KR200453558Y1 - Multi picker device for transfering a LED chip - Google Patents

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KR200453558Y1 KR2020090014540U KR20090014540U KR200453558Y1 KR 200453558 Y1 KR200453558 Y1 KR 200453558Y1 KR 2020090014540 U KR2020090014540 U KR 2020090014540U KR 20090014540 U KR20090014540 U KR 20090014540U KR 200453558 Y1 KR200453558 Y1 KR 200453558Y1
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전상곤
윤현식
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Abstract

본 고안에 따르면, 회전 액츄에이터 및 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 인접하여 배치된 복수개의 팁들을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, 복수개의 픽커들 각각의 팁들이 상기 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 동일한 원주 상에 LED 칩을 픽다운하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치가 제공된다. 이에 의해, 픽커 장치의 사이클 타임을 단축할 수 있고, 동일한 원주의 서로 다른 위치에서도 LED 칩을 픽업하거나 픽다운할 수 있다.According to the present invention, a place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotated by the rotary actuator; And a plurality of pickers that rotate about an axis of rotation of the rotating plate, each picker being fixed to the vertical actuator, the picker arm, and the ends of the picker arm, and having a plurality of adjacently disposed tips for adsorbing the LED chip. And a tip of each of the plurality of pickers is formed on the same circumference with respect to the rotation axis, so that a position for picking down the LED chip on the same circumference is arranged. Is provided. As a result, the cycle time of the picker device can be shortened, and the LED chips can be picked up or picked down at different positions of the same circumference.

픽커암, 팁, 픽커, LED 칩 Picker arm, tip, picker, LED chip

Description

ＬＥＤ 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치{Multi picker device for transfering a LED chip}Multi picker device for transfering a LED chip

본 고안은 LED 칩(light emitting diode chip)을 이송하는 멀티 픽커 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로, 웨이퍼(wafer)에 놓여 있는 LED 칩을 이송하여 척(chuck) 위에 올려놓기 위한, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a multi-picker device for transferring a light emitting diode chip (LED chip), and more particularly, to transfer the LED chip for transferring the LED chip placed on the wafer (wafer) to put on the chuck (chuck) It relates to a multi-picker device.

LED 칩은 출하에 앞서 정상적으로 동작하는지 여부를 판별하는 테스트를 받게 된다. 이러한 테스트는, 웨이퍼에 놓여 있는 LED 칩을 픽커 장치에 의해 이송하여 척 위에 올려 놓고, LED 칩이 올려진 척은 테스터기로 이동하여 LED 칩이 테스트되는 과정에 의해 이루어진다. The LED chip is tested to determine whether it is operating normally before shipping. This test is performed by transferring the LED chip placed on the wafer by the picker device and placing it on the chuck, and the chuck on which the LED chip is placed moves to the tester to test the LED chip.

종래의 LED 칩을 이송하는 픽커 장치의 구성을 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 종래의 LED 칩을 이송하는 픽커 장치는 플레이스부(place part)와 1개의 픽커를 포함한다. 플레이스부는 픽커를 회전시키기 위한 회전 액츄에이터(actuator)를 가지며, 픽커는 픽커암(picker arm)을 수직방향으로 이동시키기 위한 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 LED 칩을 흡착하기 위한 팁(tip)을 가지고 있다. Referring to the configuration of the picker device for transferring the conventional LED chip in detail as follows. The picker device for transferring a conventional LED chip includes a place part and one picker. The place portion has a rotary actuator for rotating the picker, the picker having a vertical actuator for moving the picker arm vertically, a picker arm, and a tip for sucking the LED chip. have.

이와 같은 LED 칩을 이송하는 픽커 장치는 픽커암의 말단에 고정되어 있는 팁으로 웨이퍼 상에 놓여 있는 LED 칩을 흡착한 후 픽커암을 수직방향 액츄에이터에 의해 위로 들어올린다. 그 다음에, 회전 액츄에이터가 구동됨으로써 픽커암의 팁이 웨이퍼의 상부로부터 척의 상부로 이동한다. 그 다음에, 수직방향 액츄에이터에 의해 픽커암이 아래로 내려온 후에 팁에 흡착되어 있는 LED 칩이 척의 상면에 놓이게 된다. The picker device for transporting such an LED chip picks up an LED chip placed on a wafer with a tip fixed at the end of the picker arm and then lifts the picker arm up by a vertical actuator. The rotary actuator is then driven to move the tip of the picker arm from the top of the wafer to the top of the chuck. Then, after the picker arm is lowered by the vertical actuator, the LED chip adsorbed on the tip is placed on the upper surface of the chuck.

이러한 LED 칩을 이송하는 픽커 장치는 픽커가 1개이었기 때문에 하나의 픽커가 1번 왕복하는 동안 1개의 LED 칩만을 이송할 수 있었다. 따라서, 픽커 장치의 사이클 타임(cycle time; 웨이퍼에 놓인 LED 칩들 전체를 척으로 이송하는 데에 걸리는 시간을 이송된 LED 칩들의 개수로 나눈 값)을 단축하는 데에 한계가 있었다. 또한, LED 칩을 픽다운하는 위치가 하나의 위치로 일정하였으므로, 동일한 원주의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽다운할 수 없는 문제점이 있었다. Since the picker device for transporting such LED chips had only one picker, only one LED chip could be transported during one round trip. Therefore, there was a limit in shortening the cycle time of the picker device (the time taken to transfer all of the LED chips placed on the wafer to the chuck divided by the number of LED chips transferred). In addition, since the position of picking down the LED chip is constant as one position, there is a problem that the LED chips cannot be picked down at different positions of the same circumference.

본 고안은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 픽커 장치의 사이클 타임을 단축할 수 있으며, 동일한 원주의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽다운할 수 있는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치를 제공함에 그 목적이 있다. The present invention is to solve the above problems, it is possible to shorten the cycle time of the picker device, to provide a multi-picker device for transporting the LED chip, which can pick up the LED chip in different positions of the same circumference Has its purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안의 일 실시형태는, 회전 액츄에이터 및 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 인접하여 배치된 복수개의 팁들을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, 복수개의 픽커들 각각의 팁들이 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 동일한 원주 상에 LED 칩을 픽다운하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치를 제공한다. In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention, a place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotated by the rotary actuator; And a plurality of pickers that rotate about an axis of rotation of the rotating plate, each picker being fixed to the vertical actuator, the picker arm, and the ends of the picker arm, and having a plurality of adjacently disposed tips for adsorbing the LED chip. And a tip of each of the plurality of pickers is formed on the same circumference with respect to the rotation axis, and a position for picking down the LED chip is arranged on the same circumference. to provide.

본 고안의 또 다른 실시형태는, 회전 액츄에이터 및 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 하나의 팁을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, 복수개의 픽커들 각각의 팁이 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 동일한 원주 상의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽다운하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치를 제공한다. Another embodiment of the present invention, a place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotated by the rotary actuator; And a plurality of pickers rotating about an axis of rotation of the rotating plate, each picker being fixed to a vertical actuator, a picker arm, and a tip of the picker arm, the pickers having one tip for adsorbing the LED chip. A tip of each of the pickers is formed on the same circumference with respect to the axis of rotation, so that the positions for picking down the LED chips at different positions on the same circumference are arranged, providing a multi-picker device for transferring the LED chips. do.

본 고안의 또 다른 실시형태는, 회전 액츄에이터 및 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 인접하여 배치된 복수개의 팁들을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, 복수개의 픽커들 각각의 팁들이 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 동일한 원주 상에 LED 칩을 픽업하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치를 제공한다. Another embodiment of the present invention, a place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotated by the rotary actuator; And a plurality of pickers that rotate about an axis of rotation of the rotating plate, each picker being fixed to the vertical actuator, the picker arm, and the ends of the picker arm, and having a plurality of adjacently disposed tips for adsorbing the LED chip. And the tips of each of the plurality of pickers are formed on the same circumference with respect to the axis of rotation, so that positions for picking up the LED chips on the same circumference are arranged. do.

본 고안의 또 다른 실시형태는, 회전 액츄에이터 및 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 하나의 팁을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, 복수개의 픽커들 각각의 팁이 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 동일한 원주 상의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽업하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치를 제공한다. Another embodiment of the present invention, a place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotated by the rotary actuator; And a plurality of pickers rotating about an axis of rotation of the rotating plate, each picker being fixed to a vertical actuator, a picker arm, and a tip of the picker arm, the pickers having one tip for adsorbing the LED chip. A tip of each picker is formed on the same circumference about an axis of rotation, so that the positions for picking up the LED chips at different positions on the same circumference are arranged, thereby providing a multi-picker device for transferring the LED chip. .

본 고안에 따르면, 복수개의 픽커들을 이용하여 LED 칩을 이송하기 때문에 픽커 장치의 사이클 타임을 단축할 수 있다. 또한, 동일한 원주의 서로 다른 위치에서도 LED 칩을 픽업하거나 픽다운할 수 있다. According to the present invention, since the LED chip is transferred using a plurality of pickers, the cycle time of the picker device can be shortened. In addition, LED chips can be picked up or picked down at different locations on the same circumference.

이하, 본 고안에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 바람직한 실시형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of a multi-picker device for transferring the LED chip according to the present invention will be described in detail.

도 1a는 본 고안의 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 정면도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 제 1 픽커의 확대 사시도이며, 도 2는 도 1a에 도시된, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 저면도이다. FIG. 1A is a front view of a multi-picker device for transferring an LED chip, according to a first embodiment of the present invention, FIG. 1B is an enlarged perspective view of the first picker shown in FIG. 1A, and FIG. 2 is shown in FIG. 1A, Bottom view of a multi-picker device for transferring LED chips.

도 1a를 참조하면, 본 고안의 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치(10)는 플레이스부(30), 제 1 픽커(20a) 및 제 2 픽커(20b)로 이루어져 있다. Referring to FIG. 1A, the multi-picker device 10 for transferring an LED chip according to the first embodiment of the present invention includes a place portion 30, a first picker 20a, and a second picker 20b. .

도 1a 및 도 2를 참조하여, 플레이스부(30)의 구성을 자세히 설명하면, 플레이스부(30)는 회전 액츄에이터(33) 및 회전 액츄에이터(33)에 의해 회전하는 회전판(31)을 포함한다. 회전 액츄에이터(33)는 DD 모터(direct drive motor)이고, 플레이트(38)의 하면에 부착되어 있다. 1A and 2, the configuration of the place unit 30 will be described in detail. The place unit 30 includes a rotary actuator 33 and a rotating plate 31 that is rotated by the rotary actuator 33. The rotary actuator 33 is a direct drive motor and is attached to the lower surface of the plate 38.

제 1 픽커(20a)와 제 2 픽커(20b)는 그 구성이 동일하므로, 이하에서는 제 1 픽커(20a)의 구성만 설명한다. 도 1a 및 도 1b를 참조하여, 제 1 픽커(20a)의 구성을 자세히 설명하면 다음과 같다. 제 1 픽커(20a)는 수직방향 액츄에이터(21a), 픽커암(6a), 및 픽커암(6a)의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩(도시되지 않음)을 흡착하기 위한 제 1 팁(3a) 및 제 2 팁(5a)을 가진다. Since the configurations of the first picker 20a and the second picker 20b are the same, only the configuration of the first picker 20a will be described below. 1A and 1B, the configuration of the first picker 20a will be described in detail as follows. The first picker 20a is fixed to the vertical actuator 21a, the picker arm 6a, and the end of the picker arm 6a, and has a first tip 3a for adsorbing an LED chip (not shown) and It has a second tip 5a.

도 1b에 도시된 수직방향 액츄에이터(21a)는 보이스 코일 모터(voice coil motor)로서, 자석이 내장되어 있으며 원통부 결합대(22a)에 결합되어 있는 원통부(25a)와 코일부 결합대(28a)에 결합되어 있는 코일부(24a)로 이루어져 있다. 코 일부(24a)의 코일에 전류가 흐르게 되면, 코일부(24a)가 플레밍의 왼손 법칙에 의해 상하로 힘을 받게 되어 수직방향 가이드레일(도시되지 않음)을 따라 상하로 움직이게 된다. 이에 따라 코일부 결합대(28a)와 결합되어 있는 픽커암(6a)도 상하로 움직이게 된다. 엔코더(26a)는, 코일부 결합대와 결합되어 있는 레퍼런스 마크(reference mark; 29a)의 상하 이동을 감지함으로써 픽커암과 팁의 높이를 측정하게 된다. 본 실시형태에 따른 LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 수직방향 액츄에이터(21a)는 보이스 코일 모터로 이루어져 있지만, 실린더를 이용한 구조나 모터와 래크앤피니언(rack & pinion)을 이용한 구조도 가능하다. The vertical actuator 21a shown in FIG. 1B is a voice coil motor. The cylindrical portion 25a and the coil portion coupling portion 28a, in which a magnet is embedded, are coupled to the cylindrical portion coupling portion 22a. It consists of a coil portion (24a) coupled to. When a current flows through the coil of the nose part 24a, the coil part 24a is forced up and down by Fleming's left-hand rule and moves up and down along a vertical guide rail (not shown). As a result, the picker arm 6a that is engaged with the coil unit coupling table 28a also moves up and down. The encoder 26a measures the height of the picker arm and the tip by sensing the vertical movement of the reference mark 29a coupled with the coil unit coupling stand. The vertical actuator 21a of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the present embodiment is composed of a voice coil motor. However, a structure using a cylinder or a rack and pinion may be used.

픽커암(6a)의 말단 상면에는 호스(hose; 도시되지 않음)가 연결되어 있는 제 1 콜렛(collet; 2a)과 제 2 콜렛(4a)이 설치되어 있다. 제 1 콜렛(2a)은 제 1 팁(3a)과 연결되어 있고 제 2 콜렛(4a)은 제 2 팁(5a)과 연결되어 있기 때문에, 제 1 팁(3a)과 제 2 팁(5a) 각각은 호스를 통한 진공 흡입력에 의해 LED 칩을 흡착할 수 있다. The first collet 2a and the second collet 4a to which a hose (not shown) is connected are provided on the distal upper surface of the picker arm 6a. Since the first collet 2a is connected to the first tip 3a and the second collet 4a is connected to the second tip 5a, each of the first tip 3a and the second tip 5a The LED chip can be adsorbed by the vacuum suction force through the silver hose.

도 2에 도시된 것처럼, 제 1 픽커의 픽커암(6a)은 제 2 픽커의 픽커암(6b)과 180°를 이루며 회전판(31)의 하면에 고정되어 있기 때문에, 제 1 픽커의 제 1 팁(3a)과 제 2 팁(5a) 사이의 중점은 제 2 픽커의 제 1 팁(3b)과 제 2 팁(5b) 사이의 중점과 함께 회전판(31)의 직경방향 일직선(D1) 상에 배열되어 있다. As shown in FIG. 2, the picker arm 6a of the first picker is 180 ° with the picker arm 6b of the second picker and is fixed to the lower surface of the rotating plate 31, so that the first tip of the first picker is fixed. The midpoint between 3a and the second tip 5a is arranged on the radial straight line D1 of the rotating plate 31 together with the midpoint between the first tip 3b and the second tip 5b of the second picker. It is.

도 5는 본 고안의 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 동작을 설명하는 도이다. 도 5를 참조하여, 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 동작을 설명하면 다음과 같다. 도 5에 도시된 제 1 픽커 의 픽커암(6a)의 제 1 팁(3a)과 제 2 팁(5a) 각각은 LED 칩(도시되지 않음)을 흡착하고 있다. 픽커암(6a)이 회전판의 회전에 의해 시계방향으로 회전하면, 제 1 팁(3a)과 제 2 팁(5a)은 원주(D3)를 따라 화살표방향으로 이동하여, 각각, 척(40)의 제 1 돌출부(42)의 상면의 안착 위치(P1)와 제 2 돌출부(44)의 상면의 안착 위치(P2)의 상부에서 정지한 후, LED 칩을 픽다운하게 된다. 이 때, 도 5에는 도시되어 있지 않지만, 제 2 픽커의 제 1 팁과 제 2 팁은 웨이퍼에 놓인 LED 칩을 픽업하게 된다. 그 후에, 제 1 픽커와 제 2 픽커는 다시 시계방향으로 회전하여, 제 2 픽커는 제 1 픽커가 픽다운 작업을 행한 위치에서 픽다운 작업을 행하고, 제 1 픽커는 제 2 픽커가 픽업 작업을 행한 위치에서 픽업 작업을 행하게 된다. 도 5에서는, 픽다운 작업이 척(40)의 상부에서 이루어졌지만, 척(40)의 상부에서 픽업 작업이 이루어지고 반대편에서 픽다운 작업이 이루어지는 것도 가능하다. 5 is a view for explaining the operation of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment of the present invention. 5, the operation of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment is as follows. Each of the first tip 3a and the second tip 5a of the picker arm 6a of the first picker shown in FIG. 5 adsorbs an LED chip (not shown). When the picker arm 6a rotates clockwise by the rotation of the rotating plate, the first tip 3a and the second tip 5a move in the direction of the arrow along the circumference D3, respectively, After stopping at an upper position of the seating position P1 of the upper surface of the first protrusion 42 and the seating position P2 of the upper surface of the second protrusion 44, the LED chip is picked down. At this time, although not shown in Figure 5, the first tip and the second tip of the second picker pick up the LED chip placed on the wafer. Thereafter, the first picker and the second picker rotate again clockwise, so that the second picker performs a pickdown operation at a position where the first picker has performed the pickdown operation, and the first picker performs a pickup operation by the second picker. The pick-up operation is performed at the position where it was performed. In FIG. 5, the pick down operation is performed at the top of the chuck 40, but it is also possible that the pick up operation is performed at the top of the chuck 40 and the pick down operation is performed at the opposite side.

제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치에 따르면, 하나의 픽커가 웨이퍼와 척 사이를 한번 왕복하는 동안 4개의 LED 칩을 이송할 수 있다. 따라서, 하나의 픽커가 한번 왕복하는 동안 1개의 LED 칩만을 이송할 수 있었던 종래의 LED 칩을 이송하는 픽커 장치에 비하여 작업 속도가 4배 향상된다. 또한, 종래의 LED 칩을 이송하는 픽커 장치는 원주 상의 하나의 위치에만 픽다운할 수 있었지만, 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치는 복수개의 팁들이 동일한 원주 상에 형성되어 있기 때문에, 동일한 원주 상의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽다운할 수 있다. According to the multi-picker device for transferring LED chips according to the first embodiment, it is possible to transfer four LED chips during one round trip between the wafer and the chuck. Thus, the work speed is increased by four times as compared to the picker device for transferring a conventional LED chip, in which one picker can only transfer one LED chip during one round trip. In addition, the picker apparatus for transferring the conventional LED chip was able to pick down to only one position on the circumference, but according to the first embodiment, the multi-picker apparatus for transferring the LED chip has a plurality of tips formed on the same circumference. As a result, the LED chips can be picked down at different positions on the same circumference.

본 고안의 제 1 실시형태에서는 픽커의 개수가 2개이지만, 픽커의 개수가 3 개 이상일 수도 있다. 픽커의 개수가 3개 이상인 경우, 복수개의 픽커들 각각이 이웃하는 픽커들과 이루는 각도는 모두 동일한 것이 바람직하다. 또한, 제 1 실시형태에서는 하나의 픽커가 2개의 팁들을 가지고 있지만, 3개 이상의 팁들을 가지고 있을 수도 있다. In the first embodiment of the present invention, the number of pickers is two, but the number of pickers may be three or more. When the number of pickers is three or more, it is preferable that each of the plurality of pickers has the same angle as neighboring pickers. Also, in the first embodiment, one picker has two tips, but may have three or more tips.

도 3은 본 고안의 제 2 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 사시도이다. 제 2 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치는, 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치와 달리, 4개의 픽커들(20a, 20b, 20c, 20d)이 2개씩 인접하여 배치되어 있다. 서로 인접하는 제 1 픽커(20a)와 제 3 픽커(20c)로 이루어진 제 1 픽커단과, 서로 인접하는 제 2 픽커(20b)와 제 4 픽커(20d)로 이루어진 제 2 픽커단은 회전축을 중심으로 서로 대향하고 있다. 제 2 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 플레이스부 및 각각의 픽커들은 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 플레이스부 및 각각의 픽커들과 그 구성이 동일하다. 3 is a perspective view of a multi-picker device for transferring LED chips according to a second embodiment of the present invention. In the multi-picker device for transferring an LED chip according to the second embodiment, unlike the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment, four pickers 20a, 20b, 20c, and 20d are two. It is arranged adjacent to each other. A first picker stage comprising a first picker 20a and a third picker 20c adjacent to each other, and a second picker stage consisting of a second picker 20b and a fourth picker 20d adjacent to each other, have an axis of rotation. Facing each other. The place portion and respective pickers of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the second embodiment are different from the place portion and the respective pickers of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment. same.

제 2 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치는, 2개의 팁이 하나의 픽커암에 설치되어 있지 않고 하나의 팁을 가진 픽커암 2개가 서로 인접하여 설치되어 있다. 따라서, 인접한 팁이 픽업 작업을 개별적으로 하기 때문에, 먼저 흡착된 인접한 팁의 LED 칩에 영향을 주지 않으면서 LED 칩을 픽업할 수 있다. In the multi-picker device for transferring the LED chip according to the second embodiment, two picker arms having one tip are provided adjacent to each other without two tips being provided on one picker arm. Therefore, since the adjacent tips individually pick up, it is possible to pick up the LED chips without affecting the LED chips of the adjacent tips which are adsorbed first.

본 고안의 제 2 실시형태에서는 픽커단의 개수가 2개이지만, 픽커단의 개수가 3개 이상일 수도 있다. 픽커단의 개수가 3개 이상인 경우, 복수개의 픽커단들 각각이 이웃하는 픽커단들과 이루는 각도는 모두 동일한 것이 바람직하다. 또한, 제 2 실시형태에서는 하나의 픽커가 1개의 팁을 가지고 있지만, 2개 이상의 팁을 가지고 있을 수도 있다. In the second embodiment of the present invention, the number of picker stages is two, but the number of picker stages may be three or more. When the number of picker stages is three or more, it is preferable that each of the plurality of picker stages has the same angle as the neighboring picker stages. In addition, although one picker has one tip in the second embodiment, it may have two or more tips.

도 4는 본 고안의 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 저면도이다. 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치는, 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치와 달리, 제 2 픽커의 픽커암(3b)의 길이방향 일직선(D2)이 제 1 픽커의 픽커암(3a)의 길이방향 일직선(D1)과 α(0°< α < 90°)의 각을 이룬다. 즉, θ = 180°- α 라고 하면, 제 1 픽커와 제 2 픽커는 θ(90°＜ θ ＜ 180°)의 각을 이룬다. 또한, 제 1 픽커의 픽커암(6a)과 제 2 픽커의 픽커암(6b)은 각각 1개의 팁(3a, 3b)을 가진다. 위와 같은 구성을 제외하면, 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치는, 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치와 그 구성이 동일하다. 4 is a bottom view of a multi-picker device for transferring LED chips according to a third embodiment of the present invention. The multi-picker device for transferring the LED chip according to the third embodiment, unlike the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment, has a longitudinal straight line D2 of the picker arm 3b of the second picker. ) Forms an angle of α (0 ° <α <90 °) with the longitudinal straight line D1 of the picker arm 3a of the first picker. That is, if θ = 180 ° −α, the first and second pickers form an angle of θ (90 ° <θ <180 °). Further, the picker arm 6a of the first picker and the picker arm 6b of the second picker each have one tip 3a, 3b. Except for the above configuration, the multi-picker device for transferring the LED chip according to the third embodiment has the same configuration as the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment.

도 6은 본 고안의 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 동작을 설명하는 도이다. 도 6을 참조하여, 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 동작을 설명하면 다음과 같다. 제 2 픽커의 픽커암(6b)은, 픽업 위치(PU)와 회전 중심(C)을 지나는 기준선(D1)과 우측으로 α의 각을 이루는 제 1 반경방향 일직선(D2) 상에 위치해 있는 제 2 척(40b)의 상부에 위치해 있다. 이 때, 제 2 픽커의 팁(3b)은 LED 칩(도시되지 않음)을 제 2 척(40b)에 픽다운하고, 제 1 픽커의 픽커암(6a)의 팁(3a)은 픽업 위치(PU)에서 LED 칩(도시되지 않음)을 픽업한다. 그 후에, 회전판이 시계방향으로 회전하여 제 2 픽커의 팁(3b)은 원주(D3)를 따라 화살표 방향(A1)으로 이동하고, 제 1 픽커의 팁(3a)도 원 주(D3)를 따라 화살표 방향(A2)으로 이동한다. 그 후에, 제 1 픽커의 팁(3a)이, 기준선(D1)과 좌측으로 α의 각을 이루는 제 2 반경방향 일직선 상에 위치해 있는 척(40a)의 상부에 도달하고, 제 2 픽커의 팁(3b)이 픽업 위치(PU)의 상부에 도달할 때 회전판이 정지하게 된다. 그 다음에, 제 1 픽커의 팁(3a)은 흡착하고 있는 LED 칩을 제 1 척(40a)에 픽다운하고, 제 2 픽커의 팁(3b)은 픽업 위치(PU)에 놓여 있는 LED 칩을 픽업하게 된다. 6 is a view for explaining the operation of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the third embodiment of the present invention. Referring to FIG. 6, the operation of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the third embodiment is as follows. The picker arm 6b of the second picker is located on a reference line D1 passing through the pick-up position PU and the rotational center C and on a first radial straight line D2 that forms an angle of α to the right. It is located at the top of the chuck 40b. At this time, the tip 3b of the second picker picks down the LED chip (not shown) to the second chuck 40b, and the tip 3a of the picker arm 6a of the first picker moves to the pickup position PU. Pick up an LED chip (not shown). Thereafter, the rotating plate rotates clockwise so that the tip 3b of the second picker moves in the direction of the arrow A1 along the circumference D3, and the tip 3a of the first picker also follows the circumference D3. Move to arrow direction A2. Thereafter, the tip 3a of the first picker reaches the top of the chuck 40a, which is located on a second radial straight line at an angle of α to the left of the reference line D1, and the tip of the second picker ( When 3b) reaches the top of the pickup position PU, the rotating plate is stopped. Then, the tip 3a of the first picker picks down the LED chip adsorbed to the first chuck 40a, and the tip 3b of the second picker removes the LED chip placed at the pickup position PU. You will be picked up.

제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치는 하나의 팁을 가진 픽커 2개가 회전축을 중심으로 θ의 각을 이루고 있기 때문에, 적은 수의 팁을 가지고도 동일한 원주의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽다운할 수 있다. In the multi-picker device for transferring the LED chip according to the third embodiment, since two pickers having one tip form an angle of θ about the rotation axis, the pickers at different positions of the same circumference have fewer tips. The LED chip can be picked down.

도 6에서는 제 1 픽커와 제 2 픽커가 각각 제 1 척(40a)과 제 2 척(40b)에 LED 칩을 픽다운하지만, α가 충분히 작은 경우에는 기준선(D1)과 원주(D3)의 교차점에 위치해 있는 하나의 척(도시되지 않음)에 LED 칩을 픽다운할 수 있다. 또한, 도 6에서는 픽다운 작업이 제 1 척(40a)과 제 2 척(40b)의 상부에서 이루어졌지만, 제 1 척(40a)과 제 2 척(40b)의 상부에서 픽업 작업이 이루어지고 픽업 위치(PU)에서 픽다운 작업이 이루어질 수도 있다. In FIG. 6, the first picker and the second picker pick down the LED chip to the first chuck 40a and the second chuck 40b, respectively, but when α is sufficiently small, the intersection point of the reference line D1 and the circumference D3. The LED chip can be picked down to one chuck (not shown) located at. In addition, in FIG. 6, the pick-down operation is performed at the top of the first chuck 40a and the second chuck 40b, but the pick-up operation is performed at the top of the first chuck 40a and the second chuck 40b, and the pickup is performed. A pickdown operation may be made at location PU.

본 고안의 제 3 실시형태에서는, 픽커의 개수가 2개이지만, 3개 이상일 수도 있다. 픽커의 개수가 3개 이상인 경우에는, 픽커가 이웃하는 픽커들과 이루는 각도가 모두 동일한 것이 바람직하다. In the third embodiment of the present invention, the number of pickers is two, but may be three or more. When the number of pickers is three or more, it is preferable that all the angles formed by the pickers with neighboring pickers are the same.

본 고안은 첨부된 예시 도면의 바람직한 실시형태를 중심으로 도시하고 설명하였지만, 이에 한정하지 않고 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이하의 청구범위에 기재된 본 고안의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형된 형태로 실시할 수 있음은 물론이다. Although the present invention has been illustrated and described with reference to the preferred embodiments of the accompanying drawings, the present invention is not limited thereto. Of course, it can be carried out in various modified forms.

도 1a는 본 고안의 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 정면도이다. 1A is a front view of a multi-picker device for transferring an LED chip according to the first embodiment of the present invention.

도 1b는 도 1a에 도시된 제 1 픽커의 확대 사시도이다. FIG. 1B is an enlarged perspective view of the first picker shown in FIG. 1A.

도 2는 도 1a에 도시된, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 저면도이다. FIG. 2 is a bottom view of the multi-picker device for transferring the LED chips shown in FIG. 1A.

도 3은 본 고안의 제 2 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 사시도이다. 3 is a perspective view of a multi-picker device for transferring LED chips according to a second embodiment of the present invention.

도 4는 본 고안의 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 저면도이다. 4 is a bottom view of a multi-picker device for transferring LED chips according to a third embodiment of the present invention.

도 5는 본 고안의 제 1 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 동작을 설명하는 도이다. 5 is a view for explaining the operation of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the first embodiment of the present invention.

도 6은 본 고안의 제 3 실시형태에 따른, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치의 동작을 설명하는 도이다. 6 is a view for explaining the operation of the multi-picker device for transferring the LED chip according to the third embodiment of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

3a, 3b, 5a, 5b: 팁 6a, 6b: 픽커암3a, 3b, 5a, 5b: tips 6a, 6b: picker arm

20a: 제 1 픽커 20b: 제 2 픽커20a: first picker 20b: second picker

21a, 21b: 수직방향 액츄에이터 30: 플레이스부21a, 21b: vertical actuator 30: place part

Claims (18)

회전 액츄에이터(actuator) 및 상기 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부(place part); 및 A place part having a rotary actuator and a rotating plate rotating by the rotary actuator; And 상기 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커(picker)가 수직방향 액츄에이터, 픽커암(picker arm), 및 상기 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 인접하여 배치된 복수개의 팁(tip)들을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, A plurality of pickers fixed to a vertical actuator, a picker arm, and a distal end of the picker arm, the plurality of adjacently arranged pickers for adsorbing LED chips; A plurality of pickers having tips, 상기 복수개의 픽커들 각각의 팁들이 상기 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 상기 동일한 원주 상에 LED 칩을 픽다운(pick down)하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. A tip of each of the plurality of pickers is formed on the same circumference about the rotation axis, so that a position for picking down the LED chip on the same circumference is arranged. Multi-picker device. 제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들 각각이 이웃하는 픽커들과 이루는 각도는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The multi-picker device of claim 1, wherein each of the plurality of pickers has the same angle as neighboring pickers. 제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들은 2개씩 인접하여 배치되어 있으며, 2개씩 인접하여 배치되어 있는 픽커들(이하, '픽커단')이 이웃하는 픽커단과 이루는 각도는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The method of claim 1, wherein the plurality of pickers are arranged adjacent to each other, and the pickers arranged next to each other (hereinafter, the 'picker stage') are all formed at the same angle as the neighboring picker stage. , Multi picker device to transfer LED chips. 제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들의 개수는 2개이며, 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 90°＜ θ ＜ 180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The multi-picker device of claim 1, wherein the number of the plurality of pickers is two, and the range of angles θ formed by the two pickers is 90 ° <θ <180 °. 제 4 항에 있어서, 상기 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 120°＜ θ ＜ 180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. 5. The multi-picker device for transferring LED chips according to claim 4, wherein the range of angles θ formed by the two pickers is 120 ° <θ <180 °. 회전 액츄에이터 및 상기 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 A place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotating by the rotary actuator; And 상기 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 상기 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 하나의 팁을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며,Rotating around the axis of rotation of the rotating plate, each picker including a plurality of pickers fixed to a vertical actuator, a picker arm, and a tip of the picker arm, the picker having one tip for adsorbing an LED chip, 상기 복수개의 픽커들 각각의 팁이 상기 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 상기 동일한 원주 상의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽다운하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. A tip of each of the plurality of pickers is formed on the same circumference with respect to the rotation axis, the position for picking down the LED chip in different positions on the same circumference is arranged, transferring the LED chip Multi picker device. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 복수개의 픽커들의 개수는 2개이고, The number of the plurality of pickers is two, 상기 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 90°＜ θ ＜180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The range of the angle θ formed by the two pickers is 90 ° <θ <180 °, the multi-picker device for transferring the LED chip. 제 7 항에 있어서, 상기 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 120°＜ θ ＜ 180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. 8. The multi-picker device for transferring LED chips according to claim 7, wherein the range of angles θ formed by the two pickers is 120 ° <θ <180 °. 제 6 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들은 2개씩 인접하여 배치되어 있으며, 2개씩 인접하여 배치되어 있는 픽커들(이하, '픽커단')이 이웃하는 픽커단과 이루는 각도는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The method of claim 6, wherein the plurality of pickers are arranged adjacent to each other, the pickers arranged adjacent to each other (hereinafter referred to as "picker end") is an angle formed by the neighboring picker stage, all characterized in that the same , Multi picker device to transfer LED chips. 회전 액츄에이터 및 상기 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 A place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotating by the rotary actuator; And 상기 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 상기 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 인접하여 배치된 복수개의 팁들을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며, A plurality of pickers, each picker being fixed to a vertical actuator, a picker arm, and a tip of the picker arm, and having a plurality of adjacently arranged tips for adsorbing an LED chip. Include, 상기 복수개의 픽커들 각각의 팁들이 상기 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 상기 동일한 원주 상에 LED 칩을 픽업(pick up)하는 위치가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. Tip of each of the plurality of pickers are formed on the same circumference around the axis of rotation, the position to pick up the LED chip (pick up) on the same circumference is arranged, to transfer the LED chip Multi picker device. 제 10 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들 각각이 이웃하는 픽커들과 이루는 각도는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The multi-picker device of claim 10, wherein each of the plurality of pickers has the same angle as neighboring pickers. 제 10 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들은 2개씩 인접하여 배치되어 있으며, 2개씩 인접하여 배치되어 있는 픽커들(이하, '픽커단')이 이웃하는 픽커단과 이루는 각도는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The method of claim 10, wherein the plurality of pickers are arranged adjacent to each other, the pickers arranged adjacent to each other (hereinafter referred to as 'picker stage') are all the angle formed by the neighboring picker stage, characterized in that the same , Multi picker device to transfer LED chips. 제 10 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들의 개수는 2개이며, 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 90°＜ θ ＜ 180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The multi-picker device of claim 10, wherein the number of the plurality of pickers is two, and the range of angles θ formed by the two pickers is 90 ° <θ <180 °. 제 13 항에 있어서, 상기 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 120°＜ θ ＜ 180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. 14. The multi-picker device of claim 13, wherein the range of angles θ formed by the two pickers is 120 ° <θ <180 °. 회전 액츄에이터 및 상기 회전 액츄에이터에 의해 회전하는 회전판을 가지는 플레이스부; 및 A place portion having a rotary actuator and a rotating plate rotating by the rotary actuator; And 상기 회전판의 회전축을 중심으로 회전하며, 각각의 픽커가 수직방향 액츄에이터, 픽커암, 및 상기 픽커암의 말단에 고정되어 있으며 LED 칩을 흡착하기 위한 하나의 팁을 가지는 복수개의 픽커들을 포함하며,Rotating around the axis of rotation of the rotating plate, each picker including a plurality of pickers fixed to a vertical actuator, a picker arm, and a tip of the picker arm, the picker having one tip for adsorbing an LED chip, 상기 복수개의 픽커들 각각의 팁이 상기 회전축을 중심으로 한 동일한 원주 상에 형성되어, 상기 동일한 원주 상의 서로 다른 위치에 LED 칩을 픽업하는 위치 가 배열되는 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. A tip of each of the plurality of pickers is formed on the same circumference around the rotation axis, the position for picking up the LED chip in different positions on the same circumference, multi-transfer LED chip Picker device. 제 15 항에 있어서, The method of claim 15, 상기 복수개의 픽커들의 개수는 2개이고, The number of the plurality of pickers is two, 상기 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 90°＜ θ ＜180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The range of the angle θ formed by the two pickers is 90 ° <θ <180 °, the multi-picker device for transferring the LED chip. 제 16 항에 있어서, 상기 2개의 픽커가 이루는 각도 θ의 범위는 120°＜ θ ＜ 180°인 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. 17. The multi-picker device of claim 16, wherein the range of angles θ formed by the two pickers is 120 ° <θ <180 °. 제 15 항에 있어서, 상기 복수개의 픽커들은 2개씩 인접하여 배치되어 있으며, 2개씩 인접하여 배치되어 있는 픽커들(이하, '픽커단')이 이웃하는 픽커단과 이루는 각도는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, LED 칩을 이송하는 멀티 픽커 장치. The method of claim 15, wherein the plurality of pickers are arranged adjacent to each other, the two adjacent pickers (hereinafter referred to as 'picker stage') are formed with the angle of the adjacent picker stage, all characterized in that the same , Multi picker device to transfer LED chips.
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