KR20050041813A - Pressure-thermometer in same time - Google Patents

Abstract

본 발명은 그동안 각각 독립적으로 사용하던 압력계측기와 온도계측기를 하나의 복합계측기로 통합한 것으로 이중연결부(Dual Shank)와 이중 미소스프링(Dual Movement)을 이용하여 하나의 케이스에 온도와 압력이 동시에 측정되는 것으로 압력지침과 온도지침이 동일한 하나의 중심기아축을 공유할 경우에는 "일체형"으로 별도의 축을 이용하는 경우에는 "분리형"으로 하는 2가지 형태의 복합계측기인 압력온도계에 관한 것이다. "분리형"의 경우 이중연결부를 유체의 압력과 온도측정의 유입구로 공동사용하는 것으로 이중연결부에 형성된 2개의 유입구중 하나는 압력용으로 다른 하나는 온도감지봉용으로 활용하도록 구성되어 있으며, 따라서 압력과 온도지침은 서로 분리됨으로 별도의 지침으로 각각의 값을 표시하게 되며 "일체형"의 경우에는 이중연결부와 이중미소스프링을 공통으로 사용하여 압력과 온도의 값을 나타내는 지침이 동일 중심기아축을 활용함으로 하나의 문자판 위에 온도,압력 이중으로 표시된 측정값을 각각 가리킴으로 압력과 온도값이 동시에 일체적으로 나타나게 된다.The present invention integrates a pressure gauge and a thermometer which are used independently of each other as a single measuring instrument. The temperature and pressure are simultaneously measured in one case by using a dual shank and a dual microspring. The present invention relates to a pressure thermometer, which is a two-in-one type of combined measuring instrument that is “integrated” when the pressure and temperature instructions share the same central gear axis, and “separate type” when a separate shaft is used. In the case of "separable type", the double connection is used as the inlet for the pressure and temperature measurement of the fluid. One of the two inlets formed in the double connection is configured for pressure and the other for the temperature sensing rod. The temperature guidelines are separated from each other, and each value is displayed as a separate guideline. In the case of the "integral type", the double-headed joint and the double-misospring spring are used in common to indicate the pressure and temperature values by using the same central gear axis. The temperature and pressure values are indicated on the dial, respectively, so that the pressure and temperature values are displayed at the same time.

이와같이 하나의 계측기에서 계측하고자히는 유체를 분리형, 일체형 모두 동일지점에서 동시에 편리하게 압력과 온도를 계측할 수 있는 이점이 있으며,"분리형"의 경우에는 케이스형태를 사각이나 원형으로 할 수도 있고, 압력과 온도표시판을 각각 하나는 크게 하나는 작게할 수도 있다.In this way, the fluid to be measured in one instrument can be conveniently and simultaneously measured pressure and temperature at the same point, both in a separate type, and in the case of "separable type", the case shape can be square or round, One pressure and one temperature display plate may be made, one larger and one smaller.

따라서 이러한 복합계측기는 온도계측기와 압력계측기의 분리설치에 따른 설치비의 2분의 1 감소, 케이스와 연결부, 미소스프링의 공통사용으로 인한 부품의 감소와 자재비의 절약, 온도 압력의 계측지점이 동일하여 종전의 압력계측기와 온도계측기의 분리된 설치에 따른 측정값의 오차도 훨씬 제거된 정확한 측정값을 얻게 됨으로 보다 향상된 계측기역활을 수행하게 되었다.Therefore, the combined instrument has a half of the installation cost due to the separate installation of the thermometer and the pressure gauge, the reduction of parts and material cost due to the common use of the case, the connection part and the micro spring, and the measurement points of the temperature and pressure. As a result of obtaining accurate measurement values, the error of the measured values due to the separate installation of the pressure gauge and the thermometer instrument was eliminated even more, thus serving as an improved measuring instrument.

이 계측기의 발명으로 관 속 유체의 압력과 온도의 상관관계가 손쉽게 동시 측정되어 여러제품들의 전반적인 품질향상에도 많은 기여가 될 것이다.The invention of the instrument makes it easy to simultaneously measure the correlation between the pressure and temperature of a fluid in a pipe, which will contribute to the overall quality improvement of various products.

Description

압력계측기 겸 온도계측기{Pressure-thermometer in same time}Pressure Gauge and Thermometer {Pressure-thermometer in same time}

본 발명은 하나의 계측기에서 온도 및 압력을 동시에 측정할 수 있도록 한 압력계측기 겸 온도계측기에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure gauge and a thermometer measuring instrument that can simultaneously measure the temperature and pressure in one instrument.

일반적으로 용량, 속도, 진동, 온도, 압력, 열량 및 길이 등의 양의 크기나 물리적인 상태를 양적(수치)으로 포착하여 지시 또는 기록 표시하는 장치가 계측기이다.In general, a measuring device is a device for capturing the size or physical state of a quantity (quantity) such as capacity, speed, vibration, temperature, pressure, calorie value, length, and the like in order to indicate or record and display.

이중 액체 또는 기체의 압력, 또는 중력에 의하여 생기는 압력을 측정하는 계측기로써, 그 측정하는 방법에 따라 기지의 중량과 균형을 이루게하는 액주 압력측정기, 분동식 압력측정기와 탄성체의 탄성력과 균형을 이루게 하는 브르돈 관 압력측정기, 다이아프램 및 압력에 의해 변화하는 물리현상을 이용하는 전기저항 압력측정기 등이 있다.A measuring instrument for measuring the pressure of a double liquid or gas, or the pressure caused by gravity, which balances the elastic force of a liquid column pressure gauge, a deadweight tester and an elastic body according to the measuring method. The Bourdon tube pressure gauge, the diaphragm and the electrical resistance pressure gauge using the physical phenomenon which change with pressure, etc. are mentioned.

이러한 많은 압력계측기 중에서 일반적으로 압력을 눈금판에서 바로 볼 수 있고 간편하게 사용할 수 있는 브르돈 관 압력계측기가 가장 널리 사용되고 있다.Among these many pressure gauges, the most commonly used brondon tube pressure gauges, which can be viewed directly on the scale plate and can be used conveniently.

그리고 이러한 압력계측기와 함께 반도체 제조공정의 산화 설비 및 확산설비 등에 많이 설치하여 사용하고 있는 온도계측기에는 두 종류의 금속선 양단을 접합시켜 폐회로를 만들고 양 접합점의 온도를 변화시켜 발생되는 열기전력을 이용하여 측정하는 열전온도계와,수은의 열팽창을 이용한 수은온도계, 그리고 산화성 분위기에 강하고 400℃에서 1,400℃의 고온에서 측정할 수 있는 공업용으로 가장 널리 사용되는 열전쌍을 이용한 열전쌍을 이용한 온도센서 등이 있다.In addition, these pressure gauges are used in many of the oxidizing and diffusing equipments of semiconductor manufacturing process, and the two types of metal wires are joined to each other to make a closed circuit and to use the thermoelectric power generated by changing the temperature of both junctions. There are thermocouples to measure, mercury thermometers using mercury thermal expansion, and thermocouples using thermocouples, the most widely used thermocouples for industrial applications, which are resistant to oxidizing atmospheres and can be measured at high temperatures from 400 ° C to 1,400 ° C.

그러나, 이러한 온도계측기 및 압력계측기는 따로 따로 설치되어 그 설치 공간을 별도로 두어야 하는 단점이 있고, 또한 작업자가 각각 설치된 계측기를 동시에 확인하는 것이 불가능하여 점검작업이 매우 번거로워 그 결과 작업성이 저하되는 문제점이 있었다.However, these thermometers and pressure gauges are separately installed and have a disadvantage in that the installation space must be separately placed. Also, it is impossible for the operator to check the installed instruments at the same time. There was this.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 하나의 계측기로 동일지점에서 온도와 압력을 동시에 측정할 수 있도록 압력과 온도가 각각 다른 길로 통과시키는 특수결합구인 이중연결부와 압력 온도 각각의 값을 별도의 지침을 수용하도록 한 이중미소스프링을 이용한 전혀 새로운 형태의 압력, 온도를 계측할 수 있는 압력,온도 동시 측정용 복합계측기를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to connect the pressure and the temperature of the double connection part and the special coupling sphere to pass the different paths so that the temperature and pressure at the same point at the same point with a single measuring instrument It is to provide a totally new type of pressure and temperature measuring instrument that can measure pressure and temperature at the same time.

이러한 목적을 달성하면서 압력값과 온도값을 문자판에 표기하는 방법에 따라 그 내부구조와 부품에 차이가 있음으로 앞으로 1,분리형 과 2.일체형 압력온도계로 구분해서 표현하고자 한다.While achieving this purpose, there are differences in the internal structure and parts depending on how the pressure and temperature values are written on the dial, so I will express them separately into 1, separate and 2. integrated pressure thermometers.

1. 분리형 압력온도계는 압력과 온도의 값이 모두 동시에 하나의 케이스에서 이루어지며 온도계측부는, 온도표시침(11)에 연결된 바이메탈과, 상기 감지봉의 상단 외측에 결합되어 고정챔버에 고정시키기 위한 이중연결부로 이루어지며, 압력계측부는, 온도계측부의 이중연결부의 하부에서 관통되어 유입된 유체의 압력을 감지하여 유체압력을 전달하는 소켓과, 소켓에 부착되어 압력에 따라 위치가 변화하는 브르돈 관과, 브르돈 관에 연동되어 브르돈관의 작은 움직임을 크게 증폭시키는 미소스프링, 미소스프링의 축에 연동되어 표시판 위에 압력값을 가르키는 압력표시침으로 구성된다.1. The detachable pressure thermometer has a pressure and a temperature value all made in one case at the same time, and the thermometer side part is a double metal coupled to the temperature indicating needle 11 and a double to be fixed to the fixed chamber by being coupled to the outside of the upper end of the sensing rod. The pressure measuring unit includes a socket for transmitting the fluid pressure by detecting a pressure of the fluid flowing through the lower portion of the double connection part of the thermometer side, and a Bourdon tube attached to the socket to change its position according to the pressure. It is composed of a microspring linked to the brondon tube to greatly amplify the small movement of the brondon tube, and a pressure indicator needle pointing to the pressure value on the display panel linked to the axis of the microspring.

이중연결부는 유체의 압력과 온도를 계측부에 전달하는 통로로써 연결부 중심과 그 중심과 바깥나사 사이의 벽에 2개의 관통 구멍을 뚫고 하나는 압력용으로 다른 하나는 온도용으로 호환성있게 활용이 가능하다. 아울러 또 다른 하나의 방법은 이중연결부의 중앙에 온도감지봉의 지름보다 1MM정도 더 크게 구멍을 뚫은 후에 연결부 중앙에 감지봉을 설치하고 감지봉과 이중연결부 사이의 틈, 1MM의 구멍을 압력용 유체의 유입구로 활용하는 방법도 가능하다.The double connection is a passage that transmits the pressure and temperature of the fluid to the measuring instrument. It is possible to use two interchangeable holes in the wall between the center of the connection and the center and the external screw, one for pressure and the other for temperature. . In addition, another method is to drill a hole about 1 mm larger than the diameter of the temperature sensing rod in the center of the double connector, and then install a sensing rod in the center of the connector, and open the gap between the sensing rod and the double connector, and the hole of 1 mm. It is also possible to use as.

분리형 압력온도계에서는 압력과 온도의 지침이 따로 분리되어 설치됨으로 인하여 이중미소스프링 대신 일반적인 미소스프링을 사용하는 특징도 있다.In the separate pressure thermometer, since the pressure and temperature guides are installed separately, a general micro spring is used instead of the double micro source spring.

2. 일체형 압력온도계는 압력과 온도값이 모두 동시에 하나의 케이스에서 이루어지며; 온도계측부는 바이메탈이 내장된 감지봉이 이중연결부의 중앙을 관통하여 이중연결부 밖에서 유체와 접촉한다.2. Integral pressure thermometer has both pressure and temperature at the same time in one case; On the thermometer side, a bimetal-embedded sensing rod passes through the center of the double connector and contacts the fluid outside the double connector.

이 때 바이메탈은 유체온도를 감지하여 수축,팽창하며 이러한 변화가 샤프트를 통하여 전달되고 이 샤프트는 이중미소스프링의 중심기아축 내경을 통과하고 샤프트 끝에 연결된 표시침을 움직여 온도를 나타내고, 압력계측부는 온도계측부와 동일한 게이지 눈금을 유지해야 함으로 이중연결부는 중앙에 설치된 온도감지봉의 지름보다 1MM 더 크게 뚫어서 감지봉과 이중연결부 벽사이의 1MM 틈을 압력용 유체의 통로로 이용을 한다.At this time, the bimetal senses the fluid temperature and contracts and expands, and this change is transmitted through the shaft, and the shaft passes through the inner diameter of the central gear shaft of the double-miso spring and moves the indicator needle connected to the shaft end to indicate the temperature. Since the same gauge scale as the side is to be maintained, the double connector is drilled 1 mm larger than the diameter of the center temperature sensing rod, so that the 1 mm gap between the sensor rod and the double connector wall is used as a passage for pressure fluid.

이 통로를 통과한 유체는 브르돈 관을 움직이고 이에 연동된 이중미소스프링의 중심기아축 바깥 축에 연결된 압력지시침을 움직여 압력을 나타내도록 구성된 것을 특징으로 한다.The fluid passing through the passage is characterized in that it is configured to display the pressure by moving the pressure pipe connected to the outer axis of the central gear axis of the double-misospring spring linked to the Bourdon tube.

이하, 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings the present invention will be described in detail.

도1은 본 발명에 따른 일체형 압력온도계를 도시한 평면도이고, 도2는 분리형 사각압력온도계와 원형압력온도계이며, 도3은 도1의 측면도이며, 도4는 본 발명에 의한 이중연결부의 절개도(형식 1)이며, 도5는 본 발명에 의한 이중연결부의 절개도(형식 2)이며, 도6은 본 발명에 의한 이중미소스프링의 평면도이고,1 is a plan view showing an integrated pressure thermometer according to the present invention, Figure 2 is a separate square pressure thermometer and a circular pressure thermometer, Figure 3 is a side view of Figure 1, Figure 4 is a cutaway view of a double connection according to the present invention (Form 1), FIG. 5 is a cutaway view of a double joint according to the present invention (Type 2), FIG. 6 is a plan view of a double micro-source spring according to the present invention,

도7은 본 발명에 의한 이중미소스프링의 측면도이다. 도8은 분리형 사각 압력온도계의 평면 내부구조도이고, 도9는 도8의 측면 내부구조도이다.7 is a side view of a double micro-source spring according to the present invention. FIG. 8 is a planar internal structural diagram of a separate rectangular pressure thermometer, and FIG. 9 is a side internal structural diagram of FIG.

도1, 8, 9는 분리형 압력온도계에 관한 도면이고 도2, 3, 4, 5, 6, 7은 일체형 압력온도계에 관한 도면으로 분류된다.1, 8, and 9 are views of a separate pressure thermometer, and FIGS. 2, 3, 4, 5, 6, and 7 are classified as views of an integrated pressure thermometer.

도4에 도시된 바와 같이, 상기 압력계측부는 바이메탈 온도계와 동일한 게이지 눈금을 유지하여야 함으로 압력계 연결형식 A.B.D 형 모두에 이중연결부의 나사에 온도계의 지름 6mm 감지봉(내부의 끝에 지름 5mm의 바이메탈 장착)을 삽입할 수 있도록 압력계의 이중연결부(Dual Shank) 중앙에 7mm의 구멍을 뚫어 온도계의 감지봉을 삽입시킨다. 이때 온도감지봉(14)의 끝은 압력계의 이중연결부(15)의 밖으로 노출되며, 바이메탈은 공정챔버내의 온도를 감지한다.As shown in Fig. 4, the pressure measuring part should maintain the same gauge reading as the bimetal thermometer, so that both of the pressure gauge connection type ABD type have a 6mm diameter sensing rod of the thermometer on the screw of the double connection part (with a 5mm diameter tip on the inner end). Insert a 7mm hole in the center of the dual shank of the pressure gauge to insert the probe. At this time, the end of the temperature sensing rod 14 is exposed out of the double connection 15 of the pressure gauge, the bimetal senses the temperature in the process chamber.

압력을 측정하고자 하는 유체는 이중연결부(15)의 7mm구멍과 온도감지봉(14)의 6mm구멍 사이로 유입되어 브르돈 관(22)에 진입하여 브르돈 관(22)의 진폭에 따른 지침의 움직임으로 압력을 알게 된다.The fluid to measure the pressure flows between the 7 mm hole of the double connection part 15 and the 6 mm hole of the temperature sensing rod 14 to enter the brondon tube 22 and the movement of the guide according to the amplitude of the brondon tube 22. Get to know the pressure.

온도계측부는 바이메탈이 내장된 6mm 감지봉이 압력계의 이중연결부(15)의 중앙을 관통하여 이중연결부 밖에서 유체와 접속한다. 이 때 바이메탈은 유체온도를 감지하여 바이메탈의 수축현상이 샤프트를 통하여 온도표시침(11)을 움직여 유체의 온도를 나타내게 된다.On the thermometer side, a 6mm sensing rod with a built-in bimetal penetrates through the center of the double connection part 15 of the pressure gauge and connects with the fluid outside the double connection part. At this time, the bimetal senses the fluid temperature so that the shrinkage of the bimetal moves the temperature indicating needle 11 through the shaft to indicate the temperature of the fluid.

도5에 도시된 바와 같이, 압력계측부는 바이메탈 온도계와 동일한 게이지 눈금을 유지해야 함으로 압력계 연결형식 중 이중연결부(15)의 중앙에 6mm 구멍을 뚫어 지름 6mm 온도감지봉(14)을 그 구멍에 삽입하고, 이중연결부(15)의 중앙과 그 바깥나사 사이에 3mm의 원형구멍을 뚫어 유체가 이 연결부의 3mm의 원형구멍을 통과하여 브르돈 관(22)에 이르고, 이 브르돈 관의 진폭에 따라 이중미소스프링(25)이 이 진폭을 크게 증폭시켜 압력표시침(23)을 움직여 압력을 나타내며, 온도계측부는 이중연결부(15)에 삽입된 6mm 감지봉 끝부분에 내장된 바이메탈에 달린 샤프트를 통하여 샤프트 끝에 장착된 온도표시침(11)을 통하여 온도계측기 위에 나타난 온도를 가리켜 유체의 온도를 알게 된다.As shown in Fig. 5, the pressure measuring part must maintain the same gauge reading as the bimetal thermometer, so that a 6 mm diameter temperature sensing rod 14 is inserted into the hole by drilling a 6 mm hole in the center of the double connecting part 15 of the pressure gauge connection type. Then, a 3 mm round hole is drilled between the center of the double connecting part 15 and the outer thread thereof, and the fluid passes through the 3 mm round hole of the connecting part to the Bourdon tube 22, and according to the amplitude of the Bourdon tube The double micro-source spring 25 amplifies this amplitude largely and moves the pressure indicating needle 23 to indicate the pressure. The thermometer side is connected to the shaft of the bimetal embedded in the end of the 6 mm sensing rod inserted into the double connection 15. Through the temperature indicator needle 11 mounted on the shaft end, the temperature of the fluid is indicated by indicating the temperature displayed on the thermometer.

이상과 같이 도4의 형식 1과 도5의 형식 2는 동일한 이중연결부 중심주변에 온도감지봉(14)의 6mm 단면적을 제외하고 1mm를 더 크게 뚫거나(형식 1), 이중연결부 중앙과 그 바깥나사사이에 3mm 구멍을 뚫어(형식 2), 이 뚫은 구멍을 통하여 압력측정용 유체가 통과하도록 발명되었다는 것이다.As described above, the type 1 and the type 2 of FIG. 4 drill a 1 mm larger than the 6 mm cross-sectional area of the temperature sensing rod 14 around the center of the same double connection part (type 1), or the center of the double connection part and its outer thread. It was invented to allow a pressure measuring fluid to pass through a 3 mm hole (type 2) in between.

유체의 압력과 온도를 동시에 감지하도록 지지하는 이중연결부는 압력계의 연결부로써 압력계의 모든 기계적구조의 중심이 되고, 온도계는 온도계 감지봉이 이 압력계의 이중연결부를 함께 이용하여 따로 있었어야 할 온도계 연결부를 생략하고 하나의 표시판 위에 압력과 온도 이중으로 눈금을 그려 각각의 별도지침을 이용하여 각각 원하는 유체의 압력과 온도가 동시에 나타나서 함께 알게 되는 것이다. 여기에서 이중연결부는 일체형과 분리형 압력온도계 모두에서 공통적으로 동일한 방법과 기능으로 사용된다. 그러나 이렇게 이중연결부를 통과한 유체는 일체형 압력온도계에서는 이러한 압력 및 온도표시침((11,23)을 하나의 압력 및 온도계측부에 나타나도록 압력표시침(23)과 온도표시침(11)이 동일 중심축을 가져야만 한다. 따라서 상기 이중연결부에는 일반적으로 압력표시침 하나만 사용할 수 있는 미소스프링은 사용할 수 없고 미소스프링의 중심기아축(24)의 중심에 천공된 기아축을 이용하는 이중미소스프링(25)을 사용하여야만 이중연결부(15)를 통하여 전달되는 감지된 압력과 온도의 움직임이 걸림돌없이 이중미소스프링을 통과하여 즉, 압력표시침(23)은 이중미소스프링의 구멍난 중심기아축에 장착되고, 온도표시침은 바이메탈과 연결된 샤프트가 감지봉과 함께 이중연결부를 통과하고 이중미소스프링의 중심기아축의 중앙을 샤프트가 통과하여 그 끝에 온도표시침을 장착하여 압력과 온도가 하나의 표시판 위에 바깥과 안쪽 이중으로 함께 눈금이 그려진 표시판 위에서 압력표시침과 온도표시침은 걸림돌없이 작동된다.The double connection supporting the simultaneous sensing of the pressure and temperature of the fluid is the connection of the manometer and is the center of all the mechanical structures of the manometer.The thermometer omits the thermometer connection, which the thermometer sensor rod should have used together with the double connection of this manometer. The pressure and the temperature are drawn on a single display panel, and each separate guideline is used to find the pressure and temperature of the desired fluid. Here, the double connection is used in the same way and function in common for both integrated and discrete pressure thermometers. However, the fluid passing through the double connection part is the same in the integrated pressure thermometer, so that the pressure indicator (23) and the temperature indicator (11) are the same so that these pressure and temperature indicators (11, 23) appear in one pressure and thermometer side. Therefore, the double connection part has a double micro-source spring 25 using a micro-puncture which is generally drilled at the center of the central gear axis 24 of the micro-spring. Only when used, the sensed pressure and temperature movement transmitted through the double connection part 15 passes through the double missos spring without obstruction, that is, the pressure indicator needle 23 is mounted on the perforated central gear shaft of the double missos spring. The indicator needle is connected to the bimetal shaft through the double connection part with the sensing rod, and the shaft passes through the center of the central gear axis of the double micro source spring. Temperature indicator needle attached to a pressure and temperature is one of the signs on the outside and the inside of the double pressure display needle painted signs on the grid together with temperature indicator needle is operated without any obstacle.

이 때에 분리형 압력온도계에서는 압력표시침과 온도표시침의 분리설치로 인하여 일체형에서의 이중미소스프링은 사용할 수 없으며 압력계측기에만 사용하는 일반적인 미소스프링만 사용하여 그 중심기아축(24)에 압력표시침을 장착하고,온도표시침은 이중연결부를 통과하여 올라온 샤프트(31)의 끝단에 연결하여 압력지침과 온도지침이 하나의 공통문자판 위에서 압력,온도 각기 별도의 기준(270각도, 180각도) 으로 그려진 눈금에 각각의 값을 가르키게 되어 유체의 가장 정확한 측정값을 우리는 알게 되는 것이다.At this time, due to the separate installation of the pressure indicator and the temperature indicator in the separate pressure thermometer, the double micro source spring cannot be used in the integrated type, and the pressure indicator needle is applied to the central gear shaft 24 by using only the general microspring used only in the pressure gauge. The temperature indicator needle is connected to the end of the shaft 31 which has been raised through the double connection part, and the pressure and temperature instructions are drawn on the common face by pressure and temperature as separate standards (270 and 180 degrees). Each value on the scale indicates the most accurate measurement of the fluid.

본 발명에 의한 압력온도계에 있어서, 공정챔버(13)내의 유체내에 잠겨있는 온도감지봉(14)에서 유체의 온도를 감지하게 되는 바, 상기 온도감지봉의 내부 끝에 설치되어 상기 온도표시침과 연결된 바이메탈괴 팽창 및 수축하면서 온도표시침을 움직여 온도를 표시하게 된다. 그리고 이와동시에 공정챔버내의 유체가 상기 이중연결부의 유입구를 통하여 유체의 압력이 감지되면 이 압력이 브르돈 관에 전달되어 브르돈 관이 팽창하면서 이중미소스프링을 통하여 압력표시침을 이동시켜 압력을 표시하게 된다. In the pressure thermometer according to the present invention, the temperature of the fluid is sensed in the temperature sensing rod 14 immersed in the fluid in the process chamber 13, the bimetal is installed at the inner end of the temperature sensing rod and connected to the temperature indicating needle As the mass expands and contracts, the temperature indicator hand is moved to display the temperature. At the same time, when the fluid in the process chamber senses the pressure of the fluid through the inlet of the double connection part, the pressure is transferred to the brondon tube, and the bourdon tube expands and the pressure indicator needle is moved through the double micro-source spring to display the pressure. Done.

따라서 본 고안의 압력온도계는 각각 독립되어 측정되었어야 할 유체의 압력과 온도를 공통결합구인 이중연결부와 이중미소스프링을 통하여 하나로 결합시켜 압력과 온도측정이 하나의 케이스내에서 각각 독립되어 이루어지되, 하나의 계기로 통합되어 압력과 온도가 동시에 측정되도록 일원화 하였다.Therefore, the pressure thermometer of the present invention combines the pressure and temperature of the fluid, which should be measured independently of each other, through the double connection part and the double miso spring, which are common coupling holes, so that the pressure and temperature measurement are made independently in one case. It is integrated into one instrument so that pressure and temperature can be measured simultaneously.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 압력계측기 및 온도계측기에 있어서 상기 압력계측부는 이중연결부에서 유체의 압력이 유입되면서 동시에 온도계측부의 감지봉은 이중연결부 주변의 온도를 감지하여 온도를 표시하도록 구성되어 있고 이렇게 측정된 압력과 온도가 주변의 방해나 걸림돌없이 이중미소스프링을 통과하여 표시침에 전달되어 문자판 위에 압력과 온도를 가르키게 되어 구성되어 있어서 하나의 계기에서 계측하고자 하는 유체를 동일지점에서 동시에 편리하게 온도와 압력을 계측할 수 있는 이점이 있고, 압력계와 온도계의 분리 설치에 따른 공간의 제약, 설치비 증가, 압력과 온도의 계측지점의 상위로 인한 유체측정값의 오차를 방지할 뿐만이 아니라, 산업현장에서는 따로 설치된 온도계 및 압력계에서의 계측시보다는 운전자의 안전성을 확보할 수 있으며, 한 지점에서 동시 측정함으로 인하여 작업자의 시간절약, 에너지 절약은 물론 케이스,결합구(연결부) 등의 부품감소로 인한 제조원가절감을 기대할 수 있다.As described above, in the pressure measuring instrument and the thermometer measuring apparatus according to the present invention, the pressure measuring portion is configured to display the temperature by sensing the temperature around the double connecting portion while at the same time the pressure of the fluid flows from the double connecting portion. The measured pressure and temperature are passed through the double micro-source spring to the indicator needle without interfering or obstructing the surroundings to indicate the pressure and temperature on the dial, so that the fluid to be measured by one instrument can be conveniently located at the same point. It has the advantage of being able to measure temperature and pressure, and it prevents the error of fluid measurement value due to the limitation of space due to separate installation of pressure gauge and thermometer, the increase of installation cost, and the difference of measuring point of pressure and temperature. In the field, the operator's To secure the castle, and the manufacturing costs can be expected due to the simultaneous measurement by one point due to time savings of workers in energy-saving, of course case, parts such as the reduction of metal fitting (connections).

도1:본 발명에 따른 일체형 압력온도계를 도시한 평면도1 is a plan view showing an integrated pressure thermometer according to the present invention

도2:본 발명에 따른 분리형의 사각압력온도계와 원형압력온도계를 도시한 평면도2 is a plan view showing a separate rectangular pressure thermometer and a circular pressure thermometer according to the present invention.

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10:압력표시판 11:온도표시침10: Pressure display plate 11: Temperature display needle

12:바이메탈 13:공정챔버12: bimetal 13: process chamber

14:온도센서감지봉(보호관) 15:이중연결부(결합구)(Dual Shank)14: Temperature sensor detection rod (protection tube) 15: Double connection (coupling port) (Dual Shank)

20:온도표시판 21:소켓20: temperature display plate 21: socket

22:브르돈 관(Bourdon Tube) 23:압력표시침(Pointer)22: Bourdon Tube 23: Pressure Indicator Pointer

24:중심기아축 25:이중미소스프링24: center shaft 25: dual American source spring

26:유입구 27:모세관26: inlet 27: capillary tube

30:케이스 31:샤프트(Bi-metal용)30: Case 31: shaft (for Bi-metal)

Claims (2)

압력계측부와 온도계측부가 동시 수용된 케이스로 이루어지고;A pressure measuring unit and a thermometer measuring unit are housed simultaneously; 상기 압력계측부는 압력계측부의 이중연결부에서 관통되어 유입된 유입구(26)에서 감지된 유체의 압력이 브르돈 관(22)을 통해 브르돈 관의 변화에 따라 이중미소스프링(25)이 연동되어 움직이며 압력표시침(23)으로 나타나며;The pressure measuring part is moved through the double micro-source spring 25 as the pressure of the fluid sensed at the inlet 26 introduced through the double connection part of the pressure measuring part changes through the brondon tube through the brondon tube 22. And represented by a pressure indicating needle 23; 상기 온도계측부는 공정챔버(13)내부 유체의 온도를 온도감지봉(14)의 내부에 있는 바이메탈의 변화가 샤프트(31)를 통해 온도표시침(11)을 움직여 온도를 표시하며;The thermometer side portion displays the temperature of the fluid inside the process chamber 13 by changing the temperature of the bimetal inside the temperature sensing rod 14 by moving the temperature indicating needle 11 through the shaft 31; 상기 온도계측부는 이중연결부의 온도감지봉의 외부에서 온도를 감지함과 동시에 압력계측부의 이중연결부(15)에 압력용 유체가 유입되는 유입구(26)를 형성하여 유체의 압력을 감지하도록 구성된 것을 특징으로하는 압력계측기 겸 온도계측기The thermometer side is configured to sense the temperature of the outside of the temperature sensing rod of the double connection portion and at the same time to form an inlet 26 through which the fluid for pressure flows in the double connection portion 15 of the pressure measurement portion, characterized in that it is configured to detect the pressure of the fluid Pressure gauge and thermometer 압력계측부와 온도계측부가 동시에 수용된 케이스로 이루어지고;A pressure measuring unit and a thermometer measuring unit are housed simultaneously; 상기 압력계측부는 이중연결부(15)에서 관통되어 유입된 유입구(26)에서 감지된 유체의 압력이 브르돈 관의 변화에 따라 이중미소스프링에 연동되고; 상기 온도계측부는 이중연결부의 온도감지봉(14)의 외부에서 온도를 감지함과 동시에 이 온도감지봉의 내부에 바이메탈에 연동된 샤프트에 전달되고, 이중연결부를 지나 이중미소스프링의 중심기아축(24)에 장착된 압력표시침(23)의 중심기아축을 통과하여 그 끝에 장착된 온도표시침(11)이 작동되도록 된 것을 특징으로하는 압력계측기 겸 온도 계측기The pressure measurement unit is connected to the double micro-source spring in accordance with the change of the bourdon tube, the pressure of the fluid sensed in the inlet port 26 penetrated by the double connection portion 15; The thermometer side detects the temperature at the outside of the temperature sensing rod 14 of the double connecting portion, and is transmitted to the shaft interlocked with the bimetal inside the temperature sensing rod, and passes through the double connecting portion to form the central gear shaft 24 of the double micro source spring. Pressure measuring instrument and temperature measuring instrument, characterized in that the temperature display needle (11) mounted at its end through the center gear axis of the pressure display needle (23) mounted on the