KR20030090371A - Scribing apparatus for light guide panel and calibrating method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치 및 그 보정방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 도광판의 일면에 광 반사율을 높이기 위해서 CO2 레이저를 사용하여 스크라이빙하는 장치 및 그 보정방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus for a light guide plate and a billboard using a laser and a method for correcting the same. More particularly, the present invention relates to a device for scribing using a CO2 laser and a method for correcting the light reflectance on one surface of the light guide plate. It is about.
일반적으로 LCD의 백라이트 및 광고표시판에 사용되는 도광판은 광원으로부터의 광을 전면으로 고르게 반사하도록 그 배면에 v형 홈부를 구비한다. 도 1은 이러한 도광판을 사용하는 백라이트의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 1을 참조하면, 소정 두께의 아크릴판으로 제조되는 도광판(10)의 배면에 광을 전면으로 반사하도록 형성된 다수의 V형 홈부(10a)가 형성되어 있다. 이 도광판(10)의 양측에는 광원(12)으로서 형광등이 설치되며 이 형광등의 주위에는 반사판(14)이 배치된다. 상기 도광판(10)의 배면 상에는 반사판(16)이 배치되어서 광의 전면반사를 돕는다. 상기 도광판(10)의 전면 상에는 전면으로 반사되는 빛을 산란시켜서 광휘도를 균일화하는 디퓨저(diffuser: 18)가 배치되며, 상기 디퓨저(18) 상에는 빛을 분할 집광하여 휘도를 향상시키는 프리즘(20)이 배치된다.Generally, a light guide plate used for a backlight and an advertisement display panel of an LCD includes a v-groove at its rear surface to evenly reflect light from a light source to the front side. 1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a backlight using such a light guide plate. Referring to FIG. 1, a plurality of V-shaped groove portions 10a formed to reflect light to the front surface of the light guide plate 10 made of an acrylic plate having a predetermined thickness are formed. Fluorescent lamps are provided as light sources 12 on both sides of the light guide plate 10, and reflecting plates 14 are disposed around the fluorescent lamps. The reflecting plate 16 is disposed on the rear surface of the light guide plate 10 to assist the front reflection of the light. A diffuser 18 is arranged on the front surface of the light guide plate 10 to scatter light reflected to the front surface to uniformize the brightness of the light guide plate 10, and the prism 20 dividing and condensing light on the diffuser 18 to improve luminance. Is placed.
상기 도광판(10)의 배면에 형성된 v형 홈부(10a)는 일반적으로 광원(12)으로부터 멀어질수록 촘촘히 형성되고 가까울수록 듬성듬성 형성된다. 도 1에서는 v형 홈부(10a)를 설명하기 위해서 일방향으로 표시하였지만 실제는 직각으로 형성되는 것이 일반적이다.The v-shaped groove portion 10a formed on the rear surface of the light guide plate 10 is generally formed more densely away from the light source 12 and is formed more sparsely. In FIG. 1, the v-shaped grooves 10a are shown in one direction in order to be described. However, the v-shaped grooves 10a are generally formed at right angles.
도 2는 종래의 레이저 가공장치의 구성을 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 레이저 장치는, 레이저 발진장치(30)와, 상기 레이저 발진장치(30)로부터 발진된 레이저 빔을 소정 영역에 X-Y 방향으로 주사시키는 갈바노 스캐너(40)와, 입사된 레이저 빔이 가공 영역의 전체에 대해 동일한 크기의 초점을 형성시키는 f-세타렌즈(50)를 구비한다. 참조번호 41 및 42는 각각 x 및 y 미러로서 입사되는 레이저 빔을 반사시킨다.2 is a view showing the configuration of a conventional laser processing apparatus. Referring to FIG. 2, the laser device includes a laser oscillation device 30, a galvano scanner 40 for scanning a laser beam oscillated from the laser oscillation device 30 in a XY direction to a predetermined region, and an incident laser beam. The beam has an f-theta lens 50 which forms a focal spot of the same size over the whole of the processing area. Reference numerals 41 and 42 reflect laser beams incident as x and y mirrors, respectively.
그러나 상기 f-세타렌즈(50)는 가공면적이 최대 길이 300 mm 정도로 제한되기 때문에 2000 mm 정도의 대형 도광판 및 가공판에는 적용하기 어려운 문제점이 있다.However, the f-theta lens 50 has a problem that it is difficult to apply to a large light guide plate and a processed plate of about 2000 mm because the processing area is limited to a maximum length of about 300 mm.
본 발명은 상기의 문제점을 개선하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 대형 도광판 및 가공판에서도 사용이 가능한 레이저를 이용한 도광판 스크라이빙 장치 및 그 보정방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a light guide plate scribing apparatus using a laser that can be used in a large light guide plate and a processed plate, and a correction method thereof.
도 1은 도광판을 사용하는 백라이트의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an example of a backlight using a light guide plate.
도 2는 종래의 레이저 가공장치의 구성을 보여주는 도면이다.2 is a view showing the configuration of a conventional laser processing apparatus.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a view schematically showing a scribing apparatus for a light guide plate and an advertisement board using a laser according to a preferred embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 초점이동모듈의 스캐닝 렌즈의 수평이동수단의 일 예를 개략적으로 도시한 도면이다.4 is a view schematically showing an example of the horizontal movement means of the scanning lens of the focus movement module according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 보정방법의 흐름도이다.5 is a flowchart of a correction method of a scribing apparatus according to the present invention.
도 6은 일반적인 렌즈에 의한 왜곡현상을 개략적으로 보여주는 도면이다.6 is a view schematically illustrating a distortion phenomenon by a general lens.
*도면의 주요 부분에 대한 부호설명** Description of Signs of Major Parts of Drawings *
110: 레이저 발진기 120: 빔 익스팬더110: laser oscillator 120: beam expander
130: 초점이동모듈 140: 대물렌즈130: focus shift module 140: objective lens
150: 갈바노 스캐너 160: 가공판150: galvano scanner 160: processing plate
170: 제어 유니트170: control unit
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치는, 레이저 발진장치;In order to achieve the above object, a scribing apparatus for a light guide plate and an advertisement board using a laser of the present invention includes: a laser oscillation apparatus;
상기 레이저 발진장치로부터 발진된 레이저 빔을 확대하는 빔 익스팬더;A beam expander for enlarging the laser beam oscillated from the laser oscillator;
상기 빔 익스팬더로부터의 레이저 빔의 포커싱 위치를 수평이동시키는 초점이동모듈;A focus shift module for horizontally shifting the focusing position of the laser beam from the beam expander;
상기 초점이동모듈로부터의 다이버징되는 레이저빔을 집광하는 대물렌즈;An objective lens for focusing the laser beam diverging from the focal shift module;
상기 대물렌즈로부터의 레이저빔을 소정 영역에 X-Y 방향으로 주사시키는 갈바노 스캐너; 및A galvano scanner which scans the laser beam from the objective lens in a predetermined area in the X-Y direction; And
상기 초점이동모듈 및 갈바노 스캐너를 제어하는 제어유니트;를 구비한다.And a control unit for controlling the focus movement module and the galvano scanner.
상기 초점이동모듈은, 상기 갈바노 스캐너로부터 가공면에 조사되는 레이저빔의 초점거리를 결정하는 스캐닝 렌즈; 및The focal shift module comprises: a scanning lens for determining a focal length of a laser beam irradiated from the galvano scanner to a processing surface; And
상기 스캐닝 렌즈를 수평방향으로 이동시키는 수단;을 구비하는 것이 바람직하다.And means for moving the scanning lens in a horizontal direction.
또한, 상기 수평이동수단은,In addition, the horizontal movement means,
상기 스캐닝 렌즈를 수평방향으로 이동시키도록 상기 렌즈를 고정하는 고정부재;A fixing member which fixes the lens to move the scanning lens in a horizontal direction;
상기 고정부재를 수평방향으로 안내하는 선형가이드; 및A linear guide guiding the fixing member in a horizontal direction; And
상기 고정부재에 일단의 스트로크 파이프가 연결되어 상기 고정부재를 상기 선형가이드 상에서 수평으로 이동시키는 액츄에이터;를 구비하는 것이 바람직하다.One end of the stroke pipe is connected to the fixing member is preferably provided with an actuator for moving the fixing member horizontally on the linear guide.
한편, 상기 초점이동모듈은,On the other hand, the focus shift module,
상기 렌즈가 상기 대물렌즈에 접근하는 방향으로 이동될수록 상기 갈바노 스캐너로부터 가공면 사이의 초점거리가 길어지게 된다.As the lens moves in the direction approaching the objective lens, the focal length between the galvano scanner and the processing surface becomes longer.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치의 보정방법은,In order to achieve the above object, a method of correcting a scribing apparatus for a light guide plate and an advertisement board using the laser of the present invention,
(a)스크라이빙 영역을 소정의 포인트로 등분산하는 단계;(a) equally distributing the scribe region to predetermined points;
(b)상기 각 포인트 상에 소정의 파워로 레이저 빔을 조사하는 단계;(b) irradiating a laser beam with a predetermined power on each point;
(c)상기 조사된 포인트와 목표 포인트 사이의 편차를 측정하고, 그 편차를보정하는 단계; 및(c) measuring a deviation between the irradiated point and a target point and correcting the deviation; And
(d)상기 보정된 포인트로 레이저 빔을 조사하고 상기 레이저 빔의 초점이 상기 보정된 포인트에서 가공면에 초점이 맺히도록 초점이동모듈의 스캐닝렌즈를 이동시켜 초점위치 z 값을 보정하고, 이 보정된 초점거리에서의 상기 스캐닝 렌즈의 수평위치를 측정하는 단계;를 구비한다.(d) The laser beam is irradiated to the corrected point, and the focusing position z value is corrected by moving the scanning lens of the focus shift module so that the focus of the laser beam is focused on the processing surface at the corrected point. And measuring a horizontal position of the scanning lens at the focused focal length.
상기 (d)단계는, 상기 초점이동모듈의 렌즈를 대물렌즈에 접근하는 방향으로 이동시킬 수록 상기 갈바노 스캐너로부터 가공면 사이의 초점거리가 길어지게 된다.In the step (d), the focal length between the galvano scanner and the processing surface becomes longer as the lens of the focal shift module moves toward the objective lens.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치 및 그 보정방법을 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되게 도시된 것이다.Hereinafter, a scribing apparatus for a light guide plate and an advertisement board using a laser and a method of correcting the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of layers or regions illustrated in the drawings are exaggerated for clarity.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.3 is a view schematically showing a scribing apparatus for a light guide plate and an advertisement board using a laser according to a preferred embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본발명의 바람직한 실시예에 따른 도광판의 스크라이빙 장치는, 레이저 발진장치(110)와, 상기 레이저 발진장치(110)로부터 발진된 레이저 빔을 확대하는 빔 익스팬더(120)와, 상기 빔 익스팬더(120)로부터의 레이저 빔의 포커싱 위치를 수평이동시키는 초점이동모듈(130)과, 상기 초점이동모듈(130)로부터의 다이버징되는 레이저빔을 집광하는 대물렌즈(140)와, 상기 대물렌즈(140)로부터의 레이저빔을 소정 영역의 가공면(160)에 X-Y 방향으로 주사시키는 갈바노 스캐너(150)를 구비한다.Referring to FIG. 3, a scribing apparatus for a light guide plate according to a preferred embodiment of the present invention includes a laser oscillator 110 and a beam expander 120 for enlarging a laser beam oscillated from the laser oscillator 110. And a focus shift module 130 for horizontally shifting the focusing position of the laser beam from the beam expander 120, and an objective lens 140 for focusing the diverged laser beam from the focus shift module 130. And a galvano scanner 150 for scanning the laser beam from the objective lens 140 in the XY direction on the processing surface 160 of the predetermined region.
상기 레이저 발진장치(110)는 도광판으로 사용하는 아크릴판의 가공이 가능한 CO2 레이저를 사용한다. 상기 레이저 발진장치(110)로부터 발진된 4 mm 직경의 출력광은 빔 익스팬더(120)를 통해서 8 mm 직경의 확대된 평행광이 된다. 이 직경 8 mm 의 확대광은 초점이동모듈(130)의 9 mm 직경의 스캐닝렌즈(132)에 입사된다. 이 스캐닝 렌즈(132)를 통과한 빔은 이 렌즈(132)를 통과한 후 초점을 맺은 다음 다시 발산한 레이저 광 상태로 대물렌즈(140)로 입사된다. 이 입사된 레이저 빔은 대물렌즈(140)에서 다시 수렴하면서 갈바노 스캐너(150)의 x-y 미러(151, 152)에서 반사된 후 가공면(160)에 초점을 맺어서 소정의 패턴을 식각하게 된다.The laser oscillator 110 uses a CO2 laser capable of processing an acrylic plate used as a light guide plate. The 4 mm diameter output light oscillated from the laser oscillator 110 becomes an enlarged parallel light of 8 mm diameter through the beam expander 120. The 8 mm diameter magnified light is incident on the 9 mm diameter scanning lens 132 of the focus movement module 130. The beam passing through the scanning lens 132 passes through the lens 132 and enters the objective lens 140 in a laser light state that is focused and then diverged again. The incident laser beam is reflected by the x-y mirrors 151 and 152 of the galvano scanner 150 while converging again at the objective lens 140 to focus on the processing surface 160 to etch a predetermined pattern.
본 발명에 따른 도광판의 스크라이빙 장치는 종래에는 갈바노 스캐너를 통과한 레이저 빔을 f-세타 렌즈를 통하여서 가공물에 조사함으로써 가공물의 표면에 레이저 초점이 일정하게 하는 대신에 상기 초점이동모듈을 수평으로 이동함으로써 가동물인 아크릴판 상에 가공영역에 따라서 레이저 빔의 초점거리를 조정하여 레이저 빔의 초점이 가공대상물의 표면에 맺히게 하는 것이다.In the scribing apparatus of the light guide plate according to the present invention, the laser beam passing through the galvano scanner is irradiated to the workpiece through an f-theta lens. The laser beam is focused on the surface of the object by adjusting the focal length of the laser beam according to the processing area on the acrylic plate which is the animal.
상기 초점이동모듈(130)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 가공면(160)에 조사되는 레이저빔의 초점거리를 결정하는 스캐닝 렌즈(132)와, 이 렌즈(132)를 수평방향으로 이동시키도록 고정하는 고정부재(133)와, 상기 고정부재(133)를 수평방향으로 안내하는 선형가이드(134)와, 상기 고정부재(133)에 일단의 스트로크 파이프(135a)가 연결되어 상기 고정부재(133)를 상기 선형가이드(134) 상에서 수평으로 이동시키는 액츄에이터(135)를 구비한다. 상기 렌즈(132)는 입사된 레이저 빔이 다음 단계의 대물렌즈에 다이버징되게 입사되게 하는 볼록렌즈 또는 오목렌즈가 사용될 수 있으며, 각 렌즈는 단일 렌즈 또는 복합렌즈 모두 가능하다.As illustrated in FIG. 4, the focus shift module 130 includes a scanning lens 132 for determining a focal length of the laser beam irradiated onto the processing surface 160, and the lens 132 is moved in a horizontal direction. And a linear guide 134 for guiding the fixing member 133 in the horizontal direction, and one end of the stroke pipe 135a to the fixing member 133 so that the fixing member 133 is fixed. An actuator 135 is provided to move 133 horizontally on the linear guide 134. The lens 132 may be a convex lens or a concave lens that allows the incident laser beam to be incident to the objective lens of the next stage, and each lens may be a single lens or a composite lens.
그리고, 본 발명의 스크라이빙 장치에는 상기 갈바노 스캐너(150)의 x-y 미러(151, 152) 및 스캐닝 렌즈(132)의 이동을 제어하는 제어 유니트(170)가 마련된다. 상기 제어 유니트(170)는 소정의 소프트웨어에 저장된 데이터에 의해서 x-y 미러(151, 152)의 반사위치 및 스캐닝 렌즈(132)의 수평방향이동을 제어한다.The scribing apparatus of the present invention is provided with a control unit 170 for controlling movement of the x-y mirrors 151 and 152 and the scanning lens 132 of the galvano scanner 150. The control unit 170 controls the reflection position of the x-y mirrors 151 and 152 and the horizontal movement of the scanning lens 132 by data stored in predetermined software.
상기 스캐닝 렌즈(132)가 도 3 및 도 4에서 오른쪽으로 이동하면 대물렌즈(140)를 통과한 레이저빔의 초점거리는 길어지며 따라서 가공면(160)의 가장자리 쪽에 초점을 맺힐 수 있게 되므로 가공면(160)의 가공포인트 및 갈바노 스캐너 사이의 수직길이(z)를 조절하게 된다.When the scanning lens 132 moves to the right in FIGS. 3 and 4, the focal length of the laser beam passing through the objective lens 140 becomes long, and thus the focusing distance of the scanning lens 132 can be focused on the edge of the processing surface 160. The vertical length z between the machining point of 160 and the galvano scanner is adjusted.
상기 스크라이빙 장치로 도광판인 아크릴판을 가공하고자 하는 경우에는 도광판의 외관, 휘도 및 휘도의 균일도 등을 향상시키기 위해서 가공면 전체에 대해서 레이저 출력이 안정적이어야 하며, 식각 위치가 정밀하여야 한다. 이러한 요구를 만족시키기 위해서 필연적으로 갈바노스캐너(150) 및 초점이동모듈(130)을 보정하여야 한다. 이 보정은 갈바노 스캐너(150)를 통한 평면인 x-y축 보정과, 대물렌즈(140)로부터 가공면(160)의 가공포인트 사이의 초점거리인 z 축보정으로 이루어진다.When the acrylic plate, which is a light guide plate, is to be processed by the scribing apparatus, the laser output must be stable and the etching position is precise for the entire processed surface in order to improve the appearance, brightness, and uniformity of the light guide plate. In order to satisfy this demand, the galvanoscanner 150 and the focus shift module 130 must be calibrated. This correction consists of the x-y axis correction, which is the plane through the galvano scanner 150, and the z axis correction, which is the focal length between the object point 140 and the machining point of the machining surface 160.
상기 스크라이빙 장치를 사용하여 도광판에서의 초점 보정방법을 상세히 설명한다.The focus correction method in the light guide plate using the scribing apparatus will be described in detail.
도 5는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 보정방법의 흐름도이다.5 is a flowchart of a correction method of a scribing apparatus according to the present invention.
도 5를 참조하면, 먼저, 가공테이블(미도시) 상에 가공판(160) 또는 가공판 대용 시트에 다수 포인트의 그리드를 형성한다(S1). 예컨대 5 x 5 그리드를 형성하여서 25개 포인트를 형성한다(도 6 참조).Referring to FIG. 5, first, a grid of a plurality of points is formed on a processing plate 160 or a sheet for replacing a processing plate on a processing table (not shown) (S1). For example, a 5 x 5 grid is formed to form 25 points (see Figure 6).
이어서, 레이저 발진기(110)로부터 레이저 빔을 발진하여서 상기 25개 포인트에 순차적으로 레이저 빔을 조사한다(S2). 이때 고정된 레이저발진기(110)로부터의 레이저빔은 빔 익스팬더(120), 초점이동렌즈(130), 대물렌즈(140) 및 갈바노 스캐너(150)를 거쳐서 가공면(160)에 닿으면서 일반적으로 도 6과 같은 바렐 왜곡 및 핀 쿠션 현상이 일어난다. 이와 같은 조사 포인트의 보정을 위해서 갈바노 스캐너(150)의 x(151) 및 y 미러(152)의 각도를 보정하여 원하는 위치에 레이저 빔이 조사되게 1차적인 보정을 수행하고, 보정 데이터를 제어유니트(170)로 전송한다(S3).Subsequently, the laser beam is oscillated from the laser oscillator 110 and the laser beam is sequentially irradiated to the 25 points (S2). In this case, the laser beam from the fixed laser oscillator 110 generally contacts the processing surface 160 via the beam expander 120, the focus shift lens 130, the objective lens 140, and the galvano scanner 150. Barrel distortion and pin cushion as shown in FIG. In order to correct such irradiation point, the angles of the x 151 and the y mirror 152 of the galvano scanner 150 are corrected to perform a primary correction so that the laser beam is irradiated at a desired position, and the correction data is controlled. Transfer to the unit 170 (S3).
상기 x-y 평면 보정과정은 각 포인트에서 수행되며, 이 평면보정과정이 완료되면 다음 단계로 진행한다(S4).The x-y plane correction process is performed at each point, and when the plane correction process is completed, the process proceeds to the next step (S4).
이어서, 보정된 포인트로 레이저 빔을 조사한다(S5). 이번에는 대물렌즈(140)로부터의 일정한 초점거리로 인하여 가공면 상의 각 포인트 마다 초점거리가 다르게 된다. 따라서 각 포인트 마다 초점거리가 맞게 초점이동모듈(130)의 스캐닝 렌즈(132)를 수평방향으로 이동하여서 초점거리가 맞게 되면 이때의 상기 스캐닝 렌즈(132)의 위치를 측정하고, 이 측정된 데이터를 제어유니트(170)로 전송한다(S6). 이 대물렌즈(140)를 통과한 레이저빔의 초점거리는 스캐닝 렌즈(132)가 선형가이드(134) 상에서 대물렌즈(140) 방향으로 접근할수록 초점거리가 길어지게 된다.Next, the laser beam is irradiated to the corrected point (S5). This time, the focal length is different for each point on the processing surface due to the constant focal length from the objective lens 140. Therefore, when the focal length is adjusted by moving the scanning lens 132 of the focus movement module 130 in the horizontal direction to match the focal length for each point, the position of the scanning lens 132 is measured at this time, and the measured data is measured. The control unit 170 transmits (S6). The focal length of the laser beam passing through the objective lens 140 becomes longer as the scanning lens 132 approaches the objective lens 140 on the linear guide 134.
각 포인트에서 수행된 상기 z축 보정과정이 완료되면(S7) 상기 보정과정을 종료한다.When the z-axis correction process performed at each point is completed (S7), the correction process ends.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 레이저를 이용한 도광판 및 광고판의 스크라이빙 장치에 따르면, 소형 도광판 뿐만 아니라 길이 2000 mm 정도의 대형 도광판에서 스크라이빙 장치의 레이저 빔이 가공면에 초점 거리에서 균일하게 맺히도록 조절되므로 도광판의 외관, 휘도 및 균일도 향상을 가져온다.As described above, according to the scribing apparatus of the light guide plate and the billboard using the laser according to the present invention, not only a small light guide plate but also a large light guide plate having a length of about 2000 mm, the laser beam of the scribing apparatus is uniform at a focal length on the processing surface. The light guide plate is improved in appearance, brightness, and uniformity because it is controlled to form a light.
본 발명은 도면을 참조하여 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments with reference to the drawings, this is merely exemplary, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined only by the appended claims.
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100745295B1 (en) * | 2005-02-08 | 2007-08-01 | 닛산 지도우샤 가부시키가이샤 | Laser welding apparatus, machine and method |
| KR100893757B1 (en) * | 2007-08-08 | 2009-04-20 | 주식회사 엘티에스 | Dynamic focusing laser etching system |
| KR101015207B1 (en) * | 2010-07-19 | 2011-02-18 | 주식회사 엘앤피아너스 | Laser appartus for processing a light-wave guide plate |
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| JPS6234691A (en) * | 1985-08-07 | 1987-02-14 | Nec Corp | Laser beam marking device |
| KR19990000505A (en) * | 1997-06-05 | 1999-01-15 | 윤종용 | Large screen laser image projection device |
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-
2002
- 2002-05-23 KR KR1020020028650A patent/KR20030090371A/en not_active Application Discontinuation
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