KR20050011349A - 바이어스 제어 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 다수의 바이어스 제어부와;일단은 정전척에 연결되며, 타단은 상기 다수의 바이어스 제어부에 연결되는 스위치를 포함하는 바이어스 제어장치
- 제1항에 있어서,상기 다수의 바이어스 제어부 각각은, 바이어스 고주파 발진기와, 임피던스 매칭을 위해 상기 바이어스 고주파발진기와 상기 스위치사이에 연결되는 바이어스 매처를 포함하는 바이어스 제어 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 다수의 바이어스 제어부는, 300KHz 내지 2MHz 범위의 바이어스 고주파 발진기를 포함하는 제1 바이어스 제어부와; 2MHz 내지 28MHz 범위의 바이어스 고주파 발진기를 포함하는 제2 바이어스 제어부와; 28MHz 내지 300MHz 범위의 바이어스 고주파 발진기를 포함하는 제3 바이어스 제어부로 이루어지는 바이어스 제어장치
- 제1항에 있어서,상기 스위치는 RF 모듈레이터, RF 아이솔레이터 또는 RF 필터 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 더욱 포함하는 바이어스 제어 장치.
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