KR20040063635A

KR20040063635A - Substrate pressing apparatus for use in LCD cell fabricating process

Info

Publication number: KR20040063635A
Application number: KR1020030001124A
Authority: KR
Inventors: 최낙대; 최재학
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2003-01-08
Filing date: 2003-01-08
Publication date: 2004-07-14

Abstract

PURPOSE: An assembling device for an LCD(Liquid Crystal Display) cell junction process is provided to reduce a vacuum space and prevent that upper and lower chucks are modified. CONSTITUTION: An upper chuck(120a) located on a space separated from an upper wall of a chamber fixes an upper substrate(A). A lower chuck(120b) located in a space separated from a lower wall of the chamber fixes a lower substrate(B). A plurality of upper chuck pressing devices(107a-107d) simultaneously or separately press the edge of the upper chuck(120a) so that the upper chuck(120a) and the lower chuck(120b) are approached each other in a horizontal state.

Description

ＬＣＤ셀 접합공정용 합착장치{Substrate pressing apparatus for use in LCD cell fabricating process}Substrate pressing apparatus for use in LCD cell fabricating process

본 발명은 LCD셀 접합공정용 합착장치에 관한 것으로서, 특히 고진공 형성이 가능한 챔버 내에서 LCD 셀의 상부기판 및 하부기판을 서로 대향시켜 고정도(高精度)로 정렬하여 일정간격을 유지하면서 합착하는 LCD셀 접합공정용 합착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a bonding device for an LCD cell bonding process, in particular, the upper substrate and the lower substrate of the LCD cell in the chamber that can form a high vacuum facing each other to align with a high precision (high precision) to maintain a fixed interval It relates to a bonding apparatus for LCD cell bonding process.

최근 정보기술산업이 발전하면서 더욱 많은 정보를 전달하기 위한 화상표시장치의 중요성이 강조되고 있다. LCD 장치는 경량화, 고집적화, 고정세화, 고박형화에 아주 적합하기 때문에 이러한 화상표시장치로서 매우 각광을 받고 있고, 그 용도도 점점 확대되고 있다.With the recent development of the information technology industry, the importance of the image display device for transmitting more information is emphasized. Since LCD devices are well suited for light weight, high integration, high definition, and high thickness, they have been very popular as such image display devices, and their use is also expanding.

도 1은 LCD 셀의 일반적인 구조를 설명하기 위한 단면도이다. 도 1을 참조하면, 기판(2, 3)의 재질은 유리이며, 상부기판(2)과 하부기판(3)의 상호 대향되는 각면에는 전극(2a, 3a)과 배향막(2b, 3b)이 순차적으로 적층된다. 상부기판(2)과 하부기판(3)은 밀봉제(sealant, 4)를 사이에 두고 접합되어 폐쇄공간을 이루고, 폐쇄공간 내에는 액정(4a)이 채워진다. 따라서, 각 셀들은 밀봉제(4)에 의해 서로 분리된다. 상부기판(2)과 하부기판(3)의 각 외측면에는 편광판(5, 5')이 설치된다. 그리고, 상부기판(2)에는 칼라 필터층(6)이 설치된다.1 is a cross-sectional view for explaining a general structure of an LCD cell. Referring to FIG. 1, the materials of the substrates 2 and 3 are glass, and the electrodes 2a and 3a and the alignment layers 2b and 3b are sequentially formed on the opposite surfaces of the upper substrate 2 and the lower substrate 3. Are stacked. The upper substrate 2 and the lower substrate 3 are bonded together with a sealant 4 therebetween to form a closed space, and the liquid crystal 4a is filled in the closed space. Thus, the cells are separated from each other by the sealant 4. Polarizing plates 5 and 5 'are provided on each outer surface of the upper substrate 2 and the lower substrate 3, respectively. The upper substrate 2 is provided with a color filter layer 6.

도 1에 설명된 바와 같은 LCD 셀은 일반적으로, 상부 및 하부기판(2, 3)에 전극(2a, 3a)과 배향막(2b, 3b)을 형성하는 단계, 하부기판(3)에 밀봉제(4)를 소정 형상으로 디스펜스(dispense)하는 단계, 디스펜스된 하부기판(3) 표면에 액정(4a)을 일정량 투입하는 단계, 고진공 형성이 가능한 챔버 내로 상부 및 하부기판(2, 3)을 이동하여 서로 대향시켜 놓고 고정도(高精度)로 정렬하여 합착하는 단계, 챔버의 진공을 해제하여 대기압에 의해 균일하게 합착되도록 하는 단계, 밀봉제(4)를 경화하는 단계, 단위셀로 컷팅하는 단계를 거쳐서 만들어진다.The LCD cell as described in FIG. 1 generally comprises the steps of forming electrodes 2a and 3a and alignment films 2b and 3b on the upper and lower substrates 2 and 3, and a sealant on the lower substrate 3. Dispensing 4) into a predetermined shape, injecting a predetermined amount of the liquid crystal 4a into the surface of the dispensed lower substrate 3, and moving the upper and lower substrates 2 and 3 into a chamber capable of forming a high vacuum. Arranging them to face each other and arranging them with high accuracy, releasing the vacuum of the chamber so that they are uniformly bonded by atmospheric pressure, curing the sealant 4, and cutting into unit cells. Is made through.

도 2는 기판을 서로 대향시켜 놓고 고정도로 정렬하여 합착하는 단계에 사용되는 종래의 LCD셀 접합공정용 합착장치를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a conventional bonding device for the LCD cell bonding process used in the step of bonding the substrates facing each other and aligned with high accuracy.

도 2를 참조하면, 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)를 서로 접근시켜 밀폐공간을 만들고 진공장치(미도시)를 이용하여 진공으로 만들면 외부와의 압력차이에 의해서 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)에 휨이 발생한다. 상부척(20a)과 하부척(20b)은 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)에 각각 붙어있기 때문에 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)의 휨에 의해서 상부척(20a) 및 하부척(20b)도 휘게 된다.Referring to FIG. 2, when the upper chamber 10a and the lower chamber 10b are approached to each other to create a closed space and a vacuum is made by using a vacuum apparatus (not shown), the upper chamber 10a and Warping occurs in the lower chamber 10b. Since the upper chuck 20a and the lower chuck 20b are attached to the upper chamber 10a and the lower chamber 10b, respectively, the upper chuck 20a and the lower chuck 20b are bent by the bending of the upper chamber 10a and the lower chamber 10b. The chuck 20b is also bent.

상부기판 및 하부기판은 상부척(20a)과 하부척(20b)에 각각 흡착고정되어 서로 마주보고 있다가 합착되는 바, 프레스 역할도 겸하는 상부척(20a) 및 하부척(20b)이 휘게 되면 상부기판과 하부기판의 합착이 정밀하게 이루어지지 않아 제품 불량이 발생하게 된다. 상부척(20a)과 하부척(20b) 사이의 간격은 갭센서(40)에 의해 제어된다.The upper and lower substrates are adsorbed and fixed to the upper chuck 20a and the lower chuck 20b to face each other, and are then bonded to each other. When the upper chuck 20a and the lower chuck 20b, which also serve as a press, are bent, Since the bonding between the substrate and the lower substrate is not precise, product defects occur. The gap between the upper chuck 20a and the lower chuck 20b is controlled by the gap sensor 40.

이러한 휨 현상을 방지하기 위하여 외부와의 압력차를 완화시키기 위한 상부저진공챔버(30a)와 하부저진공챔버(30b)가 더 설치된다. 그러나, 상부척(20a) 및 하부척(20b)의 휨이 많이 감소하지는 않으며, 오히려 장비가 너무 복잡하게 되어 장비유지비용도 많이 들어가고 그 유지보수도 어렵다.In order to prevent such bending, an upper low vacuum chamber 30a and a lower low vacuum chamber 30b are further provided to alleviate the pressure difference with the outside. However, the warp of the upper chuck 20a and the lower chuck 20b does not decrease much, but rather the equipment becomes too complicated, so the equipment maintenance cost is high and its maintenance is difficult.

상술한 바와 같이 종래의 LCD셀 접합공정용 합착장치의 경우, 전부 3개의 진공공간이 형성된다. 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)를 서로 밀착시켰을 때 생기는 밀폐공간과, 상부저진공챔버(30a) 내부와, 하부저진공챔버(30b) 내부가 그것이다. 따라서, 진공공간이 너무 넓기 때문에 진공분위기를 만드는데 시간이 너무 오래 걸리며, 진공펌프의 용량도 매우 커야 한다.As described above, in the conventional LCD cell bonding process bonding apparatus, three vacuum spaces are formed in total. These include a closed space generated when the upper chamber 10a and the lower chamber 10b are brought into close contact with each other, the inside of the upper low vacuum chamber 30a, and the inside of the lower low vacuum chamber 30b. Therefore, the vacuum space is so large that it takes too long to create a vacuum atmosphere, and the capacity of the vacuum pump must be very large.

또한, 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)의 밀착에 의해 생기는 밀폐공간을 진공으로 만들었을 때 외부와의 압력차에 의해서 상부챔버(10a)와 하부챔버(10b)의 변형이 발생하고 이로 인해 이와 붙어 있는 상부척(20a)과 하부척(20b)도 변형되게 된다. 따라서, 상부기판과 하부기판 사이의 간격이 일정치 않게 되어 제품불량을 유발시킨다.In addition, when the closed space created by the close contact between the upper chamber 10a and the lower chamber 10b is made into a vacuum, deformation of the upper chamber 10a and the lower chamber 10b occurs due to a pressure difference with the outside. Due to this, the upper chuck 20a and the lower chuck 20b attached thereto are also deformed. Therefore, the gap between the upper substrate and the lower substrate becomes inconsistent, causing product defects.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 진공공간을 감소시킴과 동시에 상부 및 하부척에 변형이 발생하지 않도록 함으로써 상술한 종래의 문제점을 해결할 수 있는 LCD셀 접합공정용 합착장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a bonding apparatus for the LCD cell bonding process that can solve the above-mentioned conventional problems by reducing the vacuum space and at the same time prevent the deformation of the upper and lower chuck. .

도 1은 LCD 셀의 일반적인 구조를 설명하기 위한 단면도;.1 is a cross-sectional view for explaining a general structure of an LCD cell.

도 2는 종래의 LCD셀 접합공정용 합착장치를 설명하기 위한 도면; 및2 is a view for explaining a conventional bonding device for LCD cell bonding process; And

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 LCD셀 접합공정용 합착장치를 설명하기 위한 도면들이다.3a to 3c are views for explaining the bonding device for the LCD cell bonding process according to an embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 참조번호의 설명 ><Description of Reference Numbers for Main Parts of Drawings>

2, 3, A, B: 기판 2a, 3a: 전극2, 3, A, B: substrates 2a, 3a: electrodes

2b, 3b: 배향막 4, D: 밀봉제2b, 3b: alignment film 4, D: sealant

4a, C: 액정 5, 5': 편광판4a, C: liquid crystal 5, 5 ': polarizing plate

6: 칼라 필터층 10a, 10b, 110a, 110b: 챔버6: color filter layer 10a, 10b, 110a, 110b: chamber

20a, 20b, 120a, 120b: 척20a, 20b, 120a, 120b: chuck

30a, 30b: 저진공챔버 40: 갭센서30a, 30b: low vacuum chamber 40: gap sensor

102: 메인배관 106: 리니어 액츄에이터102: main piping 106: linear actuator

108: 캠 109: 쟈키108: Cam 109: Jockey

114: 자외선램프 115: 누름장치114: ultraviolet lamp 115: pressing device

121: 측정 게이지 122a, 122b: 정전척121: measurement gauge 122a, 122b: electrostatic chuck

107a 내지 107d: 상부척 가압장치107a to 107d: upper chuck pressurizing device

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 LCD셀 접합공정용 합착장치는, 진공형성이 가능한 챔버 내에서 LCD 셀의 상부기판 및 하부기판을 서로 대항시켜 정밀하게 정렬하여 합착시키는 장치이며; 상기 챔버의 윗벽과 떨어져서 공간상에 위치하여 상기 상부기판을 고정하는 상부척; 상기 챔버의 아랫벽과 떨어져서 공간상에 위치하여 상기 하부기판을 고정하는 하부척; 상기 상부척과 하부척이 서로 평행한 상태로 접근하도록 상기 상부척의 가장자리를 동시에 또는 개별적으로 가압하도록 설치된 복수개의 상부척 가압장치; 를 구비하는 것을 특징으로 한다.The LCD cell bonding process bonding apparatus according to the present invention for achieving the above technical problem is a device for precisely aligning and bonding the upper substrate and the lower substrate of the LCD cell against each other in a chamber capable of forming a vacuum; An upper chuck positioned in a space away from an upper wall of the chamber to fix the upper substrate; A lower chuck positioned in the space away from the lower wall of the chamber to fix the lower substrate; A plurality of upper chuck pressurizing devices installed to press the edges of the upper chuck simultaneously or separately so that the upper chuck and the lower chuck are in parallel with each other; Characterized in having a.

여기서, 상기 상부기판과 하부기판이 서로 합착되었을 때 상기 합착부위에 부분적으로 자외선을 조사하도록 설치된 자외선 램프와, 상기 자외선이 조사될 부분이 잘 접합되도록 상기 상부척을 위에서 아래로 누르는 누름장치를 더 구비할 수도 있다.Here, when the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other, an ultraviolet lamp installed to partially irradiate the ultraviolet light on the bonding portion, and a pressing device for pressing the upper chuck from the top down so that the portion to be irradiated with the ultraviolet rays is bonded well. It may be provided.

한편, 본 발명은, 상기 상부척과 하부척의 평행도 및 간격을 측정하는 측정게이지를 더 구비할 수도 있으며, 이 경우 상기 복수개의 상부척 구동장치를 상기 측정게이지에서 나오는 측정결과를 피드백 신호로 하여 각각 개별적으로 동작하거나 동시에 동작하도록 하여 상기 상부척과 하부척이 서로 평행한 상태로 더욱 세밀하게 접근할 수 있도록 할 수 있다.On the other hand, the present invention may further comprise a measuring gauge for measuring the parallelism and the spacing of the upper chuck and the lower chuck, in which case each of the plurality of upper chuck drive device as a feedback signal of the measurement results from the measuring gauge respectively The upper chuck and the lower chuck can be operated in parallel or at the same time to allow more detailed access in parallel with each other.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 LCD셀 접합공정용 합착장치를 설명하기 위한 도면들로서, 도 3a는 정면도이고, 도 3b는 우측면도이며, 도 3c는 상하부척(120a, 120b)의 상세도이다.3a to 3c are views for explaining the bonding device for the LCD cell bonding process according to an embodiment of the present invention, Figure 3a is a front view, Figure 3b is a right side view, Figure 3c is the upper and lower chuck (120a, 120b) This is a detail view.

상부기판(A)과 하부기판(B)은 상부척(120a)과 하부척(120b)에 각각 진공에 의해 흡착고정된다. 하부기판(B)에는 액정(C)이 일정량 떨어뜨려져 있고 밀봉제(sealant, D)가 액정의 외곽으로 돌아가면서 프린트되어 있다. 상부척(120a)은 상부챔버(110a)의 윗벽과 떨어져서 공간상에 위치하며, 하부척(120b)은 하부챔버(110b)의 아랫벽과 떨어져서 공간상에 위치한다.The upper substrate A and the lower substrate B are fixed to the upper chuck 120a and the lower chuck 120b by suction. The lower substrate B has a predetermined amount of liquid crystals C dropped thereon, and a sealant D is printed while the liquid crystal C is turned to the outside of the liquid crystal. The upper chuck 120a is positioned in the space away from the upper wall of the upper chamber 110a, and the lower chuck 120b is positioned in the space away from the lower wall of the lower chamber 110b.

쟈키(109)를 이용하여 상부챔버(110a)와 하부챔버(110b)를 서로 밀착시켜 밀폐공간(V)을 만들고, 메인배관(112)을 통해서 밀폐공간(V)을 진공으로 만든다. 밀폐공간(V)이 진공이 된 때에는 진공중에서도 상하부기판(A, B)이 상하부척(120a, 120b)에서 분리되지 않은 상태로 유지되도록 상하부척(120a, 120b)에 부착된 정전척(122a, 122b)이 작동한다.Using the jockey 109, the upper chamber 110a and the lower chamber 110b are brought into close contact with each other to form a sealed space V, and the sealed space V is vacuumed through the main pipe 112. When the closed space V becomes a vacuum, the electrostatic chucks 122a and 120b attached to the upper and lower chucks 120a and 120b are maintained so that the upper and lower substrates A and B are not separated from the upper and lower chucks 120a and 120b even during the vacuum. 122b) works.

상부척(120a)을 일정량 만큼 하강시키고 상부챔버(110a)에 부착된 카메라(113a 내지 113d)를 이용하여 상부기판(A)과 하부기판(B)의 틀어진 량을 비교하여 이 틀어진 양만큼을 세 개의 캠(108)과 리니어 엑츄에이터(106)를 이용하여 보정하여 얼라인시킨다.The upper chuck 120a is lowered by a predetermined amount and the twisted amounts of the upper substrate A and the lower substrate B are compared using the cameras 113a to 113d attached to the upper chamber 110a to count the amount of this twist. The two cams 108 and the linear actuator 106 are used to correct and align them.

상부척 가압장치(107a 내지 107d)는 상부척(120a)과 하부척(120b)이 서로 평행한 상태로 접근할 수 있도록 상부척(120a)의 가장자리를 가압하게 복수개 설치된다. 상부척 가압장치(107a 내지 107d)는 모터(107)에 의해 구동되며 모두 동시에작동하여 상부척(120a)의 가장자리를 동시에 누를 수도 있고, 개별적으로 작동하여 원하는 가장자리만을 독립적으로 누를 수 있도록 설치된다.A plurality of upper chuck pressing device (107a to 107d) is provided to press the edge of the upper chuck 120a so that the upper chuck 120a and the lower chuck 120b can approach in parallel with each other. The upper chuck pressurizing devices 107a to 107d are driven by the motor 107 and all of them may be operated simultaneously to press the edges of the upper chuck 120a at the same time.

상부척(120a)과 하부척(120b) 사이의 평행도 및 간격은 측정게이지(121)에 의해 측정되며, 이 측정값은 피드백되어 상부척 가압장치(107a 내지 107d)를 제어하여 상부척(120a)과 하부척(120b)이 서로 평행한 상태로 접근할 수 있도록 한다.The parallelism and the distance between the upper chuck 120a and the lower chuck 120b are measured by the measuring gauge 121, and the measured values are fed back to control the upper chuck pressurizing devices 107a to 107d to control the upper chuck 120a. And lower chuck (120b) to approach in parallel with each other.

얼라인이 만족할 수준까지 됐을 경우 밀폐공간(V)으로 일정한 량의 가스를 불어넣어 대기압으로 만든다. 대기압이 되면 상하부기판(A, B)에는 기판면적에 비례하는 힘이 작용하여 상하부기판(A, B)이 일정한 간격을 유지하면서 서로 합착된다. 합착된 기판이 분리되지 않도록 자외선램프(114)를 이용하여 상기 합착부위에 자외선을 조사하여서 밀봉제를 자외선 경화시키고, 이와 동시에 누름장치(115)를 이용하여 상부척(120a)을 위에서 아래로 더 꽉 누른다. 자외선조사와 누름작업에 의해서 합착이 완료되면 상하부기판(A, B)을 밖으로 빼낸다.When the alignment is satisfactory, a certain amount of gas is blown into the closed space (V) to bring it to atmospheric pressure. At atmospheric pressure, a force proportional to the area of the substrate is applied to the upper and lower substrates A and B so that the upper and lower substrates A and B are bonded to each other while maintaining a constant interval. In order to prevent the bonded substrate from being separated, the sealant is ultraviolet-cured by irradiating the bonded portion with ultraviolet rays using an ultraviolet lamp 114, and at the same time, the upper chuck 120a is further moved upwards and downwards by using the pressing device 115. Press firmly After bonding is completed by UV irradiation and pressing, upper and lower substrates (A, B) are pulled out.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 기판 고정기능 및 프레스 기능을 겸하는 상하부척(120a, 120b)이 챔버(110a, 110b)와 떨어져 있기 때문에 챔버(110a, 110b)가 압력차에 의해 변형될 때에도 이에 영향을 받지 않고 원 상태를 그대로 유지한다. 따라서, 기판(A, B)이 평행한 상태로 서로 접근할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, since the upper and lower chucks 120a and 120b, which serve as a substrate fixing function and a press function, are separated from the chambers 110a and 110b, even when the chambers 110a and 110b are deformed by the pressure difference. Remain unaffected. Thus, the substrates A and B can approach each other in a parallel state.

그리고, 측정게이지(121)의 신호를 피드백 신호로 하여 복수개의 상부척 가압장치(107a 내지 107d)가 작동하여 상부척(120a) 가장자리를 동시에 누르거나 개별적으로 누르도록 함으로써 평행한 상태로의 접근을 더욱 세밀하게 할 수 있다.Then, using the signal of the measuring gauge 121 as a feedback signal, a plurality of upper chuck pressurizing devices 107a to 107d are operated to simultaneously press or individually press the edges of the upper chuck 120a to access the parallel state. It can be more detailed.

또한, 종래와 같은 상부저진공챔버(30a)와 하부저진공챔버(30b)가 더 이상 필요없기 때문에 장비가 복잡하지 않아 유지보수가 쉽고, 진공공간이 작기 때문에 진공을 만드는데 시간이 적게 들어 생산효율이 증가하고, 대용량의 진공펌프가 필요없다.In addition, since the upper low vacuum chamber 30a and the lower low vacuum chamber 30b as in the prior art are not required anymore, the equipment is not complicated, and maintenance is easy, and the vacuum space is small, so it takes less time to make a vacuum and thus the production efficiency This increases and eliminates the need for a large capacity vacuum pump.

본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and it is apparent that many modifications are possible by those skilled in the art within the technical spirit of the present invention.

Claims

진공형성이 가능한 챔버 내에서 LCD 셀의 상부기판 및 하부기판을 서로 대항시켜 정밀하게 정렬하여 합착시키는 LCD셀 접합공정용 합착장치로서,It is a bonding device for LCD cell joining process of precisely aligning and bonding the upper and lower substrates of the LCD cell against each other in a chamber capable of forming a vacuum.

상기 챔버의 윗벽과 떨어져서 공간상에 위치하여 상기 상부기판을 고정하는 상부척;An upper chuck positioned in a space away from an upper wall of the chamber to fix the upper substrate;

상기 챔버의 아랫벽과 떨어져서 공간상에 위치하여 상기 하부기판을 고정하는 하부척;A lower chuck positioned in the space away from the lower wall of the chamber to fix the lower substrate;

상기 상부척과 하부척이 서로 평행한 상태로 접근하도록 상기 상부척의 가장자리를 동시에 또는 개별적으로 가압하도록 설치된 복수개의 상부척 가압장치; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD셀 접합공정용 합착장치.A plurality of upper chuck pressurizing devices installed to press the edges of the upper chuck simultaneously or separately so that the upper chuck and the lower chuck are in parallel with each other; LCD cell bonding process bonding apparatus characterized in that it comprises a.

제1항에 있어서, 상기 상부기판과 하부기판이 서로 합착되었을 때 상기 합착부위에 자외선을 조사하도록 설치된 자외선 램프와, 상기 상부척을 위에서 아래로 누르는 누름장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD셀 접합공정용 합착장치.The LCD cell according to claim 1, further comprising an ultraviolet lamp installed to irradiate ultraviolet rays to the bonding portion when the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other, and a pressing device for pressing the upper chuck downward from the top. Bonding device for joining process.

제1항에 있어서, 상기 상부척과 하부척의 평행도 및 간격을 측정하는 측정게이지를 더 구비하며, 상기 상부척과 하부척이 서로 평행한 상태로 접근하도록 상기 복수개의 상부척 구동장치는 상기 측정게이지에서 나오는 측정결과를 피드백 신호로 하여 각각 개별적으로 동작하거나 동시에 동작하는 것을 특징으로 하는 LCD셀접합공정용 합착장치.According to claim 1, further comprising a measuring gauge for measuring the parallelism and the spacing of the upper chuck and the lower chuck, wherein the plurality of upper chuck drive device to exit from the measuring gauge so that the upper chuck and the lower chuck approaches in parallel with each other A bonding device for an LCD cell bonding process, characterized in that the measurement results as a feedback signal to operate individually or simultaneously.