KR20040111085A - cassette for the use of boards - Google Patents
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Abstract
Description
기술분야Technical Field
본 발명은 기판용 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판용 카세트에 마련되는 기판 수용 부재의 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate cassette, and more particularly, to a structure of a substrate accommodating member provided in the substrate cassette.
종래기술Prior art
플랫 패널 디스플레이 등에는 유리 기판이 사용되고 있는데, 그 제조 프로세스에 있어서는 공정간에 있어서의 유리 기판의 반송 및 스톡 등 때문에, 상기 유리 기판을 복수장 축적시킨 상태에서 지지하는 기판용 카세트가 사용된다.Although a glass substrate is used for a flat panel display etc., in the manufacturing process, the board | substrate cassette which supports in the state which accumulated several sheets of the said glass substrate is used for conveyance of a glass substrate between processes, stock, etc. are used.
상기 기판용 카세트로서는 이하에 나타내는 특허 문헌 1 등에 개시된 것이 있다. 특허 문헌 1에 개시된 기판용 카세트는 바깥테두리 프레임의 양 측면으로부터 안쪽을 향하여 늘어나는 장척 리브(기판 수용 부재)를 삐저나오게 하고, 기판의 양 측면측으로부터 기판을 지지하는 구조가 채용되고 있다.As the cassette for the substrate, there is one disclosed in Patent Document 1 described below. The substrate cassette disclosed in Patent Document 1 has a structure in which a long rib (substrate accommodating member) that extends inwardly from both sides of the outer edge frame is protruded, and the substrate is supported from both sides of the substrate.
[특허 문헌 1][Patent Document 1]
특개2001-146295호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-146295
그러나, 상기 구성으로 이루어지는 기판용 카세트의 경우, 장척 리브에 의해 선형상으로 기판을 받기 때문에, 유리 기판의 휨의 발생을 방지하고, 또한, 유리 기판에의 응력의 집중화를 회피하기 위해서는 복수의 장척 리브를 마련할 필요가 있다. 그러나, 장척 리브의 갯수를 증가시키는 것은 기판용 카세트의 중량이 증가하는 것으로 되고, 기판용 카세트의 경량화가 요망되는 오늘에 있어서는 바람직하지 않다.However, in the case of the substrate cassette having the above structure, since the substrate is received linearly by the long ribs, a plurality of long sheets are provided in order to prevent the warping of the glass substrate and to avoid concentration of stress on the glass substrate. It is necessary to prepare ribs. However, increasing the number of long ribs results in an increase in the weight of the cassette for the substrate, which is not desirable in today when weight reduction of the cassette for the substrate is desired.
또한, 상기 구성으로 이루어지는 기판용 카세트를 조립하는 경우에는 바깥테두리 프레임에 대해, 장척 리브를 하나하나 부착할 필요가 있다. 상기 작업에는 장척 리브의 상하 간격을 일정 범위 내로 할 필요가 있기 때문에, 높은 부착 위치 정밀도가 요구된다. 그 때문에, 기판용 카세트를 조립하는 공정에 많은 시간이 필요하게 되고, 기판용 카세트의 제조 비용 삭감을 방해하는 요인이 된다.In the case of assembling the substrate cassette having the above configuration, it is necessary to attach the long ribs one by one to the outer edge frame. Since the above-mentioned operation needs to make the vertical space | interval of a long rib within a fixed range, high attachment position precision is calculated | required. Therefore, a large amount of time is required for the process of assembling the cassette for the substrate, which is a factor that hinders the reduction in the manufacturing cost of the cassette for the substrate.
따라서 본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 기판의 휨의 발생을 방지함과 함께 기판용 카세트의 경량화를 가능하게 하고, 또한, 기판 수용 부재의 부착 위치의 정확성을 확보함과 함께, 용이하게 조립하는 것을 가능하게 하는 기판용 카세트를 제공하는 것에 있다.Therefore, this invention was made | formed in order to solve the said subject, and while preventing generation | occurence | production of a board | substrate, it is possible to reduce the weight of a cassette for a board | substrate, and also ensure the accuracy of the attachment position of a board | substrate accommodation member, and it is easy It is to provide a cassette for a substrate which can be assembled easily.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 의거한 기판용 카세트에 있어서는 전면측으로부터 기판의 출입을 가능하게 하고, 상기 기판을 적층 상태로 수용하기 위한 기판용 카세트로서, 바깥테두리 프레임과, 상기 기판을 지지하기 위해, 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배치되고, 상기 바깥테두리 프레임으로부터 안쪽을 향하여 늘어나도록 마련되는 기판 수용 부재를 구비하고, 상기 기판 수용 부재는 굴곡부재로 이루어지고, 상기 굴곡부재의 일단과 타단은 상기 바깥테두리 프레임의 동일측에 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, in the board | substrate cassette based on this invention, the board | substrate cassette which enables access of a board | substrate from the front side, and accommodates the said board | substrate in a laminated state is an outer edge frame and the said board | substrate. In order to support, a plurality of substrate receiving members are disposed at a predetermined interval in a vertical direction and extend inwardly from the outer border frame, wherein the substrate receiving member is formed of a bending member, and one end of the bending member And the other end is fixed to the same side of the outer edge frame.
이와 같이, 기판 수용 부재로서 굴곡부재를 이용함에 의해, 평면적으로 기판을 지지하는 것이 가능해진다. 이로써, 기판의 휘어 일그러짐을 해소하면서도, 기판 수용 부재의 설치 수량을 많이 할 필요가 없기 때문에, 기판용 카세트의 중량 증가를 초래하는 일 없이, 기판을 안정적으로 지지하는 것이 가능해진다.In this way, by using the bending member as the substrate accommodating member, the substrate can be supported in a planar manner. Thereby, while eliminating the distortion of a board | substrate, it is not necessary to increase the installation quantity of a board | substrate accommodation member, and it becomes possible to stably support a board | substrate, without causing the weight increase of the cassette for a board | substrate.
또한, 상기 발명의 바람직한 형태로서, 상기 바깥테두리 프레임은 대향하는 한 쌍의 측부 프레임을 가지며, 상기 기판 수용 부재는 각각의 상기 측부 프레임으로부터 안쪽을 향하도록 마련된다.In addition, as a preferable aspect of the present invention, the outer edge frame has a pair of opposing side frames, and the substrate receiving member is provided to face inward from each of the side frames.
상기 구성에 의해, 기판의 기판용 카세트로의 반입 및 반출 방향의 측부측에서 기판을 지지하는 구성으로 되기 때문에, 기판의 중앙 영역을 개방시킬 수 있다. 이로써, 반입 및 반출을 위한 로봇 암 등의 출입이 가능하게 된다.The above structure allows the substrate to be supported on the side of the substrate in the carrying in and out of the substrate cassette, so that the central region of the substrate can be opened. Thereby, entry and exit of the robot arm for carrying in and taking out is possible.
또한, 상기 발명의 바람직한 형태로서, 상기 기판 수용 부재는 평면적으로 보아, 개략 U자 형상 및 개략 ㄷ자 형상의 어느 하나의 형상을 갖는다. 상기 형상을 채용함에 의해, 보다 확실하게 기판을 평면적으로 지지함과 함께, 기판에의 데미지를 저감시키는 것이 가능해진다.Moreover, as a preferable aspect of the said invention, the said board | substrate accommodating member has planar view and has any shape of a rough U shape and a rough C shape. By adopting the above shape, it is possible to more reliably support the substrate in a flat manner and to reduce damage to the substrate.
또한, 상기 발명의 바람직한 형태로서, 종방향으로 배열되는 복수의 상기 기판 수용 부재는 동일 부재를 이용한 프레스 가공 또는 레이저 가공에 의해 블랭킹된 부재를 절곡한 단일의 성형품으로 구성된다.Moreover, as a preferable aspect of the said invention, the said some board | substrate accommodating member arrange | positioned in the longitudinal direction is comprised by the single molded article which bent the member blanked by the press process or laser processing using the same member.
기판 수용 부재로서 프레스 가공 또는 레이저 가공의 굽힘 성형품을 이용함에 의해, 기계 가공에 의거한 가공 정밀도를 얻을 수 있기 때문에, 기판 수용 부재의 상하간의 치수 정밀도를 높게 유지시키는 것이 가능해진다. 또한, 복수의 기판 수용 부재가 단일의 성형품으로 구성되어 있음에 의해, 바깥테두리 프레임에의 부착을 용이하게 행할 수 있고, 기판용 카세트의 조립 공수를 대폭적으로 삭감하는 것이 가능해진다.By using a press-formed or laser-processed bent molded article as the substrate accommodating member, machining accuracy based on machining can be obtained, so that the dimensional accuracy between the upper and lower sides of the substrate accommodating member can be maintained high. In addition, since the plurality of substrate accommodating members are constituted by a single molded product, attachment to the outer rim frame can be easily performed, and it is possible to significantly reduce the number of assembly operations of the substrate cassette.
도 1은 본 발명에 의거한 실시예 1에 있어서의 기판용 카세트의 구성을 도시한 전체 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The whole perspective view which shows the structure of the board | substrate cassette in Example 1 based on this invention.
도 2는 본 발명에 의거한 실시예 1에 있어서의 기판 수용 부재의 구조를 도시한 부분 확대 단면도.Fig. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing the structure of the substrate accommodating member in Example 1 of the present invention.
도 3은 본 발명에 의거한 실시예 2에 있어서 기판 수용 부재의 구조를 도시한 제 1 확대도.Fig. 3 is a first enlarged view showing the structure of the substrate accommodating member in Example 2 based on the present invention.
도 4는 본 발명에 의거한 실시예 2에 있어서 기판 수용 부재의 구조를 도시한 제 2 확대도.Fig. 4 is a second enlarged view showing the structure of the substrate accommodating member in Embodiment 2 of the present invention.
<부호의 설명><Description of the code>
1 : 기판용 카세트 101 : 상프레임1: Cassette 101: Upper frame
102 : 하프레임 104 : 코너 지주102: lower frame 104: corner post
105a, 105b : 지지 지주 106 : 배면 지주105a, 105b: Support post 106: Back support
110 : 기판 수용 부재 110A : 성형품110: substrate receiving member 110A: molded article
118 : 제 1 연결 프레임 119 : 제 2 연결 프레임118: first connection frame 119: second connection frame
111, 201 : 제 1 지지 프레임 112, 202 : 제 2 지지 프레임111, 201: first support frame 112, 202: second support frame
113, 203 : 제 3 지지 프레임 114 : 제 1 수용 플레이트113,203: 3rd support frame 114: 1st accommodating plate
115 : 제 2 수용 플레이트 116 : 제 3 수용 플레이트115: second receiving plate 116: third receiving plate
117 : 제 4 수용 플레이트117: fourth receiving plate
120, 121, 122, 123 : 미끄러짐 방지 시트120, 121, 122, 123: anti-slip sheet
140 : 지지 핀 200 : 기판 수용 부재140: support pin 200: substrate receiving member
205 : 고정 홈 210 : 고정 플레이트205: fixing groove 210: fixing plate
211 : 제 1 개구 212 : 제 2 개구211: first opening 212: second opening
213 : 고정 구멍 220 : 위치 결정 홈213: fixing hole 220: positioning groove
222 : 고정 구멍222 fixing hole
이하, 본 발명에 의거한 기판용 카세트의 각 실시예에 관해, 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, each Example of the board | substrate cassette based on this invention is described, referring drawings.
실시예 1Example 1
도 1 및 도 2를 참조하여, 실시예 1에 있어서의 기판용 카세트(1)의 구성에 관해 설명한다. 또한, 도 1은 기판용 카세트(1)의 구성을 도시한 전체 사시도이고, 도 2는 기판 수용 부재(110)의 구조를 나타내는 부분 확대 단면도이다.With reference to FIG. 1 and FIG. 2, the structure of the board | substrate cassette 1 in Example 1 is demonstrated. 1 is an overall perspective view showing the structure of the substrate cassette 1, and FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing the structure of the substrate accommodating member 110.
<기판용 카세트(1)의 구성><Configuration of Substrate Cassette 1>
우선, 도 1을 참조하면, 본 실시예에 있어서의 기판용 카세트(1)는 전면측으로부터 기판의 출입을 가능하게 하고, 기판을 적층 상태로 수용하기 위한 것이다.수용되는 기판으로서는 액정 패널에 이용되는 셀 기판, 그 외의 플랫 패널을 들 수 있다.First, referring to Fig. 1, the substrate cassette 1 in the present embodiment allows the substrate to enter and exit from the front side and accommodate the substrates in a stacked state. The cell board | substrate used and other flat panels are mentioned.
상기 기판용 카세트(1)는 상프레임(101), 하프레임(102), 상프레임(101)과 하프레임(102)을 연결하고, 네모퉁이에 배치되는 코너 지주(104), 및 양 측면측에서 후술하는 기판 수용 부재(110)를 고정하기 위한 지지 지주(105a, 105b), 배면측에 마련되는 배면 지주(106)를 갖는다. 본 실시예에서는 각 측면에 4개(합계 8개)의 지지 지주(105a, 105b)가 마련되고, 지지 지주(105a, 105b)의 2개를 1세트로서 이용된다. 이들의 프레임 및 지주에 의해 기판용 카세트(1)의 바깥테두리 프레임이 구성된다. 또한, 각 프레임 및 지주의 재료로서는 경량화의 관점에서 알루미늄 부재가 사용된다. 한 예이지만, 상기 기판용 카세트(1)의 외형 치수는 폭 약 780㎜, 깊이 약 483㎜, 높이 약 800㎜ 정도이다.The substrate cassette 1 is connected to the upper frame 101, the lower frame 102, the upper frame 101 and the lower frame 102, and corner posts 104 disposed at four corners, and both side sides. The support posts 105a and 105b for fixing the board | substrate accommodation member 110 mentioned later in the following are provided, and the back support 106 provided in the back side. In this embodiment, four (eight in total) support posts 105a and 105b are provided on each side, and two of the support posts 105a and 105b are used as one set. These frames and struts constitute an outer edge frame of the cassette 1 for a substrate. In addition, as a material of each frame and a support | pillar, an aluminum member is used from a viewpoint of weight reduction. As an example, the outer dimensions of the substrate cassette 1 are about 780 mm in width, about 483 mm in depth, and about 800 mm in height.
2개를 1세트로 하여 이용되는 지지 지주(105a, 105b)에는 기판을 지지하기 위해, 상하 방향으로 소정의 간격으로 복수 배치되고, 측부에서 안쪽을 향하여 늘어나도록 마련되는 기판 수용 부재(110)가 마련되어 있다. 본 실시예에 있어서는 40장의 기판의 수용이 가능하도록, 40단의 기판 수용 부재(110)가 마련되어 있다. 또한, 지지 지주(105a, 105b)는 기판용 카세트(1)의 깊이 방향으로 2세트 마련함에 의해, 크기가 다른 2종류의 기판의 수용을 가능하게 한다. 또한, 배면 지주(106)에는 기판의 휨의 발생을 방지하는 관점에서, 전방을 향하는 지지 핀(140)이 종방향에 따라 복수 마련되어 있다.The support holding | pillar 105a, 105b used as a set of two is provided with the board | substrate accommodating member 110 arrange | positioned in multiple at predetermined intervals in the up-down direction, and extended so that it may go inward from a side part, in order to support a board | substrate. It is prepared. In the present embodiment, the 40-step substrate accommodating member 110 is provided to accommodate 40 substrates. In addition, by providing two sets of support posts 105a and 105b in the depth direction of the substrate cassette 1, two types of substrates having different sizes can be accommodated. In addition, from the viewpoint of preventing the occurrence of warpage of the substrate, the back support 106 is provided with a plurality of support pins 140 facing forward along the longitudinal direction.
<기판 수용 부재(110)><Substrate receiving member 110>
다음에, 도 2를 참조하여, 기판 수용 부재(110)의 상세 구조에 관해 설명한다. 본 실시예에서는 4세트의 지지 지주(105a, 105b)가 마련되고, 깊이 방향으로 2세트가 되도록 지지 지주(105a, 105b)가 배치되어 있다. 1세트의 지지 지주(105a, 105b)에는 종방향으로 40단의 기판 수용 부재(110)가 배열된 단일의 성형품(110A)이 부착되어 있다.Next, with reference to FIG. 2, the detailed structure of the board | substrate accommodation member 110 is demonstrated. In this embodiment, four sets of support struts 105a and 105b are provided, and the support struts 105a and 105b are arrange | positioned so that they may become two sets in a depth direction. One set of support posts 105a and 105b is attached with a single molded article 110A in which the substrate receiving members 110 of 40 stages are arranged in the longitudinal direction.
상기 성형품(110A)은 동일 부재를 프레스 가공 또는 레이저 가공에 의해 블랭킹하고, 그 후 굽힘 가공이 시행된 굴곡부재로 구성되어 있다. 재료로서는 바깥테두리 프레임과 같은 알루미늄 부재(두께 0.5㎜ 내지 3.0㎜ 정도) 등이 사용된다.The said molded article 110A is comprised by the bending member by which the same member was blanked by press work or laser processing, and the bending process was performed after that. As the material, an aluminum member (a thickness of about 0.5 mm to 3.0 mm) or the like such as an outer edge frame is used.
성형품(110A)의 구체적 구성으로서는 도 2에 도시한 바와 같이, 굴곡부재 영역으로 이루어지는 기판 수용 부재(110), 상하에 배치되는 복수의 기판 수용 부재(110)의 일방단을 연결하는 제 1 연결 프레임(118), 및 기판 수용 부재(110)의 타방단을 연결하는 제 2 연결 프레임(119)을 구비하고 있다.As a specific structure of the molded article 110A, as shown in FIG. 2, the 1st connection frame which connects the one end of the board | substrate accommodation member 110 which consists of a bending member area | region, and the several board | substrate accommodation member 110 arrange | positioned up and down is shown. 118 and the 2nd connection frame 119 which connects the other end of the board | substrate accommodation member 110 is provided.
기판 수용 부재(110)는 전체로서는 ㄷ자 형상으로 절곡되어 있고, 연속하는 제 1 지지 프레임(111), 제 2 지지 프레임(112) 및 제 3 지지 프레임(113)을 갖고 있다. 또한, 제 1 지지 프레임(111)에는 절곡에 의해 형성된 제 1 및 제 2 수용 플레이트(114, 115)가 마련되고, 제 2 지지 프레임(112)에는 마찬가지로 절곡에 의해 형성된 제 3 수용 플레이트(116)가 마련되고, 제 3 지지 프레임(113)에는 마찬가지로 절곡에 의해 형성된 제 4 수용 플레이트(117)가 마련되어 있다.The substrate accommodating member 110 is bent in a U-shape as a whole, and has a continuous first support frame 111, a second support frame 112, and a third support frame 113. In addition, the first support frame 111 is provided with the first and second receiving plates 114 and 115 formed by bending, and the second support frame 112 is similarly bent with the third receiving plate 116 formed by the bending. Is provided, and the 3rd support frame 113 is similarly provided with the 4th accommodating plate 117 formed by bending.
또한, 제 1 내지 제 4 수용 플레이트(114 내지 117)의 윗면에는 기판의 미끄럼을 방지하기 위한 미끄럼 방지 시트(120 내지 123)가 접착되어 있다. 상기 미끄럼 방지 시트(120 내지 123)로서는 예를 들면, 바이톤 구무, 일래스토머계의 고무, PEEK 등이 사용된다.In addition, non-slip sheets 120 to 123 are attached to upper surfaces of the first to fourth receiving plates 114 to 117 to prevent slipping of the substrate. As the anti-slip sheets 120 to 123, for example, viton gum, elastomer rubber, PEEK and the like are used.
또한, 성형품(110A)의 제 1 연결 프레임(118)의 지지 지주(105a)에의 고정, 및 제 2 연결 프레임(119)의 지지 지주(105b)에의 고정에는 나사 부재, 접착 부재, 리벳(rivet) 고정 등을 이용한 고정 방법이 채용된다. 또한, 성형품(110A) 및 지지 지주(105a)를 수지 성형하는 경우에는 양자의 일체 형성도 가능하다.In addition, a screw member, an adhesive member, and a rivet are used for fixing the molded article 110A to the support strut 105a of the first connecting frame 118 and for fixing the second tied frame 119 to the support strut 105b. A fixing method using a fixing or the like is adopted. In addition, in the case of resin molding the molded article 110A and the support strut 105a, both of them can be formed integrally.
<작용·효과><Action, effect>
이상, 본 실시예에 있어서의 기판용 카세트(1)에 의하면, 기판 수용 부재(110)로서 개략 ㄷ자 형상으로 구부러진 굴곡부재를 이용함에 의해, 평면적으로 기판을 지지하는 것이 가능해진다. 이로써, 기판의 휨 발생을 방지하면서도, 기판 수용 부재(110)의 설치 수량을 많게 할 필요가 없기 때문에, 기판용 카세트(1)의 중량 증가를 초래하는 일 없이, 기판을 안정적으로 지지하는 것이 가능하게 된다.As described above, according to the cassette 1 for a substrate in the present embodiment, the substrate can be supported in a planar manner by using the curved member bent in a roughly c-shape as the substrate accommodating member 110. Thereby, it is not necessary to increase the installation quantity of the board | substrate accommodating member 110, even if the board | substrate is prevented from occurring, and it is possible to stably support a board | substrate, without causing the weight increase of the cassette 1 for a board | substrate. Done.
또한, 양측으로부터 안쪽을 향하여 기판 수용 부재(110)를 마련함에 의해, 기판의 기판용 카세트(1)로의 반입 및 반출 방향의 측부측에서 기판을 지지하는 구성으로 되고, 기판의 중앙 영역을 개방시킬 수 있다. 이로써, 반입 및 반출을 위한 로봇 암 등의 출입이 가능해진다.Further, by providing the substrate accommodating member 110 from both sides inward, the substrate is supported on the side of the substrate cassette 1 for carrying in and out of the substrate, thereby opening the central region of the substrate. Can be. This enables entry and exit of a robot arm for carrying in and taking out.
또한, 기판 수용 부재(110)로서 프레스 가공 또는 레이저 가공의 굽힘 성형 품(110A)을 이용함에 의해, 기계 가공에 의거한 가공 정밀도를 얻을 수 있기 때문에, 기판 수용 부재(110)의 상하간의 치수 정밀도를 높게 유지시키는 것이 가능해진다. 또한, 복수의 기판 수용 부재(110)가 단일의 성형품(110A)으로 구성되어 있음에 의해, 지지 지주(105a, 105b)에의 부착을 용이하게 행할 수 있고, 기판용 카세트(1)의 조립 공수를 대폭적으로 삭감하는 것이 가능해진다.In addition, since the machining accuracy based on machining can be obtained by using the press-formed or laser-processed bent molded article 110A as the substrate accommodating member 110, the dimensional accuracy between the upper and lower sides of the substrate accommodating member 110 is reduced. It becomes possible to keep high. Moreover, since the several board | substrate accommodating member 110 is comprised by the single molded article 110A, attachment to the support | support posts 105a and 105b can be performed easily, and the assembly labor of the board | substrate cassette 1 is carried out. It is possible to reduce significantly.
실시예 2Example 2
다음에, 실시예 2에 있어서의 기판용 카세트(1)의 구성에 관해 설명한다. 또한, 본 실시예의 특징은 기판 수용 부재(200)의 형상, 및 상기 기판 수용 부재(200)의 지지 지주(105a, 105b)에의 부착 구조에 있다. 따라서 기판용 카세트(1)의 바깥테두리 프레임의 구성은 동일하기 때문에, 이하의 설명에서 실시예 1과 같은 구성에 관해서는 동일한 참조 번호를 붙이고, 중복되는 설명은 반복하지 않기로 한다.Next, the structure of the cassette 1 for a board | substrate in Example 2 is demonstrated. Moreover, the characteristic of this embodiment is in the shape of the board | substrate accommodation member 200, and the attachment structure of the said board | substrate accommodation member 200 to the support support 105a, 105b. Therefore, since the outer border frame of the cassette 1 for a board | substrate is the same, the same code | symbol is attached | subjected about the structure similar to Example 1 in the following description, and the overlapping description is not repeated.
<기판 수용 부재(200)><Substrate receiving member 200>
도 3 및 도 4를 참조하여, 본 실시예에 있어서의 기판 수용 부재(200)의 상세 구조에 관해 설명한다. 또한, 도 3은 본 실시예에 있어서의 기판 수용 부재(200)의 구조를 도시한 제 1 확대도이고, 도 4는 본 실시예에 있어서의 기판 수용 부재(200)의 구조를 도시한 제 2 확대도이다.With reference to FIG. 3 and FIG. 4, the detailed structure of the board | substrate accommodation member 200 in a present Example is demonstrated. 3 is a 1st enlarged view which shows the structure of the board | substrate accommodation member 200 in this embodiment, and FIG. 4 is the 2nd which shows the structure of the board | substrate accommodation member 200 in a present Example. It is an enlarged view.
상기 기판 수용 부재(200)는 ㄷ자 형상으로 굴곡 성형된 환봉으로 구성되어 있다. 재료로서는 알루미늄, 카본, 스테인리스(SUS304) 부재 등이 사용된다. 본 실시예에 있어서는 상기 실시예와 같이 종방향으로 배치되는 기판 수용 부재가 단일의 성형품으로 구성되는 것이 아니라, 기판 수용 부재(200)의 각각이 단일 부품이다.The substrate accommodating member 200 is configured of a round bar that is bent into a U shape. As the material, aluminum, carbon, stainless steel (SUS304) member, or the like is used. In the present embodiment, the substrate receiving members arranged in the longitudinal direction as in the above embodiment are not formed of a single molded product, but each of the substrate receiving members 200 is a single component.
기판 수용 부재(200)의 구체적 구성으로서는 도 3에 도시한 바와 같이, 전체로서는 ㄷ자 형상으로 절곡되어 있고, 연속하는 제 1 지지 프레임(201), 제 2 지지 프레임(202) 및 제 3 지지 프레임(203)을 갖고 있다.As a specific structure of the board | substrate accommodating member 200, as shown in FIG. 3, the board | substrate is bent in a U-shape as a whole, and continuous 1st support frame 201, 2nd support frame 202, and 3rd support frame ( 203).
도 4에 도시한 바와 같이, 제 1 지지 프레임(201) 및 제 3 지지 프레임(203)의 단부에는 후에 설명하는 기판 수용 부재(200)의 지지 지주(105a, 105b)에의 고정에 이용되는 고정 홈(205)이 전둘레에 마련되어 있다.As shown in FIG. 4, the fixing groove used for fixing to the support posts 105a and 105b of the board | substrate accommodation member 200 mentioned later at the edge part of the 1st support frame 201 and the 3rd support frame 203 is shown. 205 is provided all around.
한편, 지지 지주(105a, 105b)의 각각에는 제 1 지지 프레임(201) 및 제 3 지지 프레임(203)을 관통시키기 위한 고정 구멍(222)이 상하 방향으로 소정의 피치로 마련되어 있다. 또한, 지지 지주(105a, 105b)의 배면에는 고정 플레이트(210)(후술)를 위치 결정하기 위한 위치 결정 홈(220)이, 지지 지주(105a, 105b)의 상하 방향에 따라 마련되어 있다.On the other hand, the fixing holes 222 for penetrating the 1st support frame 201 and the 3rd support frame 203 are provided in each of the support pillars 105a and 105b by the predetermined pitch in the up-down direction. Moreover, the positioning groove 220 for positioning the fixed plate 210 (after-mentioned) is provided in the back surface of the support support 105a, 105b along the up-down direction of the support support 105a, 105b.
고정 플레이트(210)는 제 1 지지 프레임(201) 및 제 3 지지 프레임(203)을 관통시키는 제 1 개구(211)와, 고정 홈(205)에만 끼워넣는 제 2 개구(212)로 이루어지는 고정 구멍(213)이 마련되어 있다. 상기 고정 플레이트(210)는 기본적으로는 １개의 지지 지주에 대해 1장 마련되고, 복수(본 실시예에 있어서는 40개)의 고정 구멍(213)이 마련되어 있다. 또한, 지지 지주가 긴 경우에는 고정 플레이트(210)을 복수로 분할시키는 것도 가능하다.The fixing plate 210 includes a fixing hole including a first opening 211 penetrating the first supporting frame 201 and the third supporting frame 203, and a second opening 212 fitted only to the fixing groove 205. 213 is provided. The said fixing plate 210 is basically provided with one support | pillar with respect to one support | pillar, and the fixing hole 213 of several (40 in this embodiment) is provided. In addition, when the support post is long, it is also possible to divide the fixed plate 210 into a plurality.
<작용·효과><Action, effect>
이상, 본 실시예에 있어서의 기판용 카세트(1)에 의하면, 상기 실시예에 있어서의 기판용 카세트(1)와 개략 같은 작용 효과를 얻을 수 있다. 또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 지지 지주(105a, 105b)에 기판 수용 부재(200)를 고정하는 경우에는 모든 기판 수용 부재(200)를 지지 지주(105a, 105b)에 부착한 후에, 고정 플레이트(210)를 위치 결정 홈(220)에 따라 슬라이드시킴에 의해, 각각의 제 2 개구(212)가 각 프레임의 고정 홈(205)에 끼워맞추어지고, 복수의 지지 프레임의 고정을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.As described above, according to the substrate cassette 1 in the present embodiment, an effect similar to that of the substrate cassette 1 in the embodiment can be obtained. In addition, as shown in FIG. 3, when fixing the board | substrate accommodation member 200 to the support pillars 105a and 105b, after fixing all the board | substrate accommodation members 200 to the support pillars 105a and 105b, it is fixed. By sliding the plate 210 along the positioning grooves 220, the respective second openings 212 are fitted into the fixing grooves 205 of the respective frames, thereby easily fixing the plurality of supporting frames. It becomes possible.
또한, 상기 각 실시예에 있어서, 기판 수용 부재(110, 200)의 평면 형상으로서, ㄷ자 형상으로 절곡한 것을 채용하고 있지만, U자 형상, 사다리꼴 형상, 그 밖에 기판을 평면적으로 받을 수 있는 것이면, 다른 형상의 채용도 가능하다.In addition, in each of the above embodiments, as the planar shape of the substrate accommodating members 110 and 200, one bent in a U-shape is adopted, but as long as the U-shaped, trapezoidal, and other substrates can be received in a planar manner, Other shapes may be employed.
또한, 기판 수용 부재(110)의 단면은 직사각형 형상, 기판 수용 부재(200)의 단면은 원형 형상이지만, 타원형 형상, 다각형 형상 등의 채용도 가능하다.In addition, although the cross section of the board | substrate accommodating member 110 is a rectangular shape, and the cross section of the board | substrate accommodation member 200 is circular shape, elliptical shape, polygonal shape, etc. are employable.
또한, 기판 수용 부재로서, 프레스 가공 또는 레이저 가공의 굽힘 성형품, 봉형상 부재의 굽힘 성형품을 이용하는 경우에 관해 설명하였지만, 상기 각 실시예와 동등한 기능을 갖는 수지 성형품으로 이루어지는 기판 수용 부재를 이용하는 것도 가능하다.Moreover, although the case where the press molding or the laser processing bending molded article and the rod-shaped member was used as a board | substrate accommodation member was demonstrated, it is also possible to use the board | substrate accommodation member which consists of a resin molded article which has a function equivalent to each said Example. Do.
따라서 본 발명의 기술적 범위는 상기한 실시예만에 의해 해석하되는 것이 아니라, 특허청구의 범위의 기재에 의거하여 확정된다. 또한, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.Therefore, the technical scope of the present invention is not to be interpreted only by the above embodiments, but is determined based on the description of the claims. Also included are all equivalents of the claims and their equivalents.
본 발명에 의거한 기판용 카세트에 의하면, 기판의 휨의 발생을 방지함과 함께 기판용 카세트의 경량화를 가능하게 하고, 또한 기판 수용 부재의 부착 위치의정확도를 확보함과 함께, 용이하게 조립하는 것을 가능하게 하는 기판용 카세트를 제공하는 것이 가능해진다.According to the substrate cassette according to the present invention, the occurrence of warping of the substrate can be prevented, the weight of the substrate cassette can be reduced, the accuracy of the attachment position of the substrate accommodating member can be ensured, and the assembly can be performed easily. It becomes possible to provide a cassette for a substrate which makes it possible to do this.
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