KR200342507Y1 - Wafer receptacle - Google Patents
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Abstract
웨이퍼를 안정적으로 보관할 수 있는 웨이퍼 보관용기가 개시된다. 웨이퍼 보관용기는 측면의 적어도 일 부위가 절개되어 개방된 실린더 형상의 웨이퍼 수용실을 구비한 하부용기를 가지고, 수용실을 덮도록 하부용기와 결합되는 상부용기를 구비하며, 상부용기 및/또는 하부용기와 일체로 형성되어, 상부용기와 하부용기가 상호 결합된 상태를 유지하도록 걸림결합에 의해 체결되는 체결부를 구비한다. 그리고 상부용기와 상면과 하부용기의 하면은 각각의 적어도 일 부위가 상호 대면시 형상맞춤되는 판면 프로파일을 갖도록 형성된다. 본 고안에 의하면, 상부용기와 하부용기의 조립이 간편하여 웨이퍼의 보관이 매우 간편하다. 또한, 다단으로 적층이 가능하여 다수의 웨이퍼를 보다 효율적으로 보관 및 운반할 수 있다.Disclosed is a wafer storage container capable of stably storing a wafer. The wafer storage container has a lower container having a cylindrical wafer storage chamber in which at least one side of the side is cut open and has an upper container coupled to the lower container to cover the storage chamber, and the upper container and / or the lower container. It is formed integrally with the container, and has a fastening portion which is fastened by the engaging engagement to maintain the upper container and the lower container coupled to each other. And the lower surface of the upper container and the upper surface and the lower container is formed such that each of the at least one portion has a plate profile that is shaped to face each other. According to the present invention, the assembling of the upper container and the lower container is easy, and the storage of the wafer is very simple. In addition, stacking in multiple stages allows multiple wafers to be stored and transported more efficiently.
Description
본 고안은 웨이퍼 보관용기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부의 오염원과 충격으로부터 웨이퍼를 안정적으로 보관할 수 있는 웨이퍼 보관용기에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer storage container, and more particularly, to a wafer storage container capable of stably storing a wafer from external contamination and impact.
반도체 소자를 제조하기 위한 웨이퍼(wafer)는 고정밀도의 물품이므로 보관시 또는 운반시 외부의 오염물질과 충격으로부터 오염되거나 손상되지 않도록 주의를 요한다. 특히, 보관 및 운반의 과정에서 웨이퍼의 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 주의를 요해야 한다. 따라서 웨이퍼를 보관 및 운반할 때에는 반드시 별도의 보관용기 내에 수납시켜 외부의 충격과 오염물질로부터 보호해야 한다.Since a wafer for manufacturing a semiconductor device is a high-precision article, care must be taken not to be contaminated or damaged from external contaminants and impacts during storage or transportation. In particular, care must be taken so that the surface of the wafer is not contaminated by impurities such as dust, moisture, various organic materials, and the like during the storage and transportation. Therefore, when storing and transporting the wafer, it must be stored in a separate storage container to protect it from external impact and contaminants.
웨이퍼 보관용기의 일례로서, 국내 공개특허 2002-81929호가 제안되어 있다. 이 기술은 실린더형 측벽을 갖는 하부용기와, 하부용기의 실린더형 측벽 상단부를 수용하는 원형 홈 및 하부용기를 덮을 수 있도록 하방으로 연장되는 용기 벽체를 갖는 하부용기로 구성된다.As an example of a wafer storage container, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2002-81929 has been proposed. This technique consists of a lower container having a cylindrical side wall, and a lower container having a circular groove for receiving the cylindrical side wall upper end of the lower container and a container wall extending downward to cover the lower container.
이러한 웨이퍼 보관용기에 의하면, 먼저 하부용기의 실린더 내경에 쿠션재를 깔고, 그 위에 다수의 웨이퍼를 적층시킨다. 이때, 웨이퍼와 웨이퍼의 사이에는 간지(insert)를 끼워 넣어 웨이퍼 간의 직접적인 접촉을 방지한다.According to such a wafer storage container, first, a cushioning material is laid on the cylinder inner diameter of the lower container, and a plurality of wafers are stacked thereon. At this time, an insert is inserted between the wafer and the wafer to prevent direct contact between the wafers.
그리고 웨이퍼의 적층이 완료되면, 최상층의 웨이퍼 위에 다시 쿠션재를 덮은 후, 상부용기로 하부용기를 덮어 밀폐시킨다. 그리고 최종적으로 테이프로서 하부용기와 상부용기를 고정시킨다.When the lamination of the wafer is completed, the cushioning material is again covered on the uppermost wafer, and then the upper container is covered with the lower container to be sealed. Finally, the lower container and the upper container are fixed as tapes.
그러나 이와 같은 종래의 웨이퍼 보관용기는 하부용기와 상부용기를 일일이 테이프로 고정해야 하는 번거로움이 있다. 또한, 종래의 웨이퍼 보관용기는 다단으로 적층할 수 없는 단점이 있다. 즉, 통상적으로 웨이퍼가 보관된 보관용기를 보관 및 운반할 경우에는, 상기 보관용기를 다단으로 적층하여 보관하거나 운반한다. 그러나 종래의 보관용기는 다단으로 적층하기 어렵게 구성되어 다단으로 적층할 경우, 적층된 보관용기가 넘어져 흐트러진다는 단점이 있는 것이다.However, such a conventional wafer storage container is troublesome to fix the lower container and the upper container with tapes. In addition, the conventional wafer storage container has a disadvantage that can not be stacked in multiple stages. In other words, when storing and transporting a storage container in which a wafer is normally stored, the storage containers are stacked and stored or transported in multiple stages. However, the conventional storage container is configured to be difficult to stack in multiple stages, when stacked in multiple stages, there is a disadvantage that the stacked storage containers fall down.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 용기를 조립이 간편하여 웨이퍼의 보관이 손쉽게 구성된 웨이퍼 보관용기를 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the object of the present invention is to provide a wafer storage container that is easy to assemble the container is configured to easily store the wafer.
본 고안의 다른 목적은 다단으로 적층이 가능하여 다수의 웨이퍼를 보다 효율적으로 보관 및 운반할 수 있는 웨이퍼 보관용기를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a wafer storage container that can be stacked in multiple stages that can be stored and transported more efficiently.
도 1은 본 고안에 따른 웨이퍼 보관용기의 구성을 나타내는 분해 사시도,1 is an exploded perspective view showing the configuration of a wafer storage container according to the present invention;
도 2는 본 고안에 따른 웨이퍼 보관용기의 구성을 나타내는 단면도,2 is a cross-sectional view showing the configuration of a wafer storage container according to the present invention;
도 3은 도 2의 결합상태를 나타내는 단면도,3 is a cross-sectional view showing a coupling state of FIG.
도 4는 본 고안의 웨이퍼 보관용기를 구성하는 체결부의 변형예를 나타내는 사시도이다.Figure 4 is a perspective view showing a modification of the fastening portion constituting the wafer storage container of the present invention.
＊ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＊＊ Explanation of symbols for main part of drawing ＊
10: 하부용기 12: 베이스부10: lower container 12: base portion
12a: 결합홈 14: 측벽부12a: coupling groove 14: side wall
16: 수용실 18: 절개부16: storage room 18: incision
20: 상부용기 22: 덮개부20: upper container 22: cover
22a: 결합돌기 24: 스커트부22a: engaging projection 24: skirt section
26: 손잡이 30: 후크부26: handle 30: hook portion
32: 걸림구멍 40: 걸림홈32: engaging hole 40: engaging groove
40a: 입구 42: 걸림돌기40a: entrance 42: protrusion
이와 같은 목적을 달성하기 위해 본 고안은 하부용기와, 상부용기와, 체결부를 포함한다. 하부용기는 측면의 적어도 일 부위가 절취되어 개방된 실린더 형상의 웨이퍼 수용실을 구비하고, 상부용기는 상기 수용실을 덮도록 상기 하부용기와 결합되며, 체결부는 상기 상부용기 및/또는 상기 하부용기와 일체로 형성되어, 상기 상부용기와 상기 하부용기가 상호 결합된 상태를 유지하도록 걸림결합에 의해 체결된다. 그리고 상기 상부용기와 상면과 상기 하부용기의 하면은 각각의 적어도 일 부위가 상호 대면시 형상맞춤되는 판면 프로파일을 갖도록 형성된다.In order to achieve the above object, the present invention includes a lower container, an upper container, and a fastening part. The lower container includes a cylindrical wafer storage chamber having at least one portion of the side cut open and the upper container is coupled to the lower container so as to cover the storage chamber, and a fastening part is connected to the upper container and / or the lower container. Is formed integrally with, the upper container and the lower container is fastened by the engaging engagement to maintain the state coupled to each other. And the upper container and the upper surface and the lower surface of the lower container is formed so that each of the at least one portion has a plate profile that is shaped to face each other.
체결부로 상부용기와 하부용기를 체결하므로 상부용기와 하부용기의 조립이 간편하여 웨이퍼의 보관이 매우 간편하다. 또한, 상기 상부용기와 상면과 상기 하부용기의 하면에 상호 형상맞춤되는 판면 프로파일이 각각 형성되므로 웨이퍼 보관용기의 적재가 용이하며, 따라서 다수의 웨이퍼를 보다 효율적으로 보관 및 운반할 수 있다.Since the upper part and the lower part are fastened by the fastening part, the assembly of the upper part and the lower part is easy, and the storage of the wafer is very simple. In addition, since the plate profile is formed on the upper container and the upper surface and the lower surface of the lower container, respectively, the wafer storage container is easy to load, so that a plurality of wafers can be stored and transported more efficiently.
상기 체결부는 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 어느 하나와 일체로 형성되는 후크부를 포함하며, 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 다른 하나에는 상기 후크부가 삽입되어 걸리는 걸림구멍으로 구성된다.The fastening part includes a hook part integrally formed with any one of the lower container and the upper container, and the locking part is inserted into and caught by the hook part in the other of the lower container and the upper container.
상기 체결부는 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 어느 하나와 일체로 형성되는 걸림돌기를 포함하며, 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 다른 하나에는 상기 걸림돌기가 수용되어 걸리며 그 일측방에 상기 걸림돌기의 수용을 허용하기 위한 트인 입구를 갖는 걸림홈으로 구성된다.The fastening part includes a locking protrusion formed integrally with any one of the lower container and the upper container, and the locking protrusion is accommodated in the other one of the lower container and the upper container to accommodate the locking protrusion on one side thereof. It is composed of a locking groove having an open inlet for allowing.
이하, 본 고안에 따른 웨이퍼 보관용기의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the wafer storage container according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 고안에 따른 웨이퍼 보관용기의 구성을 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는 본 고안에 따른 웨이퍼 보관용기의 구성을 나타내는 단면도이며, 도 3은 도 2의 결합상태를 나타내는 단면도이다. 먼저, 본 고안의 웨이퍼 보관용기는 도 1에 도시된 바와 같이 하부용기(10)와 상부용기(20)로 구성된다.1 is an exploded perspective view showing the configuration of a wafer storage container according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the wafer storage container according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing a coupling state of FIG. First, the wafer storage container of the present invention is composed of a lower container 10 and the upper container 20 as shown in FIG.
이를 상세하게 살펴보면, 하부용기(10)는 합성수지 재질로 구성되는 것으로서, 베이스부(12)와, 베이스부(12)의 상면으로부터 돌출 연장되는 실린더 형상의측벽부(14)로 구성된다.Looking at this in detail, the lower container 10 is composed of a synthetic resin material, the base portion 12, and is formed of a cylindrical side wall portion 14 protruding from the upper surface of the base portion 12.
베이스부(12)는 대략 사각의 판체이며, 그 밑면에는 도 2에 도시된 바와 같이 결합홈(12a)들이 형성되어 있다. 결합홈(12a)들은 하부에 배치되는 다른 웨이퍼 보관용기와의 상호 대면시, 다른 웨이퍼 보관용기의 상부용기(20)의 결합돌기(22a)와 결합되도록 구성된다. 여기서, 결합홈(12a)은 하부용기(10)가 사출성형됨에 따라 베이스부(12)의 상면에도 그 형상이 그대로 형성되는데, 이때의 형상은 하부에 배치되는 다른 웨이퍼 보관용기와 높은 결합력으로 겹합되는 형상이라면 어떠한 형상이라도 좋다. 본 고안에서는 도 1에서와 같이 중앙으로부터 방사상으로 뻗어 있는 복수의 결합홈(12a)이 형성되는 것을 특징으로 한다.Base portion 12 is a substantially rectangular plate body, the coupling grooves 12a are formed at the bottom thereof as shown in FIG. The coupling grooves 12a are configured to be engaged with the coupling protrusion 22a of the upper container 20 of the other wafer storage container when facing the other wafer storage container disposed below. Here, the shape of the coupling groove 12a is formed on the upper surface of the base portion 12 as the lower container 10 is injection molded, and the shape overlaps with other wafer storage containers disposed under the high coupling force. Any shape may be used as long as it is a shape. In the present invention is characterized in that a plurality of coupling grooves 12a extending radially from the center as shown in FIG.
그리고 실린더 형상의 측벽부(14)는 수용실(16)을 형성하는 것으로, 형성된 수용실(16)에 다수의 웨이퍼(W)를 수용할 수 있게 구성된다. 여기서, 측벽부(14)에는 서로 마주보는 두 쌍의 절개부(18)가 형성되어 있다. 이 절개부(18)는 수용실 (16)에 수용된 웨이퍼(W)를 수용시키거나 꺼낼 때, 웨이퍼(W)의 양측을 파지할 수 있게 함으로써 웨이퍼(W)의 수납 및 이탈을 수월하게 한다. 본 고안에서는 절개부 (18)가 두 쌍으로 형성되어 있지만, 예를 들어 한 쌍이 형성되는 것도 가능하다.And the cylindrical side wall part 14 forms the storage chamber 16, Comprising: It is comprised so that many wafers W can be accommodated in the formed storage chamber 16. As shown in FIG. Here, the side wall portion 14 is formed with two pairs of cutouts 18 facing each other. The cutout 18 facilitates holding and detaching of the wafer W by allowing both sides of the wafer W to be gripped when the wafer W accommodated in or taken out of the storage chamber 16 is received. In the present invention, the cutouts 18 are formed in two pairs, but a pair can be formed, for example.
이와 같이 구성된 하부용기(10)에 의하면, 웨이퍼(W)를 수용할 수 있는 실린더 형상의 수용실(16)을 구비함으로써 다수의 웨이퍼(W)를 적층하면서 보관할 수 있게 된다.According to the lower container 10 comprised in this way, by providing the cylindrical accommodating chamber 16 which can accommodate the wafer W, it can hold | stack and store many wafers W. As shown in FIG.
다음으로, 도 1을 참조하여 상부용기(20)에 대해 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 상부용기(20)는 덮개부(22)와, 덮개부(22)의 밑면으로부터 하부로 연장되는 스커트부(24)로 구성된다.Next, referring to FIG. 1, the upper container 20 will be described. First, the upper container 20 is composed of a cover portion 22 and a skirt portion 24 extending downward from the bottom surface of the cover portion 22.
덮개부(22)는 대략 사각의 판체로서, 하부용기(10)의 트인 수용실(16)을 덮도록 구성되며, 그 상면에는 결합돌기(22a)들이 형성되어 있다. 결합돌기(22a)들은 도 2에 도시된 바와 같이 상부에 배치되는 다른 웨이퍼 보관용기와의 상호 대면시, 다른 웨이퍼 보관용기의 하부용기(10)의 결합홈(12a)과 결합되도록 구성된다. 여기서, 결합돌기(22a)는 하부용기(10)의 결합홈(12a)과 대응되는 형상을 가짐은 물론이다. 이렇게, 상부의 다른 웨이퍼 보관용기와 결합되는 결합돌기(22a)는, 도 3에서와 같이 웨이퍼 보관용기들 간의 결합력을 높여줌으로써 웨이퍼 보관용기들을 다단으로 쌓을 수 있게 한다. 특히, 웨이퍼 보관용기들을 다단으로 쌓을 수 있게 함으로써 웨이퍼 보관용기의 보관 및 운반 효율을 증대시키는 역할을 한다.The cover part 22 is a substantially rectangular plate body, and is configured to cover the open receiving chamber 16 of the lower container 10, and coupling protrusions 22a are formed on an upper surface thereof. The coupling protrusions 22a are configured to engage with the coupling groove 12a of the lower container 10 of the other wafer storage container when the coupling protrusions 22a face each other with the other wafer storage container disposed above. Here, the coupling protrusion 22a has a shape corresponding to the coupling groove 12a of the lower container 10, of course. As such, the coupling protrusion 22a coupled to the other wafer storage container on the top may increase the bonding force between the wafer storage containers as shown in FIG. 3, thereby stacking the wafer storage containers in multiple stages. In particular, by stacking the wafer storage containers in multiple stages serves to increase the storage and transport efficiency of the wafer storage container.
그리고 도 1과 도 2를 참조하면, 하방으로 연장되는 스커트부(24)는 하부용기(10)의 측벽부(14) 둘레를 감싸도록 구성된다. 여기서, 스커트부(24)는 하부용기 (10)의 측벽부(14)를 둘러싸도록 사각통 형상으로 구성된다. 이때, 스커트부(24)는, 상부용기(20)가 하부용기(10)에 결합된 상태에서 그의 적어도 일 부위가 하부용기(10)의 측벽부(14)의 외측면에 접촉되도록 그 모서리부가 상부용기(20)의 내측으로 함몰 형성되어 있다. 한편, 스커트부(24)는, 실린더 형상의 측벽부(14)의 형상에 맞춰 실린더 형상으로 형성되어도 무방하다.1 and 2, the skirt portion 24 extending downward is configured to surround the side wall portion 14 of the lower container 10. Here, the skirt portion 24 is configured in a square cylinder shape so as to surround the side wall portion 14 of the lower container (10). At this time, the skirt portion 24, the corner portion so that at least one portion thereof in contact with the outer surface of the side wall portion 14 of the lower vessel 10 in a state where the upper vessel 20 is coupled to the lower vessel 10. It is recessed inward of the upper container 20. In addition, the skirt part 24 may be formed in cylinder shape according to the shape of the cylindrical side wall part 14.
이와 같이 구성된 상부용기(20)에 의하면, 스커트부(24)로서 하부용기(10)의 측벽부(14)를 감싸고, 덮개부(22)로서 하부용기(10)의 트인 수용실(16)을 덮음으로써 웨이퍼(W)가 수용된 하부용기(10)를 밀폐하는 역할을 한다.According to the upper container 20 configured as described above, the side wall portion 14 of the lower container 10 is wrapped with the skirt portion 24, and the open receiving chamber 16 of the lower container 10 is opened as the cover portion 22. The cover serves to seal the lower container 10 in which the wafer W is accommodated.
한편, 본 고안의 웨이퍼 포장용기는 서로 결합된 하부용기(10)와 상부용기 (20)를 체결하는 체결부를 갖는다. 체결부는 하부용기(10)의 베이스부(12) 네 모서리 중, 마주보는 어느 두 개의 모서리에는 형성되는 후크부(30)와, 후크부(30)가 끼워져 고정되도록 상부용기(20)의 덮개부(22) 모서리에 형성되는 걸림구멍(32)들로 구성된다.On the other hand, the wafer packaging container of the present invention has a fastening portion for fastening the lower container 10 and the upper container 20 coupled to each other. Fastening part of the four corners of the base portion 12 of the lower container 10, the hook portion 30 is formed on any two corners facing each other, the cover portion of the upper container 20 so that the hook portion 30 is fitted and fixed (22) It is composed of engaging holes 32 formed in the corner.
이러한 체결부에 의하면, 하부용기(10)의 후크부(30)를 상부용기(20)의 걸림구멍(32)에 끼워져 고정시킴으로써 하부용기(10)와 상부용기(20)를 서로 체결한다. 여기서, 상부용기(20)의 걸림구멍(32)은 덮개부(22)의 네 모서리에 모두 형성됨이 바람직하다. 이는 어느 방향으로든 하부용기(10)의 사각의 베이스부(12)와 상부용기(20)의 덮개부(22)만 정렬시키면, 하부용기(10)의 후크부(30)가 상부용기(20)의 걸림구멍(32)과 자동으로 정렬될 수 있게 하기 위함이며, 이는 하부용기(10)와 상부용기(20)의 조립을 용이하게 한다.According to such a fastening portion, the lower container 10 and the upper container 20 are fastened to each other by being fitted into the locking holes 32 of the upper container 20 by fixing the hook portion 30 of the lower container 10. Here, the locking hole 32 of the upper container 20 is preferably formed in all four corners of the cover portion (22). This aligns the rectangular base portion 12 of the lower container 10 and the cover portion 22 of the upper container 20 in any direction, the hook portion 30 of the lower container 10 is the upper container 20 In order to be able to be automatically aligned with the engaging hole 32 of, this facilitates the assembly of the lower container 10 and the upper container 20.
본 고안에서는 하부용기(10)에 후크부(30)를 형성하고, 상부용기(20)에 걸림구멍(32)을 형성하였지만, 반대로 하부용기(10)에 걸림구멍(32)을 형성하고, 상부용기(20)에 후크부(30)를 형성할 수도 있다.In the present invention, the hook portion 30 is formed in the lower container 10, and the locking hole 32 is formed in the upper container 20. However, the locking hole 32 is formed in the lower container 10, and the upper portion is Hook portion 30 may be formed in container 20.
한편, 도 4에는 본 고안의 변형예를 나타내는 도면이 도시되어 있다. 변형예의 웨이퍼 보관용기는 체결부가 상기한 실시예와 다른 구성을 갖는다. 즉, 하부용기(10)의 측벽부(14) 외주면에 한 쌍의 걸림홈(40)을 대칭되게 형성하고, 이 걸림홈(40)에 체결되도록 상부용기(20)의 스커트부(24) 내주면에는 한 쌍의 걸림돌기 (42)를 형성하였다. 특히, 걸림홈(40)은 측벽부(14)의 외면으로부터 돌출되는 "┌"형 돌출턱(41)에 의해 형성되는 것으로, 측방을 향해 트인 입구(40a)를 가지며, 트인 입구(40a)를 통해 상부용기(20)의 걸림돌기(42)가 끼워져 체결되도록 구성된다.On the other hand, Figure 4 is a view showing a modification of the subject innovation. The wafer storage container of the modification has a structure in which the fastening portion is different from the above embodiment. That is, a pair of locking grooves 40 are symmetrically formed on the outer circumferential surface of the side wall portion 14 of the lower container 10, and the inner circumferential surface of the skirt portion 24 of the upper container 20 is fastened to the locking grooves 40. There was formed a pair of locking projections 42. In particular, the locking groove 40 is formed by a "┌" -shaped protruding jaw 41 which protrudes from the outer surface of the side wall portion 14, and has an inlet 40a that opens toward the side, and opens the inlet 40a. Through the locking projection 42 of the upper container 20 is fitted to be fastened.
이러한 변형예의 체결부는 하부용기(10)와 상부용기(20)를 서로에 대해 반대방향으로 회전시켜서 걸림홈(40)과 걸림돌기(42)를 결합시키고, 다시 반대방향으로 회전시켜서 걸림홈(40)과 걸림돌기(42)를 결합 해제하도록 구성됨으로써 하부용기 (10)와 상부용기(20)의 조립과 분리를 간편하게 한다.The fastening part of this modification rotates the lower container 10 and the upper container 20 in opposite directions with respect to each other to engage the locking groove 40 and the locking projection 42, and rotates again in the opposite direction to the locking groove 40 By disassembling the engaging projection 42) and simplify the assembly and separation of the lower container 10 and the upper container 20.
본 고안에서는 하부용기(10)에 걸림홈(40)을 형성하고, 상부용기(20)에 걸림돌기(42)를 형성하였지만, 반대로 하부용기(10)에 걸림돌기(42)를 형성하고, 상부용기(20)에 걸림홈(40)을 형성할 수도 있다.In the present invention, although the locking groove 40 is formed in the lower container 10 and the locking protrusion 42 is formed in the upper container 20, the locking protrusion 42 is formed in the lower container 10, and the upper portion is A locking groove 40 may be formed in the container 20.
한편, 변형예의 웨이퍼 보관용기는 상부용기(20)를 회전시키기 용이하도록 상부용기(20)의 상면으로 돌출된 손잡이(26)를 더 구비한다. 이 손잡이(26)는 하부용기(10)와 상부용기(20)의 체결 및 체결해제시, 사용자로 하여금 파지하여 회전시키게 함으로써 하부용기(10)와 상부용기(20)의 결합 및 분리를 간편하게 한다.On the other hand, the wafer storage container of the modification further includes a handle 26 protruding to the upper surface of the upper container 20 to facilitate the rotation of the upper container (20). The handle 26 facilitates the coupling and separation of the lower container 10 and the upper container 20 by allowing the user to grip and rotate when the lower container 10 and the upper container 20 are fastened and released. .
끝으로, 이와 같은 구성을 갖는 본 고안의 사용방법을 도 2와 도 3을 참조하여 살펴본다. 먼저, 도 2에서와 같이 하부용기(10)의 수용실(16)에 쿠션재(C)를 깔고, 그 위에 다수의 웨이퍼(W)를 적층시킨다. 이때, 웨이퍼(W)와 웨이퍼(W)의 사이에는 간지(I)를 끼워 넣어 웨이퍼(W) 간의 직접적인 접촉을 방지한다.Finally, the method of using the present invention having such a configuration will be described with reference to FIGS. 2 and 3. First, as shown in FIG. 2, the cushioning material C is laid in the storage chamber 16 of the lower container 10, and a plurality of wafers W are stacked thereon. At this time, the interleaver (I) is sandwiched between the wafer (W) and the wafer (W) to prevent direct contact between the wafer (W).
그리고 웨이퍼(W)의 적층이 완료되면, 최상층의 웨이퍼(W) 위에 다시 쿠션재 (C)를 덮은 후, 상부용기(20)로 하부용기(10)를 덮어 밀폐시킨다. 이때, 상부용기 (20)의 스커트부(24)는 하부용기(10)의 측벽부(14)를 감싸고, 상부용기(20)의 덮개부(22)는 하부용기(10)의 트인 수용실(16)을 덮어 밀폐한다.When the stacking of the wafer W is completed, the cushion material C is again covered on the uppermost wafer W, and then the lower container 10 is covered with the upper container 20 to be sealed. At this time, the skirt portion 24 of the upper vessel 20 surrounds the side wall portion 14 of the lower vessel 10, the cover portion 22 of the upper vessel 20 is the open receiving chamber of the lower vessel 10 ( 16) Cover and seal.
한편, 하부용기(10)를 덮어 밀폐시키는 과정에서 하부용기(10)의 후크부(30)는 상부용기(20)의 걸림구멍(32)과 자연스럽게 정렬되며, 후크부(30)와 걸림구멍 (32)이 정렬되면, 하부용기(10)와 상부용기(20)를 압착하여 후크부(30)와 걸림구멍 (32)을 서로 결합시킨다.Meanwhile, in the process of covering and sealing the lower container 10, the hook part 30 of the lower container 10 is naturally aligned with the locking hole 32 of the upper container 20, and the hook part 30 and the locking hole ( When the 32 is aligned, the lower container 10 and the upper container 20 are compressed to couple the hook portion 30 and the catching hole 32 to each other.
이와 같은 상태에서 하부용기(10)와 상부용기(20)는 다수의 웨이퍼(W)를 수용한 채 서로 조립되는 것이다. 여기서, 하부용기(10)와 상부용기(20)를 분리하여 웨이퍼(W)를 꺼내고자 할 경우에는, 걸림구멍(32)에 결합된 후크부(30)를 걸림구멍 (32)으로부터 분리하면 된다.In this state, the lower container 10 and the upper container 20 are assembled to each other while receiving a plurality of wafers (W). Here, when the lower container 10 and the upper container 20 are separated and the wafer W is taken out, the hook portion 30 coupled to the locking hole 32 may be separated from the locking hole 32. .
한편, 웨이퍼(W)가 수용된 웨이퍼 보관용기(1)를 대량으로 운반 및 보관하고자 할 경우에는, 먼저 도 3에서와 같이 최하부의 웨이퍼 보관용기에 다수의 웨이퍼 보관용기를 쌓아 적재한다. 그러면, 적재되는 웨이퍼 보관용기는 차례 차례 쌓이면서 일정한 높이로 적재되는 것이다. 이때, 웨이퍼 보관용기의 상부용기(20)에 형성된 결합돌기(22a)는 상부에 배치되는 다른 보관용기의 하부용기(10)에 형성된 결합홈(12a)과 결합되면서 보관용기 간의 결합력을 높여준다. 따라서, 적재된 보관용기들은 높은 결합력을 갖고 일정한 높이로 쌓아질 수 있는 것이다.On the other hand, when carrying and storing the wafer storage container 1 in which the wafers W are accommodated in large quantities, first, as shown in FIG. 3, a plurality of wafer storage containers are stacked and stacked in the lowermost wafer storage container. Then, the stacked wafer storage containers are stacked one by one and stacked at a constant height. At this time, the coupling protrusion 22a formed in the upper container 20 of the wafer storage container is coupled with the coupling groove 12a formed in the lower container 10 of the other storage container disposed on the upper side, thereby increasing the coupling force between the storage containers. Therefore, the loaded containers can be stacked to a certain height with a high binding force.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 보관용기는 상부용기와 하부용기의 조립이 간편하여 웨이퍼의 보관이 매우 간편하다. 또한, 다단으로 적층이 가능하여 다수의 웨이퍼를 보다 효율적으로 보관 및 운반할 수 있다.As described above, the wafer storage container according to the present invention is easy to assemble the upper container and the lower container is very easy to store the wafer. In addition, stacking in multiple stages allows multiple wafers to be stored and transported more efficiently.
이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 고안의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 실용신안등록청구범위에 기재된 범주내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.In the above described a preferred embodiment of the present invention by way of example, the scope of the present invention is not limited only to this specific embodiment, it can be appropriately changed within the scope described in the utility model registration claims.
Claims (6)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2003-0034372U KR200342507Y1 (en) | 2003-11-03 | 2003-11-03 | Wafer receptacle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20-2003-0034372U KR200342507Y1 (en) | 2003-11-03 | 2003-11-03 | Wafer receptacle |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR200342507Y1 true KR200342507Y1 (en) | 2004-02-21 |
Family
ID=49425115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR20-2003-0034372U KR200342507Y1 (en) | 2003-11-03 | 2003-11-03 | Wafer receptacle |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200342507Y1 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101447451B1 (en) | 2014-05-22 | 2014-10-07 | (주)상아프론테크 | Wafer receptacle |
| KR101547177B1 (en) | 2015-04-03 | 2015-08-27 | (주)상아프론테크 | Wafer receptacle |
| KR101567920B1 (en) | 2015-01-28 | 2015-11-10 | (주) 모듈트레이테크널러지 | Stackable tray for semiconducter wafer |
| KR101670840B1 (en) | 2015-05-22 | 2016-10-31 | 주식회사 엠테크놀리지 | Wafer Reception Box |
| KR20230036337A (en) | 2021-09-07 | 2023-03-14 | 주식회사 삼에스코리아 | Waper shipping box |
| KR20230036355A (en) | 2021-09-07 | 2023-03-14 | 주식회사 삼에스코리아 | Waper shipping box |
-
2003
- 2003-11-03 KR KR20-2003-0034372U patent/KR200342507Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101447451B1 (en) | 2014-05-22 | 2014-10-07 | (주)상아프론테크 | Wafer receptacle |
| KR101567920B1 (en) | 2015-01-28 | 2015-11-10 | (주) 모듈트레이테크널러지 | Stackable tray for semiconducter wafer |
| KR101547177B1 (en) | 2015-04-03 | 2015-08-27 | (주)상아프론테크 | Wafer receptacle |
| KR101670840B1 (en) | 2015-05-22 | 2016-10-31 | 주식회사 엠테크놀리지 | Wafer Reception Box |
| KR20230036337A (en) | 2021-09-07 | 2023-03-14 | 주식회사 삼에스코리아 | Waper shipping box |
| KR20230036355A (en) | 2021-09-07 | 2023-03-14 | 주식회사 삼에스코리아 | Waper shipping box |
| US11842912B2 (en) | 2021-09-07 | 2023-12-12 | 3S Korea Co., Ltd. | Wafer transport box |
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