KR20040040538A

KR20040040538A - 반도체 제조설비에서 초순수 레벨감지장치

Info

Publication number: KR20040040538A
Application number: KR1020020068696A
Authority: KR
Inventors: 심무경
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2002-11-07
Filing date: 2002-11-07
Publication date: 2004-05-13

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에서 초순수 레벨감지장치에 관한 것으로, 특히 초순수(DI) 저장탱크에 설치된 레벨센서의 동작 불량 시 저장탱크의 초수순 저장레벨을 확인할 수 있는 초순수 레벨감지장치에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명에 의한 VDS탱크의 초순수 레벨감지장치는, 초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열함에 의해 H₂O를 생성하는 VDS탱크와, 상기 VDS탱크의 전면 일부에 초순수(DI)의 레벨을 확인할 수 있도록 설치된 투명창으로 구성한다.

Description

반도체 제조설비에서 초순수 레벨감지장치{UNIT FOR SENSING DI LEVEL IN SEMICONDUCTOR PRODUCT DEVICE}

일반적으로 반도체소자는 실리콘 웨이퍼상에 제조공정을 반복적으로 진행하여완성되며, 반도체 제조공정은 확산공정, 식각공정, 포토 리소그래피 공정 및 성막공정 등으로 나눌수 있다.

이러한 공정중 식각공정은 크게 습식식각과 건식식각으로 나눌 수 있으며, 습식식각은 소자의 최소선폭이 수백 내지 수십 마이크로대의 LSI 시대에 범용으로 적용되었으나 VLSI, ULSI소자에는 등방성 식각이 보이는 집적도의 한계 때문에 거의 사용되지 않고 있다. 따라서 현재 일반적으로 건식식각을 사용하고 있으며, 건식식각 설비중 플라즈마를 이용하여 웨이퍼를 초미세 가공하는 공정설비는 공정쳄버에서 가스와 고주파 파워 등 각종요소를 이용하여 공정을 진행할 때 외부와 완전히 차단된 초고진공을 요구하고 있다.

이러한 반도체제조설비의 식각공정에서 식각 후 염소(Cl)기 등이 포토레지스트막에 잔류하게 되어 반도체 기판 상에 형성된 물질막을 부식시킨다. 따라서 메탈 스트립 쳄버에서 식각 후에 발생된 염소(Cl)기를 제거하기 위해 VDS시스템을 사용한다. VDS 시스템의 경우 초순수(DI)의 가열에 의해 발생되는 수증기(H2O)를 이용하여 웨이퍼 표면에 잔류하는 염소(Cl)성분을 수증기(H20)와 반응시켜 하기 반응식과 같이 HCL로 제거하는 원리를 사용한다.

Cl₂+ H₂0 →HCl +HClO

도 1은 종래의 VDS탱크의 구조도이다.

초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열함에 의해 H₂O를 생성하는 VDS탱크(10)와, 상기 VDS탱크(10)의 중앙부에 설치되어 상기 VDS탱크(10)내에 저장된 초순수의 수위레벨을 측정하는 레벨센서(12)와, 상기 VDS탱크(10)의 하부 일측에 설치되어 초순수(DI)가 유입되는 유입구(14)와, 상기 VDS탱크(10)의 상부 일측에 설치되어 VDS탱크(10)로부터 생성된 수증기(H₂O)를 배출하는 배출구(16)로 구성되어 있다.

VDS탱크(10)는 유입구(14)를 통해 공급되는 초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열하여 H₂O를 생성하여 배출구(12)를 통해 식각쳄버로 공급한다. 식각쳄버에서는 VDS탱크(10)로부터 생성된 H₂O와 Cl기가 화학반응하여 HCl로 기화되어 Cl기가 제거된다. 그리고 VDS탱크(10) 내에서 설치된 레벨센서(12)는 VDS탱크(10)내에 저장된 초순수의 수위레벨을 측정하여 그 수위측정데이터를 시그널 케이블로 연결된 콘트롤러(도시하지 않음)로 전달하며, 콘트롤러는 이 수위측정 데이터를 받아 초순수의 수위레벨을 표시하여 작업자가 확인할 수 있도록 한다.

이와 같은 장치는 파워 페일(Power Fail)이나 시그널케이블 단선 및 레벨센서(12)의 페일 등이 발생할 때 실제 VDS탱크(10) 내에 초순수가 없는 것인지 아니면 레벨센서(12)의 불량인지를 확인할 수 없으므로, VDS탱크(10)를 분해하여야만 원인을 알 수 있었다. 따라서 VDS탱크(10)를 분해하기 위해서는 많은 시간과 공수가 소요되어 생산성을 감소시키는 동시에 원가를 상승시키는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 VDS탱크 외부에서 초순수의 수위레벨을 확인할 수 있는 초순수 레벨감지장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래의 VDS탱크의 구조도

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 VDS탱크의 구조도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: VDS탱크 12: 레벨센서

14: 유입구 16: 배출구

18: 투명창 20: 오링

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 VDS탱크의 초순수 레벨감지장치는, 초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열함에 의해 H₂O를 생성하는 VDS탱크와, 상기 VDS탱크의 전면 일부에 초순수(DI)의 레벨을 확인할 수 있도록 설치된 투명창으로 구성함을 특징으로 한다.

상기 VDS탱크는 전면에 직사각형 형태의 홀이 형성함이 바람직하다.

상기 VDS탱크의 전면에 형성된 직사각형태의 홀에 상기 투명창을 삽입할 시 초순수의 누수를 방지하기 위한 오링이 구비되어 있다.

상기 투명창은 석영(QUARTZ)재질로 제작함을 특징으로 한다.

상기 VDS탱크의 전면에는 상기 투명창이 형성된 부분에 근접하여 초순수(DI)의 수위레벨을 확인할 수 있는 눈금이 형성되어 있다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 VDS탱크의 구조도이다.

초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열함에 의해 H₂O를생성하는 VDS탱크(10)와, 상기 VDS탱크(10)의 중앙부에 설치되어 상기 VDS탱크(10)내에 저장된 초순수의 수위레벨을 측정하는 레벨센서(12)와, 상기 VDS탱크(10)의 하부 일측에 설치되어 초순수(DI)가 유입되는 유입구(14)와, 상기 VDS탱크(10)의 상부 일측에 설치되어 VDS탱크(10)로부터 생성된 수증기(H₂O)를 배출하는 배출구(16)와, 상기 VDS탱크(10)의 전면 일부에 초순수(DI)의 레벨을 확인할 수 있도록 설치된 투명창(18)으로 구성되어 있다. 상기 VDS탱크(10)의 전면에 직사각형 형태의 홀이 형성되어 있으며, 상기 홀에 투명창(18)이 삽입된다. 상기 투명창(18)의 둘레에는 오링(20)이 끼워지고, 그 오링(20)은 직사각형태의 홀이 형성된 상기 VDS탱크(10)에 끼워져 초순수(DI)가 누수되지 않도록 형성되어 있다. 상기 투명창(18)은 석영(QUARTZ)로 제작되어 있으며, 상기 투명창(18)이 형성된 부분에 근접하여 VDS탱크(10)의 전면에 초순수(DI)의 수위레벨을 확인할 수 있는 눈금이 형성되어 있다. 상기 눈금은 예를 들어 HIGH, NORMAL, LOW 등으로 구분되어 있다.

상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상세히 설명한다.

VDS탱크(10)는 유입구(14)를 통해 공급되는 초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열하여 H₂O를 생성하여 배출구(12)를 통해 식각쳄버로 공급한다. 식각쳄버에서는 VDS탱크(10)로부터 생성된 H₂O와 Cl기가 화학반응하여 HCl로 기화되어 Cl기가 제거된다. 그리고 VDS탱크(10) 내에서 설치된 레벨센서(12)는 VDS탱크(10)내에 저장된 초순수의 수위레벨을 측정하여 그 수위측정데이터를 시그널 케이블로 연결된 콘트롤러(도시하지 않음)로 전달하며, 콘트롤러는 이 수위측정 데이터를 받아 초순수의 수위레벨을 표시하여 작업자가 확인할 수 있도록 한다. 이때 레벨센서(12)가 오동작 하거나 혹은 전기적인 접촉불량 예를 들어 파워 페일(Power Fail)이나 시그널케이블 단선 등으로 초순수(DI)의 수위레벨을 확인할 수 없을 경우 VDS탱크(10)를 분해하지 않고서도 투명창(18)을 확인하여 초순수(DI)의 수위레벨을 확인할 수 있다.

상기 투명창(18)에는 VDS탱크(10)내에 저장된 초순수가 누수되지 않도록 투명창(18)의 둘레에 오링(20)이 장착되고, 상기 오링(200)은 직사각형의 홀이 형성된 부분의 VDS탱크(10)에 끼워진다.

상술한 바와 같이 본 발명은 VDS탱크이 전면에 초순수의 수위 레벨을 확인할 수 있도록 직사각형 형상의 홀을 형성한 후 그 홀에 석영으로 이루어진 투명창을 끼워 넣어 레벨센서의 오동작 시 VDS탱크내에 저장된 초순수의 수위레벨을 확인할 수 있도록 하므로, VDS탱크를 분해하지 않고서도 초순수의 수위레벨을 확인하여 공수 및 제조원가를 절감할 수 있는 이점이 있다.

Claims

VDS탱크의 초순수 레벨감지장치에 있어서,

초순수(DI)를 저장하고 있으며, 그 저장된 초순수(DI)를 가열함에 의해 H₂O를 생성하는 VDS탱크와,

상기 VDS탱크의 전면 일부에 초순수(DI)의 레벨을 확인할 수 있도록 설치된 투명창으로 구성함을 특징으로 하는 초수순 레벨감지장치.
제1항에 있어서,

상기 VDS탱크는 전면에 직사각형 형태의 홀이 형성함을 특징으로 하는 초순수 레벨감지장치.
제2항에 있어서,

상기 VDS탱크의 전면에 형성된 직사각형태의 홀에 상기 투명창을 삽입할 시 초순수의 누수를 방지하기 위한 오링을 더포함함을 특징으로 하는 초순수 레벨감지장치.
제3항에 있어서,

상기 투명창은 석영(QUARTZ)재질로 제작함을 특징으로 하는 초순수 레벨감지장치.
제4항에 있어서,

상기 VDS탱크의 전면에는 상기 투명창이 형성된 부분에 근접하여 초순수(DI)의 수위레벨을 확인할 수 있는 눈금이 형성되어 있음을 특징으로 하는 초순수 레벨감장치.