KR20040043234A - 형광측정기기의 광학계 - Google Patents

형광측정기기의 광학계 Download PDF

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Abstract

본 발명은 종래의 형광측정기기의 광학계에 있어서, 형광을 인가하는 광원과, 상기 광원에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구가 형성된 제1차단막과, 상기 광원에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터와, 상기 제1차단막과 상기 대역통과필터를 통과한 빛을 시료에 조사시키기 위해 시료를 담는 채널과, 상기 채널에서 발산되는 빛 중 상기 광원으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구를 포함하는 제2차단막과, 상기 제2차단막을 통과한 빛을 감지하는 광센서를 포함하여 구성된 형광측정기기의 광학계를 제공함으로써, 마이크로 가공기법을 사용하여 소형화가 가능하며, 제1차단막과 제2차단막에 의해 광원에서 조사되는 빛을 대부분 차단하여 상기 광센서에 검출되는 것을 방지하여 오프셋 발생하지 않도록 한다.

Description

형광측정기기의 광학계{OPTICAL SYSTEM IN FLUORESCENCE DETECTION EQUIPMENT}
본 발명은 형광측정기기에 관한 것으로서, 상세하게는 신호대 잡음비가 높은 형광신호를 검출하는 형광측정기기의 광학계에 관한 것이다.
형광측정기기란 형광을 이용하여 물질의 특성을 검사하는 장치이며 형광측정기기의 광학계란 상기 형광측정기기에 있어서 시료에서 나오는 형광을 광원에서 조사되는 빛과 분리하여 측정하는 장치이다.
도 1은 종래의 형광측정기기의 광학계의 구조를 도시한 개념도이다.
종래의 형광측정기기의 광학계는 형광을 인가하는 광원(10)과, 상기 광원(10)에서 발산되는 빛(11) 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터(20)와, 상기 대역통과필터(20)를 통과한 빛(11)을 시료(72)에 수렴시켜 조사하도록 상기 대역통과필터(20)의 하면에 설치된 수렴렌즈(30)와, 상기 수렴렌즈(30)를 통과한 빛이 시료(72)에 조사되도록 시료(72)를 담는 채널(72)과, 상기 채널(72)과 상기 수렴렌즈(30)사이에 설치되어 상기 광원(10)에서 발산되는 빛(11)은 투과시키며 상기 시료(72)에서 발산되는 형광빛(71)은 반사시키는 이색성(dichromatic)거울(40)과, 상기 이색성(dichromatic)거울에 반사된 빛(72)을 평행광으로 만들기 위한 렌즈(50)와, 상기 렌즈(50)의 후면에 설치되어 상기 렌즈(50)를 통과한 빛을 감지하는 광센서(60)를 포함하여 구성된다.
상기 광원(10)은 레이저 또는 특정 파장영역을 포함하는 빛을 발산한다.
상기 광센서(60)는 광다이오드로 구성된다.
상기와 같은 종래의 형광측정기기의 광학계는 광원(10)에서 인가된 빛(11)이 대역통과필터(20)를 통과하면서 일정한 영역의 주파수를 가지게 되며, 상기 수렴렌즈(30)를 통과하여 상기 채널에 포함된 시료(72)를 비추게 된다. 상기 시료(72)에 빛(11)이 조사되면, 상기 시료(72)에 포함된 형광물질이 여기 되어 광원에서 인가된 빛(11)보다 파장이 수십 나노미터 긴 형광(71)이 방사된다. 상기 광원(10)에서 인가된 빛(11)은 대부분 상기 채널(73)을 통과하고, 일부 상기 채널(73)에서 반사되어도 상기 이색성 거울에서 반사되지 않고 상측으로 진행된다.
상기 시료(72)에서 방사된 형광(71)중 상측으로 진행 한 빛은 상기 이색성거울(40)에 반사되어 상기 렌즈(50)를 통과하여 상기 광센서(60)에 의해서 검출이 된다.
상기와 같이 종래의 형광측정기기의 광학계는 상기 광원(10)에서 조사된 빛(11)이 상기 광센서(60)에 검출되어 발생하는 오프셋 문제점은 없으나, 마이크로 가공기법을 사용하여 소형화 하고자 하는 경우 광학계를 구성하기는 매우 어렵다. 따라서, 소형 형광측정기기를 이용한 휴대용 장치에는 이러한 광학계가 적합하지 않다.
도2는 종래의 형광측정기기의 광학계의 다른 예를 도시한 개념도이다.
종래의 형광측정기기의 광학계는 형광을 인가하는 광원(10)과, 상기 광원(10)에서 발산되는 빛(11) 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터(20)와, 상기 대역통과필터(20)를 통과한 빛(11)을 시료(72)에 수렴시켜 조사하도록 상기 대역통과필터(20)의 하면에 설치된 수렴렌즈(30)와, 상기 수렴렌즈(30)를 통과한 빛이 시료(72)에 조사되도록 시료(72)를 담는 채널(72)과, 상기 채널(72)을 통과한 빛을 평행광으로 만들어주는 렌즈(150)와, 상기 렌즈(150)를 통과한 빛 중 상기 시료(172)에서 발산되는 빛만 통과시키는 칼라필터(180)와, 상기 칼라필터(180)를 통과한 빛을 수렴시키는 렌즈(190)와 상기 렌즈(190)를 통과한 빛을 감지하는 광센서(160)를 포함하여 구성된다.
상기와 같이 종래의 형광측정기기의 광학계의 다른 예는 구조가 적층되어 있어 마이크로 가공방법을 이용하여 제작이 가능하므로 크기의 소형화가 가능하나, 상기 광원(110)에서 조사되는 빛(111)과 상기 시료(172)에서 방사되는 빛을 분리하기 위해 칼라필터(180)만을 구비하고 있으나, 상기 광원(110)에서 조사되는 빛(111)의 세기가 상기 시료(172)에 방사되는 형광 보다 훨씬 세기 때문에 상기 칼라필터(180)만으로 상기 빛(111)을 완전히 차단하지 못하며, 그 결과로 상기 빛(111)의 오프셋 신호가 상당히 커서 상기 시료(172)에서 방사되는 형광을 감지해 내기 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 소형 제작이 가능하며 광원에서 방사되는 빛을 차단하는 형광측정기기의 광학계를 제공함을 그 목적으로 한다.
도1은 종래의 형광측정기기의 광학계의 구조를 도시한 개념도
도2는 종래의 형광측정기기의 광학계의 다른 예를 도시한 개념도
도3 및 도4는 본 발명의 제1실시예의 구조를 도시한 도면으로서,
도3은 형광측정기기의 광학계의 개념도
도4는 도3의 광학계를 마이크로 제작방법으로 구현한 측단면도
도5는 본 발명의 제2실시예의 구조를 도시한 도면
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
110, 210: 광원220, 320: 제1차단막
221, 321: (제1차단막) 개구120: 대역통과필터
130: 제1렌즈150: 제2렌즈
190: 제3렌즈160, 360 : 광센서
172, 372: 시료173, 373: 채널
180: 칼라필터280, 380: 제2차단막
281, 381: (제2차단막) 차단부
282, 382: (제2차단막) 개구
본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 형광을 인가하는 광원과, 상기 광원에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구가 형성된 제1차단막과, 상기 광원에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터와, 상기 제1차단막과 상기 대역통과필터를 통과한 빛을 시료에 조사시키기 위해 시료를 담는 채널과, 상기 채널에서 발산되는 빛 중 상기 광원으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구를 포함하는 제2차단막과, 상기 제2차단막을 통과한 빛을 감지하는 광센서를 포함하여 구성된 형광측정기기의 광학계를 제공한다.
또한, 상기 광학계는 상기 광센서와 상기 제2차단막 사이에 상기 광원으로 발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과시켜 주는 칼라필터를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명은 형광을 인가하는 광원과, 상기 광원에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구가 형성된 제1차단막과, 상기 광원에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터와, 상기 제1차단막과 상기 대역통과필터를 통과한 빛을 수렴하기 위한 제1렌즈와, 상기 제1렌즈에서 수렴된 빛을 시료에 조사시키기 위해 시료를 담는 채널과, 상기 채널에서 발산되는 빛을 평행광으로 만들어주는 제2렌즈와, 상기 제2렌즈를 통과한 빛 중 상기 광원으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구를 포함하는 제2차단막과, 상기 칼라필터를 통과한 빛을 감지하는 광센서를 포함하여 구현될 수도 있다.
또한, 본 발명은 상기 광센서와 상기 제2차단막 사이에 상기 광원으로부터발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과시켜 주는 칼라필터를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 광센서의 상측에 빛이 상기 광센서에 수렴되도록 하는 제3렌즈를 더 포함하여 구성되는 것이 효과적이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 관하여 상세히 설명한다.
다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흩트리지 않도록 하기 위하여 생략하기로 한다.
또한, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당부분에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도3 및 도4는 본 발명의 제1실시예의 구조를 도시한 도면으로서, 도3은 형광측정기기의 광학계의 개념도, 도4는 도3의 광학계를 마이크로 제작방법으로 구현한 측단면도이다.
도3에 도시된 바와 같이 본 발명의 제1실시예의 형광측정기기의 광학계는 형광을 인가하는 광원(110)과, 상기 광원(110)에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구(221)가 형성된 제1차단막(220)과, 상기 광원(110)에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터(120)와, 상기 제1차단막(220)과 상기 대역통과필터(120)를 통과한 빛을 수렴하기 위한 제1렌즈(130)와, 상기 제1렌즈(130)에서 수렴된 빛을 시료(172)에 조사시키기 위해 시료(172)를 담는 채널(173)과, 상기 채널(172)에서 발산되는 빛을 평행광으로 만들어주는 제2렌즈(150)와, 상기 제2렌즈(150)를 통과한 빛 중 상기 광원(110)으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부(281)와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구(282)를 포함하는 제2차단막(280)과, 상기 제2차단막(280)을 통과한 빛을 감지하는 광센서(160)를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 대역통과필터(120)는 상기 제1렌즈(130)의 상측에 설치되고, 상기 대역통과필터(120)의 상측에 상기 제1차단막(220)이 설치되는 것이 바람직하다. 다만, 상기 대역통과필터(120)와 상기 제1차단막(220)은 순서가 바뀌어서 설치될 수도 있다. 즉, 상기 제1렌즈(130)의 상측에 상기 제1차단막(220)이 설치되고, 상기 제1차단막(220)의 상측에 상기 대역통과필터(120)가 설치될 수도 있다. 상기 제1차단막(220)과 제2차단막(280)은 빛이 투과하지 못하는 재질의 박막으로 형성된다.
그리고, 상기 광센서(160)와 상기 제2차단막(280) 사이에 상기 광원(110)으로 부터 발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과시키는 칼라필터(180)를 더 포함하여 구성된다. 상기 칼라필터(180)는 상기 차단막(280)의 상측에 설치될 수도 있다.
또한, 상기 광센서(160)의 상측에 빛이 상기 광센서(160)에 수렴되도록 하는 제3렌즈(190)를 더 포함하여 구성된다.
도4는 도3의 광학계를 마이크로 제작방법으로 구현한 측단면도이다.
상기 광학계는 광센서(160)가 형성된 제1층(165)과, 상기 제1층(165) 위에 상기 제3렌즈(190)를 구현된 제2층(195)과, 상기 제2층위에 적층되어 칼라필터(180)를 구현한 제3층(185)과, 제3층(185)위에 상기 제2차단막(280)이 형성된 제4층(285)과, 상기 제4층(285)의 상면에 상기 제2렌즈(150)가 형성된 제5층(155)과, 상기 제2렌즈(150)의 초점거리를 구비하기 위해 상기 제5층(155)위에 형성된 제6층(156)과, 상기 시료(172)를 담는 채널(173)을 포함하도록 상기 제6층(156)의 상면에 형성된 제7층(175)과, 상기 7층(175)의 상면에 적층되어 상기 제1렌즈를 구현한 제8층(135)과, 상기 제8층(135)의 상면에 적층되어 대역통과필터를 구현한 제9층(125)과, 상기 제9층(125)의 상면에 적층되어 제1차단막(225)을 구현한 제10층(225)을 포함하여 구성된다.
이하, 본 발명의 실시예의 동작에 관하여 설명한다.
상기와 같은 본 발명의 제1실시예의 형광측정기기의 광학계는 광원(110)에서 인가된 빛(11)이 상기 제1차단막(220)의 개구(221)에 의해 일부만 통과하며, 상기 개구(221)를 통과한 빛은 상기 대역통과필터(220)를 통과하면서 일정한 영역의 주파수를 가지게 된다.
상기 대역통과필터(120)를 통과한 빛은 상기 수렴렌즈(130)를 통과하여 상기 채널에 포함된 시료(172)를 비추게 된다. 상기 시료(172)에 빛(11)이 조사되면, 상기 시료(172)에 포함된 형광물질이 여기되어 광원에서 인가된 빛(11)보다 파장이 수십 나노미터 긴 형광(171)이 방사된다. 상기 광원(110)에서 인가된 빛(11)과, 상기 형광(171)은 상기 제2렌즈(150)에 의해 평행광이 된다. 상기 제2렌즈(150)를 통과한 빛은 상기 형광(171)이 골고루 분포된 상태에서 상기 광원(110)에서 인가된 빛(11)이 중앙에 집중되어 분포된다. 상기 광원(110)에서 인가된 빛(11)의 폭은 상기 제1차단막(220)의 개구(221)에 의해 결정된다.
상기 제2렌즈(150)를 통과한 빛은 상기 제2차단막에 중앙에 위치한 빛은 상기 차단부(281)에 차단되고, 변두리에 위치한 빛은 상기 개구(282)를 통하여 통과한다. 즉, 중앙에 위치한 상기 광원(110)에서 인가된 빛(11)과 상기 시료(172)에서 여기된 빛(172)은 차단 당하고, 변두리에 위치한 상기 시료(172)에서 여기된 빛(172)만 통과한다.
상기 제2차단막(280)을 통과한 빛은 상기 칼라필터(180)에 의해서 한번 더 걸러지게 된다. 즉, 상기 광원(110)에서 인가된 빛(11) 중 상기 제2차단막(280)에 의해 걸러지지 않은 빛을 한 번 더 차단하게 된다.
상기 칼라필터(180)를 통과한 빛은 상기 제3렌즈(190)를 통과하여 상기 광센서(160)에 의해 측정된다.
상기와 같이, 본 발명은 적층구조로 형성되어 마이크로 가공기법을 사용하여 소형화가 가능하며, 제1차단막과 제2차단막에 의해 광원에서 조사되는 빛을 대부분 차단하여 상기 광센서에서 검출되는 것을 방지하여 오프셋 발생하지 않는다.
도5는 본 발명의 제2실시예의 구조를 도시한 도면이다.
본 발명의 제2실시예의 상기 광학계는 형광을 인가하는 광원(210)과, 상기 광원(210)에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구(321)가 형성된 제1차단막(320)과, 상기 광원에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터(120)와, 상기 제1차단막(320)과 상기 대역통과필터(120)를 통과한 빛을 시료에 조사시키기 위해 시료를 담는 채널(373)과, 상기 채널(373)에서 발산되는 빛 중 상기 광원으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부(381)와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구(382)를 포함하는 제2차단막(385)과, 상기 채널(373)에서 발산되는 빛 중 상기 광원으로 부터 발산된 빛을 걸러주는 칼라필터(180)와, 상기 칼라필터(180)를 통과한 빛을 감지하는 광센서(360)를 포함하여 구성된다.
상기 대역통과필터(120)는 상기 제1차단막(320)의 상측에 설치된다. 다만, 상기 제1차단막(320)이 상기 대역통과필터(120)의 상측에 설치될 수도 있다.
또한, 상기 칼라필터(180)는 상기 제2차단막(380)의 상측에 설치될 수도 있다.
상기 제2차단막(380)과, 상기 채널(373)의 사이에는 보호층(480)이 형성된다.
상기 제1차단막(320)은 상기 채널(373)의 상면에 형성된 개구(321)를 제외한 상기 채널(373)의 상면과 측면, 상기 보호층(480)의 상면을 모두 덮을 수 있도록 형성된다.
상기 제2차단막(380)은 상기 제1차단막(320)의 개구(321)를 통해서 직접 투과하는 상기 광원(210)에서 조사되는 빛을 막을 수 있도록 차단부(381)가 형성된다.
이하, 본 발명의 제2실시예의 동작에 관하여 설명한다.
상기와 같은 본 발명의 제2실시예의 형광측정기기의 광학계는 광원(210)에서 인가된 빛(11)은 상기 대역통과필터(220)에 의해 일정영역의 주파수를 갖는 빛만 통과하게 되고, 상기 제1차단막(220)의 개구(221)에 의해 상기 채널(373)에 조사된빛이 상기 시료(372)를 여기시킨다. 상기 시료(372)는 광원에서 인가된 빛(11)보다 파장이 수십 나노미터 긴 형광을 방사한다.
상기 광원에서 인가된 빛(11) 중 상기 시료를 직접 통과한 것은 상기 차단부(381)에 의해 차단된다. 상기 시료(372)에서 여기된 형광은 상기 제2차단막(380)의 개구(382)를 통해서 방사된다.
방사된 빛은 상기 칼라필터(180)를 통과하여 상기 광센서에 포착된다.
상기와 같이, 본 발명은 적층구조로 형성되어 마이크로 가공기법을 사용하여 소형화가 가능하며, 제1차단막과 제2차단막에 의해 광원에서 조사되는 빛을 대부분 차단하여 상기 광센서에서 검출되는 것을 방지하여 오프셋 발생하지 않는다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 실용신안등록청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
본 발명은 적층구조로 형성되어 마이크로 가공기법을 사용하여 소형화가 가능하며, 제1차단막과 제2차단막에 의해 광원에서 조사되는 빛을 대부분 차단하여 상기 광센서에서 검출되는 것을 방지하여 오프셋 발생하지 않는 형광측정기기의 광학계를 제공한다.

Claims (11)

  1. 형광을 인가하는 광원과;
    상기 광원에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구가 형성된 제1차단막과;
    상기 광원에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터와;
    상기 제1차단막과 상기 대역통과필터를 통과한 빛을 시료에 조사시키기 위해 시료를 담는 채널과;
    상기 채널에서 발산되는 빛 중 상기 광원으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구를 포함하는 제2차단막과;
    상기 제2차단막을 통과한 빛을 감지하는 광센서를;
    포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 채널의 상측에 상기 대역통과필터가 설치되고,
    상기 대역통과필터의 상측에 상기 제1차단막이 설치되는 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 채널의 상측에 상기 제1차단막이 설치되고,
    상기 제1차단막의 상측에 상기 대역통과필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광센서와 상기 제2차단막 사이에 상기 광원으로부터 발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과하는 칼라필터를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2차단막의 상측에 상기 광원으로부터 발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과하는 칼라필터를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  6. 형광을 인가하는 광원과;
    상기 광원에서 발산되는 빛을 일부만 통과시키도록 개구가 형성된 제1차단막과;
    상기 광원에서 발산되는 빛 중 특정 영역의 주파수를 가지는 빛을 통과시키는 대역통과필터와;
    상기 제1차단막과 상기 대역통과필터를 통과한 빛을 수렴하기 위한 제1렌즈와;
    상기 제1렌즈에서 수렴된 빛을 시료에 조사시키기 위해 시료를 담는 채널과;
    상기 채널에서 발산되는 빛을 평행광으로 만들어주는 제2렌즈와;
    상기 제2렌즈를 통과한 빛 중 상기 광원으로부터 발산된 빛을 차단하도록 하는 차단부와 상기 시료에서 발산되는 빛을 통과하는 개구를 포함하는 제2차단막과;
    상기 칼라필터를 통과한 빛을 감지하는 광센서를;
    포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1렌즈의 상측에 상기 대역통과필터가 설치되고,
    상기 대역통과필터의 상측에 상기 제1차단막이 설치되는 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1렌즈의 상측에 상기 제1차단막이 설치되고,
    상기 제1차단막의 상측에 상기 대역통과필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 광센서와 상기 제2차단막 사이에 상기 광원으로부터 발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과하는 칼라필터를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 제2차단막의 상측에 상기 광원으로부터 발산되는 빛을 걸러주며 상기 시료에서 방사되는 빛은 통과하는 칼라필터를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
  11. 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광센서의 상측에 빛이 상기 광센서에 수렴되도록 하는 제3렌즈를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 형광측정기기의 광학계.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2384835A1 (es) * 2009-03-18 2012-07-13 Universidad De Murcia Procedimiento para el registro de imágenes en tomografía óptica de fluorescencia y sistema de aplicación.
KR20210070514A (ko) * 2019-12-05 2021-06-15 주식회사 신코 멀티형 형광측정기

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