KR20040084712A - Large size substrate stage - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이(LCD) 등의 평판 디스플레이(FPD)의 대형 유리 기판을 반송하는 대형 기판 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a large substrate stage for carrying a large glass substrate of a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD), for example.
도 9는 액정 디스플레이 등의 대형 기판 검사 장치에 이용되는 대형 기판 스테이지의 구성도이다. 이 대형 기판 스테이지는 주축측 직동안내(2)와 종동측 직동안내(3)를 소정 간격으로 평행하게 부설(敷設)하고 있다. 이들 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)상에는 복수, 예를 들면 4개의 이동 접촉부(4)를 개재하여 이동 테이블(5)이 이동 가능하게 설치되어 있다.9 is a configuration diagram of a large substrate stage used in a large substrate inspection apparatus such as a liquid crystal display. In this large substrate stage, the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 are laid in parallel at predetermined intervals. On these main shaft side straight lines 2 and the driven side straight line 3, a moving table 5 is provided so as to be movable through a plurality of, for example, four moving contact portions 4.
이 이동 테이블(5)은 대형 유리 기판(1)을 보호 유지한다. 이 이동 테이블(5)은 투과 조명용의 개구부(6)를 가지는 틀 형상으로 형성되어 있다. 이 이동 테이블(5) 개구부(6)의 주연부상에는 대형 유리 기판(1)을 흡착 지지하기 위한 복수의 흡착구멍이 형성되어 있다.This moving table 5 protects and holds the large glass substrate 1. This moving table 5 is formed in the frame shape which has the opening part 6 for permeation | transmission illumination. On the periphery of the opening 6 of the movable table 5, a plurality of adsorption holes for adsorbing and supporting the large glass substrate 1 are formed.
이동 테이블(5)에 있어서의 한쪽 변의 주축측 직동안내(2) 측에는 구동부(7)가 설치되어 있다. 이 구동부(7)는 이동 테이블(5)을 편구동하여 이동 테이블(5)을 이동시킨다. 이 구동부(7)는 볼 나사(8)에 나사 결합하고 있다. 이 볼 나사(8)는 모터의 구동에 의하여 회전한다. 이것에 의하여, 구동부(7)는 볼 나사(8)의 회전에 의하여 해당 볼 나사(8)상을 이동한다. 볼 나사(8)는 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)에 대하여 평행하게 설치되어 있다. 따라서, 이동 테이블(5)은 구동부(7)가 볼 나사(8)상을 이동하는 것에 의하여 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)상을 X축 방향으로 이동한다.The drive part 7 is provided in the inner side 2 side direction of the main shaft side of one side in the movement table 5. This drive unit 7 drives the movement table 5 to move the movement table 5. This drive part 7 is screwed to the ball screw 8. This ball screw 8 rotates by the drive of a motor. Thereby, the drive part 7 moves on the said ball screw 8 by rotation of the ball screw 8. The ball screw 8 is provided in parallel with the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3. Therefore, the movement table 5 moves the inside of the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 phase in the X-axis direction by the drive part 7 moving on the ball screw 8.
이와 같이 구동부(7)를 이동 테이블(5)의 중앙부에 마련하지 않고 편구동하는 것은 다음과 같은 이유 때문이다. 예를 들면 대형 유리 기판(1)을 검사하는 경우, 이동 테이블(5)상에 대형 유리 기판(1)을 보호 유지하고, 개구부(6)를 통하여 대형 유리 기판(1)의 하부로부터 투과 조명광을 조사한다. 이 상태에서, 대형 유리기판(1)의 윗쪽으로부터 현미경을 이용하여 검사가 행하여진다. 이와 같은 기판 검사에서는 이동 테이블(5)의 하부의 공간이 투과 조명광의 조사에 할당된다. 이 때문에, 이동 테이블(5)의 하부의 공간에 구동부(7)를 마련하면, 투과 조명광의 조사를 방해한다. 이것에 의하여, 이동 테이블(5)의 중앙부에 구동부(7)를 배치하지 못하고, 이동 테이블(5)을 편구동한다.Thus, the single drive without providing the drive part 7 in the center part of the movement table 5 is for the following reasons. For example, when the large glass substrate 1 is inspected, the large glass substrate 1 is protected and held on the moving table 5, and transmitted illumination light from the lower portion of the large glass substrate 1 through the opening 6. Investigate. In this state, inspection is carried out using a microscope from above the large glass substrate 1. In such a board | substrate test | inspection, the space below the moving table 5 is allocated to irradiation of the transmission illumination light. For this reason, when the drive part 7 is provided in the space below the moving table 5, irradiation of a transmission illumination light will be obstructed. Thereby, the drive part 7 cannot be arrange | positioned at the center part of the movement table 5, and the movement table 5 is single-driven.
근년의 액정 디스플레이 기술의 진보에 의하여 대형 유리 기판(1)은 사이즈의 대형화 경향이 진행되고, 현재에는 예를 들면 1m강×1m강의 사이즈가 실현되고 있다. 이것에 따라 대형 기판 스테이지의 사이즈도 대형화하고 있다.In recent years, with the progress of the liquid crystal display technology, the large glass substrate 1 tends to be enlarged in size, and now, for example, a size of 1 m steel x 1 m steel has been realized. As a result, the size of the large substrate stage is also increased.
대형 기판 스테이지의 사이즈를 대형화한 경우, 이러한 대형화에 따라 예를 들면 이동 테이블(5) 등의 판두께를 크게 하는 등으로 대형 기판 스테이지를 견고하게 제작해야 좋다. 그러나, 대형 기판 스테이지 자체가 대형화됨과 함께 중량이 커져, 구동부(7)에도 큰 구동력이 필요하게 된다.When the size of the large substrate stage is increased, it is necessary to firmly manufacture the large substrate stage by, for example, increasing the plate thickness of the moving table 5 or the like in accordance with such an enlargement. However, as the large substrate stage itself becomes larger and larger in weight, the driving unit 7 also requires a large driving force.
또한, 반송 로보트는 대형 기판 스테이지에 대해서 X 방향으로부터 로보트 핸드(H)를 신축 이동하여 대형 유리 기판(1)의 수수(授受)를 행한다. 이것에 의하여, 이동 테이블(5)에 있어서의 Y축 방향 변의 판두께(W)는 가능한 한 가늘게 형성하고 싶다는 요구가 있다.In addition, the conveyance robot expands and contracts the robot hand H from the X direction with respect to the large-sized substrate stage, and delivers the large-size glass substrate 1. Thereby, there exists a request that the plate | board thickness W of the side of the Y-axis direction in the movement table 5 should be formed as thin as possible.
이와 같이 판두께를 얇게 하면 대형 기판 스테이지는 대형화에 걸맞는 강성을 가지지 않게 된다. 이 때문에, 대형 기판 스테이지는 강성 부족에 의하여 반송하여 정지하였을 때에, 대형 유리 기판(1)의 좌표를 소정 정지 위치의 좌표로부터 어긋나게 정지시켜 버린다.When the plate thickness is reduced in this manner, the large substrate stage does not have rigidity suitable for the enlargement. For this reason, when conveying and stopping by the large substrate stage by lack of rigidity, the large sized substrate stage will stop the coordinate of the large size glass substrate 1 shift | deviating from the coordinate of a predetermined stop position.
이 좌표 어긋남의 메카니즘을 도 10을 참조하여 설명한다. 대형 유리 기판(1)의 반송 개시시에, 대형 유리 기판(1)을 이동시키기 위해서 볼 나사(8)가 회전된다. 이것에 의하여, 구동부(7)로부터 X축 방향으로 구동력(F)이 가하여지므로, 이동 테이블(5)은 X축 방향으로 이동한다. 이 때, 이동 테이블(5)의 주축측 직동안내(2)측은 구동부(7)와의 거리가 짧기 때문에 큰 저항이 가하여지지 않고, X축 방향으로 이동한다. 또한 S는 스케일이다.The mechanism of this coordinate shift is demonstrated with reference to FIG. At the start of conveyance of the large glass substrate 1, the ball screw 8 is rotated in order to move the large glass substrate 1. Thereby, since the driving force F is applied from the drive part 7 to the X-axis direction, the movement table 5 moves to an X-axis direction. At this time, the inner side 2 of the main shaft side of the movement table 5 is short in distance from the driving unit 7, and thus moves in the X-axis direction without applying a large resistance. And S is the scale.
이것에 대해서 이동 테이블(5)의 종동측 직동안내(3) 측에는 구동부(7)에서 X축 방향으로 가하여지는 구동력(F)이 구동부(7)와의 거리에 따른 θz 방향의 회전 모멘트로서 전달된다. 따라서, 이동 테이블(5)의 종동측 직동안내(3)측은 해당 종동측 직동안내(3)에 의하여 X축 방향만의 이동이 허가되어 있으므로, θz방향의 회전 모멘트에 대한 저항력(Ra)이 발생한다. 이 때문에, 저항력(Ra)을 넘은 만큼의 θz방향의 회전 모멘트(Fa)가 종동측 직동안내(3)측에 있어서의 X축 방향으로의 직진력이 된다.On the other hand, the driving force F applied to the X-axis direction by the drive part 7 is transmitted as the rotation moment of the (theta) z direction according to the distance with the drive part 7 to the inner side 3 side of the driven table 5 during the driven side. Therefore, since the movement inside the driven side 5 of the moving table 5 is allowed only in the X-axis direction by the driven side 3, the resistance force Ra against the rotation moment in the θz direction is generated. do. For this reason, the rotation moment Fa in the (theta) z direction by more than the resistive force Ra becomes a linear force to the X-axis direction in the inside 3 side during the driven side straight line.
한편, 대형 유리 기판(1)이 소정의 좌표 위치에 도달하여 정지할 경우에 대하여 도 11을 참조하여 설명한다. 구동부(7)로부터 이동 테이블(5)에 가하여지는 구동력(F)이 점차 감소하는 것에 의하여, 이동 테이블(5)은 감속을 개시한다.On the other hand, the case where the large glass substrate 1 reaches a predetermined coordinate position and stops is demonstrated with reference to FIG. The movement table 5 starts deceleration by the drive force F applied to the movement table 5 from the drive part 7 gradually decreasing.
이동 테이블(5)의 감속이 어느 정도 진행되면, 이동 테이블(5)의 종동측 직동안내(3)측의 반력(R)이 θz방향의 회전 모멘트보다도 커진다. 이 때에 이동 테이블(5)의 종동측 직동안내(3)측은 정지한다.When the deceleration of the movement table 5 advances to some extent, reaction force R of the inner side 3 side during the driven side of the movement table 5 becomes larger than the rotation moment of (theta) z direction. At this time, the inside 3 side of the driven table 5 during the driven side stops.
그런데, 이동 테이블(5)은 대형화에 걸맞는 강성으로 제작되어 있지 않기 때문에 강성이 부족하다. 이 때문에, 이동 테이블(5)은 종동측 직동안내(3)측에서 일어나는 반력(R)에 의하여 평행 사변형에 유사한 형상으로 일그러진 형상으로 정지하게 된다. 이 때문에 이동 테이블(5)의 종동측 직동안내(3)측은 소정의 좌표 위치보다 앞에서 정지하여 버린다. 즉, 이동테이블(5)의 종동측 직동안내(3)측은, 주축측 직동안내(2)측보다 늦은 움직임이 되어, 흡사 백래쉬와 같은 상태가 된다.By the way, since the moving table 5 is not manufactured with the rigidity suitable for enlargement, it lacks rigidity. For this reason, the movement table 5 stops in the shape distorted in the shape similar to a parallelogram by the reaction force R which arises in the driven side 3 inside. For this reason, the inside 3 side of the driven side of the movement table 5 will stop ahead of a predetermined coordinate position. That is, the inner side 3 during the driven side straight line of the moving table 5 becomes later than the inner side 2 side during the main shaft side straight line, and is in a state similar to the backlash.
이 결과, 대형 유리 기판(1)은 이동 테이블(5)상에서 흡착 지지되고 있을 뿐이므로, 이동 테이블(5)의 일그러짐의 영향을 받아 해당 이동 테이블(5)상에서 이동하고, 소정의 좌표 위치에서 위치가 어긋나 버린다.As a result, since the large glass substrate 1 is only supported by the adsorption | suction on the movement table 5, it moves on the said movement table 5 under the influence of the distortion of the movement table 5, and is positioned at a predetermined coordinate position. Will displace.
이러한 이동 테이블(5)의 일그러짐을 없애는 방법으로서는, 대형 기판 스테이지의 강성을 크게 하면 된다. 그러나, 이동 테이블(5)이 대형화, 대중량화되기 위해서는, 풋 프린트(Footprint)의 확대, 그리고 구동부(7) 및 볼 나사(8)로 이루어지는 구동계의 부담이 커진다.What is necessary is just to enlarge the rigidity of a large sized substrate stage as a method of removing the distortion of the movement table 5. However, in order to make the moving table 5 larger and larger, the footprint is increased, and the burden of the drive system composed of the drive unit 7 and the ball screw 8 becomes large.
또한, 구동부(7)를 이동 테이블(5)의 중앙부에 설치하면, 이동 테이블(5)이 평행 사변형이 될 정도로 일그러진 형상으로는 되지 않지만, 대형 유리 기판(1)에 대해서 투과 조명광을 조사할 수 없게 되고, 대형 유리 기판(1)에 대한 현미경 검사를 할 수 없게 된다.In addition, when the drive part 7 is provided in the center part of the movement table 5, although the movement table 5 will not become a shape which is distorted so that it may become a parallelogram, transmissive illumination light can be irradiated to the large glass substrate 1. It becomes impossible, and the microscopic examination of the large glass substrate 1 becomes impossible.
더욱이 구동부(7)를 이동 테이블(5)의 양측에 각각 설치하면, 이동 테이블(5)이 평행사변형이 될 정도로 일그러진 형상으로는 되지 않지만, 구동부(7)가 2대 필요하게 되고, 장치 전체가 대형화함과 함께, 고비용화가 된다.Moreover, when the drive part 7 is provided in the both sides of the movement table 5, respectively, it does not become the shape which is so distorted that the movement table 5 becomes a parallelogram, but two drive parts 7 are needed, and the whole apparatus is Along with the increase in size, it becomes expensive.
본 발명의 주요한 관점에 의하면, 서로 평행하게 부설된 적어도 2개의 안내중 어느 하나의 안내측으로부터 가하여지는 구동력에 의하여 각 안내상으로 이동하는 대형 기판 스테이지에 있어서, 각 안내상에 이동 가능하게 설치된 이동용 테이블과, 구동력이 가하여지는 이동용 테이블의 변측에 일측변이 지지되고, 또한, 이동용 테이블의 변측에 대향하는 타측변이 이동용 테이블상에 변위 가능하게 재치된 기판 홀더를 구비한 대형 기판 스테이지가 제공된다.According to a main aspect of the present invention, in a large substrate stage that moves on each guide by a driving force applied from any one of the at least two guides placed in parallel with each other, a movable table provided to be movable on each guide; There is provided a large substrate stage having a substrate holder on which one side is supported on the side of the moving table to which a driving force is applied, and the other side opposite to the side of the moving table is displaceably mounted on the moving table.
도 1은 본 발명과 관련된 대형 기판 스테이지의 제 1의 실시 형태를 도시한 구성도이고,1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a large substrate stage according to the present invention;
도 2는 동 대형 기판 스테이지에 있어서의 이동 개시시의 동작을 설명하기 위한 도면이고,2 is a diagram for explaining an operation at the start of movement in the large-sized substrate stage;
도 3은 동 대형 기판 스테이지에 있어서의 정지시에 있어서의 동작을 설명하기 위한 도면이고,3 is a diagram for explaining an operation at the time of stopping in the large-sized substrate stage;
도 4는 동 대형 기판 스테이지에 있어서의 기판 수수 동작시의 검사 기판 고정 홀더 윗쪽의 로보트 아암의 위치를 도시한 도면이고,Fig. 4 is a diagram showing the position of the robot arm above the inspection substrate fixing holder during the substrate delivery operation in the large substrate stage;
도 5는 본 발명과 관련된 대형 기판 스테이지의 제 2의 실시 형태에 있어서의 주축측 및 종동측 이동 접촉부의 구성도이고,5 is a configuration diagram of a main shaft side and a driven side moving contact portion in the second embodiment of the large-sized substrate stage according to the present invention;
도 6은 본 발명과 관련된 대형 기판 스테이지의 제 2의 실시 형태에 있어서의 주축측 및 종동측 이동 접촉부의 다른 구성도이고,6 is another configuration diagram of the main shaft side and the driven side moving contact portion in the second embodiment of the large substrate stage according to the present invention;
도 7은 본 발명과 관련된 대형 기판 스테이지의 제 2의 실시 형태에 있어서의 주축측 및 종동측 이동 접촉부의 다른 구성도이고,7 is another configuration diagram of the main shaft side and the driven side moving contact portion in the second embodiment of the large substrate stage according to the present invention;
도 8은 본 발명의 변형예를 도시한 구성도이고,8 is a configuration diagram showing a modification of the present invention,
도 9는 액정 디스플레이 등의 대형 기판 검사 장치에 이용되는 종래의 대형기판 스테이지의 구성도이고,9 is a configuration diagram of a conventional large substrate stage used for a large substrate inspection apparatus such as a liquid crystal display,
도 10은 대형 기판 스테이지의 이동 개시시에 있어서의 동작을 설명하기 위한 도면이고,10 is a diagram for explaining an operation at the start of movement of a large-sized substrate stage;
도 11은 대형 기판 스테이지에 있어서의 이동 테이블의 정지시에 있어서의 일그러짐을 도시한 도면이다.It is a figure which shows the distortion at the time of the stop of the movement table in a large substrate stage.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)
2 : 주축측 직동안내 3 : 종동측 직동안내2: Within the main shaft side 3: During the driven side
4a : 주축측 이동 접촉부 4b : 종동측 이동 접촉부4a: main shaft side contact 4b: driven side movable contact
7 : 구동부 8 : 볼 나사7: driving part 8: ball screw
10 : 주축측 이동 테이블 11 : 볼록 형상부10: main axis side movement table 11: convex shape
12 : 종동측 이동 테이블 13 : 수납부12: driven side moving table 13: storage unit
14 : 주동-종동 테이블 결합부재14: driven-driven table coupling member
Ma : 모터Ma: Motor
이하, 본 발명의 제 1의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 9와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 1st Embodiment of this invention is described with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 9, and the detailed description is abbreviate | omitted.
도 1은 대형 기판 스테이지의 구성도이다. 주축측 직동안내(2)상에는 주축측 이동 테이블(10)이 각 주축측 이동 접촉부(4a)를 개재하여 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 주축측 이동 테이블(10)은 주축측 직동안내(2)의 폭보다 약간 폭이 넓은 바(bar) 형상으로 형성되어 있다. 이 주축측 이동 테이블(10)은 종동측 직동안내(3)의 부설된 측에 볼록(凸) 형상부(11)를 가진다. 이 주축측 이동 테이블(10)에는 구동부(7)가 설치되어 있다. 또한, 구동부(7)는 볼 나사(8)에 나사 결합하고 있다. 이 볼 나사(8)는 이동용 모터(Ma)의 회전구동에 의하여 회전한다.1 is a configuration diagram of a large substrate stage. On the inside of the main shaft side straight line 2, the main shaft side moving table 10 is provided to be movable through each main shaft side moving contact part 4a. This main shaft side movement table 10 is formed in the bar shape which is slightly wider than the width | variety of the inside of the main shaft side straight line 2. This main shaft side movement table 10 has a convex-shaped portion 11 on the side on which the inner side 3 of the driven side is placed. The drive part 7 is provided in this spindle-side movement table 10. In addition, the drive part 7 is screwed to the ball screw 8. This ball screw 8 rotates by the rotational drive of the movement motor Ma.
종동측 직동안내(3)상에는 종동측 이동 테이블(12)이 각 종동측 이동 접촉부(4b)를 개재하여 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 종동측 이동 테이블(12)은 종동측 직동안내(3)의 폭보다도 약간 폭이 넓은 바 형상으로 형성되어 있다. 이 종동측 이동 테이블(12)은 상부에 L자 형상의 수납부(13)가 형성되어 있다.On the driven side straight inside 3, the driven side movement table 12 is provided so that a movement is possible through each driven side movement contact part 4b. This driven side movement table 12 is formed in the bar shape which is slightly wider than the width | variety of the inside of the driven side straight line 3. The driven-side moving table 12 is formed with an L-shaped accommodating portion 13 thereon.
이들 주축측 이동 테이블(10)과 종동측 이동 테이블(12)과는 주동-종동 테이블 결합부재(14)에 의하여 결합되어 있다. 이들 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)에 의하여 이동용 테이블이 구성된다.These main shaft side movement table 10 and the driven side movement table 12 are engaged by the main-driven table coupling member 14. The movement table is comprised by these main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-driven table coupling member 14. As shown in FIG.
주동-종동 테이블 결합부재(14)는 주축측 이동 테이블(10) 또는 종동측 이동 테이블(12)의 각 판폭과 대략 동일 판폭의 바 형상으로 형성되어 있다. 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 주축측 이동 테이블(10)과 종동측 이동 테이블(12)과의 사이에 있어서의 X축 방향의 어느 한 방향측, 예를 들면 로보트 핸드(H)가 신축 동작하는 측의 반대측(도면상 좌측)에 설치되고, 이 주동-종동 테이블 결합부재(14)에는 종동측 이동 테이블(12)과 마찬가지로, 검사 기판 고정 홀더(16)를 재치하기 위한 L자 형상의 수납부를 형성하여도 좋다.The main-driven table coupling member 14 is formed in the bar shape of the board | substrate width substantially the same as each board | substrate width | variety of the main shaft side movement table 10 or the driven side movement table 12. As shown in FIG. The main-driven table coupling member 14 is stretched in either direction in the X-axis direction, for example, the robot hand H between the main-axis-side movement table 10 and the driven-side movement table 12. It is provided on the side opposite to the operating side (left side in the drawing), and the main-driven table coupling member 14 has an L-shape for mounting the inspection substrate fixing holder 16 in the same manner as the driven-side movement table 12. You may form a storage part.
또한, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 각각 3부분으로 나누지 않고 일체로 형성하여도 좋다.In addition, the main-axis side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-driven table coupling member 14 may be formed integrally, without dividing into three parts, respectively.
주축측 이동 테이블(10)의 볼록 형상부(11)에는 주축측 직동안내(2)에 대해서 평행 방향으로 마련한 회전축(15)을 개재하여 검사 기판 고정 홀더(16)가 회전 가능하게 설치되어 있다.The inspection board fixing holder 16 is rotatably provided in the convex-shaped part 11 of the main-axis side movement table 10 via the rotating shaft 15 provided in parallel with respect to the inside of the main-axis side straight line 2.
이 검사 기판 고정 홀더(16)는 개구부(17)를 가지는 사변형의 틀 형상으로 형성되어 있다. 이 검사 기판 고정 홀더(16)는 그 상면에 대형 유리 기판(1)을 흡착 지지하기 위한 예를 들면 복수의 흡착구멍이 개구부(17)를 따라 마련되어 있다.The test substrate fixing holder 16 is formed in a quadrangular frame shape having an opening 17. The inspection substrate fixing holder 16 is provided with, for example, a plurality of adsorption holes along the opening 17 for adsorbing and supporting the large glass substrate 1 on its upper surface.
검사 기판 고정 홀더(16)에 있어서의 주축측 직동안내(2)측 변의 양단에는각각 각 회전지지부(18, 19)가 돌출하고 있다. 이들 회전 지지부(18, 19)에는 회전축(15)이 축 지지된다. 이들 회전 지지부(18, 19)의 간격은 주축측 이동 테이블(10)의 볼록 형상부(11)의 X축 방향의 길이보다 약간 길게 형성되어 있다. 따라서, 검사 기판 고정 홀더(16)는 각 회전 지지부(18, 19) 사이에 형성되는 오목(凹)부 내에 볼록 형상부(11)를 끼워 해당 볼록 형상부(11)에 축 지지하고 있다.Rotation support parts 18 and 19 protrude from both ends of the inner side 2 side edge of the main substrate side holder in the inspection substrate fixing holder 16, respectively. The rotation shaft 15 is axially supported by these rotation support parts 18 and 19. As shown in FIG. The space | interval of these rotation support parts 18 and 19 is formed slightly longer than the length of the convex-shaped part 11 of the main-axis side movement table 10 in the X-axis direction. Therefore, the test substrate fixing holder 16 is axially supported by the convex portion 11 by sandwiching the convex portion 11 in the concave portion formed between the respective rotary support portions 18 and 19.
검사 기판 고정 홀더(16)의 종동측 직동안내(3)측 변에는 그 하부에 역 L자 형상의 재치부(20)가 형성되어 있다. 이 재치부(20)는 종동측 이동 테이블(12)의 수납부(13)상에 재치된다.An inverted L-shaped placing portion 20 is formed at the lower side of the inspection substrate fixing holder 16 in the driven side of the driven side. This mounting part 20 is mounted on the accommodating part 13 of the driven side movement table 12. As shown in FIG.
이들 수납부(13)와 재치부(20)는 각각 종동측 이동 테이블(12), 검사 기판 고정 홀더(16)의 각 두께의 2분의 1의 두께로 각 L자 형상으로 형성되어 있다.These storage portions 13 and the mounting portion 20 are each formed in an L shape with a thickness of one-half the thickness of each of the driven-side moving table 12 and the inspection substrate fixing holder 16.
한편, 회전축(15)은 검사 기판 고정 홀더(16)의 두께 방향의 2분의 1의 위치에 설치되어 있다. 따라서, 검사 기판 고정 홀더(16)의 상면은 재치부(20)가 수납부(13)상에 재치되는 것에 의하여 수평 방향(XY 평면상)으로 보호 유지된다. 또한, 검사 기판 고정 홀더(16)는 자중(自重)에 의하여 수납부(13)상에 재치된다.On the other hand, the rotating shaft 15 is provided in the position of 1/2 of the thickness direction of the test substrate fixing holder 16. As shown in FIG. Therefore, the upper surface of the test substrate fixing holder 16 is protected and held in the horizontal direction (on the XY plane) by placing the placing portion 20 on the housing portion 13. In addition, the test substrate fixing holder 16 is placed on the storage portion 13 by its own weight.
또한, 검사 기판 고정 홀더(16)의 회전축(15)에는 요동용 모터(Mb)의 회전축이 연결되어 있다. 이 요동용 모터(Mb)는 예를 들면 검사 기판 고정 홀더(16) 또는 주축측 이동 테이블(10) 등에 설치된다. 따라서, 검사 기판 고정 홀더(16)는 요동용 모터(Mb)의 구동에 의하여 회전축(15)을 중심으로 요동하고, 대형 유리 기판(1)을 마크로(macro) 관찰하는 기울기각(θx)에 경사 가능하게 되어 있다.In addition, the rotating shaft 15 of the swinging motor Mb is connected to the rotating shaft 15 of the test substrate fixing holder 16. This swinging motor Mb is installed, for example, on the inspection board fixing holder 16 or the spindle-side moving table 10. Therefore, the inspection substrate fixing holder 16 is oscillated about the rotational axis 15 by the drive of the swinging motor Mb, and inclined at an inclination angle θx for observing the macro glass substrate 1 as a macro. It is possible.
또한, 검사 기판 고정 홀더(16)의 회전축(15)의 구동방법은 요동용 모터(Mb)의 회전축을 직접 회전축(15)에 접속하여 구동하거나, 또는 요동용 모터(Mb)의 회전축과 회전축(15)과의 사이에 벨트 또는 연결부재 등을 개재하여 회전력을 전달하도록 하여도 좋다.In addition, the driving method of the rotating shaft 15 of the inspection substrate fixing holder 16 is driven by directly connecting the rotating shaft of the swinging motor Mb to the rotating shaft 15, or the rotating shaft and the rotating shaft of the swinging motor Mb ( The rotational force may be transmitted between the belt and the connecting member via a belt or a connecting member.
종동측 이동 테이블(12)상의 수납부(13)에는 전동부재((21), 변위 원활 부재)가 마련되어 있다. 이 전동부재(21)는 검사 기판 고정 홀더(16)의 재치부(20)와 면접촉하고 있다. 이 전동부재(21)는 재치부(20)와의 사이의 마찰을 작게 하고, 재치부(20)의 X축 방향으로의 이동 저항력을 작게 한다. 이 전동 부재(21)는 예를 들면 복수의 원주 형상의 롤러를 X축 방향으로 배열하고 있다. 또한, 개개의 롤러는 그 회전축이 Y축 방향으로 설치되어 있다. 이 전동부재(21)는 수납부(13)에 마련하는 것에 한정하지 않고, 재치부(20)에 설치하여도 좋다. 또한, 전동부재(21)는 롤러에 한정하지 않고, 복수의 볼을 배열하거나, 또는 수납부(13)와 재치부(20)와의 각 접촉 면상에 각각 함유(含油) 수지 등의 미끄럼재를 부착하여도 좋다.The transmission member 21 and the displacement smooth member are provided in the accommodating part 13 on the driven side movement table 12. As shown in FIG. This transmission member 21 is in surface contact with the mounting portion 20 of the test substrate fixing holder 16. This transmission member 21 reduces the friction between the mounting portion 20 and reduces the movement resistance in the X-axis direction of the mounting portion 20. This transmission member 21 arrange | positions a some cylindrical roller in the X-axis direction, for example. In addition, the rotation axis of each roller is provided in the Y-axis direction. This transmission member 21 is not limited to being provided in the accommodating part 13, but may be provided in the mounting part 20. As shown in FIG. In addition, the transmission member 21 is not limited to a roller, but arrange | positions a some ball, or attaches sliding materials, such as containing resin, on each contact surface of the accommodating part 13 and the mounting part 20, respectively. You may also do it.
이상의 구조이면, 검사 기판 고정 홀더(16)는 주축측 이동 테이블(10)에 대해서 회전축(15)을 개재하여 제 1의 회전방향 θx로의 회전이 허용된다. 바꾸어 말하면, 검사 기판 고정 홀더(16)는 주축측 이동테이블(10)에 대해서 X축 방향(제 1의 방향)과 Y축 방향(제 2의 방향)과, Z축 방향(제 3의방향)으로의 각 이동이 규제되고, 또한, Y축 방향을 회전축으로 하는 제 2의 회전방향(θy)과, Z축 방향을 회전축으로 하는 제 3의 회전 방향(θz)으로의 각 회전이 규제된다. 또한, 검사 기판 고정 홀더(16)는 종동측 이동 테이블(12)에 대하여 제 1의 회전방향(θx)으로의 회전이 규제된다.With the above structure, the inspection board fixing holder 16 is allowed to rotate in the first rotational direction θx with respect to the main shaft side movement table 10 via the rotation shaft 15. In other words, the inspection board fixing holder 16 has an X axis direction (first direction), a Y axis direction (second direction), and a Z axis direction (third direction) with respect to the main axis side moving table 10. Each movement to the rotational direction is regulated, and each rotation in the second rotational direction θy having the Y-axis direction as the rotational axis and the third rotational direction θz having the Z-axis direction as the rotational axis is regulated. In addition, the inspection board fixing holder 16 is restricted to rotate in the first rotational direction θx with respect to the driven-side movement table 12.
또한, 검사 기판 고정 홀더(16)의 측면에 대향하는 주축측 이동 테이블(10)의 측면, 종동측 이동 테이블(12)의 측면 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)의 측면과의 각 사이는 각각 소정의 일그러짐의 양에 따른 만큼의 틈이 열려져 있다. 즉, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)의 이동 동작시에 형상의 일그러짐이 일어나도, 이 일그러짐에 의하여 검사 기판 고정 홀더(16)의 측면이 주축측 이동 테이블(10)의 측면, 종동측 이동 테이블(12)의 측면 또는 주동-종동 테이블 결합부재(14)의 측면에 접촉하지 않도록, 일그러짐의 양에 따른 만큼의 틈이 열려져 있다.In addition, between the side of the main axis side movement table 10, the side of the driven side movement table 12, and the side of the main-driven table coupling member 14 opposite to the side of the inspection substrate fixing holder 16, As many gaps as the predetermined amount of distortion are opened. That is, even when distortion occurs in the movement operation of the main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the driven-driven table coupling member 14, the distortion causes the inspection substrate fixing holder 16 to be moved. A gap corresponding to the amount of distortion is opened so that the side surface does not contact the side surface of the main shaft side movement table 10, the side surface of the driven side movement table 12, or the side surface of the driven-driven table engaging member 14.
다음으로, 상기와 같이 구성된 장치의 동작에 대하여 설명한다.Next, operation | movement of the apparatus comprised as mentioned above is demonstrated.
대형 유리 기판(1)의 반송 개시시에, 모터(Ma)의 구동에 의하여 볼 나사(8)가 회전한다. 이 볼 나사(8)의 회전에 의하여 구동부(7)가 X축 방향으로 이동한다. 이것에 의하여, 구동부(7)로부터 주축측 이동 테이블(10)에 대해서 X축 방향으로 구동력(F)이 가하여지고, 주축측 이동 테이블(10)은 X축 방향으로 이동한다. 이때, 주축측 이동 테이블(10)은, 구동부(7)와의 거리가 짧기 때문에 큰 저항이 가하여지지 않아도 X축 방향으로 이동한다.At the start of conveyance of the large glass substrate 1, the ball screw 8 rotates by the drive of the motor Ma. By the rotation of this ball screw 8, the drive part 7 moves to an X-axis direction. Thereby, the driving force F is applied to the main shaft side movement table 10 from the drive unit 7 in the X axis direction, and the main shaft side movement table 10 moves in the X axis direction. At this time, since the main axis side movement table 10 has a short distance from the drive unit 7, the main axis side movement table 10 moves in the X-axis direction even if a large resistance is not applied.
이것에 대해서 종동측 이동 테이블(12)에는 구동부(7)에서 X축 방향으로 가하여지는 구동력(F)이 구동부(7)와의 거리(주동-종동 테이블 결합부재(14)의 길이만큼)에 따른 θz방향의 회전 모멘트로서 전달된다.On the other hand, in the driven side movement table 12, the driving force F applied in the X-axis direction from the drive unit 7 depends on the distance to the drive unit 7 (by the length of the driven-driven table coupling member 14). Is transmitted as a rotational moment in the direction.
따라서, 종동측 이동 테이블(12)측은 도 2에 도시한 바와 같이 종동측 직동안내(3)에 의하여 X축 방향만의 이동이 허용되고 있으므로, θz방향의 회전 모멘트에 대한 저항력(Ra)이 발생한다. 이 때문에, 저항력(Ra)을 넘을 만큼의 θz방향의 회전 모멘트(Fa)가 종동측 이동 테이블(12) 측에 있어서 X축 방향으로의 직진력이 된다.Therefore, since the driven side movement table 12 side is allowed to move only in the X-axis direction by the driven side 3 during the driven side straight line as shown in Fig. 2, a resistance force Ra against the rotation moment in the? Z direction is generated. do. For this reason, the rotation moment Fa in the (theta) z direction by more than the resistive force Ra becomes a linear force in the X-axis direction in the driven side movement table 12 side.
한편, 대형 유리 기판(1)이 소정의 좌표 위치에 도달하여 정지할 경우에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다. 구동부(7)로부터 주축측 이동 테이블(10)에 가하여지는 구동력(F)이 점차 감소하는 것에 의하여, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)의 일체는 감속을 개시한다.On the other hand, the case where the large glass substrate 1 reaches a predetermined coordinate position and stops is demonstrated with reference to FIG. As the driving force F applied from the drive unit 7 to the spindle-side movement table 10 gradually decreases, the spindle-side movement table 10, the driven-side movement table 12, and the driven-driven table coupling member 14 are reduced. ) Starts deceleration.
이들 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동종동 테이블 결합부재(14)의 감속이 어느 정도 진행되면, 종동측 이동 테이블(12)측의 반력(R)이 θz방향의 회전모멘트보다 커진다. 이 때에 종동측 이동 테이블(12)측은 정지한다.When the deceleration of these main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main driven table engagement member 14 advances to some extent, reaction force R on the side of the driven side movement table 12 will be in (theta) z direction. It is larger than the rotation moment of. At this time, the driven-side moving table 12 side stops.
그런데, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 대형화에 걸맞는 강성으로 제작되어 있지 않기 때문에 강성 부족이 된다. 이것에 의하여 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 종동측 이동 테이블(12)에 있어서 일어나는 반력(R)에 의하여 평행 사변형에 유사한 형상으로 일그러진 형상으로 정지하게 된다. 이 때문에 종동측 이동 테이블(12)은 소정의 좌표위치보다 앞에서 정지한다.By the way, since the main-axis side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-driven table coupling member 14 are not manufactured with the rigidity suitable for enlargement, rigidity falls. As a result, the main shaft-side movement table 10, the driven-side movement table 12, and the driven-driven table engaging member 14 have a shape similar to the parallelogram by the reaction force R generated in the driven-side movement table 12. Will stop in the shape distorted. For this reason, the driven side movement table 12 stops before a predetermined coordinate position.
그런데, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)가 평행 사변형과 유사한 형상으로 일그러져도, 검사 기판 고정홀더(16)는 종동측 이동 테이블(12)과의 사이에 전동 부재(21)가 개재되어 있으므로, 종동측 이동 테이블(12)측의 반력(R)을 받지 않고, 수납부(20)가 일그러진 만큼만 재치부(20)의 하부에서 매끄럽게 이동한다.By the way, even if the main-axis side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-driven table coupling member 14 are distorted in the shape similar to a parallelogram, the inspection board fixing holder 16 will not be driven by the driven side movement table ( Since the transmission member 21 is interposed between 12 and 12, it is smooth from the lower part of the mounting part 20 only as long as the accommodating part 20 was distorted, without receiving the reaction force R of the driven side movement table 12 side. Move.
이 이유는 검사 기판 고정 홀더(16)는 주축측 이동 테이블(10)의 X축 방향, Y축 방향, 및 Z축 방향의 각 이동이 규제되고, 또한 Y축 방향을 회전축으로 하는 제 2의 회전 방향(θy)으로의 회전 및 z축 방향을 회전축으로 하는 제3의 회전 방향(θz)으로의 회전이 규제되고, 또한, 종동측 이동 테이블(12)에 대해서 제 1의 회전 방향(θx)으로의 회전이 규제되는 것에 의한다.The reason for this is that the inspection substrate fixing holder 16 is restricted in each movement in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction of the main axis side movement table 10, and the second rotation in which the Y-axis direction is the rotation axis. Rotation in the direction [theta] y and rotation in the third rotation direction [theta] z with the z-axis direction as the rotation axis are regulated, and also in the first rotation direction [theta] x with respect to the driven-side movement table 12. By rotation of is regulated.
이 결과, 검사 기판 고정 홀더(16)는 전동 부재(21)상을 매끄럽게 미끄러지는 것에 의하여 변형하지 않고, 소정의 좌표 위치에 정지한다.As a result, the inspection board fixing holder 16 stops at a predetermined coordinate position without being deformed by sliding smoothly on the transmission member 21.
검사 기판 고정 홀더(16)의 정지 위치가 예를 들면 반송 로보트와의 기판 수수 위치라면, 반송 로보트는 로보트 핸드(H)를 신축 동작하여, 검사 기판 고정 홀더(16)상의 대형 유리 기판(1)을 받아, 이 대형 유리 기판(1)을 검사 장치에 건네준다.If the stop position of the inspection board fixing holder 16 is a board | substrate handing position with a conveyance robot, for example, the conveyance robot expands and contracts the robot hand H, and the large glass substrate 1 on the inspection board fixing holder 16 is carried out. Is received, the large glass substrate 1 is passed to the inspection apparatus.
검사 기판 고정 홀더(16)에 있어서의 Y축 방향변의 판두께(W)는 가늘게 하는 것이 가능하다. 따라서, 기판 수수 동작시, 반송 로보트는 도 4에 도시한 바와 같이 로보트 아암(LA)을 검사 기판 고정 홀더(16)에 접촉하지 않고, 로보트 핸드(H)를 검사 기판 고정 홀더(16)의 윗쪽까지 늘릴 수 있다.The plate thickness W on the Y-axis direction side in the inspection board fixing holder 16 can be thinned. Therefore, during the substrate transfer operation, the transport robot does not contact the robot arm LA to the test substrate fixing holder 16 as shown in FIG. 4, and the robot hand H is placed on the upper side of the test substrate fixing holder 16. You can increase it.
검사 기판 고정 홀더(16)의 정지 위치가 예를 들면 마크로 관찰 위치이면, 모터(Mb)의 구동에 의하여 검사 기판 고정 홀더(16)는 회전축(15)을 중심으로서 제1의 회전 방향(θx)으로 회전하여 일어나고, 소정의 경사각으로 기운다. 이 상태에서 대형 유리 기판(1)의 표면에 마크로 조명광이 조사되는 것에 의하여 대형 유리 기판(1)의 마크로 관찰이 행하여진다.When the stop position of the inspection substrate fixing holder 16 is, for example, a macro observation position, the inspection substrate fixing holder 16 is driven in the first rotation direction θx around the rotation shaft 15 by driving the motor Mb. It rotates and arises and inclines with a predetermined inclination angle. The macro observation of the large size glass substrate 1 is performed by irradiating the macro illumination light to the surface of the large size glass substrate 1 in this state.
검사 기판 고정 홀더(16)의 정지 위치가 예를 들면 미크로 관찰 위치이면, 개구부(17)를 통하여 투과 조명광이 대형 유리 기판(1)의 하부로부터 조사된다. 한편, 대형 유리 기판(1) 윗쪽에 현미경이 배치된다. 이 현미경은 대형 유리 기판(1) 표면상의 결함 부분의 확대상을 얻는다. 이 확대상을 관찰하는 것으로써 미크로 관찰이 행하여진다.If the stop position of the test substrate fixing holder 16 is, for example, a micro observation position, the transmitted illumination light is irradiated from the lower portion of the large glass substrate 1 through the opening 17. On the other hand, a microscope is arranged above the large glass substrate 1. This microscope obtains an enlarged image of a defective portion on the surface of the large glass substrate 1. Micro observation is performed by observing this magnified image.
이와 같이 상기 제 1의 실시 형태에 있어서는, 구동부(7)가 설치된 주축측 이동 테이블(10)과 종동측 이동 테이블(12)과 주동-종동 테이블 결합부재(14)를 결합하고, 이 중 주축측 이동 테이블(10)에 대해서 검사 기판 고정 홀더(16)를 회전축(15)에 의하여 축 지지하고, 또한, 이 검사 기판 고정 홀더(16)와 종동측 이동 테이블(12)과의 사이에 전동 부재 (21)를 개재하는 구성으로 하였다. 이것에 의하여, 검사 기판 고정 홀더(16)는 주축측 이동 테이블(10)에 대해 X축 방향과 Y축 방향과 Z축 방향으로의 각 이동이 규제됨과 함께, 제 2의 회전 방향(θy)과 제3의 회전 방향(θz)으로의 각 회전이 규제되고, 또한 종동측 이동 테이블(12)에 대해서 제 1의 회전 방향(θx)으로의 회전이 규제된다.Thus, in the said 1st Embodiment, the main shaft side movement table 10 in which the drive part 7 was provided, the driven side movement table 12, and the main-drive table coupling member 14 are couple | bonded, Among these, The inspection board fixing holder 16 is axially supported by the rotation shaft 15 with respect to the moving table 10, and a transmission member () is provided between the inspection board fixing holder 16 and the driven side moving table 12. It was set as the structure through 21). As a result, the inspection substrate fixing holder 16 is restricted in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction with respect to the main axis side movement table 10, and the second rotation direction? Each rotation in the third rotation direction θz is regulated, and the rotation in the first rotation direction θx is regulated with respect to the driven-side movement table 12.
이 결과, 대형 유리 기판(1)을 반송 개시할 때, 또는 소정의 좌표 위치에 도달하여 정지할 경우에, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)가 강성 부족이 되어 평행 사변형에 유사한 형상으로 일그러진 형상이 되어도, 종동측 이동 테이블(12)의 수납부(20)는 일그러진 만큼만 검사 기판 고정 홀더(16)의 재치부(20)의 하부에서 매끄럽게 이동한다. 그런데, 검사 기판 고정 홀더(16)에 대해서 θz방향의 회전모멘트가 가하여지지 않아도, 검사 기판 고정 홀더(16)는 변형하지 않는다. 이것에 의하여, 검사 기판 고정 홀더(16)는 예를 들면 반송 로보트와의 기판 수수 위치, 마크로 관찰 위치, 미크로 관찰 위치 등의 소정의 좌표 위치에 정확하게 정지할 수 있다.As a result, when the conveyance start of the large glass substrate 1, or when it reaches | stops by reaching a predetermined | prescribed coordinate position, the main-axis side movement table 10, the driven side movement table 12, and the driven-following table coupling member Even if the 14 becomes insufficient in rigidity and becomes a shape distorted in a shape similar to the parallelogram, the housing portion 20 of the driven-side movement table 12 is lower than the mounting portion 20 of the inspection substrate fixing holder 16 only as much as it is distorted. To move smoothly. By the way, even if the rotation moment of (theta) z direction is not applied with respect to the test board fixing holder 16, the test board fixing holder 16 does not deform | transform. Thereby, the inspection board fixing holder 16 can stop exactly in predetermined coordinate positions, such as a board | substrate handing position with a conveyance robot, a macro observation position, a micro observation position, etc., for example.
또한, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 이동중이어도 강성 부족에 의하여 평행 사변형에 유사한 형상으로 일그러진 형상이 된다. 이 때도 검사 기판 고정 홀더(16)에 대해서 θz방향의 회전 모멘트가 가하여지지 않고, 검사 기판 고정 홀더(16)는 변형되지 않는다.In addition, the main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-drive table coupling member 14 are distorted to a shape similar to the parallelogram due to the lack of rigidity even during the movement. At this time, the rotation moment in the θz direction is not applied to the inspection substrate fixing holder 16, and the inspection substrate fixing holder 16 is not deformed.
이 결과, 주축측 이동 테이블(10)에 구동부(7)를 마련한 편구동의 구성이어도, 검사 기판 고정 홀더(16)를 소정의 좌표 위치에 정지할 수 있다. 더욱이, 종래기술과 같이 양측에 각 구동부(7)를 마련하는 것에 비하여 장치 전체가 대형화하지 않고, 또한 고비용화하는 일도 없다. 또한, 검사 기판 고정 홀더(16)의 중앙부에 구동부(7)를 마련하여 투과 조명의 배치를 할 수 없게 되는 일도 없다.As a result, even if it is the structure of the single drive which provided the drive part 7 in the main-axis side movement table 10, the inspection board fixing holder 16 can be stopped at a predetermined coordinate position. Moreover, as compared with the provision of the respective drive units 7 on both sides as in the prior art, the whole apparatus does not increase in size and does not increase in cost. Moreover, the drive part 7 is provided in the center part of the inspection board fixing holder 16, and it does not become impossible to arrange transmission illumination.
대형 유리 기판(1)의 사이즈는 예를 들면 1m강x1m강으로서 설명하였지만, 앞으로의 기술 진보에 의하여 더욱 사이즈가 대형화하여도, 상기 구성의 기판 스테이지이면, 검사 기판 고정 홀더(16)는 변형하지 않고, 소정의 좌표 위치에 정밀도 높게 정지할 수 있다.Although the size of the large glass substrate 1 was demonstrated as 1m steel x 1m steel, for example, even if the size is further enlarged by the technical progress in the future, if the board | substrate stage of the said structure is carried out, the inspection board fixing holder 16 will not deform | transform. Can be stopped with high accuracy at a predetermined coordinate position.
이와 같이 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동테이블 결합부재(14)는 θz방향의 회전 모멘트를 받아 형상을 변형시켜도 좋은 것으로 하였다. 한쪽의 검사 기판 고정 홀더(16)는 θz방향의 회전 모멘트를 가하지 않도록 하였다. 이것에 의하여, 대형 유리 기판(1)을 재치하는 검사 기판 고정 홀더(16) 자체의 내구성이 향상된다.Thus, the main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-drive table coupling member 14 may be deformed in response to the rotation moment in the? Z direction. One inspection board fixing holder 16 was not allowed to apply a rotation moment in the θz direction. Thereby, durability of the test substrate fixing holder 16 itself which mounts the large glass substrate 1 improves.
또한, 이들 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 그 형상을 변형하여도 좋기 때문에, 예를 들면 주축측 직동안내(2)와 종동측 직동안내(3)와의 평행도 등의 부설(敷設) 위치의 정밀도가 높지 않아도 좋다. 부설 위치의 정밀도가 높지 않은 주축측 직동안내(2)와 종동측 직동안내(3)상에 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)가 이동하면, 주축측 직동안내(2)와 종축측 직동안내(3)의 부설 위치의 영향을 받아 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동종동 테이블 결합부재(14)의 형상은 변형한다. 이것에 대해서 검사 기판 고정 홀더(16)는 이러한 변형의 영향을 받지 않고, 소정의 좌표 위치에 정지할 수 있다. 따라서, 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)는 높이의 정밀도만 확보하고 있으면 된다.In addition, since these spindle-side movement table 10, the driven-side movement table 12, and the driven-driven table coupling member 14 may deform | transform the shape, for example, the main shaft side movement table 2 and the longitudinal direction The precision of the laying position, such as parallelism with the inner side 3, during the ipsilateral straight line may not be high. On the main shaft side straight line (2) and the driven side straight line (3) where the precision of the laying position is not high, the main shaft side moving table 10, the driven side moving table 12, and the main-driven table coupling member 14 When moved, the main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main driven table engaging member 14 are affected by the laying positions of the main shaft side straight line 2 and the longitudinal axis side straight line 3 inside. The shape of the deformation. On the other hand, the inspection board fixing holder 16 can stop at a predetermined coordinate position without being affected by such deformation. Therefore, the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 need only secure the height accuracy.
검사 기판 고정 홀더(16)는 θz방향의 회전 모멘트가 가하여지지 않기 때문에, 검사 기판 고정 홀더(16)의 각변의 판두께(W)를 얇게 할 수 있다. 이것에 의하여, 검사 기판 고정 홀더(16)의 중량을 경량화할 수 있다. 더욱이, 구동부(7)나 볼 나사(8), 모터(Ma)로 이루어지는 구동계의 부담을 작게 할 수 있다. 이와 함께, 기판 수수 동작시에, 반송 로보트의 로보트 아암(LA)이 검사 기판 고정 홀더(16)에접촉하지 않고 로보트 핸드(H)를 검사 기판 고정 홀더(16)의 윗쪽까지 늘릴 수가 있고, 대형 유리 기판(1)의 수수를 용이하게 할 수 있다.Since the rotation moment of (theta) z direction is not added to the test board fixing holder 16, the plate | board thickness W of each side of the test board fixing holder 16 can be made thin. Thereby, the weight of the test substrate fixing holder 16 can be reduced in weight. Moreover, the burden on the drive system which consists of the drive part 7, the ball screw 8, and the motor Ma can be made small. At the same time, the robot arm LA of the transfer robot can be extended to the upper side of the inspection substrate fixing holder 16 without the robot arm LA contacting the inspection substrate fixing holder 16 at the time of substrate transfer operation. Passing of the glass substrate 1 can be made easy.
검사 기판 고정 홀더(16)는 제 1의 회전 방향(θx)에 대해서 회전을 허용하고 있으므로, 마크로 관찰 위치에 있어서 요동용 모터(Mb)를 구동하는 것에 의하여 검사 기판 고정 홀더(16)를 소정의 경사각으로 경사할 수 있다. 이것에 의하여, 마크로 조명광을 조사하는 것에 의하여 마크로 관찰을 할 수 있다.Since the inspection board fixing holder 16 allows rotation about the first rotation direction θx, the inspection board fixing holder 16 is driven by driving the swinging motor Mb at the macro observation position. Can be inclined at an inclination angle. Thereby, macro observation can be performed by irradiating macro illumination light.
다음에, 본 발명의 제 2의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 도 1과 동일 부분에는 동일 부호를 부여하여 그 자세한 설명은 생략한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 1, and the detailed description is abbreviate | omitted.
도 5는 대형 기판 스테이지에 있어서의 주축측 및 종동측 이동 접촉부(4a, 4b)의 구성도이다. 또한, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 이동용 테이블(30)로서 간략화하여 도시한다.5 is a configuration diagram of the main shaft side and driven side moving contact portions 4a and 4b in the large substrate stage. In addition, the main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main-driven table coupling member 14 are simplified and shown as a movement table 30. As shown in FIG.
주축측 이동 접촉부(4a)는 주축측 직동안내(2)에 대해서 대략 끼우는 형상으로 형성되어 있다. 예를 들면 주축측 직동안내(2)의 단면 형상이 사변형이면, 주축측 이동 접촉부(4a)는 주축측 직동안내(2)의 사변형에 끼우는 오목 형상부(31)가 형성되어 있다. 이것에 의하여, 주축측 이동 접촉부(4a)는 주축측 직동안내(2)와의 사이의 클리어런스가 작고, Y축 방향으로의 변위가 거의 없다.The main shaft side contacting portion 4a is formed in a shape that is substantially fitted with respect to the inside 2 of the main shaft side straight line. For example, when the cross-sectional shape of the main shaft side straight line 2 is a quadrangular shape, the main shaft side moving contact part 4a is provided with the concave part 31 which fits in the quadrangle of the main shaft side straight line 2. As a result, the clearance between the main shaft side moving contact portion 4a and the inside of the main shaft side straight line 2 is small and there is almost no displacement in the Y axis direction.
종동측 이동 접촉부(4b)에도 오목 형상부(32)가 형성되어 있다. 이 종동측 이동 접촉부(4b)는 오목 형상부(32)내의 측면과 종동측 직동안내(3)와의 사이의 틈(g)을 넓게, 클리어런스를 크게 하고 있다. 즉, 종동측 이동 접촉부(4b)는 오목 형상부(32)내에 종동측 직동안내를 넣고, 해당 종동측 직동안내(3)상을 이동한다.종동측 이동 접촉부(4b)와 종동측 직동안내와의 사이의 틈(g)을 크게 하려면, 종동측 이동 접촉부(4b)의 오목 형상부(32)의 개구를 크게 하거나, 또는 종동측 직동안내(3)의 Y축 방향의 폭(f)을 얇게 한다.The concave portion 32 is also formed in the driven side moving contact portion 4b. This driven-side moving contact part 4b enlarges the clearance g between the side surface in the concave part 32, and the inside 3 of the driven side straight line, and enlarges clearance. That is, the driven side moving contact portion 4b enters the driven side straight line in the concave portion 32 and moves on the inside 3 of the driven side straight line. The driven side moving contact portion 4b and the driven side straight line inside In order to enlarge the space | interval g between, the opening of the concave part 32 of the driven side moving contact part 4b is enlarged, or the width | variety f of the Y-axis direction of the inside 3 of the driven side linear direction is made thin. do.
이러한 구성이면, 주축측 이동 접촉부(4a)는 주축측 직동안내(2)상을 해당 주축측 직동안내(2)의 부설 위치에 따라 이동한다.With this structure, the main shaft side moving contact portion 4a moves on the main shaft side straight line 2 in accordance with the laying position of the main shaft side straight line 2.
한편, 종동측 이동 접촉부(4b)는 종동측 직동안내(3)와의 사이의 틈(g)이 있으므로, 해당 종동측 직동안내(3)상을 이동할 때에 Y축 방향으로의 변위가 허용된다. 즉, 주축측 직동안내와 종동측 직동안내(3)를 부설한 평행도의 정밀도가 높지 않은 경우, 종동측 이동 접촉부(4b)가 종동측 직동안내(3)상을 이동하면, 종동측 이동 접촉부(4b)의 오목 형상부(32)내에서 종동측 직동안내(3)가 Y축 방향으로 변위하게 된다.On the other hand, since the driven-side moving contact portion 4b has a gap g between the driven side straight line 3 and the driven side 4, the displacement in the Y-axis direction is allowed when the driven side moving contact portion 4b moves on the inside 3 straight line side. That is, when the accuracy of the parallelism in which the inner side of the main shaft side and the inner side of the driven side 3 is not high is high, when the driven side moving contact portion 4b moves on the inner side 3 of the driven side, the driven side moving contact portion ( In the concave portion 32 of 4b), the driven member 3 is displaced in the Y-axis direction during the driven side.
따라서, 주축측 직동안내(2)와 종동측 직동안내(3)를 부설한 평행도의 정밀도가 높지 않아도, 이 영향을 받지 않고 이동용 테이블(30)은 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)상을 이동할 수 있다. 바꾸어 말하면, 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)는 평행도를 높게 부설하지 않아도 좋다. 이것에 의하여, 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)의 부설 작업이나 이동용 테이블(30)의 설치 작업이 용이하게 된다.Therefore, even if the accuracy of the parallelism in which the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 are laid is not high, the moving table 30 is not affected by the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line. (3) We can move phase. In other words, the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 do not have to have a high parallelism. This facilitates the installation work of the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 and the installation table 30 for movement.
또한, 종동측 이동 접촉부(4b)는 종동측 직동안내(3)와의 마찰을 작게 할 수 있다. 이것에 의하여, 이동을 개시할 때, 종동측 이동 테이블(12) 측에 θz방향의 회전 모멘트에 대한 저항력(Ra)이 발생하지만, 이 저항력(Ra)을 작게 할 수 있다.Further, the driven side moving contact portion 4b can reduce the friction with the inner side 3 during the driven side straight line. Thereby, when starting a movement, the resistance force Ra with respect to the rotation moment of (theta) z direction generate | occur | produces on the driven side movement table 12 side, but this resistance force Ra can be made small.
한편, 정지할 때, 종동측 이동 테이블(12)에 반력(R)이 생기지만, 이 반력(R)을 작게 할 수 있다. 따라서, 주축측 이동 테이블(10), 종동측 이동 테이블(12) 및 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 반력(R)에 의하여 평행 사변형에 유사한 형상으로 일글어지는 일도 없게 하는 것이 가능하다. 이것에 의하여, 종동측 이동 테이블(12)을 소정의 좌표 위치에 정지하게 하는 것이 가능하게 된다.On the other hand, when it stops, reaction force R generate | occur | produces in the driven side movement table 12, but this reaction force R can be made small. Therefore, it is possible for the main shaft side movement table 10, the driven side movement table 12, and the main driven-driven table coupling member 14 to be unevenly shaped into a parallelogram by the reaction force R. As shown in FIG. This makes it possible to make the driven side movement table 12 stop at a predetermined coordinate position.
도 6은 대형 기판 스테이지에 있어서의 주축측 및 종동측 이동 접촉부(4a, 4b)의 다른 구성도이다. 또한, 도 5와 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략한다.6 is another configuration diagram of the main axis side and the driven side moving contact portions 4a and 4b in the large substrate stage. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 5, and the detailed description is abbreviate | omitted.
주축측 이동 접촉부(4a)와 주축측 직동안내(2)와의 사이에는 틈을 마련하고, 이 틈내에 복수의 볼(33)을 개재시키고 있다.A gap is provided between the main shaft side contacting portion 4a and the inside of the main shaft side straight line 2, and a plurality of balls 33 are interposed therein.
한편, 종동측 이동 접촉부(4b)의 오목 형상부(32)에 있어서 서로 대향하는 각 측면에는, 각각의 구멍(34, 35)이 형성되어 있다. 이들 구멍(34, 35)내에는 각각 탄성체로서 예를 들면 각 스프링(36, 37)이 삽입되어 있다. 이들 스프링(36, 37)의 선단부에서 또한 각 구멍(34, 35)의 개구부에는 각각 슬라이딩 용의 각 볼(38, 39)이 설치되어 있다. 이들 볼(38, 39)은 각 스프링(36, 37)에 의하여 종동측 직동안내(3)의 양측면에 부세되어 있다. 또한, 각 스프링(36, 37)을 대신하여 용수철이나 고무 등의 수지를 이용하여도 좋다.On the other hand, in the concave portions 32 of the driven-side moving contact portions 4b, the respective holes 34 and 35 are formed on the side surfaces facing each other. In these holes 34 and 35, springs 36 and 37, for example, are respectively inserted as elastic bodies. Each ball 38, 39 for sliding is provided in the front-end | tip part of these springs 36, 37, and the opening part of each hole 34, 35, respectively. These balls 38 and 39 are attached to both side surfaces of the inner 3 during the driven side by the respective springs 36 and 37. In addition, you may use resin, such as a spring or rubber | gum, instead of each spring 36,37.
이러한 구성이면, 주축측 이동 접촉부(4a)는 주축측 직동안내(2)와의 사이에서 각 볼(33)에 의하여 미끄러지면서, 주축측 직동안내(2)상을 해당 주축측 직동안내(2)의 부설 위치에 따라 이동한다.With this configuration, the spindle-side moving contact portion 4a slides by the respective balls 33 between the spindle-side straight line 2 and moves the image on the spindle 2 straight line 2 in the spindle-side straight line 2. Move according to the installation position.
한편, 종동측 이동 접촉부(4b)는 해당 종동측 직동안내(3)상을 이동할 때에 Y축 방향으로의 변위가 허용된다. 이 때, 각 볼(38, 39)이 각 스프링(36, 37)에 의하여 종동측 직동안내(3)의 양측면에 부세되어 있으므로, 종동측 이동 접촉부(4b)는 종동측 직동안내(3)의 부설 위치가 변화하여도, 이 종동측 직동안내(3)의 부설 위치의 변화를 각 스프링(36, 37)에 의하여 흡수하면서 종동측 직동안내(3)상을 이동한다.On the other hand, when the driven-side moving contact portion 4b moves on the inner 3 during the driven-side straight line, displacement in the Y-axis direction is allowed. At this time, since each ball 38, 39 is biased on both sides of the driven side straight line 3 by the springs 36 and 37, the driven side moving contact portion 4b of the driven side straight line 3 Even if the laying position changes, the change in the laying position in the driven side straight line 3 is absorbed by the springs 36 and 37, and the upper side moving inside the top 3 is moved.
따라서, 도 5에 도시한 주축측 이동 접촉부(4a) 및 종동측 이동접촉부(4b)와 마찬가지로, 주축측 직동안내(2)와 종동측 직동안내(3)를 부설한 평행도의 정밀도가 높지 않아도, 이 영향을 받지 않고 이동용 테이블(30)은 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)상을 이동할 수 있다.Therefore, similarly to the main shaft side moving contact portion 4a and the driven side moving contact portion 4b shown in FIG. 5, even if the accuracy of the parallelism in which the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 are laid is not high, Without being affected by this, the movable table 30 can move on the inside of the main shaft side straight line 2 and on the driven side straight line 3.
또한, 각 볼(38, 39)을 마련하고 있으므로, 이동을 개시할 때의 저항력(Ra) 및 정지할 때의 반력(R)을 무시할 수 있을 정도로 작게 할 수 있고, 이것에 의하여, 종동측 이동 테이블(12)을 소정의 좌표 위치에 정지하는 것이 가능하게 된다.In addition, since the balls 38 and 39 are provided, the resistance Ra at the start of the movement and the reaction force R at the stop can be made small so that the ball can be neglected, thereby moving the driven side. It is possible to stop the table 12 at a predetermined coordinate position.
또한, 각 스프링(36, 37) 및 각 볼(38, 39)은 종동측 이동 접촉부(4b)의 각 측면에 마련하였지만, 종동측 직동안내(3)에 설치하여도 좋다.In addition, although each spring 36 and 37 and each ball 38 and 39 were provided in each side surface of the driven side moving contact part 4b, you may provide in the inside 3 during the driven side straight line.
도 7은 대형 기판 스테이지에 있어서의 주축측 및 종동측 이동 접촉부(4a, 4b)의 다른 구성도이다. 또한, 도 6과 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 그 자세한 설명은 생략한다.7 is another configuration diagram of the main axis side and the driven side moving contact portions 4a and 4b in the large substrate stage. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 6, and the detailed description is abbreviate | omitted.
종동측 이동 접촉부(4b)의 이동용 테이블(30)과 접촉하는 상면에는 회전축(40)이 마련되어 있다. 이 회전축(40)은 이동용 테이블(30)에 회전 가능하게설치되어 있다. 따라서, 종동측 이동 접촉부(4b)는 이동용 테이블(30)에 대해서 제3의 회전 방향(θz)으로 회전 가능하다.The rotating shaft 40 is provided in the upper surface which contacts the moving table 30 of the driven side moving contact part 4b. This rotating shaft 40 is rotatably provided in the movement table 30. Therefore, the driven side moving contact portion 4b is rotatable with respect to the movement table 30 in the third rotational direction θz.
종동측 이동 접촉부(4b)의 상면과 이동용 테이블(30)과의 사이에는, 슬립 부재(41)가 개재되어 있다.The slip member 41 is interposed between the upper surface of the driven side moving contact portion 4b and the moving table 30.
이와 같은 구성이면, 종동측 이동 접촉부(4b)는 해당 종동측 직동안내(3)상을 이동 할때에 Y축 방향으로의 변위가 허용됨과 함께, 제3의 회전 방향(θz)에 대해서의 회전이 허용된다. 이것에 의하여, 주축측 직동안내(2)와 종동측 직동안내(3)를 부설한 평행도의 정밀도가 높지 않아도, 더욱이 종동측 직동안내(3)가 만곡되어 있어도, 이들의 영향을 받지 않고 이동용 테이블(30)은 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)상을 이동할 수 있다.With such a configuration, the driven-side moving contact portion 4b is allowed to be displaced in the Y-axis direction while moving on the inner 3 during the driven-side straight line, and rotates in the third rotational direction θz. This is allowed. Thereby, even if the precision of the parallelism which provided the inside of the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 is not high, Furthermore, even if the following inside straight line 3 is curved, it is not influenced by these, 30 can move on the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3.
또한, 본 발명은 상기 일실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 실시 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하는 것이 가능하다.In addition, this invention is not limited to the said one Embodiment, In the implementation stage, it can change in various ways in the range which does not deviate from the summary.
예를 들면, 상기 도 9에 도시한 주축측 이동 접촉부(4a) 및 종동측 이동 접촉부(4b)는 각각 도 5 내지 도 7에 도시한 각 주축측 이동 접촉부(4a) 및 각 종동측 이동 접촉부(4b)를 이용하여도 좋다. 또한, 이들 도 5 내지 도 7에 도시한 각 주축측 이동 접촉부(4a) 및 각 종동측 이동 접촉부(4b)의 동작은 상기와 마찬가지이므로 생략한다. 이것에 의하여, 도 8에 도시한 대형 기판 스테이지에 있어서도, 이동 테이블(5), 반력(R)에 의하여 평행 사변형에 유사한 형상으로 일글어지는 것도 없게 하는 것이 가능하고, 소정의 좌표 위치에 정지하는 것이 가능하게 된다.For example, the main shaft-side moving contact portion 4a and the driven-side moving contact portion 4b shown in FIG. 9 are each main shaft-side moving contact portion 4a and each driven side moving contact portion shown in FIGS. 4b) may be used. In addition, since the operation | movement of each main-axis side moving contact part 4a and each driven side moving contact part 4b shown in these FIGS. 5-7 is the same as the above, it abbreviate | omits. Thereby, also in the large-sized board | substrate stage shown in FIG. 8, it is possible to make it impossible to bend to the shape similar to parallelogram by the movement table 5 and reaction force R, and to stop at a predetermined coordinate position. It becomes possible.
또한, 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)의 형상은 사각기둥에 한정하지 않고, 예를 들면 삼각기둥 등으로 형성하여도 좋다. 또한, 이들 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)는 서로 평행한 직선상에 부설되는 것에 한정하지 않고, 어떤 곡율 반경에서 커브를 그려 부설하여도 좋다. 더욱이, 주축측 직동안내(2) 및 종동측 직동안내(3)는 각각 1개가 아니고, 복수개씩 마련하여도 좋다. 이것에 의하여 제 2의 회전 방향(θy) 및 제 3의 회전 방향(θz)에 대한 강성을 강하게 할 수 있다.The shape of the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 is not limited to the square pillar, but may be formed of, for example, a triangular pillar. In addition, these main axis side straight line 2 and the driven side straight line 3 are not limited to being laid on the straight line parallel to each other, You may draw and lay a curve in a certain radius of curvature. Further, the main shaft side straight line 2 and the driven side straight line 3 may each be provided in plural instead of one. Thereby, rigidity with respect to the 2nd rotation direction (theta) y and the 3rd rotation direction (theta) z can be strengthened.
검사 기판 고정 홀더(16)에 있어서의 대형 유리 기판(1)의 보호 지지수단은 흡착구멍을 통하여 진공 흡착하는 것에 한정하지 않고, 예를 들면 대형 유리 기판(1)의 외주연을 압착핀 등에 의하여 수개소에서 압입하는 방법으로 하여도 좋고, 어떠한 수단에 의하여 보호 지지해도 좋다.The protective support means of the large glass substrate 1 in the inspection substrate fixing holder 16 is not limited to vacuum adsorption through the adsorption holes, and for example, the outer periphery of the large glass substrate 1 is formed by pressing pins or the like. It may be a method of press-fitting in several places, or may be protected and supported by any means.
구동계는 볼 나사(8)를 이용하였지만, 예를 들면 리니어모터나 액츄에이터를 이용하여 구동하여도 좋고, 어떠한 방식의 구동을 이용하여도 좋다.Although the drive system used the ball screw 8, it may drive using a linear motor or an actuator, for example, and may use what kind of drive.
주동-종동 테이블 결합부재(14)는 주축측 이동 테이블(10)과 종동측 이동 테이블(12)과의 사이를 결합하는 것이라면, 도 8에 도시한 바와 같이 검사 기판 고정 홀더(16)의 테두리 바로 밑에 설치하여도 좋다. 이 경우, 주동-종동 테이블 결합부재(14)는 검사 기판 고정 홀더(16)의 X축 방향의 양변의 바로 밑, 또는 어느 한쪽 변의 바로 밑에 설치한다. 이와 같이 구성하면, 검사 기판 고정 홀더(16)의 X축 방향의 양변에 있어서의 판두께(W)를 얇게 할 수 있고, 이들 변측으로부터 반송로보트에 의하여 대형 유리 기판(1)의 수수를 할 수 있다.If the main-driven table coupling member 14 engages between the main shaft-side movement table 10 and the driven-side movement table 12, as shown in Fig. 8, the edge of the inspection substrate fixing holder 16 It may be installed below. In this case, the driven-driven table coupling member 14 is provided directly under both sides of the inspection substrate fixing holder 16 in the X-axis direction or just below one side. When comprised in this way, the plate | board thickness W in the both sides of the X-axis direction of the inspection board fixing holder 16 can be made thin, and the large size glass substrate 1 can be received by a conveyance robot from these sides. have.
전동 부재(21)는 롤러나 볼, 함유(含油) 수지 등의 슬라이딩재를 부착하는것에 한정하지 않고, 수납부(13)와 재치부(20)와의 사이의 마찰이 작아지면 좋다. 전동 부재(21)는 예를 들면 수납부(13)과 재치부(20)와의 사이의 접촉 면적을 작게 하거나, 또는 공기를 분출하게 하거나, 정과 부의 자극의 반발력을 이용하여 수납부(13)와 재치부(20)와의 사이에 공간을 형성하도록 하여도 좋다.The transmission member 21 is not limited to attaching a sliding material such as a roller, a ball, a resin, or the like, and the friction between the housing portion 13 and the mounting portion 20 may be reduced. The transmission member 21, for example, reduces the contact area between the housing 13 and the placement unit 20, or causes the air to blow out, or by using the repulsive force of the positive and negative magnetic poles. A space may be formed between the placing unit 20.
또한, 스케일(S)은 주축측 이동 테이블(10) 측에 마련하는 것이 좋다. 종동측 이동 테이블(12)측은 형상에 일그러짐이 생기기 때문이다.In addition, it is good to provide the scale S in the main shaft side movement table 10 side. This is because a distortion occurs in the shape of the driven-side moving table 12 side.
본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이의 대형 유리 기판(1)의 반송에 적용한 경우에 대하여 설명하였지만, 반도체 웨이퍼나 각종 부재의 반송에도 적용할 수 있다.Although this invention demonstrated the case where it applied to the conveyance of the large glass substrate 1 of a liquid crystal display, for example, it can apply also to the conveyance of a semiconductor wafer and various members.
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