KR20040043987A - Multi-side sample holder and measuring method of photoelectron spectroscopy using the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 다면 시료대 및 이를 이용한 광전자 분광기의 측정방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대량의 시료를 장착할 수 있는 다면 시료대 및 이를 이용한 광전자 분광기의 측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-sided sample stage and a method for measuring the photoelectron spectrometer using the same, and more particularly, to a multi-sided sample stage and a method for measuring the photoelectron spectrometer using the same can be mounted.
반도체 소자는 반도체 기판 상에 수많은 공정을 반복적으로 되풀이하여 여러 가지 구성요소를 형성함으로서 제조된다. 상기 공정은 다양한 종류의 막 형성, 상기 막들에 대한 사진 식각 공정, 상기 막의 평탄화 공정 및 세정 공정 등과 같이 다양한 종류의 공정이다. 따라서, 기판 자체에 대한 특성을 파악하는 것뿐만 아니라, 각 공정에 사용되는 물질을 정확하게 제어하는 것이 매우 중요하다. 또한, 각 공정을 진행하기 전후의 공정 상태를 점검하는 것은 매우 중요하다. 공정을 반복적으로 진행하면서 오염될 위험의 소지가 높기 때문이다.Semiconductor devices are fabricated by iteratively repeating numerous processes on a semiconductor substrate to form various components. The process is various kinds of processes such as various kinds of film formation, photolithography process for the films, planarization and cleaning process of the film, and the like. Therefore, it is very important not only to understand the characteristics of the substrate itself, but also to precisely control the materials used in each process. In addition, it is very important to check the process state before and after each process. This is because there is a high risk of contamination during the process.
공정 상태를 점검하기 위한 분석장비로는 화학 분석용 전자 분광기(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis;이하, 'ESCA'라고 한다.)라고 불리우는 X선 광전자 분광기(X-ray Photoelectron Spectroscopy;이하, 'XPS'라 한다.) 및 오제분광기(Auger Electron Spectroscopy;이하, 'AES'라고 한다.) 등과 같은 다양한 종류의 분광기가 사용된다.An analytical device for checking the process status is called X-ray Photoelectron Spectroscopy (hereinafter referred to as 'XPS') called Electron Spectroscopy for Chemical Analysis (hereinafter referred to as 'ESCA'). And various types of spectrometers, such as Auger Electron Spectroscopy (hereinafter referred to as AES).
상기 광전자분광기들을 이용한 분석방법은 분석하고자 하는 시료에 X선과 같은 광원을 사용하여 빛을 조사함으로서 실행된다. 빛이 조사되면, 상기 시료를 구성하고 있는 물질은 상기 조사된 빛에 의해 전자가 분리되고, 상기 전자가 분리되는 에너지에 상응하는 만큼의 에너지를 빛으로 방출하게 된다. 따라서, 상기 방출된 에너지를 검출하여 분석함으로서 상기 시료를 이루고 있는 물질에 대한 정보를 얻게 된다. 미합중국 특허 6,326,617(Tomie et al.)에 광전자 분광기가 개시되어 있으며, 대한민국 실용신안 20-0139961에 X선 광전자 분광기가 개시되어 있다.The analysis method using the photoelectron spectroscopy is performed by irradiating light to a sample to be analyzed using a light source such as X-rays. When light is irradiated, the material constituting the sample is separated by electrons by the irradiated light, and emits energy as light corresponding to the energy from which the electrons are separated. Thus, by detecting and analyzing the emitted energy, information on the material of the sample is obtained. US Patent No. 6,326,617 (Tomie et al.) Discloses an optoelectronic spectrometer, and Korean Utility Model 20-0139961 discloses an X-ray photoelectron spectrometer.
상기 분광기는 측정과정이 진공에서 이루어지므로, 챔버 내부는 고진공을 이루고 있다. 상기 고진공의 분위기를 유지하기 위해서는 시료를 외부로부터 도입하고, 측정 후, 다시 외부로 유출하기 위한 중간 챔버를 필요로 한다. 즉, 외부로부터 시료를 중간 챔버로 도입하고 상기 중간 챔버를 진공상태로 형성한 후, 상기 중간 챔버로부터 측정이 진행되는 챔버로 도입하게 된다. 따라서, 분석시간 중에서 시료를 도입하는 시간이 차지하는 비중은 매우 크다.The spectrometer is a high vacuum in the chamber because the measurement process is performed in a vacuum. In order to maintain the atmosphere of the high vacuum, an intermediate chamber for introducing a sample from the outside, and outflowing again after the measurement is required. That is, the sample is introduced into the intermediate chamber from the outside and the intermediate chamber is formed in a vacuum state, and then the sample is introduced from the intermediate chamber into the chamber where the measurement proceeds. Therefore, the ratio of the time which introduce | transduces a sample in analysis time is very large.
상기 분석하고자 하는 시료들은 시료대에 장착되어 상기 분광기의 챔버 내로 도입된다. 이때, 상기 분광기의 챔버를 고진공으로 유지하기 위해, 시료대의 크기 및 상기 시료대를 도입하기 위한 분광기의 통로는 일정 크기 이하로 형성되어야 한다. 따라서, 일반적으로 시료대에 부착되어 챔버에 도입할 수 있는 시료의 최대 개수는 6개 정도이다.The sample to be analyzed is mounted on a sample stage and introduced into the chamber of the spectrometer. At this time, in order to maintain the chamber of the spectrometer at high vacuum, the size of the sample stage and the passage of the spectroscope for introducing the sample stage should be formed to a predetermined size or less. Therefore, in general, the maximum number of samples attached to the sample stage and introduced into the chamber is about six.
일반적으로, 상기 시료대는 시료를 장착하여 분광기 설비의 챔버 내에 도입하고 설치하기 위한 몸체 및 시료를 부착할 수 있는 판으로 이루어지며, 상기 시료는 상기 판에 핀에 의해 고정된다. 즉, 시료를 장착할 수 있는 면적이 한정되어 있다.In general, the sample stage is composed of a plate to which a sample and a body for attaching and installing the sample in the chamber of the spectroscopic equipment is mounted, the sample is fixed to the plate by a pin. That is, the area in which a sample can be mounted is limited.
따라서, 시료를 상기 분광기의 챔버 내로 도입하는 시간이 오래 걸리는 것에비해, 한번에 챔버 내로 도입할 수 있는 시료의 개수는 매우 적다. 측정하고자 하는 시료의 개수가 많아지면, 측정 시간을 제외하고도 시료를 챔버 내로 도입하기 위해 매우 많은 시간을 소비하여야 한다. 이로 인해, 시료를 챔버로 도입하고 다시 챔버로부터 외부로 유출하기 위해 매우 많은 시간이 지연되어, 결과적으로 분석 결과의 도출이 지연되며, 이로 인해, 공정에 적용하기까지 시간이 지연되게 된다.Therefore, the number of samples that can be introduced into the chamber at one time is very small, compared to the long time to introduce the samples into the chamber of the spectrometer. If the number of samples to be measured increases, very much time must be spent to introduce the sample into the chamber except for the measurement time. This results in a very large delay in introducing the sample into the chamber and outflowing back out of the chamber, which in turn delays the derivation of the analysis results, which in turn delays the time to application to the process.
따라서, 본 발명의 제1목적은 많은 개수의 시료를 장착할 수 있는 다면 시료대를 제공하는 것이다.Accordingly, a first object of the present invention is to provide a multi-sided sample stage capable of mounting a large number of samples.
본 발명의 제2목적은 많은 개수의 시료를 동시에 도입하여 단시간에 측정할 수 있는 광전자 분광기의 측정방법을 제공하는 것이다.A second object of the present invention is to provide a method for measuring an optoelectronic spectrometer, which is capable of measuring a short time by introducing a large number of samples at the same time.
도 1a 내지 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 다면 시료대를 나타낸 개략도이다.1A to 1B are schematic views showing a multi-faceted sample stage according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 다면 시료대를 이용한 X선 광전자 분광기의 측정방법을 나타낸 순서도이다.2 is a flowchart illustrating a method of measuring an X-ray photoelectron spectrometer using a multi-faceted sample stage according to an embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 다면 시료대를 이용한 광전자 분광기의 측정방법에 대한 개략도이다.3A to 3B are schematic views of a method for measuring an optoelectronic spectrometer using a multi-faceted sample bed according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100 : 다면 시료대110 : 시료100: multi-faceted sample stand 110: sample
120 : 시료장착면120a : 제1모서리120: sample mounting surface 120a: first corner
120b : 제2모서리120c : 제3모서리120b: second corner 120c: third corner
120d : 제4모서리130a : 제1연결면120d: fourth corner 130a: first connection surface
130b : 제2연결면140a : 제1연결부130b: second connection surface 140a: first connection portion
140b : 제2연결부150 : 고정판140b: second connection portion 150: fixed plate
180 : 측정방향180: measuring direction
상기 제1목적을 달성하기 위한 본 발명의 광전자 분광기용 다면 시료대는, 회전축과 평행하고, 상기 회전축을 중심으로 연결된 복수개의 시료 장착면들 및 상기 복수개의 시료 장착면들의 단부에 연결된 회전부들로 이루어진다.The multi-faceted sample stage for an optoelectronic spectroscope of the present invention for achieving the first object includes a plurality of sample mounting surfaces parallel to the rotation axis and connected to the ends of the plurality of sample mounting surfaces. .
상기 제2목적을 달성하기 위한 본 발명의 광전자 분광기의 측정방법은, 복수개의 시료 장착면을 갖는 다면 시료대의 각 시료 장착면에 고정판을 이용하여 복수개의 시료를 장착하는 단계, 상기 다면 시료대를 분석장비 내로 도입하는 단계, 상기 다면 시료대의 일면에 장착된 시료에 광을 조사하여 상기 시료를 분석하는 단계 및 상기 다면 시료대를 회전시켜 상기 다면 시료대의 다른 면에 장착된 시료에 광을 조사하여 상기 시료를 분석하는 단계를 포함한다.In the method of measuring the photoelectron spectrometer of the present invention for achieving the second object, the step of mounting a plurality of samples on each sample mounting surface of the multi-faceted sample table using a plurality of sample mounting surface, the multi-sided sample table Introducing into the analysis equipment, irradiating light onto a sample mounted on one surface of the multi-faceted sample stage and analyzing the sample; and rotating the multi-faceted sample stage to irradiate light on a sample mounted on the other side of the multi-faceted sample stage. Analyzing the sample.
이와 같이, 시료대의 면수를 복수개로 구비함으로서, 한번에 분광기와 같은 측정장비에 많은 개수의 시료를 도입할 수 있다. 따라서, 동일 시간에 대량의 시료를 측정장비에 도입하여 측정 시간을 단축시킬 수 있다.Thus, by providing a plurality of facets of the sample stage, a large number of samples can be introduced into the measuring equipment such as a spectrometer at a time. Therefore, it is possible to shorten the measurement time by introducing a large amount of samples into the measuring equipment at the same time.
이하, 본 발명을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.
본 발명의 광전자 분광기용 다면 시료대는, 회전축과 평행하고, 상기 회전축을 중심으로 연결된 복수개의 시료 장착면들 및 상기 복수개의 시료 장착면들의 단부에 연결된 회전부들로 이루어진다.The multi-faceted sample table for the optoelectronic spectroscope of the present invention includes a plurality of sample mounting surfaces parallel to the rotation axis and connected to the ends of the plurality of sample mounting surfaces.
이때, 상기 시료 장착면들에는 시료를 고정시키는 고정판이 구비되고, 상기 복수개의 시료 장착면들은 180°보다 작은 각도를 갖고 연결된다.In this case, the sample mounting surfaces are provided with a fixing plate for fixing the sample, the plurality of sample mounting surfaces are connected at an angle smaller than 180 °.
상기 복수개의 시료 장착면들은 직사각형 또는 정사각형이다.The plurality of sample mounting surfaces is rectangular or square.
상기 다면 시료대를 이용한 본 발명의 광전자 분광기의 측정방법은, 복수개의 면들로 이루어진 다면 시료대의 각 면에 고정판을 이용하여 복수개의 시료를 장착한다. 상기 다면 시료대를 분석장비 내로 도입한다. 상기 다면 시료대의 일면에 장착된 시료에 광을 조사하여 상기 시료를 분석하며, 이때, 상기 광은 X선 일 수 있다. 상기 다면 시료대를 0 내지 360°의 범위에서 회전시켜 상기 다면 시료대의 다른 면에 장착된 시료에 광을 조사하여 상기 시료를 분석한다.In the method for measuring the photoelectron spectrometer of the present invention using the multi-faceted sample table, a plurality of samples are mounted on each face of the multi-faceted sample table consisting of a plurality of surfaces using a fixed plate. The multifaceted sample stage is introduced into the analysis equipment. The sample is analyzed by irradiating light onto a sample mounted on one surface of the multi-faceted sample table, wherein the light may be X-rays. The multifaceted sample stage is rotated in a range of 0 to 360 ° to irradiate light on a sample mounted on the other side of the multifaceted sample stage to analyze the sample.
상기 시료에 광을 조사하여 분석하고, 상기 다면 시료대를 회전시켜 다른 면의 시료를 분석하는 과정을 원하는 만큼 수회 반복한다.The sample is irradiated with light and analyzed, and the process of analyzing the sample on the other side by rotating the sample bed is repeated as many times as desired.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1a 내지 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 다면 시료대를 나타낸 개략도이다.1A to 1B are schematic views showing a multi-faceted sample stage according to an embodiment of the present invention.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 다면 시료대(100)는 시료(110)를 장착할 수 있는 복수개의 시료장착면(120)들로 이루어져있다. 상기 시료장착면(120)은 정사각형 또는 직사각형의 형태로서 그 개수는 2개 이상으로 구성할 수 있다. 즉, 판과 같은 형상으로 양면으로만 이루어질 수 있으며, 서로 연결되는 각도에 따라 3개, 4개 또는 5개 이상으로 이루어질 수 있다. 상기 각도는 180°보다 작은 것으로 한다. 그러나, 시료의 크기를 감안하여 상기 시료가 부착될 수 있을 정도의 크기를 확보할 수 있는 면수에서 한정하는 것이 바람직하다. 상기 복수개의 시료장착면(120)들은 동일한 길이를 갖고 동일한 방향으로 진행하며 서로 연결되어 있다. 따라서, 하나의 시료장착면(120)을 기준으로 연결되기 시작하여 마지막 시료장착면(120)까지 연결되게 된다.Referring to FIGS. 1A and 1B, the multi-faceted sample stage 100 includes a plurality of sample mounting surfaces 120 on which the sample 110 may be mounted. The sample mounting surface 120 has a square or rectangular shape, the number of which may be configured to two or more. That is, it may be made only on both sides in a plate-like shape, it may be made of three, four or five or more depending on the angle connected to each other. The said angle shall be smaller than 180 degrees. However, in consideration of the size of the sample, it is preferable to limit the number of surfaces to secure the size to which the sample can be attached. The plurality of sample mounting surfaces 120 have the same length and travel in the same direction and are connected to each other. Therefore, one sample mounting surface 120 is started to be connected to the last sample mounting surface 120 is connected.
상기 하나의 시료장착면(120)에 있어서, 평행한 2개의 모서리를 제1모서리(120a) 및 제2모서리(120b)라고 할 때, 상기 제1모서리(120a) 및 제2모서리(120b)와 수직한 2개의 모서리는 제3모서리(120c) 및 제4모서리(120d)라고 한다. 상기 각각의 시료장착면(120)들은 각각의 제1모서리(120a)들 및 제2모서리(120b)들이 연결되어 몸체를 이루고 상기 제1 내지 제2모서리(120a, 120b)들을 제외한 제3모서리(120c)들 및 제4모서리(120d)들은 각각 새로운 면을 형성한다. 즉, 각각의 시료장착면(120)들의 제3모서리(120c)들이 모여서 제1연결면(130a)을 형성하고, 제4모서리(120d)들이 모여서 제2연결면(130b)을 형성한다. 상기 제1연결면(130a)및 제2연결면(130b)은 측정장치에 도입하거나 상기 측정장치로부터 유출할 때 또는 상기 측정 장치에 장착할 때 각각 사용되며 측정을 위해 상기 다면 시료대를 회전할 때 사용되는 회전 연결부로써 사용된다. 따라서, 상기 제1연결면(130a) 및 제2연결면(130b)에는 상기 다면 시료대를 이동하는 이동부와 체결되는 제1연결부(140a) 및 상기 측정장치와 연결될 수 있는 제2연결부(140b)가 위치한다.In the one sample mounting surface 120, when two parallel edges are referred to as the first edge 120a and the second edge 120b, the first edge 120a and the second edge 120b are formed. The two vertical edges are referred to as the third corner 120c and the fourth corner 120d. Each of the sample mounting surfaces 120 is connected to each of the first edges 120a and the second edges 120b to form a body, and includes a third edge except for the first to second edges 120a and 120b. 120c) and fourth corner 120d each form a new surface. That is, the third edges 120c of the respective sample mounting surfaces 120 are gathered to form the first connection surface 130a, and the fourth corners 120d are formed to form the second connection surface 130b. The first connecting surface 130a and the second connecting surface 130b are respectively used when introduced into or withdrawn from the measuring device, or when mounted on the measuring device, and are used to rotate the sample bed for measurement. It is used as a rotary connection when used. Therefore, the first connection surface (130a) and the second connection surface (130b) is connected to the first connecting portion (140a) and the measuring device that is coupled to the moving part for moving the multi-faceted sample stage and the second connecting portion (140b) ) Is located.
각각의 시료장착면(120)들의 제1 내지 제2모서리(120a, 120b)는 동일한 길이를 가지나, 각각의 제3 내지 제4모서리(120c, 120d)는 서로 다른 길이를 가질 수 있다. 상기 시료장착면(120)의 개수 및 상기 제3 내지 제4모서리(120c, 120d)의 길이에 따라 상기 시료장착면(120)의 진행방향과 수직한 방향으로의 제1연결면(130a) 및 제2연결면(130b)의 단면은 삼각형 또는 사각형과 같은 다각형의 형상을 한다.The first to second corners 120a and 120b of each of the sample mounting surfaces 120 may have the same length, but each of the third to fourth corners 120c and 120d may have a different length. A first connection surface 130a in a direction perpendicular to a traveling direction of the sample mounting surface 120 according to the number of the sample mounting surfaces 120 and the lengths of the third to fourth edges 120c and 120d, and The cross section of the second connection surface 130b has the shape of a polygon such as a triangle or a quadrangle.
다면 시료대(100)의 각각의 시료장착면(120)에는 시료(110)를 장착할 수 있는 고정판(150)이 구비된다. 상기 고정판(150)은 시료장착면(120)과 일체형으로서 상기 시료장착면(120)의 적어도 2개의 모서리를 따라 구비된다. 즉, 시료(110)를 장착할 수 있는 공간을 확보하기 위해 상기 시료장착면(120)의 길이 방향을 따라 구비된다.Each sample mounting surface 120 of the multi-faceted sample stage 100 is provided with a fixing plate 150 for mounting the sample (110). The fixing plate 150 is provided along at least two corners of the sample mounting surface 120 as a single body with the sample mounting surface 120. That is, in order to secure a space for mounting the sample 110 is provided along the longitudinal direction of the sample mounting surface 120.
상기 고정판(150)은 시료장착면(120)의 모서리 길이 방향을 따라 구비되므로 시료의 일면 전체를 고정시켜 시료대가 이동하더라고 초기에 장착한 시료의 상태를 그대로 유지할 수 있다.Since the fixing plate 150 is provided along the edge length direction of the sample mounting surface 120, the entire surface of the sample may be fixed to maintain the state of the initially mounted sample even when the sample stage moves.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 다면 시료대를 이용한 X선 광전자 분광기의 측정방법을 나타낸 순서도이다.2 is a flowchart illustrating a method of measuring an X-ray photoelectron spectrometer using a multi-faceted sample stage according to an embodiment of the present invention.
X선 광전자 분광기는 시료를 도입하기 위한 중간 챔버, 도입된 시료를 이동시키기 위한 이동부, 도입된 시료를 측정하기 위한 측정 챔버, 상기 시료를 측정하기 위한 측정부, 상기 측정 데이터를 분석하기 위한 분석부 및 상기 중간 챔버 및 측정 챔버의 진공을 형성하기 위한 진공펌프부 등으로 이루어진다.An X-ray photoelectron spectrometer includes an intermediate chamber for introducing a sample, a moving unit for moving the introduced sample, a measuring chamber for measuring the introduced sample, a measuring unit for measuring the sample, and an analysis for analyzing the measurement data. And a vacuum pump part for forming a vacuum of the intermediate chamber and the measurement chamber.
도 2를 참조하면, 다면 시료대의 각각의 시료장착면에 측정하고자 하는 시료를 장착한다.(S200) 상기 시료는 시료장착면에 구비된 고정판에 의해 지지된다.Referring to Figure 2, the sample to be measured is mounted on each sample mounting surface of the multi-faceted sample table. (S200) The sample is supported by a fixed plate provided on the sample mounting surface.
상기 다면 시료대의 제1연결면을 중간 챔버의 이동부에 체결한 후, 상기 시료를 측정 챔버로 이동시키기 위해 상기 중간 챔버 내부를 진공 상태로 형성한다. 상기 중간 챔버로부터 측정 챔버로 상기 다면 시료대를 상기 이동부를 이용하여 도입한다.(S210) 상기 다면 시료대의 제2연결면을 상기 측정 챔버 내의 연결부에 체결한 후, 상기 이동부를 측정 챔버로부터 유출시킨다.After coupling the first connection surface of the multi-faceted sample table to the moving part of the intermediate chamber, the inside of the intermediate chamber is formed in a vacuum state to move the sample to the measurement chamber. The multi-faceted sample table is introduced into the measuring chamber from the intermediate chamber by using the moving unit. (S210) After coupling the second connection surface of the multi-faceted sample table to the connection unit in the measuring chamber, the moving unit is discharged from the measuring chamber. .
상기 도입된 다면 시료대의 측정하고자 하는 시료에 대해 X선을 조사하고 상기 조사된 X선에 의해 시료로부터 방출된 광전자를 측정하고 분석하여 상기 시료를 분석한다.(S220)If the sample is introduced, the sample to be measured is irradiated with X-rays and the sample is analyzed by measuring and analyzing photoelectrons emitted from the sample by the irradiated X-rays (S220).
하나의 시료에 대한 측정이 완결되면, 도입된 시료들에 대한 측정이 완결되었는지의 여부를 판단한다.(S230)When the measurement on one sample is completed, it is determined whether the measurement on the introduced samples is completed (S230).
도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 다면 시료대를 이용한 광전자 분광기의 측정방법에 대한 개략도이다.3A to 3B are schematic views of a method for measuring an optoelectronic spectrometer using a multi-faceted sample bed according to an embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3b를 참조하면, 하나의 시료장착면(120)에 장착된 시료(110)들에 대한 측정이 모두 완결되면 상기 측정이 완결된 시료장착면(120)과 인접한 시료장착면(120) 또는 측정하고자 하는 다른 시료장착면이 측정방향(180)과 마주하도록 상기 다면 시료대(100)를 회전시킨다.(S240) 상기 다면 시료대(100)는 회전축(190)을 중심으로 0 내지 360°의 범위에서 회전하여 전체 다면 시료대(100)에 대해 측정을 진행할 수 있다.3A to 3B, when all the measurements for the samples 110 mounted on one sample mounting surface 120 are completed, the sample mounting surface 120 adjacent to the sample mounting surface 120 where the measurement is completed is completed. Or rotate the multi-faceted sample stage 100 such that another sample mounting surface to be measured faces the measurement direction 180. (S240) The multi-faceted sample stage 100 is 0 to 360 about the rotation axis 190. By rotating in the range of ° can measure the entire multi-faceted sample stage 100.
상기 측정 및 회전을 반복하여 모든 시료에 대한 측정이 완결되면, 다면 시료대를 유출한다.(S250)When the measurement for all the samples is completed by repeating the measurement and rotation, the sample bed is drained. (S250)
상기 시료들은 상기 다면 시료대를 회전시키며 측정하여도, 고정판에 의해 단단히 지지되므로 초기에 설정한 위치에서 이탈하거나, 유실될 위험이 없다. 또한, 접착제의 사용을 배제하여 진공 상에서 접착물에 의해 진공도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.Even if the sample is measured while rotating the multi-faceted sample table, the sample is firmly supported by the fixing plate, so there is no risk of leaving or losing the initial set position. In addition, the use of the adhesive can be eliminated to prevent the vacuum degree from being lowered by the adhesive in the vacuum.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 복수개의 면으로 이루어진 다면 시료대의 각각의 면에 시료를 고정할 수 있는 고정판을 구비하고, 상기 다면 시료대를 측정장치 내에서 360°까지 회전하며 각 면에 장착된 시료를 측정한다.As described above, according to the present invention, there is provided a fixing plate capable of fixing the sample to each face of the face sample table consisting of a plurality of faces, and the face sample table is mounted on each face while rotating by 360 ° in the measuring device. The prepared sample.
이와 같이, 시료대의 시료측정 면수를 복수개로 구비함으로서, 한번에 분광기와 같은 측정장비에 많은 개수의 시료를 도입할 수 있다. 따라서, 상기 면들을 포함하는 시료대를 회전하면서, 많은 개수의 시료를 측정할 수 있다. 즉, 한번의 시료대 도입에 의해 다수의 시료를 측정하여 시료 도입 반복에 의한 시간을 단축함으로서 측정의 효율성을 향상시킬 수 있다.As described above, by providing a plurality of sample measuring surfaces, a large number of samples can be introduced into a measuring device such as a spectrometer at a time. Therefore, a large number of samples can be measured while rotating the sample stage including the surfaces. That is, the measurement efficiency can be improved by measuring a plurality of samples by the introduction of one sample stage and shortening the time due to the repeated sample introduction.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. And can be changed.
Claims (8)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020072467A KR20040043987A (en) | 2002-11-20 | 2002-11-20 | Multi-side sample holder and measuring method of photoelectron spectroscopy using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020072467A KR20040043987A (en) | 2002-11-20 | 2002-11-20 | Multi-side sample holder and measuring method of photoelectron spectroscopy using the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040043987A true KR20040043987A (en) | 2004-05-27 |
Family
ID=37340381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020020072467A KR20040043987A (en) | 2002-11-20 | 2002-11-20 | Multi-side sample holder and measuring method of photoelectron spectroscopy using the same |
Country Status (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR20040043987A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9267879B2 (en) | 2013-09-17 | 2016-02-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ellipsometer for detecting surface |
-
2002
- 2002-11-20 KR KR1020020072467A patent/KR20040043987A/en not_active Application Discontinuation
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|---|---|---|---|---|
| US9267879B2 (en) | 2013-09-17 | 2016-02-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ellipsometer for detecting surface |
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