든 면을 밀폐(도4의 17)시키고, 상기 공기 흡입구에 설치된 뎀퍼(도4의 13)를 소정의 회전각으로 회전할 수 있도록 소형 모터(도시하지 않음)를 뎀퍼와 인접하여 부착 설치하며, 상기 압력센서(도4의 11)로 전기적 신호를 감지하여 뎀퍼와 서로 연동하여 작동할 수 있도록 제어하는 제어기(도4의 12)가 팬 필터 유니트의 일측에 고정 설치된다. 동작원리는 팬 필터 유니트의 팬이 동작하는지의 여부를 압력센서로 감지한 전기적 신호를 이용하여 팬(도4의 16)이 동작하면 상기 뎀퍼는 열린 상태를 유지하고, 팬의 동작이 중지되면 뎀퍼는 닫힌 상태를 유지하는 구성으로 이루어진다. 상기 뎀퍼는 공기의 흡입량을 고려하여 적어도 하나 이상 설치하면서 적어도 한 면 이상에 설치 고정하여 공기의 흡입이 자유롭게 구성한다. 재질은 팬 필터 유니트의 케이스와 동일하거나 합성수지 등으로 구성할 수 있다. Looking at a specific embodiment 1 according to the present invention based on Figure 4, the pressure sensor is fixed to a position that can detect the wind on one side of the fan filter unit, a square or a portion in which the air on the back of the fan filter unit is sucked The damper is installed at a predetermined height in a rectangular shape to seal all surfaces except the air suction surface (17 in FIG. 4), and rotate the damper (13 in FIG. 4) installed in the air intake port at a predetermined rotation angle. A small motor (not shown) is attached and installed adjacent to the damper so that the controller can sense the electrical signal with the pressure sensor (11 in FIG. 4) and operate to operate in conjunction with the damper (FIG. 4). 12) is fixedly installed at one side of the fan filter unit. The principle of operation is that the fan (16 in Fig. 4) operates using the electrical signal detected by the pressure sensor whether the fan of the fan filter unit is operating, the damper is kept open, the damper when the operation of the fan stops The configuration is made to remain closed. The damper is installed at least one surface while fixing at least one in consideration of the intake amount of the air to freely intake the air. The material may be the same as the case of the fan filter unit, or may be made of synthetic resin or the like.
[실시 예2] Example 2
본 발명에 따른 구체적인 실시 예2를 도5에 기초하여 살펴보면, 상기 실시 예1에서 사용된 풍력을 감지하는 압력센서, 공기의 흡입을 위한 뎀퍼 및 제어기를 구비함이 없이 팬 필터 유니트의 뒷면 공기가 흡입되는 부분에는 정사각형 또는 직사각형의 형상으로 소정의 높이로 뎀퍼가 설치되어 공기를 흡입하는 면을 제외한 모든 면을 밀폐(도5의 17)시키고, 공기의 흡입을 위한 흡입구에는 중력과 공기의 흡입력에 의하여 자연스럽게 회전하여 문이 열고 닫히는 구조(도5의 13)로 설계 제작한다. 즉, 팬 필터 유니트가 동작하면 공기의 흡입력에 의하여 문이 회전축을 중심으로 소정의 각도로 열리고, 팬 필터 유니트가 작동을 멈추면 공기의 역기류에 의하여 문이 자동을 밀폐되는 구성으로 이루어져 생산비용을 크게 절감할 수 있는 구성으로 이루어진다. 재질은 팬 필터 유니트의 케이스와 동일하거나 합성수지 등으로 구성할 수 있다. Looking at the specific embodiment 2 according to the present invention based on Figure 5, the air on the back of the fan filter unit without the pressure sensor for sensing the wind used in the first embodiment, a damper and suction controller for the intake of air In the suction part, a damper is installed at a predetermined height in a square or rectangular shape to seal all surfaces except the air suction side (17 in FIG. 5), and the suction inlet for suction of air is applied to gravity and air suction force. Naturally rotated by the design to produce a door opening and closing structure (13 in Figure 5). That is, when the fan filter unit is operated, the door is opened at a predetermined angle around the rotating shaft by the suction force of the air, and when the fan filter unit stops operation, the door is automatically sealed by the backflow of air. It is made of a configuration that can greatly reduce the. The material may be the same as the case of the fan filter unit, or may be made of synthetic resin or the like.
본 발명은 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와, 압력센서에서 팬의 움직임에 의한 공기의 압력에 이상이 발생하였다고 판단할 시 공기를 흡입하는 뎀퍼를 닫아서 공기의 역기류를 막아주는 수단과, 정상동작을 할 경우에는 공기가 자연스럽게 팬 필터 유니트로 유입되도록 소형모터와 연동하는 뎀퍼를 열어 주는 수단 및 이를 제어하는 제어수단을 구비하고 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬으로 공기의 역기류를 방지하여 생산되는 제품에 미치는 영향 및 클린룸의 오염을 최소화하는 작용효과가 있다.The present invention is to close the air flow by closing the pressure sensor for detecting the operation of the fan of the fan filter unit, and the damper to suck the air when it is determined that the abnormality in the air pressure due to the movement of the fan in the pressure sensor And a means for opening the damper interlocked with the small motor so that air naturally flows into the fan filter unit during normal operation, and a control means for controlling the same. There is an effect of minimizing contamination of the clean room and the effect on the product produced by preventing backflow of air with the fan.
본 발명의 또 다른 효과는 상기와 같은 공기의 흐름을 측정하는 압력센서나 압력센서와 연동하는 뎀퍼 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함이 없이 공기의 흐름에 의하여 발생하는 압력을 이용하여 팬필터 유니트가 동작할 경우에는 열리고 팬의 이상 발생시에는 공기가 빨려 들어가는 힘에 의하여 자동으로 닫히는 구조로 구성되어 생산비용을 최소화하는 구성으로 설계 제작하거나 스프링과 선을 이용하여 뎀퍼를 열고 닫을 수 있는 구성함으로써 구성이 비교적 간단하여 고장이 적고 생산 비용을 최소화하여 구성하는데 있다.Another effect of the present invention is a fan filter unit using a pressure generated by the flow of air without having a pressure sensor for measuring the flow of air or a damper interlocked with the pressure sensor and a control means for controlling the same. Is open when it is in operation, and in case of an abnormal fan, it is automatically closed by the power of air sucked in. It is designed and manufactured to minimize the production cost, or it can be configured by opening and closing the damper using springs and wires. This is relatively simple, so there is less trouble and the production cost is minimized.
도1은 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸의 공기 흐름도1 is a flow chart of air in a clean room equipped with a fan filter unit
도2는 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸에서 팬필터 유니트가 정상적으로 동작할 경우의 공기 흐름도2 is an air flow chart when the fan filter unit operates normally in a clean room in which the fan filter unit is installed.
도3은 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸에서 팬이 정상적으로 동작하지 않을 경우의 공기 흐름도3 is an air flow diagram when a fan does not operate normally in a clean room in which a fan filter unit is installed.
도4는 본 발명에 따라 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트의 구성도4 is a block diagram of a fan filter unit having a backflow prevention function according to the present invention;
도5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트의 구성도5 is a configuration diagram of a fan filter unit having a reverse airflow prevention function according to another embodiment according to the present invention.
<도면 부호의 간단한 설명><Short description of drawing symbols>
11 ; 압력센서11; Pressure sensor
12 ; 제어기 13 ; 뎀퍼12; Controller 13; Damper
14 ; 팬 필터 유니트 15 ; 모터14; Fan filter unit 15; motor
16 ; 팬 17 ; 밀폐형 구조물16; Fan 17; Hermetic structure
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Cited By (1)
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