KR200482147Y1 - 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR200482147Y1 KR2020140009460U KR20140009460U KR200482147Y1 KR 200482147 Y1 KR200482147 Y1 KR 200482147Y1 KR 2020140009460 U KR2020140009460 U KR 2020140009460U KR 20140009460 U KR20140009460 U KR 20140009460U KR 200482147 Y1 KR200482147 Y1 KR 200482147Y1
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Abstract

본 발명은 케이블을 보관하는 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 내부에 수납공간을 가지며 제1방향으로 길게 연장되는 제1덕트와 상기 제1덕트의 상부에 위치되고 내부에 수납공간을 가지며 상기 제1방향으로 길게 연장되는 제2덕트와 그리고 상기 제1덕트와 상기 제2덕트의 사이에 위치하며 상기 제1덕트와 상기 제2덕트를 결합시키는 제1결합 플레이트를 포함하는 케이블 수납 유닛을 포함한다.

Description

케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Unit for keeping of cable and Apparatus for treating a substrate with the unit}
본 고안은 케이블을 보관하는 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 또는 평판 디스플레이 페널을 제조하기 위해서는 수많은 공정이 수행된다. 이러한 공정들 각각을 수행하기 위해 다양한 종류의 장치들이 사용된다. 각각의 장치는 케이블을 통해 전원 장치로부터 전원을 공급 받는다.
각각의 장치와 연결되는 케이블의 수는 많고, 그 종류는 다양하다. 이러한 케이블들은 케이블 덕트에 수납된 상태로 각각의 장치와 연결된다.
도 1은 일반적인 수납 덕트를 나타내는 도면이다. 이를 참조하면, 하나의 수납 덕트(1)에 여러 종류의 케이블이 수납되어 있다. 일 예로 파워케이블과 시그날 케이블들이 동일한 수납 덕트(1)에 수납된다.
이러한 케이블 수납은 협소한 공간에 종류가 다른 케이블을 밀착하여 보관되어, 노이즈에 취약한 장치내 부품들이 오작동을 일으킬 수 있다.
또한, 메인터넌스 시 필요한 케이블을 바로 찾을 수 없는 문제점이 발생한다. 예를 들어 도 1의 제1케이블(2)은 내부 공간 중 상단에 있어 쉽게 꺼낼수 있으나, 제2케이블(3)은 상부에 적층되어 있는 모든 케이블을 꺼낸 뒤 꺼내야 한다.
본 고안은 기판 처리 장치 내에 부품들이 노이즈로 인한 오작동을 방지하기 위한 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 고안은 메인터넌시 수납되는 케이블을 쉽게 꺼낼 수 있는 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 고안은 케이블을 보관하는 케이블 수납 유닛을 제공한다.
본 고안의 일 실시 예에 따르면, 상기 케이블 수납 유닛은 내부에 수납공간을 가지며 제1방향으로 길게 연장되는 제1덕트; 상기 제1덕트의 상부에 위치되고 내부에 수납공간을 가지며 상기 제1방향으로 길게 연장되는 제2덕트; 그리고 상기 제1덕트와 상기 제2덕트의 사이에 위치하며, 상기 제1덕트와 상기 제2덕트를 결합시키는 제1결합 플레이트를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1덕트는 제1본체를 포함하며 상기 제2덕트는 제2본체; 상기 제2본체의 하부로 돌출되는 결합체를 포함하고 상기 제1결합 플레이트는 상부에 상기 결합체가 삽입되는 제1홈이 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1본체는 제1좌측면과 상기 제1좌측면과 마주보며 형성되는 제1우측면과 그리고 상기 제1좌측면과 상기 제1우측면과 수직하게 제공되는 제1바닥면을 포함하고, 상기 제2본체는 제2좌측면과 상기 제2좌측면과 마주보며 형성되는 제2우측면과 그리고 상기 제2좌측면과 상기 제2우측면과 수직하게 제공되는 제2바닥면을 포함하며, 상기 제1결합 플레이트는 상부로 돌출되며 상기 제1본체의 상측 양쪽 가장 자리에 제공되는 제1돌출 몸체와 상기 제1돌출 몸체에서 상기 제1본체의 내측 방향으로 돌출되는 제1걸림턱을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 케이블 수납 유닛은 상기 제2본체의 상부와 결합되는 제2결합 플레이트를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제2결합 플레이트는 상부로 돌출되며 상기 제2본체의 상측 양쪽 가장 자리에 제공되는 제2돌출 몸체와 상기 제2돌출 몸체에서 상기 제2본체의 내측 방향으로 돌출되는 제2걸림턱을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제2덕트에는 상기 제1걸림턱과 결합하며, 상기 결합체의 상부에 형성되는 결합홈이 제공될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 결합체는 상기 제2바닥면보다 작은 크기로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 결합체는 상부에서 바라 볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향의 길이는 상기 제1홈의 상기 제2방향의 길이와 동일하게 제공될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1좌측면, 상기 제1우측면 상기 제2좌측면 그리고 상기 제2우측면에는 제1본체의 상하방향으로 길게 제공되는 복수의 개구가 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 개구는 상기 제1좌측면 상기 제1우측면 상기 제2좌측면 그리고 상기 제2우측면의 상기 제1방향을 따라 형성될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 상기 제1본체과 상기 제2본체의 내부에는 격막이 제공될 수 있다.
본 고안은 기판을 처리하는 장치를 제공한다.
본 고안의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 내부에 처리공간을 가지며 상기 처리공간에 기판을 처리하는 부품들이 제공되는 챔버; 상기 부품들에 전력 및 신호를 공급하는 전장 유닛을 포함하되, 상기 전장 유닛은 전장부재와 상기 전장부재에서 제공되는 전력과 신호를 상기 부품들에 전달하는 케이블과 상기 챔버의 외측에 위치하며 상기 케이블을 수납하는 케이블 수납 유닛을 포함할 수 있다.
본 고안의 일 실시 예에 의하면, 케이블의 종류에 따라 분리 수납이 가능한 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하여, 기판 처리 장치 내에 부품들이 노이즈로 오작동 되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 고안의 일 실시 예에 의하면, 케이블의 종류에 따라 분리 수납이 가능한 케이블 수납 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하여 메인터넌스 시 케이블을 쉽게 꺼낼 수 있다.
도 1은 종래의 케이블 보관 덕트를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 고안의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 케이블 수납 유닛의 사시도이다.
도 4는 도 3의 케이블 수납 유닛의 정면도이다.
도 5는 도 3의 케이블 수납 유닛을 A-A방향에서 바라본 도면이다.
도 6은 도 3의 케이블 수납 유닛의 다른 실시 예를 보여주는 도면이다.
도 7은 도 3의 케이블 수납 유닛에 케이블에 보관되어 있는 상태를 개략적으로 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 7의 케이블 수납 유닛이 분리 된 상태를 보여주는 도면이다.
도 9 내지 도 11은 케이블 수납 유닛의 다른 실시 예를 보여주는 도면이다.
이하, 본 고안의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 고안의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 고안의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 고안을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 2는 본 고안의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다. 이를 참조하면, 기판 처리 장치(5)는 챔버(10)와 전장 유닛(20)을 포함한다.
챔버(10)는 내부에 처리공간을 가진다. 처리공간에는 기판을 처리하는 부품들(11)이 제공된다.
전장유닛(20)은 부품들(11)과 연결되어 전력 및 신호를 공급하ㅌ다. 전장 유닛(20)은 전장부재(30), 케이블(40) 그리고 케이블 수납 유닛(50)을 포함한다.
전장부재(30)는 처리공간 내부에 부품들(11)에 전력과 신호를 제공한다. 전장부재(30)는 챔버(10)의 외측에 위치한다.
케이블(40)은 전장부재(30)에서 공급받은 전력과 신호를 부품들(11)에 전달한다. 케이블(40)은 복수개가 제공될 수 있다.
도 2는 본 고안의 일 실시 예에 따른 케이블 수납 유닛의 사시도이고, 도 3은 도 2의 케이블 수납 유닛의 정면도이며, 도 4는 도 2의 케이블 수납 유닛을 A-A방향에서 바라본 도면이다. 이하 도 2 내지 도 4을 참조하면, 케이블 수납 유닛(50)은 기판 처리 장치에 사용되는 다양한 종류의 케이블을 보관한다. 케이블 수납 유닛(50)은 제1덕트(100), 제2덕트(200), 제1결합 플레이트(300) 그리고 제2결합 플레이트(400)를 포함한다. 제1덕트(100)는 내부에 수납공간(V1)을 가진다. 제1덕트(100)는 제1방향(12)을 따라 길게 연장된다. 이하, 제1덕트(100)의 길이 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라 볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하고, 제1방향(12)과 제2방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3방향(16)이라 한다.
제1덕트(100)는 제1본체(110)를 포함한다. 제1본체(110)는 제1방향(12)으로 길게 연장된다. 제1본체(110)는 상부가 개방되며, 내부에 수납 공간(V1)을 가진다. 또한, 제1본체(110)는 제1방향(12)의 양측면이 개방된다. 수납 공간(V1)에는 케이블이 수납된다.
제1본체(110)는 제1좌측면(111), 제1우측면(112) 그리고 제1바닥면(113)을 포함한다. 제1좌측면(111)과 제1우측면(112)은 제2방향(14)으로 이격되어 제공된다. 제1좌측면(111)과 제1우측면(112)은 서로 대향되게 제공된다. 제1바닥면은 제1좌측면(111)과 제1우측면(112)에 수직하게 제공된다. 제1좌측면(111), 제1우측면(112) 그리고 제1바닥면(113)은 각각 제1방향(12)으로 길게 연장된다. 제1좌측면(111), 제1우측면(112) 그리고 제1바닥면(113)에 의해 수납 공간(V1)이 정의된다.
제1본체(110)의 상부에는 제1상부 돌기(115,116)가 제공된다. 제1상부 돌기(115,116)는 제1본체(110)의 상부에 가장 자리부에 두 개 제공된다. 제1상부 돌기(115,116)는 제1본체(110)의 외측 방향으로 돌출된다. 제1상부 돌기(115,116)는 제1본체(110)을 기준으로 서로 반대방향에 위치한다. 제1상부 돌기(115,116)는 제1방향(12)을 따라 길게 연장된다.
제1본체(110)의 제1좌측면(111)과 제1우측면(112)에는 각각 개구(114)가 형성된다. 개구(114)는 외부와의 통풍을 통해서 내부의 보관된 케이블의 온도가 상승되는 것을 방지한다. 개구(114)는 제1좌측면(111)과 제1우측면(112)을 관통하여 형성된다. 개구(114)는 제1본체(110)의 제3“‡향(16)으로 길게 연장되어 형성된다. 개구(114)는 복수개가 제공된다. 개구(114)는 제1본체(110)의 제1좌측면(111)과 제1우측면(112)의 제1방향(12)을 따라 형성된다. 개구(114)들은 서로 동일한 간격으로 제공될 수 있다.
제2덕트(200)는 제1덕트(100)의 상부에 위치한다. 제2덕트(200)는 내부에 수납공간(V2)을 가진다. 제2덕트(200)는 제1방향(12)을 따라 길게 연장된다.
제2덕트(200)는 제2본체(210)를 포함한다. 제2본체(210)는 제1방향(12)으로 길게 연장되어 제공된다. 제2본체(210)는 상부가 개방되고, 후술하는 결합체(250)와 결합하여 내부에 수납공간(V2)을 형성한다.. 또한, 제2본체(210)은 제1방향(12)의 양측면이 개방된다. 수납 공간(V2)은 케이블이 수납된다.
제2본체(210)는 제2좌측면(211), 제2우측면(212) 그리고 제2바닥면(213)을 포함한다. 제2좌측면(211)과 제2우측면(212)은 제2방향(14)으로 이격되어 제공된다. 제2좌측면(211)과 제2우측면(212)은 서로 대향되게 제공된다. 제2바닥면(213)은 제2좌측면(211)과 제2우측면(212)에 수직하게 제공된다. 제2좌측면(211), 제2우측면(212) 그리고 제2바닥면(213)은 각각 제1방향(12)으로 길게 연장된다. 제2좌측면(211), 제2우측면(212), 제2바닥면(213) 그리고 결합체(250)에 의해 수납 공간(V2)이 정의된다.
제2본체(210)의 상부에는 제2상부 돌기(215,216)가 제공된다. 제2상부 돌기(215,216)는 제2본체(210)의 상부에 가장 자리부에 두 개 제공된다. 제2상부 돌기(215,216)는 제2본체(210)의 외측 방향으로 돌출된다. 제2상부 돌기(215,216)는 제2본체(210)을 기준으로 서로 반대방향에 위치한다. 제2상부 돌기(215,216)는 제1방향(12)을 따라 길게 연장된다.
제2본체(210)의 제2좌측면(211)과 제2우측면(212)에는 각각 개구(214)가 형성된다. 개구(214)는 외부와의 통풍을 통해서 내부의 보관된 케이블의 온도가 상승되는 것을 방지한다. 개구(214)는 제2좌측면(211)과 제2우측면(212)을 관통하여 형성된다. 개구(214)는 제2본체(210)의 제3“‡향(16)으로 길게 연장되어 형성된다. 개구(214)는 복수개가 제공된다. 개구(214)는 제2본체(210)의 제2좌측면(211)과 제2우측면(212)의 제1방향(12)을 따라 형성된다. 개구(214)들은 서로 동일한 간격으로 제공될 수 있다.
제2본체(210)는 결합체(250)를 가진다 결합체(250)는 후술하는 제1결합 플레이트(300)의 제1홈(332)에 삽입되어 제1덕트(100)와 제2덕트(200)를 체결한다. 결합체(250)는 제2본체(210)의 제2바닥면(213)에서 하부로 돌출된다. 결합체(250)는 제2본체(210)의 제2바닥면(213)보다 작게 제공된다. 결합체(250)의 제2방향(14)의 길이는 제1홈(332)의 제2방향(14)의 길이와 동일하게 제공될 수 있다.
결합체(250)의 상부에는 결합홈(252)이 제공된다. 결합홈(252)은 제1걸림턱(321,322)과 결합가능하다. 결합홈(252)은 제2본체(210)의 제2바닥면(213)과 결합체(250) 사이에 위치한다. 결합홈(252)의 단면적은 결합체(250)의 단면적보다 작게 제공된다. 결합홈(252)은 링형상의 홈으로 제공될 수 있다.
제1결합 플레이트(300)는 제1덕트(100)와 제2덕트(200)을 결합시킨다. 제1결합 플레이트(300)는 제1본체(110)의 상부에 결합된다. 제1결합 플레이트(300)는 제1본체(110)에 탈착 가능하게 제공된다. 제1결합 플레이트(300)는 제1본체(110)의 상부 커버로써 기능할 수 있다.
제1결합 플레이트(300)는 제1돌출 몸체(311,312), 제1걸림턱(321,322), 제1상부 플레이트(331) 그리고 제1내측 결합부(371,372)를 포함한다.
제1돌출 몸체(311,312)는 제1본체(110)의 상측 양쪽 가장 자리에 제공된다. 제1돌출 몸체(311,312)는 제1본체(110)의 상부로 돌출된다. 제1돌출 몸체(311,312)는 두 개 제공된다. 제1돌출 몸체(311,312)들은 제2방향(14)으로 서로 이격되어 제공된다. 제1돌출 몸체(311,312)들은 제1본체(110)을 기준으로 서로 대향된다.
제1걸림턱(321,322)은 제1돌출 몸체(311,312)에 형성된다. 제1걸림턱(321,322)은 제1돌출 몸체(311,312)에서 제1본체(110)의 내측 방향으로 돌출된다. 제1걸림턱(321,322)은 두 개 제공된다. 제1걸림턱(321,322)들은 제2방향(14)으로 서로 이격되어 제공된다. 제1걸림턱(321,322)은 제1본체(110)을 기준으로 서로 대향된다.
제1상부 플레이트(331)는 제1돌출 몸체(311,312)와 결합된다. 제1상부 플레이트(331)는 제1본체(110)의 상부에 위치한다. 제1상부 플레이트(331)는 제1걸림턱(321,322)의 하부에 위치한다. 제1상부 플레이트(331)는 제1본체(110)의 제1바닥면(113)과 평행하게 제공된다. 제1상부 플레이트(331)는 제1방향(12)으로 길게 연장된다.
제1상부 플레이트(331), 제1돌출 몸체(311,312) 그리고 제1걸림턱(321,322)에 형성되는 공간은 제1홈(332)이라 칭한다. 제1홈(332)에는 결합체(250)가 삽입된다. 제1홈(332)은 제1결합 플레이트(300)의 상부에 위치한다. 제1홈(332)은 제1방향(12)으로 길게 형성된다. 제1홈(332)은 제1상부 플레이트(331)의 상부에 위치한다.
제1내측 결합부(371,372)는 제1본체(110)의 제1상부 돌기(115,116)와 결합되어, 제1결합 플레이트(300)와 제1본체(110)을 결합한다. 제1내측 결합부(371,372)는 제1돌출 몸체(311,312)의 하부에 각각 제공된다. 제1내측 결합부(371,372)는 제1본체(110)의 내측 방향으로 돌출되어 제공된다. 제1내측 결합부(371,372)는 제1방향(12)으로 길게 연장된다. 제1내측 결합부(371,372)들은 제1본체(110)를 기준으로 서로 반대측에 위치한다. 제1내측 결합부(371,372)들은 제1돌출 몸체(311,312)의 상부면과 평행하게 제공될 수 있다.
제2결합 플레이트(400)는 제2덕트(200)와 다른 덕트를 결합시킬 수 있다. 제2결합 플레이트(400)는 제2본체(210)의 상부에 결합된다. 제2결합 플레이트(400)는 제2본체(210)에 탈착 가능하게 제공된다. 제2결합 플레이트(400)는 제2본체(210)의 상부 커버로써 기능할 수 있다.
제2결합 플레이트(400)는 제2돌출 몸체(411,412), 제2걸림턱(421,422), 제2상부 플레이트(431) 그리고 제2내측 결합부(471,472)를 포함한다.
제2돌출 몸체(411,412), 제2걸림턱(421,422), 제2상부 플레이트(431) 그리고 제2내측 결합부(471,472)는 제1돌출 몸체(311,312), 제1걸림턱(321,322), 제1상부 플레이트(331) 그리고 제1내측 결합부(371,372)과 대체로 동일하게 제공된다.
도 9 내지 도 11은 케이블 수납 유닛의 다른 실시 예를 보여주는 도면이다. 이하, 이를 참조하면, 케이블 수납 유닛(51)은 도 9와 같이 제2결합 플레이트(400)의 상부가 평행한 면으로 제공될 수 있다. 이와는 달리, 도 10과 같이 케이블 수납 유닛(52)은, 제1덕트(1100),제2덕트(1200),제1결합 플레이트(1300), 제2결합 플레이트(1400), 제3덕트(1500) 그리고 제3결합 플레이트(1600)로 제공될 수 있다. 도 10과는 달리 덕트의 수는 필요에 따라 4개 이상으로 제공될 수 있다. 선택적으로 도 11과 같이 케이블 수납 유닛(53)에 제3결합 플레이트(2600)의 상부가 평행한 면으로 제공될 수 있다.
이하에서는 제1덕트(100)와 제2덕트(200)의 결합을 설명한다.
제1덕트(100)의 제1결합 플레트를 제1본체(110)에 결합시킨다. 제2덕트(200)의 제2결합 플레이트(400)를 제2본체(210)에 결합시킨다. 이 후 제2본체(210)의 결합체(250)를 제1홈(332)에 체결한다. 이 때, 결합홈(252)은 제1걸림턱(321,322)과 결합된다. 결합체(250)와 제1홈(332), 결합홈(252)과 제1걸림턱(321,322)에 의해서 제1덕트(100)와 제2덕트(200)는 체결된다.
본 실시 예에서는 제1덕트(100)와 제2덕트(200)을 갖는 케이블 수납 유닛(50)으로 설명하였으나, 필요에 따라 덕트의 개수를 3개 이상으로 사용하여 제2덕트(200)의 상부로 결합하여 사용 가능하다.
도 6은 도 3의 케이블 수납 유닛의 다른 실시 예를 보여주는 도면이다. 이하 도 6을 참조하면, 제1본체(110)과 제2본체(210)의 수납 공간(V1,V2)에 격막(150,260)을 제공한다. 격막(150,260)은 내부의 수납 공간(V1,V2)을 두 개의 공간으로 분리해준다. 내부에 각각의 수납 공간(V1,V2)은 서로 다른 종류의 케이블을 보관할 수 있게 제공된다.
이하, 도 3의 케이블 수납 유닛(50)으로 케이블을 수납하는 방법을 설명한다.
본 고안의 실시예에서는 파워 케이블과 시그널 케이블의 두 종류의 케이블을 보관하는 방법을 예로 들어 설명한다.
도 7은 도 3의 케이블 수납 유닛에 케이블에 보관되어 있는 상태를 개략적으로 보여주는 단면도이고, 도 8은 도 7의 케이블 수납 유닛이 분리 된 상태를 보여주는 도면이다.
파워케이블은 시그널 케이블보다 큰 직경으로 제공되는 케이블이다. 파워 케이블은 제1덕트(100)의 내부 수납 공간(V1)에 보관한다. 시그널 케이블은 제2덕트(200)의 내부 수납 공간(V2)에 보관한다. 도 7과 같이 하부에 제1덕트(100)에는 파워케이블을, 상부에 제2덕트(200)에는 시그널 케이블을 보관한다. 케이블의 종류에 따라 분리되며, 따로 수납되어 케이블의 수납 시 서로 다른 케이블이 수납되어 노이즈로 인한 부품들의 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다. 또한, 메인터넌스 시 특정 케이블을 꺼낼 때 케이블 수납 유닛(50)에서 쉽게 찾아 꺼낼 수 있다. 일 예로 파워 케이블의 사용시 도 8과 같이 제1덕트(100)와 제2덕트(200)를 분리한다. 이 후 제1덕트(100)의 내부에서 파워 케이블을 꺼낼 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 고안을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 고안의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 고안은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 고안의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 고안의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 고안의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 고안의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 케이블 수납 유닛 100: 제1덕트
110: 제1본체 200: 제2덕트
210: 제2본체 114,214: 개구
250: 결합체 300: 제1결합 플레이트
311,312: 제1돌출 몸체 321,322: 제1걸림턱
331: 제1상부 플레이트 400: 제2결합 플레이트
411,412: 제2돌출 몸체 421,422: 제2걸림턱

Claims (12)

  1. 케이블을 수납하는 케이블 수납 유닛에 있어서,
    내부에 수납공간을 가지며, 제1방향으로 길게 연장되는 제1덕트와;
    상기 제1덕트의 상부에 위치되고 내부에 수납공간을 가지며, 상기 제1방향으로 길게 연장되는 제2덕트와; 그리고
    상기 제1덕트와 상기 제2덕트의 사이에 위치하며, 상기 제1덕트와 상기 제2덕트를 결합시키는 제1결합 플레이트를 포함하되,
    상기 제1덕트는,
    제1좌측면, 상기 제1좌측면과 마주보며 형성되는 제1우측면, 그리고 상기 제1좌측면과 상기 제1우측면과 수직하게 제공되는 제1바닥면을 가지는 제1본체를 포함하며,
    상기 제2덕트는,
    제2좌측면, 상기 제2좌측면과 마주보며 형성되는 제2우측면, 그리고 상기 제2좌측면과 상기 제2우측면과 수직하게 제공되는 제2바닥면을 가지는 제2본체와;
    상기 제2본체의 하부로 돌출되는 결합체를 포함하고,
    상기 제1결합 플레이트는 상부에 상기 결합체가 삽입되는 제1홈이 형성되되,
    상기 제1결합 플레이트는,
    상부로 돌출되며, 상기 제1본체의 상측 양쪽 가장 자리에 제공되는 제1돌출 몸체와;
    상기 제1돌출 몸체에서 상기 제1본체의 내측 방향으로 돌출되는 제1걸림턱을 포함하는 케이블 수납 유닛.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 케이블 수납 유닛은 상기 제2본체의 상부와 결합되는 제2결합 플레이트를 더 포함하는 케이블 수납 유닛.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2결합 플레이트는,
    상부로 돌출되며, 상기 제2본체의 상측 양쪽 가장 자리에 제공되는 제2돌출 몸체와;
    상기 제2돌출 몸체에서 상기 제2본체의 내측 방향으로 돌출되는 제2걸림턱을 포함하는 케이블 수납 유닛.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2덕트에는 상기 제1걸림턱과 결합하며, 상기 결합체의 상부에 형성되는 결합홈이 제공되는 케이블 수납 유닛.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 결합체는 상기 제2바닥면보다 작은 크기로 제공되는 케이블 수납 유닛.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 결합체는 상부에서 바라 볼 때, 상기 제1방향과 수직한 제2방향의 길이는 상기 제1홈의 상기 제2방향의 길이와 동일하게 제공되는 케이블 수납 유닛.
  9. 제1항, 그리고 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1좌측면, 상기 제1우측면, 상기 제2좌측면 그리고 상기 제2우측면에는 제1본체의 상하방향으로 길게 제공되는 복수의 개구가 형성되는 케이블 수납 유닛.
  10. 제9항 있어서,
    상기 개구는 상기 제1좌측면, 상기 제1우측면, 상기 제2좌측면 그리고 상기 제2우측면의 상기 제1방향을 따라 형성되는 케이블 수납 유닛.
  11. 제1항, 그리고 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1본체과 상기 제2본체의 내부에는 격막이 제공되는 케이블 수납 유닛.
  12. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    내부에 처리공간을 가지며, 상기 처리공간에 기판을 처리하는 부품들이 제공되는 챔버와
    상기 부품들에 전력 및 신호를 공급하는 전장 유닛을 포함하되,
    상기 전장 유닛은
    전장부재와
    상기 전장부재에서 제공되는 전력과 신호를 상기 부품들에 전달하는 케이블과
    상기 챔버의 외측에 위치하며, 상기 케이블을 수납하는 제1항, 그리고 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 상기 케이블 수납 유닛을 포함하는 기판 처리 장치.
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