KR200483073Y1 - Fume removing apparatus for wafer storage - Google Patents

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KR200483073Y1
KR200483073Y1 KR2020160004077U KR20160004077U KR200483073Y1 KR 200483073 Y1 KR200483073 Y1 KR 200483073Y1 KR 2020160004077 U KR2020160004077 U KR 2020160004077U KR 20160004077 U KR20160004077 U KR 20160004077U KR 200483073 Y1 KR200483073 Y1 KR 200483073Y1
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fume removing
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이경주
서재용
구기승
김한제
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오션브릿지 주식회사
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Abstract

웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 개시된다.
개시되는 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치는 웨이퍼가 서로 이격되면서 복수의 층으로 나란히 적층될 수 있는 퓸 제거 케이스; 상기 퓸 제거 케이스의 전면부에 배치되고, 상기 퓸 제거 케이스 내로 진입하는 상기 웨이퍼 쪽으로 에어를 분사하여, 상기 웨이퍼 표면의 퓸(fume)을 제거해 줌과 함께 상기 퓸 제거 케이스 내부로 외부의 이물질이 유입되지 않도록 상기 퓸 제거 케이스 전면에 에어 커튼을 형성시키는 에어 커튼 부재; 및 상기 퓸 제거 케이스의 배면부에 배치되고, 상기 에어 커튼 부재에 의해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼 표면으로부터 제거된 상기 퓸을 흡입하여 상기 퓸 제거 케이스 외부로 배출하는 배면 배기 부재;를 포함한다.
개시되는 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 의하면, 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 퓸 제거 케이스, 에어 커튼 부재 및 배면 배기 부재를 포함함에 따라, 퓸 제거 케이스 내로 인입되는 웨이퍼에 묻은 퓸이 에어 커튼 부재에 의해 형성된 에어 커튼에 의해 대부분 퓸 제거 케이스 내로 인입되지 못하고 차단될 수 있고, 일부 퓸 제거 케이스 내로 인입된 퓸도 에어 커튼 부재에서 불어진 에어에 의해 웨이퍼 표면으로부터 분리되어 배면 배기 부재를 통해 외부로 배출될 수 있으므로, 웨이퍼 스토리지 내부로 외부의 퓸이 인입되지 못하도록 할 수 있음은 물론, 웨이퍼 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼로부터 분리된 퓸 자체의 배출도 원활하게 이루어질 수 있게 되는 장점이 있다.A fume removing apparatus for wafer storage is disclosed.
The present invention relates to a fume removing apparatus for a wafer storage, comprising: a fume removing case in which wafers can be stacked side by side with a plurality of layers separated from each other; A fume removing unit for removing fumes from the surface of the wafer by spraying air toward the wafer which enters into the fume removing case, An air curtain member for forming an air curtain on the entire surface of the fume removing case so that the air curtain member does not protrude; And a rear exhaust member which is disposed at a rear portion of the fume removing case and sucks the fume removed from the wafer surface by the air injected by the air curtain member and discharges the fume to the outside of the fume removing case.
According to the disclosed fume removing device for wafer storage, since the fume removing device for wafer storage includes the fume removing case, the air curtain member, and the rear exhausting member, the fume adhered to the wafer introduced into the fume removing case is removed by the air curtain member The air curtain can be prevented from being drawn into most of the fume removing case, and the fumes drawn into some of the fume removing cases are also separated from the surface of the wafer by the air blown from the air curtain member and discharged to the outside through the back exhaust member Therefore, it is possible to prevent external fumes from being introduced into the wafer storage, and also to smoothly discharge the fumes separated from the wafers stacked in the wafer storage.

Description

웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치{Fume removing apparatus for wafer storage}Technical Field [0001] The present invention relates to a fume removing apparatus for wafer storage,

본 고안은 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fume removing apparatus for wafer storage.

웨이퍼 스토리지는 복수 개의 웨이퍼가 적층될 수 있도록 하는 장치로, 이러한 웨이퍼 스토리지의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 공개특허 제 10-2015-0087703호이다.Wafer storage is a device that allows a plurality of wafers to be stacked. An example of such wafer storage is disclosed in the following Patent Publication No. 10-2015-0087703.

이러한 웨이퍼 스토리지에 인입되어 적층되는 웨이퍼 표면에는 퓸(fume)이 묻어 있는 경우가 있어, 이러한 퓸 제거가 요구되는데, 이러한 퓸 제거를 위해 웨이퍼 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼를 향해 가스를 분사시켜 줄 수 있는 장치가 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치이고, 그 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 등록특허 제 10-0678475호이다.In order to remove such fumes, a fume may be deposited on the surface of the wafer which is brought into the wafer storage and laminated. In order to remove such fumes, The apparatus is a fume removing apparatus for wafer storage, and an example thereof can be presented in the following Patent Registration No. 10-0678475.

그러나, 이러한 종래의 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 의하면, 단순히 가스를 웨이퍼를 향해 분사만 시켜 주는 방식이어서, 웨이퍼 스토리지 내부로 외부의 퓸이 인입되지 못하도록 하는 데에는 취약하였음은 물론, 웨이퍼 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼로부터 분리된 퓸 자체의 배출도 제대로 이루어지지 못하는 단점이 있었다.However, this conventional fume removing apparatus for wafer storage is merely a method of spraying the gas toward the wafer, so that it is not easy to prevent external fumes from being introduced into the wafer storage. In addition, So that the fume itself separated from the wafer can not be properly discharged.

공개특허 제 10-2015-0087703호, 공개일자: 2015.07.30., 발명의 명칭: 가스 충진부를 구비하는 웨이퍼 스토리지 장치 및 이를 이용하는 반도체 제조 장치Patent Document 10-2015-0087703, Publication Date: May 30, 2015. Title of the Invention: Wafer storage device having gas filling part and semiconductor manufacturing device using the same 등록특허 제 10-0678475호, 등록일자: 2007.01.29., 발명의 명칭: 웨이퍼 세정용 보트 및 이를 갖는 스토리지Registered Patent No. 10-0678475, Date of Registration: Jan. 29, 2007, Title of the invention: Wafer cleaning boat and storage thereof

본 고안은 웨이퍼 스토리지 내부로 외부의 퓸이 인입되지 못하도록 할 수 있음은 물론, 웨이퍼 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼로부터 분리된 퓸 자체의 배출도 원활하게 이루어질 수 있는 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a wafer storage fume removing device capable of preventing external fumes from being drawn into the wafer storage and also capable of smoothly discharging the fumes separated from the wafers stacked in the wafer storage For the purpose of.

본 고안의 일 측면에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치는 웨이퍼가 서로 이격되면서 복수의 층으로 나란히 적층될 수 있는 퓸 제거 케이스; 상기 퓸 제거 케이스의 전면부에 배치되고, 상기 퓸 제거 케이스 내로 진입하는 상기 웨이퍼 쪽으로 에어를 분사하여, 상기 웨이퍼 표면의 퓸(fume)을 제거해 줌과 함께 상기 퓸 제거 케이스 내부로 외부의 이물질이 유입되지 않도록 상기 퓸 제거 케이스 전면에 에어 커튼을 형성시키는 에어 커튼 부재; 상기 퓸 제거 케이스의 배면부에 배치되고, 상기 에어 커튼 부재에 의해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼 표면으로부터 제거된 상기 퓸을 흡입하여 상기 퓸 제거 케이스 외부로 배출하는 배면 배기 부재; 상기 퓸 제거 케이스에 인입된 상기 웨이퍼의 측면과 이격되면서 상기 웨이퍼의 측면을 따라 형성되어, 상기 분사 슬롯을 통해 분사된 에어와 상기 웨이퍼 표면으로부터 분리된 퓸을 상기 배기 슬롯 쪽으로 안내하고, 그 바닥에는 상기 퓸 제거 케이스의 바닥으로 낙하된 퓸이 배기를 위해 인입되는 바닥 배기 홀이 형성되는 측면 배기 부재; 및 상기 웨이퍼 표면으로부터 분리된 퓸 중의 일부가 상기 바닥 배기 홀을 향해 낙하될 수 있도록 상기 웨이퍼 상공에서 에어를 하방으로 분사하여 주는 에어 낙하 부재;를 포함하고,
상기 에어 커튼 부재는 상하 방향으로 길게 형성되는 분사 슬롯을 포함하고, 상기 분사 슬롯을 통해 에어가 분사되어, 서로 이격되면서 적층된 상기 웨이퍼 사이 공간으로 에어가 공급될 수 있고,
상기 에어 커튼 부재는 상기 퓸 제거 케이스에서 상기 웨이퍼가 인입되는 입구의 양 측에 서로 마주보도록 한 쌍으로 배치되고,
상기 배면 배기 부재는 상하 방향으로 길게 형성되는 배기 슬롯을 포함하고, 상기 분사 슬롯을 통해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼 표면으로부터 분리된 퓸이 배기를 위해 상기 배기 슬롯으로 인입되고,
상기 배면 배기 부재는 상기 퓸 제거 케이스의 내측의 양 측에 상기 퓸 제거 케이스에 인입된 상기 웨이퍼를 기준으로 서로 대칭이 되게 마주보도록 한 쌍으로 배치되고,
상기 측면 배기 부재는 상기 퓸 제거 케이스에 인입된 상기 웨이퍼의 각 측면을 가리면서 상기 에어 커튼 부재와 상기 배면 배기 부재를 서로 연결하여 주는 패널 형태로 형성되고,
상기 에어 낙하 부재는 상기 퓸 제거 케이스의 상부에 놓이는 낙하 부재 몸체와, 상기 낙하 부재 몸체를 덮으면서 상기 낙하 부재 몸체와의 사이에 틈이 형성되도록 하는 낙하 부재 가림체를 포함하고,
상기 낙하 부재 몸체와 상기 낙하 부재 가림체 사이에 형성되는 틈이 가늘고 길게 형성되어, 상기 틈이 에어 분사용 슬롯이 되고, 그에 따라 상기 에어 낙하 부재 전체적으로 에어가 분사되어 낙하될 수 있게 되고,
상기 에어 낙하 부재에 의해 공급되어 낙하된 에어가 상기 퓸 제거 케이스 내의 상기 웨이퍼에서 분리된 퓸 중 일부를 낙하시켜 상기 바닥 배기 홀을 통해 외부로 배출될 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.According to one aspect of the present invention, there is provided a fume removing apparatus for a wafer storage, comprising: a fume removing case in which wafers can be stacked side by side with a plurality of layers being separated from each other; A fume removing unit for removing fumes from the surface of the wafer by spraying air toward the wafer which enters into the fume removing case, An air curtain member for forming an air curtain on the entire surface of the fume removing case so that the air curtain member does not protrude; A back exhaust member disposed at a back surface of the fume removing case and sucking the fume removed from the surface of the wafer by air blown by the air curtain member and discharging the fume to the outside of the fume removing case; The air introduced through the injection slot and the fumes separated from the wafer surface are guided toward the exhaust slot while being spaced apart from the side surface of the wafer drawn into the fume removing case, A side exhaust member formed with a bottom exhaust hole into which the fumes dropped to the bottom of the fume removal case are introduced for exhausting; And an air dropping member for spraying air downward over the wafer so that a part of the fumes separated from the wafer surface can be dropped toward the bottom exhaust hole,
The air curtain member includes ejection slots formed to be elongated in the vertical direction. Air can be injected through the ejection slots, and air can be supplied to the inter-wafer space,
Wherein the air curtain member is disposed on both sides of an inlet through which the wafer is drawn in the fume removing case so as to face each other,
Wherein the rear exhaust member includes an exhaust slot formed to be elongated in the vertical direction, and the fumes separated from the wafer surface by the air injected through the injection slot are drawn into the exhaust slot for exhaust,
Wherein the back exhaust member is disposed on both sides of the inside of the fume removing case so as to be opposed to each other with respect to the wafer drawn into the fume removing case,
Wherein the side air outlet member is formed in a panel shape that shields each side of the wafer drawn into the air outlet case and connects the air curtain member and the rear air outlet member to each other,
Wherein the air dropping member includes a dropping member body disposed on an upper portion of the fountain removing case and a dropping member slicing body for forming a gap between the dropping member body and the dropping member body,
A gap formed between the dropping member body and the falling member closure member is formed to be elongated and narrow so that the gap serves as an air distribution slot so that air can be sprayed over the entire air drop member,
And the air dropped by the air dropping member drops some of the fumes separated from the wafer in the fume removing case to be discharged to the outside through the bottom exhaust hole.

본 고안의 일 측면에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 의하면, 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 퓸 제거 케이스, 에어 커튼 부재 및 배면 배기 부재를 포함함에 따라, 퓸 제거 케이스 내로 인입되는 웨이퍼에 묻은 퓸이 에어 커튼 부재에 의해 형성된 에어 커튼에 의해 대부분 퓸 제거 케이스 내로 인입되지 못하고 차단될 수 있고, 일부 퓸 제거 케이스 내로 인입된 퓸도 에어 커튼 부재에서 불어진 에어에 의해 웨이퍼 표면으로부터 분리되어 배면 배기 부재를 통해 외부로 배출될 수 있으므로, 웨이퍼 스토리지 내부로 외부의 퓸이 인입되지 못하도록 할 수 있음은 물론, 웨이퍼 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼로부터 분리된 퓸 자체의 배출도 원활하게 이루어질 수 있게 되는 효과가 있다.According to an aspect of the present invention, since the apparatus for removing fume of a wafer storage includes the fume removing case, the air curtain member, and the rear exhausting member, fumes adhering to the wafer introduced into the fume removing case The air curtain formed by the air curtain member can be prevented from entering most of the fume removing case and shut off, and the fumes drawn into some of the fume removing cases are also separated from the wafer surface by air blown from the air curtain member, Therefore, it is possible not only to prevent the external fumes from being introduced into the wafer storage, but also to smoothly discharge the fumes separated from the wafers stacked in the wafer storage.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 적용된 웨이퍼 스토리지를 전면에서 바라본 사시도.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 작용된 웨이퍼 스토리지의 내부 구성요소가 보이도록 투명하게 처리하여 배면에서 바라본 사시도.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 보이는 사시도.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에서 퓸 제거 케이스가 제거된 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에서 퓸 제거 케이스가 제거되고 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 대한 단면도.
도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 구성하는 에어 커튼 부재를 확대한 단면도.
도 8은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 구성하는 배면 배기 부재를 확대한 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a wafer storage apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 2 is a perspective view of a wafer storage vending machine according to an embodiment of the present invention, viewed from the back, with the internal components of the wafer storage operated in a transparent manner. FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing a device for removing fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which a fume removing case is removed from a device for removing wafers for a wafer storage according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 5 is a perspective view of the apparatus for removing fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention, in which a fume removing case is removed and disassembled. FIG.
6 is a sectional view of a device for removing fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention;
7 is an enlarged cross-sectional view of an air curtain member constituting a device for removing a fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention;
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a rear exhaust member constituting a device for removing a fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention; FIG.

이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, an apparatus for removing a wafer storage vat according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 적용된 웨이퍼 스토리지를 전면에서 바라본 사시도이고, 도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치가 작용된 웨이퍼 스토리지의 내부 구성요소가 보이도록 투명하게 처리하여 배면에서 바라본 사시도이고, 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 보이는 사시도이고, 도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에서 퓸 제거 케이스가 제거된 모습을 보이는 사시도이고, 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에서 퓸 제거 케이스가 제거되고 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 대한 단면도이고, 도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 구성하는 에어 커튼 부재를 확대한 단면도이고, 도 8은 본 고안의 일 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치를 구성하는 배면 배기 부재를 확대한 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a wafer storage apparatus according to an embodiment of the present invention, in which the apparatus for removing a fume of a wafer is applied, FIG. 2 is a perspective view of a wafer storage apparatus, FIG. 3 is a perspective view showing a device for removing a fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of the apparatus for removing wafers according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a perspective view of the apparatus for removing fume in the apparatus for removing wafers according to an embodiment of the present invention, in which the fume removing case is removed and disassembled; FIG. , Fig. 6 is a sectional view of the apparatus for removing fume of a wafer according to an embodiment of the present invention, and Fig. 7 FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of an air curtain member constituting a device for removing a fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is an enlarged view of a rear surface exhaust member constituting a device for removing a fume of a wafer storage according to an embodiment of the present invention Fig.

도 1 내지 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)는 퓸 제거 케이스(110)와, 에어 커튼 부재(130, 135)와, 배면 배기 부재(160, 165)를 포함한다.1 to 8, the apparatus for removing fume of a wafer storage 100 according to the present embodiment includes a fume removing case 110, air curtain members 130 and 135, and rear exhaust members 160 and 165 ).

상기 퓸 제거 케이스(110)는 웨이퍼(10)가 서로 이격되면서 복수의 층으로 나란히 적층될 수 있는 공간을 제공하고, 상기 에어 커튼 부재(130, 135), 상기 배면 배기 부재(160, 165) 등의 구성요소들이 수용될 수 있는 공간을 제공한다.The fume removing case 110 provides a space where the wafers 10 can be stacked side by side in a plurality of layers while being spaced from each other and the air curtain members 130 and 135 and the rear exhaust members 160 and 165 Thereby providing a space in which the components of the apparatus can be accommodated.

상기 에어 커튼 부재(130, 135)는 상기 퓸 제거 케이스(110)의 전면부에 배치되고, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 진입하는 상기 웨이퍼(10) 쪽으로 에어를 분사하여, 상기 웨이퍼(10) 표면의 퓸을 제거해 줌과 함께 상기 퓸 제거 케이스(110) 내부로 외부의 이물질이 유입되지 않도록 상기 퓸 제거 케이스(110) 전면에 에어 커튼을 형성시키는 것이다.The air curtain members 130 and 135 are disposed on the front surface of the fume removing case 110 and spray air to the side of the wafer 10 entering the fume removing case 110, And the air curtain is formed on the entire surface of the fume removing case 110 so that foreign substances do not flow into the inside of the fume removing case 110.

상세히, 상기 에어 커튼 부재(130, 135)는 상하 방향으로 연속적으로 길게 형성되는 분사 슬롯(133)을 포함하고, 상기 분사 슬롯(133)을 통해 에어가 분사되어, 서로 이격되면서 적층된 상기 웨이퍼(10) 사이 공간으로 에어가 공급될 수 있다.In detail, the air curtain members 130 and 135 include injection slots 133 formed continuously and vertically in the vertical direction, air is injected through the injection slots 133, 10).

상기 에어 커튼 부재(130, 135)는 상기 퓸 제거 케이스(110)에서 상기 웨이퍼(10)가 인입되는 입구의 양 측에 서로 마주보도록 한 쌍으로 배치됨으로써, 한 쌍의 상기 에어 커튼 부재(130, 135)의 상기 각 분사 슬롯(133)이 상기 퓸 제거 케이스(110)의 상기 웨이퍼(10) 인입 입구에 에어 커튼을 형성해 줄 수 있고, 그에 따라 상기 웨이퍼(10)에 묻은 퓸 중 많은 양의 퓸이 상기 에어 커튼 부재(130, 135)에 의해 형성된 에어 커튼에 의해 상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입되는 것이 차단될 수 있음은 물론, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입되는 일부 퓸도 상기 에어 커튼 부재(130, 135)에 의해 분사되는 에어에 의해 상기 웨이퍼(10) 표면으로부터 분리되어 후술되는 상기 배면 배기 부재(160, 165)를 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.The air curtain members 130 and 135 are disposed on both sides of the entrance where the wafer 10 is drawn in the fume removing case 110 so as to face each other, 135 can form an air curtain at the entrance of the wafer 10 of the fume removing case 110 so that a large amount of fumes in the wafer 10 The air curtains formed by the air curtain members 130 and 135 can be prevented from being drawn into the fume removing case 110 and some fumes introduced into the fume removing case 110 can be blocked by the air Is separated from the surface of the wafer 10 by the air injected by the curtain members 130 and 135 and can be discharged to the outside through the rear exhaust members 160 and 165 described later.

상기 에어 커튼 부재(130, 135)는 상기 분사 슬롯(133)을 형성하기 위하여, 에어 커튼 몸체(131, 136)와, 상기 에어 커튼 몸체(131, 136)를 덮는 덮개(132, 137)로 구성될 수 있고, 상기 덮개(132, 137)와 상기 에어 커튼 몸체(131, 136) 사이에 형성되는 틈이 상기 분사 슬롯(133)이 될 수 있다.The air curtain members 130 and 135 include air curtain bodies 131 and 136 and lids 132 and 137 covering the air curtain bodies 131 and 136 to form the jetting slots 133 And a gap formed between the cover 132 and the air curtain body 131 and the air curtain body 131 can be the injection slot 133. [

상기 덮개(132, 137)는 상기 에어 커튼 몸체(131, 136)에 비해 상대적으로 더 돌출되는 형태로 형성됨으로써, 상기 분사 슬롯(133)을 통해 분사되는 에어가 상기 덮개(132, 137)에 의해 상기 분사 슬롯(133) 간을 연결하는 가상의 평면과 상기 퓸 제거 케이스(110)의 내측으로 퍼질 수 있고, 그에 따라 상기 분사 슬롯(133) 간을 연결하는 가상의 평면 상에 에어 커튼이 형성됨은 물론, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내측으로 퍼진 에어에 의해 상기 퓸 제거 케이스(110) 내부로 인입된 웨이퍼(10)에 묻은 퓸도 제거될 수 있게 된다.The lids 132 and 137 are formed so as to protrude relative to the air curtain bodies 131 and 136 so that the air injected through the injection slots 133 is guided by the lids 132 and 137 An air curtain is formed on a virtual plane connecting between the jetting slots 133 and on an imaginary plane which can be spread inside the fume removing case 110 and thereby connect the jetting slots 133 Of course, fumes deposited on the wafer 10 introduced into the fume removing case 110 can also be removed by air spreading inside the fume removing case 110.

상기 배면 배기 부재(160, 165)는 상기 퓸 제거 케이스(110)의 내측 배면부에 배치되고, 상기 에어 커튼 부재(130, 135)에 의해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼(10) 표면으로부터 제거된 상기 퓸을 흡입하여 상기 퓸 제거 케이스(110) 외부로 배출하는 것이다.The rear exhaust members 160 and 165 are disposed on the inner rear surface of the fume removing case 110 and are separated from the surface of the wafer 10 by the air jetted by the air curtain members 130 and 135. [ And discharges the fume to the outside of the fume removing case 110 by suction.

도면 번호 105는 상기 배면 배기 부재(160, 165)와 연결되어, 상기 배면 배기 부재(160, 165)에 부압(negative pressure)이 형성되어 배기가 원활하게 이루어지도록 하는 배기 펌프이다.Reference numeral 105 denotes an exhaust pump connected to the rear exhaust members 160 and 165 so that negative pressure is formed on the rear exhaust members 160 and 165 so that exhaust gas can be smoothly discharged.

상기 배면 배기 부재(160, 165)는 상하 방향으로 연속적으로 길게 형성되는 배기 슬롯(161)을 포함하고, 상기 분사 슬롯(133)을 통해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼(10) 표면으로부터 분리된 퓸이 배기를 위해 상기 배기 슬롯(161)으로 인입되어 외부로 배출될 수 있다.The rear exhaust members 160 and 165 include exhaust slots 161 formed continuously and vertically in the vertical direction and include fumes separated from the surface of the wafer 10 by the air injected through the injection slots 133 Can be drawn into the exhaust slot 161 for exhausting and can be discharged to the outside.

상기 배면 배기 부재(160, 165)는 상기 퓸 제거 케이스(110)의 내측의 양 측에 상기 퓸 제거 케이스(110)에 인입된 상기 웨이퍼(10)를 기준으로 서로 대칭이 되게 마주보도록 한 쌍으로 배치될 수 있다.The rear exhaust members 160 and 165 are paired on both sides of the inside of the fume removing case 110 so as to be symmetrical with respect to the wafer 10 drawn into the fume removing case 110 .

이러한 배치에 의해, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입된 상기 웨이퍼(10)를 기준으로, 상기 퓸 제거 케이스(110)의 입구 쪽 양 측 모서리에 각각 상기 에어 커튼 부재(130, 135)가 배치되고, 상기 퓸 제거 케이스(110)의 내측 배면 쪽 양 측 모서리에 각각 상기 배면 배기 부재(160, 165)가 배치되어, 상기 웨이퍼(10)를 둘러싼 형태가 된다.With this arrangement, the air curtain members 130 and 135 are disposed on both side edges on the inlet side of the fume removing case 110, with respect to the wafer 10 drawn into the fume removing case 110 And the rear exhaust members 160 and 165 are disposed on both inner side edges of the inner side of the fume removing case 110 to surround the wafer 10.

한편, 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)는 측면 배기 부재(150, 155)를 더 포함할 수 있다.The apparatus for removing fume of the wafer storage 100 may further include side exhaust members 150 and 155.

상기 측면 배기 부재(150, 155)는 상기 퓸 제거 케이스(110)에 인입된 상기 웨이퍼(10)의 측면과 이격되면서 상기 웨이퍼(10)의 측면을 따라 형성되어, 상기 분사 슬롯(133)을 통해 분사된 에어와 상기 웨이퍼(10) 표면으로부터 분리된 퓸을 상기 배기 슬롯(161) 쪽으로 안내하는 것이다.The side exhaust members 150 and 155 are formed along the side surface of the wafer 10 while being separated from the side surface of the wafer 10 drawn into the fume removing case 110, So that the injected air and the fumes separated from the surface of the wafer 10 are guided toward the exhaust slot 161.

이러한 안내가 원활하게 이루어지도록, 상기 측면 배기 부재(150, 155)는 상기 퓸 제거 케이스(110)에 인입된 상기 웨이퍼(10)의 각 측면을 가리면서 상기 에어 커튼 부재(130, 135)와 상기 배면 배기 부재(160, 165)를 서로 연결하여 주는 패널 형태로 형성될 수 있다.The side air exhausting members 150 and 155 are disposed on the side surfaces of the air curtain members 130 and 135 and the side surfaces of the air curtain members 130 and 135, And the rear exhaust members 160 and 165 may be connected to each other.

상기 측면 배기 부재(150, 155)의 바닥에는 상기 퓸 제거 케이스(110)의 바닥으로 낙하된 퓸이 배기를 위해 인입되는 바닥 배기 홀(151, 156)이 형성될 수 있다. 상기 측면 배기 부재(150, 155)의 상기 바닥 배기 홀(151, 156)은 상기 배기 펌프(105)와 연결되어 부압이 형성됨으로써 배기가 원활하게 이루어지도록 한다.Bottom exhaust holes 151 and 156 may be formed at the bottom of the side exhaust members 150 and 155 to allow the fumes dropped to the bottom of the fume removal case 110 to be drawn in for exhausting. The bottom exhaust holes 151 and 156 of the side exhaust members 150 and 155 are connected to the exhaust pump 105 so that a negative pressure is formed to smooth the exhaust.

한편, 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)는 에어 낙하 부재(140)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the apparatus for removing fume of the wafer storage 100 may further include an air dropping member 140.

상기 에어 낙하 부재(140)는 상기 퓸 제거 케이스(110)의 상부에 설치되어, 상기 웨이퍼(10) 표면으로부터 분리된 퓸 중의 일부가 상기 바닥 배기 홀(151, 156)을 향해 낙하될 수 있도록 상기 웨이퍼(10) 상공에서 에어를 하방으로 분사하여 주는 것이다.The air dropping member 140 is installed on the upper portion of the fume removing case 110 to allow the part of the fumes separated from the surface of the wafer 10 to fall toward the bottom exhaust holes 151, And the air is jetted downward from the wafer 10.

상기 에어 낙하 부재(140)는 상기 퓸 제거 케이스(110)의 상부에 놓이는 낙하 부재 몸체(141)와, 상기 낙하 부재 몸체(141)를 덮으면서 상기 낙하 부재 몸체(141)와의 사이에 틈이 형성되도록 하는 낙하 부재 가림체(142)를 포함한다.The air dropping member 140 includes a dropping member body 141 placed on the upper portion of the fume removing case 110 and a gap formed between the dropping member body 141 and the dropping member body 141 (Not shown).

상기 낙하 부재 몸체(141)와 상기 낙하 부재 가림체(142) 사이에 형성되는 틈이 가늘고 길게 형성되어, 그 틈이 에어 분사용 슬롯이 되고, 그에 따라 상기 에어 낙하 부재(140) 전체적으로 에어가 분사되어 낙하될 수 있게 된다.A gap formed between the dropping member body 141 and the dropping member closure 142 is formed to be elongated and narrow so that the gap serves as a slot for air distribution so that air is jetted through the air dropping member 140 as a whole, So that it can be dropped.

상기 에어 낙하 부재(140)에 의해 공급되어 낙하된 에어가 상기 퓸 제거 케이스(110) 내의 상기 웨이퍼(10)에서 분리된 퓸 중 일부를 낙하시켜 상기 바닥 배기 홀(151, 156)을 통해 외부로 배출될 수 있도록 한다.The air dropped by the air dropping member 140 drops part of the fumes separated from the wafer 10 in the fume removing case 110 and flows out to the outside through the bottom exhaust holes 151 and 156 To be discharged.

상기 분사 슬롯(133)과 상기 에어 낙하 부재(140)로 에어를 공급해주는 에어 공급 수단(미도시)은 에어 펌프 등으로, 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)가 설치되는 공장 등 설비에 이미 설치된 에어 펌프가 그대로 이용될 수도 있고, 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)를 위한 전용으로 별도로 일반적인 에어 펌프가 설치될 수도 있다.The air supply means (not shown) for supplying air to the jetting slot 133 and the air dropping member 140 is an air pump or the like and is installed in a plant or the like where the wafer storage vat removing apparatus 100 is installed The installed air pump may be used as it is, or a general air pump may be separately provided for the wafer storage vat removing device 100.

또한, 상기 분사 슬롯(133)과 상기 에어 낙하 부재(140)로 공급되는 에어는 불활성 가스 등을 이루어질 수 있다.The air supplied to the jetting slot 133 and the air dropping member 140 may be inert gas or the like.

한편, 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)는 센서 부재(170)와, 히터 부재(101)와, 습도 조절 부재(102)를 더 포함할 수 있다.The apparatus for removing fume of the wafer storage 100 may further include a sensor member 170, a heater member 101, and a humidity control member 102.

상기 센서 부재(170)는 상기 퓸 제거 케이스(110) 내의 온도 및 습도를 감지할 수 있는 것으로, 정확한 센싱을 위하여 상기 측면 배기 부재(150, 155)의 내면 등 상기 웨이퍼(10)와 근접된 위치에 배치된다.The sensor member 170 is capable of sensing the temperature and humidity in the fume removing case 110 and is disposed at a position close to the wafer 10 such as an inner surface of the side exhaust members 150 and 155 for accurate sensing. .

상기 히터 부재(101)는 상기 센서 부재(170)에 의해 센싱된 상기 퓸 제거 케이스(110) 내의 온도가 상기 퓸 제거 케이스(110)로 인입되는 상기 웨이퍼(10)의 미리 설정된 온도에 비해 상대적으로 저온인 경우, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내부와 상기 웨이퍼(10)의 온도 편차가 감소될 수 있도록, 상기 에어 커튼 부재(130, 135)를 통해 상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 분사되는 에어를 가열하여 승온시킬 수 있는 것이다.The temperature of the fumigation case 110 sensed by the sensor member 170 is relatively higher than a preset temperature of the wafer 10 to be introduced into the fumigation case 110 The air blown into the fume removing case 110 through the air curtain members 130 and 135 is discharged to the outside of the fume removing case 110 so that the temperature deviation between the inside of the fume removing case 110 and the wafer 10 can be reduced. And the temperature can be raised by heating.

상기 습도 조절 부재(102)는 상기 센서 부재(170)에 의해 센싱된 상기 퓸 제거 케이스(110) 내의 습도가 미리 설정된 습도와 편차가 있는 경우, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내의 습도 편차가 감소될 수 있도록, 상기 에어 커튼 부재(130, 135)를 통해 상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 분사되는 에어의 습도를 조절할 수 있는 것이다.When the humidity in the fume removal case 110 sensed by the sensor member 170 differs from the humidity set in advance, the humidity adjustment member 102 reduces the humidity variation in the fume removal case 110 The humidity of the air sprayed into the fume removing case 110 through the air curtain members 130 and 135 can be adjusted.

상기 히터 부재(101)로는 일반적인 전기 히터가 이용될 수 있고, 상기 습도 조절 부재(102)로는 일반적인 에어 드라이어 및 미스트 분리기 등이 이용될 수 있다.A general electric heater may be used as the heater member 101, and a general air dryer and a mist separator may be used as the humidity adjusting member 102.

상기와 같이, 상기 센서 부재(170), 상기 히터 부재(101) 및 상기 습도 조절 부재(102)가 구비됨에 따라, 상기 웨이퍼(10)로 가해지는 에어와 상기 웨이퍼(10) 간의 온습도 편차가 감소될 수 있고, 그러한 온습도 편차에 따른 웨이퍼(10) 손상 및 파손이 방지될 수 있게 된다.As described above, since the sensor member 170, the heater member 101, and the humidity adjusting member 102 are provided, the variation of the temperature and humidity between the wafer 10 and the air applied to the wafer 10 is reduced And damage and breakage of the wafer 10 due to such temperature and humidity variation can be prevented.

도면 번호 120은 상기 퓸 제거 케이스(110) 내에 독립적으로 분리 가능하게 모듈 형태로 구비되는 퓸 제거 모듈로, 상기 퓸 제거 모듈(120)의 모듈 케이스(121) 전측 각 모서리에 상기 에어 커튼 부재(130, 135)가 각각 설치되고, 상기 모듈 케이스(121) 내측 배면 각 모서리에 상기 배면 배기 부재(160, 165)가 설치되며, 상기 모듈 케이스(121)의 측면이 상기 측면 배기 부재(150, 155)로 이루어질 수 있다.Reference numeral 120 denotes a fume removing module that is independently provided in a module form in the fume removing case 110. The air curtain member 130 is provided at each corner of the front side of the module case 121 of the fume removing module 120, The module casing 121 is provided with the rear exhaust members 160 and 165 at the respective corners of the inner rear surface and the side surfaces of the module casing 121 are connected to the side exhaust members 150 and 155, ≪ / RTI >

상기와 같이, 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)가 퓸 제거 케이스(110), 에어 커튼 부재(130, 135) 및 배면 배기 부재(160, 165)를 포함함에 따라, 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입되는 웨이퍼(10)에 묻은 퓸이 에어 커튼 부재(130, 135)에 의해 형성된 에어 커튼에 의해 대부분 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입되지 못하고 차단될 수 있고, 일부 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입된 퓸도 에어 커튼 부재(130, 135)에서 불어진 에어에 의해 웨이퍼(10) 표면으로부터 분리되어 배면 배기 부재(160, 165)를 통해 외부로 배출될 수 있으므로, 웨이퍼(10) 스토리지 내부로 외부의 퓸이 인입되지 못하도록 할 수 있음은 물론, 웨이퍼(10) 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼(10)로부터 분리된 퓸 자체의 배출도 원활하게 이루어질 수 있게 된다.As described above, since the wafer storage vat removing device 100 includes the vat removing case 110, the air curtain members 130 and 135, and the back exhaust members 160 and 165, Most of the fumes adhering to the wafer 10 introduced into the fume removing case 110 can be blocked without being drawn into the most of the fume removing case 110 by the air curtain formed by the air curtain members 130 and 135, The entrained fumes can also be separated from the surface of the wafer 10 by air blown from the air curtain members 130 and 135 and discharged to the outside through the rear exhaust members 160 and 165. Therefore, It is possible not only to prevent the external fumes from being drawn in, but also to smoothly discharge the fumes separated from the wafer 10 stacked in the storage of the wafer 10.

이하에서는 도면을 참조하여 상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치(100)의 작동에 대하여 간단히 설명한다.Hereinafter, the operation of the apparatus for removing wafers for removing wafers (100) will be briefly described with reference to the drawings.

상기 퓸 제거 케이스(110)의 상부 전면은 개방되어 있어, 그 개방된 상부 전면을 통해 상기 웨이퍼(10)가 인입되는데, 그 개방된 상부 전면의 양 측에 배치된 상기 에어 커튼 부재(130, 135)에서 분사된 에어가 그 개방된 상부 전면에 에어 커튼을 형성해 줌으로써, 상기 퓸 제거 케이스(110) 내부로 인입되는 상기 웨이퍼(10) 표면의 퓸의 인입이 1차적으로 차단될 수 있다.The upper surface of the fume removing case 110 is opened so that the wafer 10 is drawn through the opened upper surface of the fume removing case 110. The air curtain members 130 and 135 The air blown out from the surface of the wafer 10 introduced into the fume removing case 110 can be primarily blocked by forming an air curtain on the opened upper surface.

상기 퓸 제거 케이스(110) 내로 인입된 상기 웨이퍼(10)의 표면에 묻은 퓸도 상기 에어 커튼 부재(130, 135) 및 상기 에어 낙하 부재(140)에서 불어진 에어에 의해 상기 웨이퍼(10) 표면으로부터 분리되어 상기 퓸 제거 케이스(110)의 후방 및 바닥으로 이동된 다음 상기 배면 배기 부재(160, 165) 및 상기 바닥 배기 홀(151, 156)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.Fumes deposited on the surface of the wafer 10 that are drawn into the fume removing case 110 are also removed by the air blown from the air curtain members 130 and 135 and the air dropping member 140, And is then discharged to the outside through the rear exhaust members 160 and 165 and the bottom exhaust holes 151 and 156. [

상기에서 본 고안은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 고안의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the above invention has been shown and described with respect to specific embodiments thereof, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications may be made thereto without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the following claims And can be changed. However, it is intended that the present invention covers the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

본 고안의 일 측면에 따른 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치에 의하면, 웨이퍼 스토리지 내부로 외부의 퓸이 인입되지 못하도록 할 수 있음은 물론, 웨이퍼 스토리지 내부에 적층된 웨이퍼로부터 분리된 퓸 자체의 배출도 원활하게 이루어질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to one aspect of the present invention, the apparatus for removing fume of wafers can prevent external fumes from being introduced into the wafer storage, as well as smoothly discharging the fumes separated from the wafers stacked in the wafer storage And therefore, it is highly likely to be used industrially.

100 : 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치
110 : 퓸 제거 케이스
130, 135 : 에어 커튼 부재
140 : 에어 낙하 부재
150, 155: 측면 배기 부재
160, 165 : 배면 배기 부재
170 : 센서 부재100: Foam removal device for wafer storage
110: Fume removal case
130, 135: Air curtain member
140: Air drop member
150, 155: side exhaust member
160, 165: rear exhaust member
170: absence of sensor

Claims (7)

웨이퍼가 서로 이격되면서 복수의 층으로 나란히 적층될 수 있는 퓸 제거 케이스;
상기 퓸 제거 케이스의 전면부에 배치되고, 상기 퓸 제거 케이스 내로 진입하는 상기 웨이퍼 쪽으로 에어를 분사하여, 상기 웨이퍼 표면의 퓸(fume)을 제거해 줌과 함께 상기 퓸 제거 케이스 내부로 외부의 이물질이 유입되지 않도록 상기 퓸 제거 케이스 전면에 에어 커튼을 형성시키는 에어 커튼 부재;
상기 퓸 제거 케이스의 배면부에 배치되고, 상기 에어 커튼 부재에 의해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼 표면으로부터 제거된 상기 퓸을 흡입하여 상기 퓸 제거 케이스 외부로 배출하는 배면 배기 부재;
상기 퓸 제거 케이스에 인입된 상기 웨이퍼의 측면과 이격되면서 상기 웨이퍼의 측면을 따라 형성되어, 분사 슬롯을 통해 분사된 에어와 상기 웨이퍼 표면으로부터 분리된 퓸을 배기 슬롯 쪽으로 안내하고, 그 바닥에는 상기 퓸 제거 케이스의 바닥으로 낙하된 퓸이 배기를 위해 인입되는 바닥 배기 홀이 형성되는 측면 배기 부재; 및
상기 웨이퍼 표면으로부터 분리된 퓸 중의 일부가 상기 바닥 배기 홀을 향해 낙하될 수 있도록 상기 웨이퍼 상공에서 에어를 하방으로 분사하여 주는 에어 낙하 부재;를 포함하고,
상기 에어 커튼 부재는 상하 방향으로 길게 형성되는 분사 슬롯을 포함하고, 상기 분사 슬롯을 통해 에어가 분사되어, 서로 이격되면서 적층된 상기 웨이퍼 사이 공간으로 에어가 공급될 수 있고,
상기 에어 커튼 부재는 상기 퓸 제거 케이스에서 상기 웨이퍼가 인입되는 입구의 양 측에 서로 마주보도록 한 쌍으로 배치되고,
상기 배면 배기 부재는 상하 방향으로 길게 형성되는 배기 슬롯을 포함하고, 상기 분사 슬롯을 통해 분사된 에어에 의해 상기 웨이퍼 표면으로부터 분리된 퓸이 배기를 위해 상기 배기 슬롯으로 인입되고,
상기 배면 배기 부재는 상기 퓸 제거 케이스의 내측의 양 측에 상기 퓸 제거 케이스에 인입된 상기 웨이퍼를 기준으로 서로 대칭이 되게 마주보도록 한 쌍으로 배치되고,
상기 측면 배기 부재는 상기 퓸 제거 케이스에 인입된 상기 웨이퍼의 각 측면을 가리면서 상기 에어 커튼 부재와 상기 배면 배기 부재를 서로 연결하여 주는 패널 형태로 형성되고,
상기 에어 낙하 부재는 상기 퓸 제거 케이스의 상부에 놓이는 낙하 부재 몸체와, 상기 낙하 부재 몸체를 덮으면서 상기 낙하 부재 몸체와의 사이에 틈이 형성되도록 하는 낙하 부재 가림체를 포함하고,
상기 낙하 부재 몸체와 상기 낙하 부재 가림체 사이에 형성되는 틈이 가늘고 길게 형성되어, 상기 틈이 에어 분사용 슬롯이 되고, 그에 따라 상기 에어 낙하 부재 전체적으로 에어가 분사되어 낙하될 수 있게 되고,
상기 에어 낙하 부재에 의해 공급되어 낙하된 에어가 상기 퓸 제거 케이스 내의 상기 웨이퍼에서 분리된 퓸 중 일부를 낙하시켜 상기 바닥 배기 홀을 통해 외부로 배출될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치.A fume removing case that can be stacked side by side with a plurality of layers while the wafers are spaced apart from each other;
A fume removing unit for removing fumes from the surface of the wafer by spraying air toward the wafer which enters into the fume removing case, An air curtain member for forming an air curtain on the entire surface of the fume removing case so that the air curtain member does not protrude;
A back exhaust member disposed at a back surface of the fume removing case and sucking the fume removed from the surface of the wafer by air blown by the air curtain member and discharging the fume to the outside of the fume removing case;
The fume separator is formed along a side surface of the wafer while being separated from a side surface of the wafer drawn into the fume removing case, and guides the air injected through the injection slot and the fumes separated from the wafer surface toward the exhaust slot, A side exhaust member formed with a bottom exhaust hole into which the fumes dropped to the bottom of the removal case are introduced for exhausting; And
And an air dropping member for spraying air downward over the wafer so that a part of the fumes separated from the wafer surface can be dropped toward the bottom exhaust hole,
The air curtain member includes ejection slots formed to be elongated in the vertical direction. Air can be injected through the ejection slots, and air can be supplied to the inter-wafer space,
Wherein the air curtain member is disposed on both sides of an inlet through which the wafer is drawn in the fume removing case so as to face each other,
Wherein the rear exhaust member includes an exhaust slot formed to be elongated in the vertical direction, and the fumes separated from the wafer surface by the air injected through the injection slot are drawn into the exhaust slot for exhaust,
Wherein the back exhaust member is disposed on both sides of the inside of the fume removing case so as to be opposed to each other with respect to the wafer drawn into the fume removing case,
Wherein the side air outlet member is formed in a panel shape that shields each side of the wafer drawn into the air outlet case and connects the air curtain member and the rear air outlet member to each other,
Wherein the air dropping member includes a dropping member body disposed on an upper portion of the fountain removing case and a dropping member slicing body for forming a gap between the dropping member body and the dropping member body,
A gap formed between the dropping member body and the falling member closure member is formed to be elongated and narrow so that the gap serves as an air distribution slot so that air can be sprayed over the entire air drop member,
And the air dropped by the air dropping member drops part of the fumes separated from the wafer in the fume removing case so as to be discharged to the outside through the bottom exhaust hole. Device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치는
상기 퓸 제거 케이스 내의 온도 및 습도를 감지할 수 있는 센서 부재;
상기 센서 부재에 의해 센싱된 상기 퓸 제거 케이스 내의 온도가 상기 퓸 제거 케이스로 인입되는 상기 웨이퍼의 미리 설정된 온도에 비해 상대적으로 저온인 경우, 상기 퓸 제거 케이스 내부와 상기 웨이퍼의 온도 편차가 감소될 수 있도록, 상기 에어 커튼 부재를 통해 상기 퓸 제거 케이스 내로 분사되는 에어를 가열하여 승온시킬 수 있는 히터 부재; 및
상기 센서 부재에 의해 센싱된 상기 퓸 제거 케이스 내의 습도가 미리 설정된 습도와 편차가 있는 경우, 상기 퓸 제거 케이스 내의 습도 편차가 감소될 수 있도록, 상기 에어 커튼 부재를 통해 상기 퓸 제거 케이스 내로 분사되는 에어의 습도를 조절할 수 있는 습도 조절 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 스토리지용 퓸 제거 장치.The method according to claim 1,
The wafer storage fume removing device
A sensor member capable of sensing temperature and humidity in the fume removing case;
When the temperature in the fumigation case sensed by the sensor member is relatively low compared to a preset temperature of the wafer to be introduced into the fumigation case, the temperature deviation between the inside of the fumigation case and the wafer may be reduced A heater member capable of heating the air injected into the fume removing case through the air curtain member to raise the temperature; And
An air blown into the fume removing case through the air curtain member so that a humidity deviation in the fume removing case can be reduced when the humidity in the fume removing case sensed by the sensor member is different from a humidity set in advance And a humidity adjusting member capable of adjusting the humidity of the fume of the wafer.
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