KR20040036797A - Sensor for detecting pulse and its fabricating method and Detecting system using the sensor - Google Patents

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KR20040036797A
KR20040036797A KR1020020065145A KR20020065145A KR20040036797A KR 20040036797 A KR20040036797 A KR 20040036797A KR 1020020065145 A KR1020020065145 A KR 1020020065145A KR 20020065145 A KR20020065145 A KR 20020065145A KR 20040036797 A KR20040036797 A KR 20040036797A
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정용원
문성수
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전국진
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전국진
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Abstract

PURPOSE: A sphygmus detection sensor, a method for manufacturing the same and a sphygmus detection apparatus by using the same are provided to exactly measure the waveform of the radial artery with considering the shape of wrist, thereby improving the reliability of the measurement. CONSTITUTION: A sphygmus detection sensor includes a polymer film(401), a metal conduction layer(402), an insulating layer(403) and a blocking layer(404). The polymer film(401) has a piezoelectric characteristics. The metal conduction layer(402) is formed on both side of the polymer film(401). The insulating layer(403) and the blocking layer(404) are subsequently formed on the metal conduction layer.

Description

맥진 검출 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 맥진 검출 장치{Sensor for detecting pulse and its fabricating method and Detecting system using the sensor}Sensor for detecting pulse and its fabricating method and Detecting system using the sensor

본 발명은 의료기기용 맥진 검출 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 맥진 검출 장치에 관한 것으로, 특히 사람의 요골 동맥의 파형을 감지하여 체질을 파악할 수 있는 맥진 검출 센서 및 이를 이용한 맥진 검출 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pulse detection sensor for a medical device, a method of manufacturing the same, and a pulse detection device using the same, and more particularly, to a pulse detection sensor capable of detecting a constitution by detecting a waveform of a radial artery of a person and a pulse detection device using the same.

일반적으로 한의학에 있어서, 모든 사람은 각기 얼굴이 다르고 성격도 다르듯이 사람의 체질도 다르기 때문에 체질에 따라 섭취하는 음식도 달라야 하고 병을 치료하는 방법이나 사용하는 약재도 달리 해야 한다고 한다.In general, in oriental medicine, every person has a different face and a different personality, so the constitution of a person should be different according to the constitution, the foods to be eaten, the method of treating the disease and the medicines used are different.

현재 한의학계에서는 인간의 체질을 유전적인 요인에 의해 4가지 체질로 분류한 사상(四象) 또는, 이를 보다 더 세분화한 8체질로 분류하고 있다.Currently, the Korean medical community classifies human constitutions into four constitutions based on genetic factors, or four more constitutions.

이와 같이 사람의 체질을 분류하고 진단하는 방법에는 여러 가지 방법이 있는데, 우선 사람의 체질은 사람의 체형을 분류함으로써 대략적으로 판별할 수 있고, 성격이나 인상에 대한 정보를 사용하여 판별하기도 한다. 또한, 자주 나타나는 병적 증세를 분석하여 체질을 판별하기도 한다. 이러한 방법들을 이용한 체질 판별은 대개 대화를 통해 자연스럽게 파악하거나 체질 분류 검사와 같은 설문 조사를 이용하는 방법으로 수행된다. 그 외에도 사람의 맥(脈)을 진단해서 체질을 감별하는 방법, 침 치료의 반응으로 알아내는 방법, 근력조사를 통해 반응을 보는 방법 등이 대표적인 체질 감별 및 진단 방법들이라 말할 수 있다.As such, there are various methods of classifying and diagnosing a person's constitution. First, a person's constitution can be roughly identified by classifying a person's body type, and can also be determined using information on personality or impression. In addition, the pathological symptoms that appear frequently to determine the constitution. Constitutional determination using these methods is usually carried out by conversation or by using a questionnaire survey such as a constitution classification test. In addition to the diagnosis of human constitution (脈) to distinguish the constitution, how to find out the response of acupuncture treatment, and the way to see the response through the strength test can be said that the typical constitution discrimination and diagnostic methods.

이상과 같은 체질을 진단하기 위한 여러 방법 중, 일반적으로 한의학에서 체질을 진단하기 위해 사용하는 방법이 진맥 즉, 요골 동맥의 촉감을 통한 체질 감별법인데, 구체적으로 피검진자 양손목의 각각 3부분(도 7 참조)의 요골 동맥을 촉진하여 체질을 감별하는 방법으로서, 이 방법은 초보 한의사에게 있어서도 어려운 방법이고, 2∼3년 경력의 한의사가 진맥하는 경우에도 약 60∼70% 정도의 정확도를 갖는 등의 문제점이 있는 것으로 알려져 있다.Among various methods for diagnosing the above constitutions, a method generally used for diagnosing constitutions in oriental medicine is the dialysis, that is, a constitution discrimination method through the touch of the radial artery, specifically, three parts of each wrist of the examinee (FIG. 7). As a method of promoting the radial artery and discriminating the constitution, this method is difficult even for a novice oriental doctor, and has an accuracy of about 60 to 70% even when a oriental doctor with 2 to 3 years of experience progresses. It is known to have a problem.

참고로, 사람의 8체질은 상기 요골 동맥의 파형의 세기에 따라 금양인(Hespero), 금음인(Hespera), 토양인(Saturno), 토음인(Saturna), 목양인(Jupito), 목음인(Jupita), 수양인(Mercurio), 수음인(Mercuria)으로 나눈다.For reference, the eight constitutions of the human body are according to the strength of the radial artery of the radial artery (Hespero), Geuminin (Hespera), Soilin (Saturno), Saturna, Jugyoin (Jupito), Mokinin ( Jupita), Mercurio and Mercuria.

한편, 상기와 같은 사람의 의한 진맥의 부정확성을 해결하기 위해서는 검진자의 감각을 객관화하고 이를 표준으로 하는 장치가 요구된다.On the other hand, in order to solve the inaccuracies of the human due to such a person, an apparatus that objectifies the examinee's senses and sets it as a standard is required.

이러한 목적을 이루기 위한 장치들이 연구 개발되어 왔는데, 일 예를 설명하면 다음과 같다.Apparatuses for achieving this purpose have been researched and developed. An example is as follows.

도 1은 종래 맥진 검출용 센서의 구조를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing the structure of a conventional pulse detection sensor.

도 1에 도시한 바와 같이, 종래 맥진 검출용 센서는 압력검출소자(101)가 일정 크기의 박스형 잡음차단부재(102)에 장착된 구조를 갖는 바, 상기 잡음차단부재(102)는 내부에 공간(S)을 형성하고, 일측면이 개방면(103)을 형성하며, 일측으로는 압력검출소자(101)가 장착되는 관통구멍(104)이 형성된다. 그리고, 상기 관통구멍(104)에는 압력검출소자(101)가 장착되어 실리콘(105)으로 밀봉 처리되며 이때 압력검출소자(101)의 검출측면(106)은 관통 구멍(104)을 향하여 배치됨으로써 상기 잡음차단부재(102)는 공간(S)으로 향하도록 교정된다.As shown in FIG. 1, the conventional pulse detection sensor has a structure in which a pressure detecting device 101 is mounted on a box-shaped noise blocking member 102 having a predetermined size, and the noise blocking member 102 has a space therein. (S) is formed, one side forms an open surface 103, and one side is formed with a through hole 104 on which the pressure detecting element 101 is mounted. In addition, the through hole 104 is mounted with a pressure detecting element 101 and sealed with silicon 105. At this time, the detection side 106 of the pressure detecting element 101 is disposed toward the through hole 104. The noise blocking member 102 is corrected to face the space S.

이와 같은 종래 맥진 검출용 센서는 개방면(103)을 형성하는잡음차단부재(102)의 모서리부분이 도 2에 도시한 바와 같이, 피검진자의 손목(108) 또는 피부에 접촉되어 상부로부터 일정압력으로 눌려짐으로써 내부공간(S)이 외부의 대기와 밀봉상태로 유지된다. 이러한 경우, 피검진자의 손목(108) 또는 피부로부터 발생된 맥박 또는 미세한 진동은 잡음차단부재(102)내의 외부와 밀봉된 공간(S)을 통하여 관통구멍(104)으로 압력변화가 도달하게 되고, 이러한 미세한 압력 변화를 압력검출센서(101)가 포착하여 외부로 전기적신호를 발신하게 된다. 이때, 상기 잡음차단부재(102)의 공간(S)상에는 개방면(103)의 모서리 부분이 내부공간(S)과 외기를 밀봉상태로 차단하고 있기 때문에, 외부 환경에 의한 돌발적인 공기흐름의 변동이나 소음 등에 의한 잡음성분 등이 상기 공간(S)내로 유입되지 않고, 피검진자(108)의 맥박 또는 신체로부터 발생되는 미세한 진동에 의한 공간(S) 내부의 압력변동만이 압력검출센서(101)로 전달되는 것이다.In the conventional pulse detection sensor, the edge portion of the noise blocking member 102 forming the open surface 103 is contacted with the wrist 108 or the skin of the examinee as shown in FIG. By pressing the inner space (S) is kept in a sealed state with the outside atmosphere. In this case, the pulse or minute vibration generated from the examinee's wrist 108 or skin causes the pressure change to reach the through hole 104 through the space S sealed with the outside in the noise blocking member 102, This minute pressure change is captured by the pressure detection sensor 101 to send an electrical signal to the outside. At this time, since the corner portion of the open surface 103 blocks the interior space S and the outside air in a sealed state on the space S of the noise blocking member 102, the sudden air flow fluctuations due to the external environment The noise component due to noise or noise does not flow into the space S, and only the pressure fluctuation inside the space S due to a minute vibration generated from the pulse of the examinee 108 or the body is detected. To be delivered.

그러나, 상기와 같은 종래 발명은 피검진자의 손목 또는 피부에 의한 잡음차단부재의 밀봉이 진단 결과의 신뢰성에 큰 영향을 미치는데 사람마다 손목의 형태가 틀리고 또한 손목, 피부의 의한 완전한 밀봉이 이루어지지 않는 단점이 있었다.However, in the conventional invention as described above, the sealing of the noise blocking member by the examinee's wrist or skin has a great influence on the reliability of the diagnosis result. There were disadvantages.

상기 발명 이외에도 압력 센서를 이용하여 혈압을 측정하는 방법이 있는데, 이러한 방법은 측정부위에 정확한 접촉을 필요로 하게 되고 조금만 틀어지게 될 경우 의도한 목적과 다른 결과를 초래하게 된다. 따라서, 재현성에 문제가 발생하게 되고, 사람마다 틀린 손목형태를 고려하기가 힘들게 된다.In addition to the above-described invention, there is a method of measuring blood pressure using a pressure sensor, which requires accurate contact with the measurement site and results in a result different from the intended purpose if it is slightly distorted. Therefore, a problem arises in reproducibility, and it is difficult to consider a wrong wrist shape for each person.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 요골 동맥의 파형을 정확히 측정할 수 있는 맥진 검출 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 맥진 검출 장치를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a pulse detection sensor, a method for manufacturing the same, and a pulse detection device using the same that can accurately measure the waveform of the radial artery.

도 1은 종래 맥진 검출용 센서의 구조를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing the structure of a conventional pulse detection sensor.

도 2는 종래 맥진 검출용 센서의 구조 단면도.2 is a structural cross-sectional view of a conventional pulse detection sensor.

도 3은 본 발명에 따른 맥진 검출 장치의 사시도.3 is a perspective view of a pulse detection device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 맥진 검출 센서의 구조 단면도.4 is a structural cross-sectional view of the pulse detection sensor according to the present invention.

도 5a 내지 5b는 본 발명에 따른 맥진 검출 센서의 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도.5A to 5B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the pulse detection sensor according to the present invention;

도 6는 본 발명의 맥진 검출 장치의 구동 원리를 설명하기 위한 블록도.6 is a block diagram for explaining a driving principle of the pulse detection apparatus of the present invention.

도 7은 진맥의 측정 위치를 나타낸 도면.7 is a view showing a measurement position of the true vein.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

401 : 고분자 압전 필름 402 : 금속 전도층401: polymer piezoelectric film 402: metal conductive layer

403 : 절연층 404 : 정전기 차단막403: insulating layer 404: static electricity blocking film

304 : 공기주머니304: air bag

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 맥진 검출 센서는 압전 특성을 갖는 고분자 필름과, 상기 고분자 필름의 양면에 형성되어 있는 금속전도층과, 상기 금속전도층 상에 순차적으로 형성되어 있는 절연층 및 정전기 차단막을 포함하여 이루어지며, 그 제조방법은 소정 형상을 갖는 섀도우 마스크를 형성하는 단계와, 상기 섀도우 마스크를 이용하여 압전 특성을 갖는 고분자 필름의 양면 상에 금속전도층을 증착하는 단계와, 상기 금속전도층 상에 절연층 및 정전기 차단막을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하여 이루어지며,The pulsation detection sensor of the present invention for achieving the above object is a polymer film having a piezoelectric characteristic, a metal conductive layer formed on both sides of the polymer film, and an insulating layer formed sequentially on the metal conductive layer. And a static electricity shielding film, the method of manufacturing the method comprising: forming a shadow mask having a predetermined shape, depositing a metal conductive layer on both surfaces of a polymer film having piezoelectric properties using the shadow mask; It comprises the step of sequentially forming an insulating layer and an electrostatic shielding film on the metal conductive layer,

본 발명의 맥진 검출 센서를 이용한 맥진 검출 장치는 압전 특성을 이용한 센서와 상기 센서가 물리적 파동을 감지할 수 있도록 상기 센서 주위에 구비되어 있는 공기주머니로 이루어져 피검진자의 맥박을 측정하는 센싱부와, 상기 센싱부의 공기주머니에 공기를 공급하는 공기펌프와, 상기 센싱부에서 검출된 전기적 신호를 증폭 및 여과 처리하는 신호처리보드와, 상기 신호처리보드를 거친 전기적 신호를 외부로 출력하는 표시장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The pulse detection device using the pulse detection sensor of the present invention comprises a sensor using a piezoelectric characteristic and a sensing unit for measuring the pulse of the examinee consisting of an air bag provided around the sensor so that the sensor can detect a physical wave; An air pump for supplying air to the air pocket of the sensing unit, a signal processing board for amplifying and filtering the electrical signal detected by the sensing unit, and a display device for outputting the electrical signal through the signal processing board to the outside Characterized in that made.

본 발명의 맥진 검출 센서를 설명하기에 앞서 먼저, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 맥진 검출 장치를 상세히 설명하기로 한다.Before describing the pulsation detection sensor of the present invention, a pulsation detection device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명에 따른 맥진 검출 장치의 사시도이다.3 is a perspective view of the pulse detection apparatus according to the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 맥진 검출 장치는 크게 피검진자의 맥박을 측정하는 센싱부(300)와, 상기 센싱부(300)에 공기를 공급하는 공기펌프(301)와, 상기 센싱부(300)에서 검출된 전기적 신호를 증폭 및 여과 처리하는 신호처리보드(302)와, 상기 신호처리보드(302)를 거친 전기적 신호를 외부로 출력하는 표시장치(303)로 구성된다.As shown in FIG. 3, the pulse detection apparatus of the present invention includes a sensing unit 300 which largely measures a pulse of an examinee, an air pump 301 which supplies air to the sensing unit 300, and the sensing unit. A signal processing board 302 for amplifying and filtering the electrical signal detected by the unit 300, and a display device 303 for outputting the electrical signal passed through the signal processing board 302 to the outside.

상기 센싱부(300)는 압전 특성을 이용한 센서와 상기 센서가 물리적 파동을 감지할 수 있도록 상기 센서 주위에 구비되어 있는 공기주머니로 이루어지며, 상기 센싱부(300)는 손목을 감쌀 수 있도록 밴드 형상의 띠로 둘러 쌓여 있다.The sensing unit 300 is composed of a sensor using a piezoelectric characteristic and an air pocket provided around the sensor so that the sensor can detect a physical wave, the sensing unit 300 has a band shape to wrap the wrist Surrounded by a strip of

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명의 맥진 검출 장치의 작동 일 예를 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation example of the pulse detection device of the present invention having the configuration as described above are as follows.

먼저, 상기 띠 모양을 갖는 센싱부가 피검진자의 손목 부위를 감싸도록 고정되면 상기 공기펌프를 통해 센싱부의 공기주머니를 팽창시킨다. 공기주머니가 팽창함에 따라 상기 센싱부는 피검진자의 손목에 밀착하게 되고 그에 따라 피검진자의 손목에서 발생하는 맥박은 센싱부의 센서로 전달된다. 센서로 전달된 맥박 즉, 물리적 파동은 센서의 압전 특성에 의해 물리적 파동에 상응하는 값의 전기적 신호로 바뀌게 되고 상기 전기적 신호는 일련의 장치가 구비된 신호처리보드에서 증폭, 여과 과정을 거쳐 표시장치에 그 데이터가 출력된다.First, when the sensing unit having the band shape is fixed to surround the subject's wrist part, the air bag is expanded through the air pump. As the air bag expands, the sensing unit is in close contact with the subject's wrist, and thus the pulse generated from the subject's wrist is transmitted to the sensor of the sensing unit. The pulse transmitted to the sensor, that is, the physical wave, is converted into an electrical signal having a value corresponding to the physical wave by the piezoelectric characteristics of the sensor, and the electrical signal is amplified and filtered in a signal processing board equipped with a series of devices. The data is output to.

한편, 종래 발명에 있어서 상기와 같이 압전 센서를 이용한 맥진 검출 장치를 구성한 유사한 예가 있으나, 본 발명에 있어서 그 특징은 맥진 검출 장치를 구성하는 핵심 요소인 압전 센서의 구조 및 그 제조방법에 있는바, 이하 본 발명에 따른 맥진 검출 센서 및 그 제조방법을 상세히 설명하기로 한다.Meanwhile, in the related art, there is a similar example in which a pulsation detection device using a piezoelectric sensor is configured as described above. However, the present invention is characterized in that the structure of the piezoelectric sensor and the manufacturing method thereof are key elements constituting the pulsation detection device. Hereinafter, a pulsation detection sensor and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail.

도 4는 본 발명의 맥진 검출 센서의 구조단면도이며, 도 5a 내지 5b는 본 발명의 맥진 검출 센서 제조방법을 설명하기 위한 공정단면도이다.Figure 4 is a structural cross-sectional view of the pulsation detection sensor of the present invention, Figures 5a to 5b is a process cross-sectional view for explaining the manufacturing method of the pulsation detection sensor of the present invention.

도 4에 도시한 바와 같이, 압전 특성을 갖는 고분자 필름(401) 상의 양면에 금속전도층(402)이 증착되어 있으며, 상기 고분자 필름(401) 양면의 각각의 금속전도층(402) 상에는 맥박 검출시 외부로부터의 노이즈(noise)를 차단하기 위한 절연층(403)과 정전기 차단을 위한 정전기 차단막(404)이 차례로 형성되어 있다.As shown in FIG. 4, metal conductive layers 402 are deposited on both surfaces of the polymer film 401 having piezoelectric properties, and pulse detection is performed on each metal conductive layer 402 on both surfaces of the polymer film 401. An insulating layer 403 for blocking noise from outside the city and an electrostatic blocking film 404 for blocking static electricity are sequentially formed.

여기서, 상기 압전 특성을 갖는 고분자 필름의 재료로는 PVDF(Polyvinylidene Fluoride), PVDCN(Polyvinylidene Cyanide) 등이 사용되며, 상기 금속전도층은 크롬(Cr), 금(Au)의 금속 이중층으로 구성된다.Here, as the material of the polymer film having the piezoelectric properties, polyvinylidene fluoride (PVDF), polyvinylidene cyanide (PVDCN), and the like are used, and the metal conductive layer is composed of a metal double layer of chromium (Cr) and gold (Au).

상기와 같은 구조를 갖는 맥진 검출 센서의 제조방법을 설명하면, 먼저 도 5a에 도시한 바와 같이, 실리콘 웨이퍼(501)를 반응 이온 식각(Reactive Ion Etching)과 같은 건식 식각을 통해 소정 형상으로 패터닝한다.Referring to the manufacturing method of the pulsation detection sensor having the above structure, as shown in Figure 5a, first, the silicon wafer 501 is patterned to a predetermined shape through dry etching, such as reactive ion etching (Reactive Ion Etching). .

이어, 도 5b에 도시한 바와 같이, 상기 패터닝된 실리콘 웨이퍼(501)의 일측면에 에폭시(Epoxy)와 같은 접착제를 이용하여 상기 고분자 필름(502)을 부착한 다음, 상기 패터닝된 실리콘 웨이퍼(501)를 마스크로 이용하여 상기 고분자 필름(502) 상에 금속전도층(503)을 증착한다. 여기서, 상기 금속전도층(503)은 크롬, 금의 이중층으로 구성된다.Subsequently, as shown in FIG. 5B, the polymer film 502 is attached to one side of the patterned silicon wafer 501 using an adhesive such as epoxy, and then the patterned silicon wafer 501 is attached. ) Is used as a mask to deposit a metal conductive layer 503 on the polymer film 502. Here, the metal conductive layer 503 is composed of a double layer of chromium, gold.

상기와 같은 방법으로 고분자 필름(502)의 일측면에 금속전도층(503)을 형성한 다음, 상기 고분자 필름(502)을 실리콘 웨이퍼(501)에서 떼어 내어 금속전도층(503)이 형성되지 않은 면을 실리콘 웨이퍼(501)에 부착한다.The metal conductive layer 503 is formed on one side of the polymer film 502 in the same manner as described above, and then the polymer film 502 is removed from the silicon wafer 501 so that the metal conductive layer 503 is not formed. The surface is attached to the silicon wafer 501.

이어서, 상기와 같은 동일한 방법으로 금속전도층(503)을 형성한다. 이와 같은 방법을 통해서 고분자 필름(502)의 양면에는 금속전도층(503)이 형성되는 것이다.Subsequently, the metal conductive layer 503 is formed in the same manner as described above. Through this method, metal conductive layers 503 are formed on both sides of the polymer film 502.

이때, 고분자 필름(502)의 양면에 형성된 금속전도층(503)의 형상은 좌우대칭을 이뤄 제조 공정의 단순화를 꾀할 수 있다.At this time, the shape of the metal conductive layer 503 formed on both surfaces of the polymer film 502 is symmetrical to simplify the manufacturing process.

이후, 도면에 도시하지 않았지만, 상기 고분자 필름의 양면에 금속전도층이 형성된 상태에서 불필요한 물리적 파동을 줄이기 위해 양면의 금속전도층 상에 절연층을 형성한다. 여기서, 상기 절연층으로는 비닐 등을 사용한다.Subsequently, although not shown in the drawings, in order to reduce unnecessary physical waves in the state in which the metal conductive layers are formed on both sides of the polymer film, an insulating layer is formed on the metal conductive layers on both sides. Here, vinyl or the like is used as the insulating layer.

이어서, 상기 양면의 절연층 상에 정전기 차폐를 위해 정전기 차단막을 형성한다. 상기 정전기 차단막으로는 알루미늄 박막 등을 사용한다.Subsequently, an electrostatic shielding film is formed on the double-sided insulating layers for electrostatic shielding. An aluminum thin film or the like is used as the static electricity blocking film.

한편, 본 발명의 맥진 검출 장치의 구동 원리를 블록도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the driving principle of the pulse detection apparatus of the present invention will be described with reference to the block diagram as follows.

도 6은 본 발명의 맥진 검출 장치의 구동 원리를 설명하기 위한 블록도이다.6 is a block diagram for explaining the driving principle of the pulse detection apparatus of the present invention.

도 6에 도시한 바와 같이, 고분자 필름의 양면에 각각 금속전도층, 절연층, 정전기 차단막이 순차적으로 형성되어 이루어지는 센서와, 상기 센서 주위에 공기펌프에 의해 유입된 공기를 구비하는 센싱부(601)에 피검진자의 맥박이 전달되면 상기 센서가 그에 상응하는 전기적 신호를 발생하게 된다.As illustrated in FIG. 6, a sensing unit 601 including a sensor in which metal conductive layers, an insulating layer, and an electrostatic shielding film are sequentially formed on both surfaces of the polymer film, and air introduced by an air pump around the sensor. When the subject's pulse is transmitted to the sensor, the sensor generates a corresponding electrical signal.

여기서, 상기 고분자 필름은 상하에 형성되어 있는 금속층에 의해 일종의 축전기 역할을 수행하게 되며 그에 따라 피검진자의 손목에 접촉하는 부위에 해당하는 만큼의 정전 용량을 갖는다.Here, the polymer film serves as a kind of capacitor by the metal layers formed on the upper and lower sides, and thus has a capacitance corresponding to a portion in contact with the wrist of the examinee.

한편, 상기 정전 용량 값은 그 값이 매우 작고 주파수 대역이 넓기 때문에 센서에서 나온 값을 그대로 이용하기는 어렵다.On the other hand, since the value of the capacitance is very small and the frequency band is wide, it is difficult to use the value from the sensor as it is.

따라서, 도면에 도시한 바와 같이, 접합형 전계 효과 트랜지스터(Junction Field Effect Transistor, JFET)를 이용한 증폭 과정(602)을 거친다.Accordingly, as shown in the figure, an amplification process 602 using a junction field effect transistor (JFET) is performed.

즉, 회로의 입력 임피던스가 1012Ω 이상인 JFET 타입의 완충단을 이용하며, 출력 임피던스를 50Ω 정도로 낮춰 신호의 감쇄를 최소화한다.In other words, it uses a JFET type buffer stage with an input impedance of more than 10 12 Ω and minimizes attenuation of the signal by lowering the output impedance to about 50 Ω.

상기와 같은 증폭 과정을 거친 다음, 노이즈 성분을 줄이기 위해 특정 주파수 대역의 신호만을 여과(603)하기 위해 60Hz 노치 필터(Notch filter)와, 저대역 통과 필터 장치가 구비되어 있다.After the amplification process as described above, a 60Hz notch filter and a low pass filter device are provided to filter 603 only signals of a specific frequency band in order to reduce noise components.

이와 같은 증폭, 여과 과정(602, 603)을 거친 신호는 최종적으로 오실로스코프(Oscilloscope)와 같은 표시장치(604)를 통해 출력된다.Signals that have undergone such amplification and filtering processes 602 and 603 are finally output through a display device 604 such as an oscilloscope.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 맥진 검출 센서 및 그 제조방법 그리고 이를 이용한 맥진 검출 장치는 다음과 같은 효과가 있다.As described above, the pulsation detection sensor according to the present invention, a manufacturing method thereof, and a pulsation detection device using the same have the following effects.

사람마다 틀린 손목 형태를 고려하여 요골동맥의 파형을 정확히 측정할 수 있으며, 또한 재현성에 문제가 없어 측정의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.It is possible to accurately measure the waveform of the radial artery by considering the wrong wrist shape for each person, and also improve the reliability of the measurement because there is no problem of reproducibility.

Claims (7)

압전 특성을 갖는 고분자 필름;A polymer film having piezoelectric properties; 상기 고분자 필름의 양면에 형성되어 있는 금속전도층;Metal conductive layers formed on both surfaces of the polymer film; 상기 금속전도층 상에 순차적으로 형성되어 있는 절연층 및 정전기 차단막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 맥진 검출 센서.A pulsation detection sensor, characterized in that it comprises an insulating layer and an electrostatic shielding film formed sequentially on the metal conductive layer. 제 1 항에 있어서, 상기 고분자 필름은 PVDF(Polyvinylidene Fluoride), PVDCN(Polyvinylidene Cyanide) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 맥진 검출 센서.The pulsation detection sensor according to claim 1, wherein the polymer film is any one of polyvinylidene fluoride (PVDF) and polyvinylidene cyanide (PVDCN). 제 1 항에 있어서, 상기 금속전도층은 크롬(Cr), 금(Au)의 이중층인 것을 특징으로 하는 맥진 검출 센서.The pulse detection sensor according to claim 1, wherein the metal conductive layer is a double layer of chromium (Cr) and gold (Au). 소정 형상을 갖는 섀도우 마스크를 형성하는 단계;Forming a shadow mask having a predetermined shape; 상기 섀도우 마스크를 이용하여 압전 특성을 갖는 고분자 필름의 양면 상에 금속전도층을 증착하는 단계;Depositing a metal conductive layer on both surfaces of the polymer film having piezoelectric properties using the shadow mask; 상기 금속전도층 상에 절연층 및 정전기 차단막을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 맥진 검출 센서 제조방법.And sequentially forming an insulating layer and an electrostatic shielding film on the metal conductive layer. 제 4 항에 있어서, 상기 고분자 필름은 PVDF(Polyvinylidene Fluoride), PVDCN(Polyvinylidene Cyanide) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 맥진 검출 센서.The pulse detection sensor according to claim 4, wherein the polymer film is made of any one of polyvinylidene fluoride (PVDF) and polyvinylidene cyanide (PVDCN). 제 4 항에 있어서, 상기 금속전도층은 크롬(Cr), 금(Au)의 이중층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 맥진 검출 센서.The pulse detection sensor according to claim 4, wherein the metal conductive layer is formed of a double layer of chromium (Cr) and gold (Au). 압전 특성을 이용한 센서와 상기 센서가 물리적 파동을 감지할 수 있도록 상기 센서 주위에 구비되어 있는 공기주머니로 이루어져 피검진자의 맥박을 측정하는 센싱부;Sensing unit for measuring the pulse of the examinee consisting of a sensor using the piezoelectric characteristics and an air bag provided around the sensor so that the sensor can detect a physical wave; 상기 센싱부의 공기주머니에 공기를 공급하는 공기펌프;An air pump supplying air to the air bag of the sensing unit; 상기 센싱부에서 검출된 전기적 신호를 증폭 및 여과 처리하는 신호처리보드;A signal processing board for amplifying and filtering the electrical signal detected by the sensing unit; 상기 신호처리보드를 거친 전기적 신호를 외부로 출력하는 표시장치를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 맥진 검출 장치.And a display device for outputting an electrical signal through the signal processing board to the outside.
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