KR20030069487A - Valiable optical polarization rotator - Google Patents

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KR20030069487A
KR20030069487A KR1020020009130A KR20020009130A KR20030069487A KR 20030069487 A KR20030069487 A KR 20030069487A KR 1020020009130 A KR1020020009130 A KR 1020020009130A KR 20020009130 A KR20020009130 A KR 20020009130A KR 20030069487 A KR20030069487 A KR 20030069487A
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이영주
오현호
최정훈
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주식회사 엘지이아이
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Abstract

PURPOSE: A variable polarizing rotation apparatus is provided to correct a polarizing error generated from an optical fiber as an optical transmission line and control a rotation angle of polarization by using a low-priced system. CONSTITUTION: A variable polarizing rotation apparatus includes a substrate(10), a movable plate(20), a fixing optical waveguide(1), a movable optical waveguide(2), and a driving portion. A through-hole is formed on a core portion of the substrate. The movable plate is arranged on the through-hole of the substrate. A laser permeation hole is formed at a core portion of the fixing optical waveguide. The fixing optical waveguide is formed with a plurality of sections vertical to a direction of an optical waveguide. The sections of the fixing optical waveguide are fixed on the substrate. The movable optical waveguide is formed with a plurality of sections vertical to a direction of the optical waveguide. The sections of the movable optical waveguide are fixed between the sections of the fixing optical waveguide. The movable plate is driven vertically to the optical waveguide.

Description

가변 편광 회전기{VALIABLE OPTICAL POLARIZATION ROTATOR}Variable Polarization Rotator {VALIABLE OPTICAL POLARIZATION ROTATOR}

본 발명은 가변 편광 회전기에 관한 것으로서, 상세하게는, 광통신용 전송 선로인 광섬유에서 발생하는 편광 오차의 보정, 편광의 회전각 조절 등을 가능케 하는 광학 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable polarization rotator, and more particularly, to an optical element that enables correction of polarization error occurring in an optical fiber that is an optical communication transmission line, adjustment of rotation angle of polarization, and the like.

최근의 정보 관련 기술인 컴퓨터 및 통신 기술은 다량의 정보를 송수신할 수 있는 고속 광섬유 통신에 관한 기술을 통해 비약적으로 발전하고 있다. 특히, 동화상, 음성신호 및 문자신호 등 다양한 형태의 데이터를 포함하는 멀티미디어 정보의 고속 전송, 쌍방향의 대화형(interactive) 통신 환경, 가입자 수의 폭발적 증가 등의 추세에 따라 동일한 광전송 선로 내에서 보다 많은 양의 정보를 왜곡없이 송수신할 수 있는 기술의 중요성이 더욱 부각되고 있다.Recently, computer and communication technologies, which are information-related technologies, are rapidly developing through technologies related to high-speed fiber optic communication capable of transmitting and receiving large amounts of information. In particular, the trend of high-speed transmission of multimedia information including various types of data such as moving images, voice signals and text signals, interactive interactive communication environment, and explosive increase in the number of subscribers has led to the increase in the number of users in the same optical transmission line. The importance of a technology capable of transmitting and receiving a large amount of information without distortion is becoming more important.

즉, 전송신호의 광대역화와 일정 대역폭 내에서 보다 많은 채널을 분할하는 기술이 필요하게 된다. 이와 같은 광통신의 전송선로로 이용되는 광섬유는 산화 규소를 주성분으로 하는 광도파로(optical waveguide)로 구성되며, 각기 다른 파장을 갖는 채널의 광신호에 대한 광섬유의 전파 특성에 따라 차이를 갖게 된다.In other words, a technique for widening a transmission signal and dividing more channels within a predetermined bandwidth is required. The optical fiber used as the transmission line of the optical communication is composed of an optical waveguide mainly composed of silicon oxide, and has a difference depending on the propagation characteristics of the optical fiber for optical signals of channels having different wavelengths.

이러한 전송선로의 특성때문에, 송신단에서 출력된 광신호는 일정한 거리의 광섬유 전송선로를 거친 후 왜곡된 광신호 특성을 보정해 주어야 오차없는 통신을 기대할 수 있다. 이와 같은 보정에는 전송 도중 감쇄되는 각 채널별 광신호의 세기를 증폭하거나, 위상차를 보정하고, 신호 프로파일을 복구하는 등의 다양한 예를들 수 있다.Due to the characteristics of the transmission line, the optical signal outputted from the transmitting end must pass through the optical fiber transmission line of a certain distance and then correct the distorted optical signal characteristic to expect error-free communication. Such correction may include various examples such as amplifying the intensity of an optical signal for each channel that is attenuated during transmission, correcting a phase difference, and restoring a signal profile.

광신호의 편광 역시 전송선로인 광도파로 내에서 파장에 의존하여 열화되며, 이러한 편광 특성의 보정을 위해 기존의 편광 지연기(polarization retarder), 광증폭기, 편광판, 편광 회전기 등의 조합이 사용된다.Polarization of the optical signal is also degraded depending on the wavelength in the optical waveguide, which is a transmission line, and a combination of a conventional polarization retarder, an optical amplifier, a polarizer, and a polarization rotator is used to correct the polarization characteristics.

그런데, 상기와 같은 종래의 편광 특성의 보정수단은 보정 또는 여과(filtering)할 수 있는 편광 성분이 고정되므로, 편광 특성이 상이한 다수의 채널이 포함된 광대역의 광신호를 복구하기 위해서는 다수개의 보정 시스템이 필요하게 되어, 시스템의 크기가 대형화하고, 고비용이 소요된다는 점에서 문제점으로 지적되어 왔다.However, since the polarization component that can correct or filter the conventional polarization characteristics correction means is fixed, in order to recover a wideband optical signal including a plurality of channels having different polarization characteristics, a plurality of correction systems This has been pointed out as a problem in that the size of the system is increased and the cost is high.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하여, 저가의 소형 시스템에 의해 광통신용 전송 선로에서 발생하는 편광 오차의 보정, 편광의 회전각 조절 등을 가능케 하는 가변 편광 회전기를 제공함을 그 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a variable polarization rotator that enables the correction of the polarization error occurring in the transmission line for optical communication, the adjustment of the rotation angle of the polarization, and the like by solving the above problems and the small-cost system.

도 1 내지 도 2는 본 발명에 의한 가변 편광 회전기에 있어서, 모든 전극에 동일한 전압이 인가된 상태를 도시한 것으로서,1 to 2 illustrate a state in which the same voltage is applied to all the electrodes in the variable polarization rotor according to the present invention.

도 1은 사시도1 is a perspective view

도 2는 평면도2 is a plan view

도 3은 도 2의 A-A 단면도3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4는 도 2의 B-B 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. 2.

도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 가변 편광 회전기에 있어서, 가동판과 제1고정전극에 동일한 전압이 인가된 상태를 도시한 것으로서,5 and 6 illustrate a state in which the same voltage is applied to the movable plate and the first fixed electrode in the variable polarization rotor according to the present invention.

도 5는 사시도5 is a perspective view

도 6은 평면도이다.6 is a plan view.

도 7 및 도 8은 가동판과 본 발명에 의한 가변 편광 회전기에 있어서, 제2고정전극에 동일한 전압이 인가된 상태를 도시한 것으로서,7 and 8 illustrate a state in which the same voltage is applied to the second fixed electrode in the movable plate and the variable polarization rotor according to the present invention.

도 7은 사시도7 is a perspective view

도 8은 평면도8 is a plan view

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

1 : 고정 광도파로2 : 가동 광도파로1: fixed optical waveguide 2: movable optical waveguide

10 : 기판11 : 관통공10 substrate 11 through hole

12 : 현가 탄성부100 : 구동수단12: suspension elastic portion 100: driving means

110 : 고정전극120 : 전원인가수단110: fixed electrode 120: power supply means

130 : 전원인가수단140 : 정전기력 미세 구동기130: power supply means 140: electrostatic force fine driver

본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 심부에 관통공이 형성된 기판과; 상기 기판의 관통공에 배치되고, 현가탄성부에 의해 탄성구동이 가능하도록 상기 기판과 결합된 가동판과; 심부에 레이저 투과공이 형성되고, 광도파 방향에 대해 수직인 단면으로 세절되고, 그 세절된 각편이 각각 소정 이격되어 상기 기판에 고정된 고정 광도파로와; 심부에 레이저 투과공이 형성되고, 광도파 방향에 대해 수직인 단면으로 세절되고, 그 세절된 각편이 상기 고정 광도파로의 각편 사이마다 배치되도록 상기 가동판에 설치된 가동 광도파로와; 상기 가동판을 광도파 방향에 대해 수직방향으로 구동시키는 구동수단을; 포함하는 가변 편광 회전기를 제시한다.The present invention is a substrate with a through-hole formed in the core in order to achieve the above object; A movable plate disposed in a through hole of the substrate and coupled to the substrate to enable elastic driving by a suspension elastic portion; A fixed optical waveguide formed with a laser transmission hole in the core portion, cut into a cross section perpendicular to the optical waveguide direction, and each of the fragmented pieces being spaced apart from each other by a predetermined distance; A movable optical waveguide formed on the movable plate such that a laser transmission hole is formed in the core portion, cut into a cross section perpendicular to the optical waveguide direction, and the cut pieces are disposed between the respective pieces of the fixed optical waveguide; Drive means for driving the movable plate in a direction perpendicular to the optical waveguide direction; Presenting a variable polarization rotator comprising.

또한, 상기 구동수단은 상기 가동판의 일측으로서 상기 기판의 관통공에 배치된 고정전극과; 상기 고정전극에 전원을 인가하는 전원인가수단과; 상기 가동판에 전원을 인가하는 전원인가수단과; 상기 고정전극과 상기 가동판의 대향면에 각각 형성된 빗살형태의 정전기력 미세 구동기를; 포함하는 것이 바람직하다.The driving means may include: a fixed electrode disposed in the through hole of the substrate as one side of the movable plate; Power supply means for applying power to the fixed electrode; Power supply means for applying power to the movable plate; A comb tooth-shaped electrostatic force micro driver, respectively formed on opposite surfaces of the fixed electrode and the movable plate; It is preferable to include.

또한, 상기 고정전극 및 고정전극용 전원인가수단은 상기 가동판의 양측에 2개가 배치된 것이 바람직하다.In addition, the fixed electrode and the power supply means for the fixed electrode is preferably disposed on both sides of the movable plate.

나아가, 상기 광 도파로는 가동전극의 변위량에 따라 출사되는 광의 편광성분이 소정 양만큼 회전하도록 형성되는 것이 효과적이다.Furthermore, it is effective that the optical waveguide is formed such that the polarization component of the light emitted according to the displacement amount of the movable electrode is rotated by a predetermined amount.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시례에 관하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 8은 본 발명에 의한 가변 편광 회전기의 구조를 도시한 것이다.1 to 8 illustrate the structure of a variable polarization rotator according to the present invention.

도 1 내지 도 2는 모든 전극에 동일한 전압이 인가된 상태를 도시한 것으로서, 도 1은 사시도, 도 2는 평면도, 도 3은 도 2의 A-A 단면도, 도 4는 도 2의 B-B 단면도이다.1 to 2 show a state in which the same voltage is applied to all electrodes, FIG. 1 is a perspective view, FIG. 2 is a plan view, FIG. 3 is an A-A cross-sectional view of FIG. 2, and FIG. 4 is a B-B cross-sectional view of FIG. 2.

도 5 및 도 6은 가동판과 제1고정전극에 동일한 전압이 인가된 상태를 도시한 것으로서, 도 5는 사시도, 도 6은 평면도이다.5 and 6 illustrate a state in which the same voltage is applied to the movable plate and the first fixed electrode. FIG. 5 is a perspective view and FIG. 6 is a plan view.

도 7 및 도 8은 가동판과 제2고정전극에 동일한 전압이 인가된 상태를 도시한 것으로서, 도 7은 사시도, 도 8은 평면도이다.7 and 8 illustrate a state in which the same voltage is applied to the movable plate and the second fixed electrode. FIG. 7 is a perspective view and FIG. 8 is a plan view.

도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 가변 편광 회전기는 심부에 관통공이 형성된 기판(10)과; 기판(10)의 관통공(11)에 배치되고, 현가탄성부(12)에 의해 탄성구동이 가능하도록 기판(10)과 결합된 가동판(20)과; 심부에 레이저 투과공이 형성되고, 광도파 방향에 대해 수직인 단면으로 세절되고, 그 세절된 각편이 각각 소정 이격되어 기판(10)에 고정된 고정 광도파로(1)와; 심부에 레이저 투과공이 형성되고, 광도파 방향에 대해 수직인 단면으로 세절되고, 그 세절된 각편이 고정 광도파로(30)의 각편 사이마다 배치되도록 가동판(20)에 설치된 가동 광도파로(2)와; 가동판(20)을 광도파 방향에 대해 수직방향으로 구동시키는 구동수단(100)을; 포함하여 구성된다.As shown, the variable polarization rotator according to the present invention includes a substrate 10 having a through hole formed in a core portion thereof; A movable plate 20 disposed in the through hole 11 of the substrate 10 and coupled to the substrate 10 so as to be elastically driven by the suspension elastic portion 12; A fixed optical waveguide 1 having a laser transmission hole formed in the core portion, cut into a cross section perpendicular to the optical waveguide direction, and each of the fragmented pieces being fixed to the substrate 10 at predetermined intervals; A movable optical waveguide 2 provided with a movable plate 20 so that a laser transmission hole is formed in the core portion, cut into a cross section perpendicular to the optical waveguide direction, and the cut pieces are disposed between each piece of the fixed optical waveguide 30. Wow; Drive means 100 for driving the movable plate 20 in a direction perpendicular to the optical waveguide direction; It is configured to include.

고정 광도파로(1)는 가동판(20)의 두께를 감안하여 가동 광도파로(2)와의 고도를 맞추기 위해 소정의 두께를 갖는 고정판(7) 위에 고정되고, 고정판(7)은 앵커(8)에 의해 기판(10) 위에 고정된다.The fixed optical waveguide 1 is fixed on the fixed plate 7 having a predetermined thickness in order to match the height with the movable optical waveguide 2 in view of the thickness of the movable plate 20, and the fixed plate 7 is anchored 8. It is fixed on the substrate 10 by the.

즉, 기판(10)에 고정되어 입력광에 대해 기준 위치를 제공하는 고정 광도파로(1)와 입력광의 광축방향에 대하여 수직방향으로 구동할 수 있는 가동 광도파로(2)가 광축이 정렬되도록 설치된다.That is, the fixed optical waveguide 1 fixed to the substrate 10 to provide a reference position with respect to the input light and the movable optical waveguide 2 capable of driving in a direction perpendicular to the optical axis direction of the input light are installed so that the optical axes are aligned. do.

가동 광도파로(2)의 이동방향 및 변위에 의해 도파되는 입력광의 각 편광성분에 대한 유효 굴절률을 조절할 수 있으므로, 입력광의 편광을 임의의 각도만큼 회전시킬 수 있다는 점에 본 발명의 의의가 있는 것이다.Since the effective refractive index for each polarization component of the input light guided by the moving direction and the displacement of the movable optical waveguide 2 can be adjusted, the present invention is meaningful in that the polarization of the input light can be rotated by an arbitrary angle. .

구동수단(30)은 정전기력, 전자기력, 자기력, 열변형력, 압전변형력, 유압방식, 공압방식 등의 다양한 구동력 및 구동방식을 채택할 수 있다.The driving means 30 may adopt various driving forces and driving methods such as electrostatic force, electromagnetic force, magnetic force, thermal strain force, piezoelectric strain force, hydraulic method, pneumatic method, and the like.

도 1은 본 발명의 일실시례로서 정전기력 미세 구동기(electrostatic comb drive actuator)를 적용한 구조를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing a structure to which an electrostatic comb drive actuator is applied as an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 실시례에 있어서, 구동수단(100)은 가동판(20)의 일측으로서 기판(10)의 관통공(11)에 배치된 고정전극(110)과; 고정전극(110)에 전원을 인가하는 전원인가수단(120)과; 가동판(20)에 전원을 인가하는 전원인가수단(130)과; 고정전극(110)과 가동판(20)의 대향면에 각각 형성된 빗살형태의 정전기력 미세 구동기(140)를; 포함하여 구성된다.As shown, in this embodiment, the driving means 100 includes a fixed electrode 110 disposed in the through hole 11 of the substrate 10 as one side of the movable plate 20; Power applying means 120 for applying power to the fixed electrode 110; Power supply means 130 for applying power to the movable plate 20; A comb tooth-shaped electrostatic force micro driver 140 formed on opposite surfaces of the fixed electrode 110 and the movable plate 20; It is configured to include.

고정전극(110) 및 고정전극용 전원인가수단(120)은 1개씩만이 형성되어도 무방하나, 도시된 바와 같이, 가동판(20)의 양측에 2개(111,112,121,122)가 배치되는 것이 역학적 안정성 측면에서 보다 바람직하다.Only one fixed electrode 110 and one power supply means 120 for the fixed electrode may be formed, but as shown, two (111, 112, 121, 122) are disposed on both sides of the movable plate 20 in terms of mechanical stability. More preferred.

이와 같은 구조를 취하는 가변 편광 회전기에 있어서, 구동변위는 기판(10)의 표면과 평행인 방향으로 임의의 양만큼 조절이 가능하므로, 이 변위량의 조절에 의해 다수개의 세절된 도파로(1,2)를 투과하여 방출되는 출력광의 편광이 입력광의 편광과 비교하여 임의의 방향으로 조절된 회전량을 갖게 된다.In the variable polarization rotator having such a structure, the driving displacement can be adjusted by an arbitrary amount in the direction parallel to the surface of the substrate 10, so that the plurality of fine waveguides 1, 2 are controlled by controlling the displacement amount. The polarized light of the output light transmitted through the light beam has a rotation amount adjusted in an arbitrary direction compared to the polarized light of the input light.

특히, 본 실시례에 의한 정전기력 구동방식의 가변 편광 회전기의 구동변위는 가동판(20)에 전기적으로 연결된 전원인가수단(130)를 통해 인가되는 전원의 전압과 전원인가수단(120)에 의해 제1고정전극(111) 또는 제2고정전극(112)에 인가되는 전원의 전압의 차이에 의해 결정된다.In particular, the driving displacement of the electrostatic force driving type variable polarization rotator according to the present embodiment is controlled by the voltage and the power applying means 120 of the power applied through the power applying means 130 electrically connected to the movable plate 20. It is determined by the difference in the voltage of the power applied to the first fixed electrode 111 or the second fixed electrode 112.

예컨데, 전원인가수단(130)을 통해 가동판(20)의 정전기력 구동기(142,143)에 공통전압(common bias) 또는 접지전압(ground)을 인가하고, 전원인가수단(121)을 통해 제1고정전극(111)에 상기와 다소의 전위차를 갖는 전압을 인가하고, 전원인가수단(122)을 통해 제2고정전극(112)에 상기 가동판(20)에 가해진 전압과 동일한 전압을 인가하면, 가동 광도파로(2)가 장착된 가동판(20)이 제1고정전극(111)의 방향으로 소정의 수평 변위를 일으키게 되며, 현가 탄성부(12)에 의한 복원력(restoring forse)과 인가된 전압의 차에 의해 발생하는 정전기력(electrostatic force)이 평형을 이루는 지점에서 그 수평 변위의 양이 결정된다.For example, a common bias or a ground voltage is applied to the electrostatic force drivers 142 and 143 of the movable plate 20 through the power applying means 130 and the first fixed electrode through the power applying means 121. When a voltage having a potential difference slightly above is applied to the 111 and the same voltage as that applied to the movable plate 20 is applied to the second fixed electrode 112 through the power supply means 122, the movable light is applied. The movable plate 20 on which the waveguide 2 is mounted causes a predetermined horizontal displacement in the direction of the first fixed electrode 111 and the difference between the restoring force and the applied voltage by the suspension elastic portion 12. The amount of horizontal displacement is determined at the point where the electrostatic force generated by the balance is balanced.

현가 탄성부(12)에 의한 복원력은 변위에 정비례하고, 빗살 형태의 정전기력 미세 구동기(140)에 의한 정전기력은 인가된 전압의 차의 제곱에 비례하므로, 인가되는 전압의 차를 조절하면 원하는 변위의 양을 조절할 수 있게 되는 것이다.The restoring force by the suspension elastic portion 12 is directly proportional to the displacement, and the electrostatic force by the comb-shaped electrostatic force micro-driver 140 is proportional to the square of the difference of the applied voltage. The amount can be adjusted.

도 1 및 도 2는 모든 전극에 동일한 전위가 가해지거나, 전압이 인가되지 않은 상태를 도시한 것인데 비해, 도 5 내지 도 8은 각각의 전극에 상이한 전위를 인가함으로써 동작이 이루어진 상태를 나타낸 것이다.1 and 2 illustrate a state in which the same potential is applied to all the electrodes or no voltage is applied, whereas FIGS. 5 to 8 illustrate a state in which the operation is performed by applying a different potential to each electrode.

도 1 및 도 2의 경우는 입력광과 출력광이 모두 동일한 편광을 갖는다.1 and 2, both the input light and the output light have the same polarization.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 가동판(20)과 제2고정전극(112)에 동일한 전압이 인가되고, 제1고정전극(111)에는 상기 전압과 상이한 전압이 인가될 경우, 가동판(20)이 제1고정전극(111)측으로 이동하게 되고, 가동 광도파로(2) 역시 동일한 방향으로 이동하게 되므로, 이에 따라 입력광의 편광이 소정 각도로 회전하게 된다.As shown in FIGS. 5 and 6, when the same voltage is applied to the movable plate 20 and the second fixed electrode 112, and a voltage different from the voltage is applied to the first fixed electrode 111, the movable plate 20 is operated. Since the plate 20 moves toward the first fixed electrode 111 and the movable optical waveguide 2 also moves in the same direction, the polarization of the input light is rotated at a predetermined angle.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 가동판(20)과 제1고정전극(111)에 동일한 전압이 인가되고, 제2고정전극(112)에는 상이한 전압이 인가될 경우, 상기와 반대방향의 동작이 일어나게 된다.As shown in FIGS. 7 and 8, when the same voltage is applied to the movable plate 20 and the first fixed electrode 111 and different voltages are applied to the second fixed electrode 112, the opposite direction to the above is applied. The operation of will occur.

따라서, 고정전극(110)에 인가하는 전압의 종류 및 양을 조절함에 의해, 출력광의 편광의 방향 및 변형폭을 임의로 조정할 수 있는 것이다.Therefore, by adjusting the type and amount of voltage applied to the fixed electrode 110, the direction and the deformation width of the polarization of the output light can be adjusted arbitrarily.

본 발명은 저가의 소형 시스템에 의해 광통신용 전송 선로에서 발생하는 편광 오차의 보정, 편광의 회전각 조절 등을 가능케 하는 가변 편광 회전기를 제공한다.The present invention provides a variable polarization rotator that enables correction of polarization error, adjustment of rotation angle of polarization, and the like, which occur in an optical communication transmission line by a small, low-cost system.

Claims (4)

심부에 관통공이 형성된 기판과;A substrate having a through hole formed in the core portion; 상기 기판의 관통공에 배치되고, 현가탄성부에 의해 탄성구동이 가능하도록 상기 기판과 결합된 가동판과;A movable plate disposed in a through hole of the substrate and coupled to the substrate to enable elastic driving by a suspension elastic portion; 심부에 레이저 투과공이 형성되고, 광도파 방향에 대해 수직인 단면으로 세절되고, 그 세절된 각편이 각각 소정 이격되어 상기 기판에 고정된 고정 광도파로와;A fixed optical waveguide formed with a laser transmission hole in the core portion, cut into a cross section perpendicular to the optical waveguide direction, and each of the fragmented pieces being spaced apart from each other by a predetermined distance; 심부에 레이저 투과공이 형성되고, 광도파 방향에 대해 수직인 단면으로 세절되고, 그 세절된 각편이 상기 고정 광도파로의 각편 사이마다 배치되도록 상기 가동판에 설치된 가동 광도파로와;A movable optical waveguide formed on the movable plate such that a laser transmission hole is formed in the core portion, cut into a cross section perpendicular to the optical waveguide direction, and the cut pieces are disposed between the respective pieces of the fixed optical waveguide; 상기 가동판을 광도파 방향에 대해 수직방향으로 구동시키는 구동수단을; 포함하는 가변 편광 회전기.Drive means for driving the movable plate in a direction perpendicular to the optical waveguide direction; Variable polarization rotator comprising. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동수단은The driving means 상기 가동판의 일측으로서 상기 기판의 관통공에 배치된 고정전극과;A fixed electrode disposed in a through hole of the substrate as one side of the movable plate; 상기 고정전극에 전원을 인가하는 전원인가수단과;Power supply means for applying power to the fixed electrode; 상기 가동판에 전원을 인가하는 전원인가수단과;Power supply means for applying power to the movable plate; 상기 고정전극과 상기 가동판의 대향면에 각각 형성된 빗살형태의 정전기력미세 구동기를; 포함하는 것을 특징으로 하는 가변 편광 회전기.A comb-tooth shaped electrostatic force micro driver formed on opposite surfaces of the fixed electrode and the movable plate; Variable polarization rotator comprising a. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 고정전극 및 고정전극용 전원인가수단은 상기 가동판의 양측에 2개가 배치된 것을 특징으로 하는 가변 편광 회전기.The fixed electrode and the fixed electrode power supply means for the variable polarization rotator, characterized in that two arranged on both sides of the movable plate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광 도파로는The optical waveguide 가동전극의 변위량에 따라 출사되는 광의 편광성분이 소정 양만큼 회전하는 것을 특징으로 하는 가변 편광 회전기.A variable polarization rotator, characterized in that the polarization component of the light emitted according to the displacement amount of the movable electrode rotates by a predetermined amount.
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