KR20030073938A - 포지션 센서를 갖는 반도체 제조 장치 - Google Patents

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KR20030073938A
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Abstract

포지션 센서를 갖는 반도체 제조 장치를 제공한다. 이 장치는 플래이트의 로딩 포지션에 부정확하게 위치한 이송 아암을 감지하여 그에 따른 문제를 최소화한다. 이 장치는 웨이퍼가 놓여지는 플래이트와, 웨이퍼를 플래이트 상으로 이송시키기 위한 이송 아암과, 이송 아암이 플래이트 상의 로딩 포지션상에 정확하게 위치되었는지를 감지하는 감지 수단을 갖는다.

Description

포지션 센서를 갖는 반도체 제조 장치{SEMICONDUCTOR FABRICATING EQUIPMENT WITH A POSITION SENSOR}
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 플래이트의 로딩 포지션에 부정확하게 위치한 이송 아암을 감지하여 그에 따른 문제를 최소화할 수 있는 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
현재 포토공정에서 사용중인 스피너 설비는 감광막을 도포하는 코팅 장치와, 포토레지스트 패턴을 현상하는 현상 장치와, PRE-베이크 및 POST 베이크에 사용되는 를 의하여 베이크 장치를 구비하고 있다. 각 장치들에는 웨이퍼가 놓여질 플래이트가 설치되어 있다. 상기 서피너 설비에서 웨이퍼 로딩 순서는 로봇이 웨이퍼를 플래이트 상에 돌출된 리프트 핀 위에 올려놓으면 리프트 핀이 다운되면서 웨이퍼가 플래이트에 놓여지게 된다.
여기서, 웨이퍼의 로딩 위치는 이송 로봇의 이동 거리에 따라 결정되어진다. 이송 로봇의 이동은 모터와 벨트에 의해 이루어지는데, 벨트는 사용횟수의 증가에 따라 벨트 길이가 늘어나고, 그에 따라 이송 로봇의 이동거리가 부정확해 지게 된다. 따라서, 도 1에 도시된 것과 같이 웨이퍼가 정상적인 위치에 놓여져야하지만, 도 2에 도시된 것과 같이 로봇의 사용횟수에 따라 아암에 있는 웨이퍼(20)가 플래이트(12)에 놓여지는 위치가 변하게된다.
이로 인해, 플래이트(12)에서 웨이퍼를 반입 및 반출할 때 웨이퍼가 추락하거나, 깨질 우려가 있다. 또한, 웨이퍼가 플래이트(12) 상의 중심에서 벗어나 배치될 경우, 웨이퍼 가장자리의 감광막을 제거하는 EBR(Edge Bead Remove)공정에서 웨이퍼의 유효영역이 손상받거나, 현상공정에서 부분현상이 발생할 수 있다. 베이크 설비에서 웨이퍼가 가열 플래이트에 정확히 놓여지지 않으면 웨이퍼에 전달되는 열이 불균일하여 감광막의 수분제거가 불량해져 웨이퍼 상의 감광막 두께가 불균일해질 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 종래의 문제점을 해결하기 위하여 이송 아암이 플래이트의 로딩 포지션에 정확하게 위치하였는가를 확인하여, 웨이퍼의 반입 및 반출에 따른 웨이퍼의 추락을 방지하여 웨이퍼의 수율 감소나 불량율을최소화할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조 장치를 제공하는데 있다.
도 1 및 도 2는 종래의 플래이트에 웨이퍼가 놓여진 상태를 보여주는 도면;
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 플래이트의 로딩 포지션에 도달하지 않은 이송 아암을 보여주는 도면;
도 5는 플래이트의 로딩 포지션에서 벗어난 이송 아암을 보여주는 도면이다.
상기 기술적과제를 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼의 위치를 감지할 수 있는 포지션 센서를 갖는 반도체 장치를 제공한다. 이 장치는 웨이퍼가 놓여지는 플래이트와, 상기 웨이퍼를 상기 플래이트 상으로 이송시키기 위한 이송 아암과; 상기 이송 아암이 상기 플래이트의 로딩 포지션상에 정확하게 위치되었는지를 감지하는 감지 수단을 포함한다. 이 감지 수단은 플래이트 및 상기 이송 아암에 각각 설치된 발광 센서와 수광 센서를 포함한다. 상기 이송 아암이 상기 플래이트 상의 로딩 포지션 상에 정확하게 위치되었을 때 상기 발광 센서와 상기 수광 센서는 서로 대향한다. 이 센서들은 포토 센서일 수 있다. 이와 같은 본 발명에서 상기 감지 수단은 이송 아암의 부정확한 포지션 이동시 이를 설비 사용자에게 알리기 위한 알람부재를 구비할 수 있다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 베이크 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 장치(100)는 웨이퍼가 놓여지는 플래이트(110), 로봇으로부터 웨이퍼를 전송해주는 리프트 핀(120), 상기 플래이트(110) 상에서 웨이퍼의 슬라이딩 현상을 방지하는 웨이퍼 가이드(112) 그리고 이송 아암(150)의 부정확한 로딩 포지션 이동을 감지하기 위한 포지션 센서를 갖는다. 상기 포지션 센서는 제1, 제2 광학센서를 포함한다. 즉, 상기 포지션 센서는 수광 센서(130) 및 발광 센서(140)를 포함한다. 상기 수광 센서(130) 및 상기 발광 센서(140)는 상기 플래이트(110) 및 상기 이송 아암(150)에 각각 설치된다. 상기 수광 센서(130) 및 상기 발광 센서(140)의 위치는 상기 이송 아암(150)이 로딩 포지션에 정확히 로딩되어 상기 플래이트(110) 상부에 위치할 때 서로 대향하여 동일 법선 상에 위치하게 된다. 본 발명에서 가장 중요한 구성요소인 상기 수광 센서(130) 및 상기 발광 센서(140)는 이송 아암(150)의 기계적인 오차 혹은 엔지니어의 포지션 설정 실수로 인해 이송 아암이 웨이퍼의 로딩 포지션으로부터 벗어나는 것을 감지한다.
도 4에서와 같이, 웨이퍼가 상기 플래이트(110)에 놓여지기 직전에 상기 이송 아암(150)이 로딩 포지션까지 도달하지 않은 경우 상기 발광 센서(140)에서 발광된 빛이 상기 수광 센서(130)로 도달하지 않는다. 이 때, 제어부는 웨이퍼를 플래이트(110)에 놓기 전 일정시간, 예컨대 1초 내지 2초간 신호가 감지되지 않을 경우 경고 알람을 발생시키게 된다.
한편, 도 5에서와 같이 상기 이송 아암(150)이 로딩 포지션을 지나쳤을 경우에도 상기 발광 센서(140)에서 발광된 빛이 상기 수관 센서(130)로 도달하지 않게되어 상기 제어부에서 이를 인식하여 경고 알람을 발생시키게 된다.
이와 같이 본 발명에 따른 반도체 장치는 이송 아암이 플래이트의 로딩 포지션에 위치하지 않는 경우, 이를 상기 센서들이 감지해냄으로써, 웨이퍼의 공정 불량을 사전에 차단할 수 있는 이점이 있다.
상술한 것과 같이 본 발명의 반도체 장치는 포토 센서를 이용한 감지 수단에서 부정확한 로딩 포지션에 위치한 이송 아암을 감지해냄으로써, 플래이트에 부정확하게 놓여질 웨이퍼로 인한 공정 결함을 미연에 방지할 수 있고, 이송 아암의 로딩 포지션을 재조정함으로써 불량의 재발을 방지할 수 있다. 따라서, 반도체 소자의 품질 및 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (4)

  1. 웨이퍼가 놓여지는 플래이트;
    상기 플래이트 상부면의 소정영역에 설치된 제1 광학센서;
    웨이퍼를 상기 플래이트 상으로 이송시키기 위한 이송 아암; 및
    상기 이송 아암의 소정영역에 설치된 제2 광학센서를 포함하되, 상기 제1 광학센서와 상기 제2 광학센서는 상기 이송 아암이 상기 플래이트 상부의 로딩 포지션 상에 정확히 위치되었을 때 서로 대향하는 위치에 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 광학센서 및 상기 제2 광학센서는 각각 수광 센서와 발광 센서인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 플래이트는 포토 레지스터의 용제를 증발시키기 위한 가열 플래이트인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 광학 센서 및 상기 제2 광학 센서에 접속된 제어부를 더 포함하는반도체 제조 장치.
KR1020020013724A 2002-03-14 2002-03-14 포지션 센서를 갖는 반도체 제조 장치 KR20030073938A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100595594B1 (ko) * 2004-06-17 2006-07-03 주식회사 효성 복합섬유 및 이의 제조방법
KR101339152B1 (ko) * 2006-12-27 2013-12-09 주식회사 케이씨텍 기판 정렬 시스템 및 이를 구비한 기판 세정 장치

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