KR20030047657A - Do grinding chapter - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 주로, 워크의 바깥둘레에 형성된 수나사를 연마하는 연마장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention mainly relates to the grinding | polishing apparatus which grinds the external thread formed in the outer periphery of a workpiece | work.
반도체 관련의 제조, 검사장치를 비롯하여, 각종 정밀가공이나 조립 등을 클린 룸에서 행하는 경우, 필터를 이용하여 공기중의 먼지를 제거하는 일이 행해지고 있다. 또한, 클린 룸 내의 멸균처리를 하기 위해 클린 룸 내에 흡입되는 멸균가스를 필터로 정화하여 멸균가스 중의 불순물을 제거하는 일도 통상적으로 행해지고 있다.In the case where various precision processing or assembly, including semiconductor-related manufacturing and inspection apparatus, are performed in a clean room, dust in the air is removed using a filter. In addition, in order to perform the sterilization treatment in the clean room, the sterilization gas sucked into the clean room is purged with a filter to remove impurities in the sterilization gas.
도 5는 멸균가스 중의 불순물을 제거하는 필터장치를 나타낸다. 이 필터장치는 통형상의 필터케이스(50) 내에 원통형상의 필터(51)를 내장하고, 그 필터(51)의 양단부에 설치된 단판(52, 53)의 한쪽을 필터케이스(50)의 개구단에 충돌하여, 접합에 의해 고착하고, 상기 필터케이스(50)의 단부 및 한쪽의 단판(52)에 접속통(54, 55)을 일체로 설치하고, 각 접속통(54, 55)의 바깥둘레에 파이프접합용 수나사(56)를 설치하고 있다.5 shows a filter apparatus for removing impurities in sterile gas. The filter device incorporates a cylindrical filter 51 in a cylindrical filter case 50, and attaches one end of the end plates 52, 53 provided at both ends of the filter 51 to the open end of the filter case 50. It collides, and it adheres by joining, the connecting cylinders 54 and 55 are integrally provided in the edge part of the said filter case 50, and one end plate 52, and are provided in the outer periphery of each connecting cylinder 54, 55. As shown in FIG. A male thread 56 for pipe joining is provided.
여기서, 필터케이스(50)의 접속통(54)에 설치되어 있던 수나사(56)가 절삭에 의해 형성된 것이면 미세한 크랙이 발생하고, 그 크랙에 박테리아가 발생할 우려가 있기 때문에, 보통은 수나사(56)를 전조에 의해 형성하고 있다.Here, when the male screw 56 provided in the connection tube 54 of the filter case 50 is formed by cutting, fine cracks may occur, and bacteria may occur in the cracks. Therefore, the male screw 56 is usually used. Is formed by rolling.
그런데, 수나사(56)를 전조에 의해 형성한 경우, 나사산, 특히 양단부의 나사산이 매우 예리하여 필터케이스(50)의 취급시에 상처를 낼 할 위험이 있다.By the way, when the male screw 56 is formed by rolling, there is a risk that the thread, particularly the thread at both ends, is very sharp and may cause damage during handling of the filter case 50.
그래서, 필터케이스(50)는 전조에 의한 수나사(56)의 형성후, 수나사(56)를 연마하는 일이 행해지고 있다.Therefore, the filter case 50 is polished after the external thread 56 is formed by rolling.
그런데, 필터케이스(50)에 형성된 수나사(56)의 연마시에 종래는 필터케이스(50)를 잡고, 접속통(53)의 바깥둘레에 형성된 수나사(56)를 한방향으로 회전하는 버프차에 밀어붙여 회전시키도록 하는 수작업에 의한 연마이기 때문에 매우 비능률적이고 위험하였다.By the way, when grinding the male screw 56 formed in the filter case 50, the filter case 50 is conventionally grasped and the male screw 56 formed at the outer circumference of the connecting cylinder 53 is pushed by a buffing car which rotates in one direction. It was very inefficient and dangerous because it was a manual grind to be attached and rotated.
본 발명의 과제는 수나사를 갖는 필터케이스와 같은 워크를 매우 능률적으로 연마할 수 있는 연마장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a polishing apparatus capable of polishing a work such as a filter case having a male screw very efficiently.
도 1은 본 발명에 관한 연마장치의 실시예를 나타내는 정면도1 is a front view showing an embodiment of a polishing apparatus according to the present invention.
도 2는 도 1에 나타내는 연마장치의 측면도FIG. 2 is a side view of the polishing apparatus shown in FIG. 1
도 3은 도 1에 나타내는 연마장치의 척장치의 종단정면도3 is a longitudinal sectional front view of the chuck device of the polishing apparatus shown in FIG.
도 4는 도 3에 나타내는 척장치의 측면도4 is a side view of the chuck device shown in FIG.
도 5는 필터장치의 단면도5 is a cross-sectional view of the filter device;
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
2 : 테이블 4 : 버프차2: table 4: buff tea
5 : 이동장치 20 : 척장치5: moving device 20: chuck device
21 : 스핀들 홀더 25 : 콜릿21: spindle holder 25: collet
29 : 플랜지 29a : 테이퍼면29: flange 29a: tapered surface
30 : 슬릿 32 : 수나사30: Slit 32: Male thread
33 : 조작 링 35 : 가압 링33: operation ring 35: pressure ring
40 : 모터(회전구동장치)40: motor (rotary drive device)
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서는, 한방향으로 회전구동되는 버프차와, 그 버프차의 바깥둘레에 대하여 이동 자유롭게 설치된 테이블과, 그 테이블을 버프차에 대하여 왕복운동시키는 이동장치와, 상기 테이블 상에 지지된 워크 클램프용 척장치와, 그 척장치에 의해 클램프된 워크를 회전시키는 회전구동장치로 이루어지는 구성을 채용한 것이다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, in this invention, the buffing car rotated in one direction, the table provided to be movable freely with respect to the outer periphery of the buffing car, the moving device which reciprocates the table with respect to the buffing car, and the said table The structure which consists of the workpiece clamp chuck apparatus supported on the surface, and the rotation drive apparatus which rotates the workpiece clamped by the chuck apparatus is employ | adopted.
상기의 구성으로 이루어지는 연마장치를 이용하여 예컨대, 도 5에 나타내는 필터케이스의 수나사를 연마하려면, 척장치에 의해 필터케이스를 클램프하고, 회전구동장치의 구동에 의해 필터케이스를 회전하고, 이동장치의 작동에 의해 테이블을 한방향으로 회전구동된 버프차를 향하여 이동시켜, 필터케이스의 수나사를 버프차의 바깥둘레에 밀어붙여 상기 버프차와의 접촉에 의해 수나사를 연마한다.In order to grind the male screw of the filter case shown in FIG. 5 using the grinding | polishing apparatus of the said structure, for example, the filter case is clamped by a chuck apparatus, the filter case is rotated by the drive of a rotary drive, and the By operation, the table is moved toward the buff car rotated in one direction, and the male screw of the filter case is pushed on the outer circumference of the buff car to polish the male screw by contact with the buff car.
이와 같이, 척장치에 의해 필터케이스를 클램프하고, 테이블을 버프차를 향하여 이동시켜 수나사를 버프차에 밀어붙임으로써 수나사를 연마할 수 있기 때문에, 수나사를 매우 능률적으로 안전하게 연마할 수 있다.In this way, the male screw can be polished by clamping the filter case by the chuck device and moving the table toward the buff car and pushing the male screw to the buff car, so that the male screw can be polished very efficiently and safely.
본 발명에 관한 연마장치에 있어서, 척장치로서, 상기 테이블 상에 지지된 스핀들 홀더와, 그 스핀들 홀더에 의해 회전 자유롭게 지지된 통형상의 스핀들과, 그 스핀들 내에 내장되고, 일단면으로부터 축방향으로 연장되는 복수의 슬릿이 형성된 콜릿과, 그 콜릿의 선단부 바깥둘레에 형성된 플랜지에 대하여 이동 자유롭게 되고, 전진시에 플랜지에 형성된 테이퍼면을 눌러 콜릿을 직경축소시키는 가압 링과, 상기 척 홀더의 바깥둘레에 형성된 수나사에 나사결합되고, 전조에 의해 축방향으로 이동하여 가압링을 축방향으로 누르는 조작 링으로 이루어지고, 상기 콜릿을 합성수지에 의해 형성한 것을 채용함으로써 필터케이스 등의 워크를 상처내지 않고 클램프할 수 있다.In the polishing apparatus according to the present invention, a chuck apparatus, comprising: a spindle holder supported on the table, a cylindrical spindle rotatably supported by the spindle holder, embedded in the spindle, and axially from one end surface. A collet having a plurality of slits formed therein, a pressing ring which is free to move with respect to the flange formed on the outer periphery of the collet, and presses the tapered surface formed on the flange to advance and shrink the collet, and the outer circumference of the chuck holder; It is screwed to the male screw formed in the shaft, and is composed of an operation ring that moves in the axial direction by rolling and presses the pressure ring in the axial direction. can do.
또한, 테이블로서 버프차의 바깥둘레에 대하여 이동 자유롭게 설치된 제 1 테이블과, 그 제 1 테이블에 지지되어 제 1 테이블의 이동방향에 대하여 직교방향으로 이동 가능한 제 2 테이블로 이루어지고, 상기 제 2 테이블에 의해 척장치를 지지한 구성을 채용함으로써 제 1 테이블의 전진운동에 의해 버프차에 밀어붙여진 워크를 제 2 테이블의 이동에 의해 버프차의 축방향으로 이동시킬 수 있기 때문에 축방향으로 긴 워크의 연마를 가능하게 할 수 있다.Further, the table includes a first table provided freely movable with respect to an outer circumference of the buff car, and a second table supported by the first table and movable in a direction orthogonal to the moving direction of the first table, wherein the second table is provided. By adopting the configuration in which the chuck device is supported, the workpiece pushed on the buff car by the forward movement of the first table can be moved in the axial direction of the buff car by the movement of the second table. Polishing can be enabled.
(실시예)(Example)
이하, 본 발명의 실시예를 도 1 내지 도 4에 기초하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 베이스 플레이트(1) 상에는 테이블(2)이 설치되어 있다. 테이블(2)은 제 1 테이블(2a)과, 그 위에 설치된 제 2 테이블(2b)로 이루어지고,제 1 테이블(2a)은 베이스 플레이트(1)에 설치된 평행 2조의 리니어 레일(3)에 지지된 모터(M1)에 의해 회전되는 버프차(4)의 바깥둘레를 향하여 이동 자유롭게 되고, 이동장치(5)에 의해 왕복운동되도록 되어 있다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described based on FIGS. 1 to 4. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the table 2 is provided on the base plate 1. The table 2 consists of a 1st table 2a and the 2nd table 2b provided on it, and the 1st table 2a is supported by the parallel 2 sets of linear rails 3 installed in the base plate 1 It is made to move freely toward the outer periphery of the buffing car 4 rotated by the motor M 1 , and is reciprocated by the moving device 5.
이동장치(5)는 조속이송장치(5a)와, 미세이송장치(5b)로 이루어지고, 조속이송장치(5b)는 베이스 플레이트(1)에 지지된 각형 실린더(6)의 단부에 모터(7)를 접속하고, 그 모터(7)의 구동에 의해 실린더(6)의 내부에 내장된 도시하지 않는 직선이동기구를 작동시켜, 실린더(6)의 바깥둘레 상부에 설치된 캐리지(8)를 실린더(6)의 길이방향으로 이동시키도록 한 종래부터 주지인 것이 채용되어 있다.The moving device 5 is composed of a speed control device 5a and a fine feed device 5b, and the speed control device 5b has a motor 7 at the end of the square cylinder 6 supported by the base plate 1. ), The linear movement mechanism (not shown) built into the cylinder 6 is operated by driving the motor 7, and the carriage 8 provided on the outer periphery of the cylinder 6 is replaced with the cylinder ( It is conventionally known to move in the longitudinal direction of 6).
미세이송장치(5b)는 조속이송장치(5a)의 캐리지(8) 상에 너트부재(9)를 고정하고, 그 너트부재(9)에 나사결합한 나사축(10)의 단부를 제 1 테이블(2a)의 후단부에 설치된 축받이부재(11)에 의해 회전 자유롭게, 또한 축방향으로 비가동으로 지지하고, 상기 나사축(10)을 그 단부에 부착한 핸들(10a)로 회전시켜 제 1 테이블(2a)을 이동시키도록 하고 있다.The microfeeding device 5b fixes the nut member 9 on the carriage 8 of the governing feeder 5a, and ends the end of the screw shaft 10 screwed to the nut member 9 in the first table ( It is supported by the bearing member 11 provided at the rear end of 2a freely and non-movably in the axial direction, and the said screw shaft 10 is rotated by the handle 10a attached to the end part, and it is a 1st table ( 2a) is to be moved.
제 2 테이블(2b)은 제 1 테이블(2a) 상에 설치된 평행 2조의 리니어 레일(12)에 지지되어 제 1 테이블(2a)의 이동방향과 직교하는 방향으로 이동 자유롭게 되고, 이송장치(13)에 의해 이동시키도록 하고 있다.The second table 2b is supported by two parallel linear rails 12 provided on the first table 2a, and is free to move in a direction orthogonal to the moving direction of the first table 2a. To be moved by.
이송장치(13)는 제 2 테이블(2b)의 하면에 너트부재(14)를 설치하고, 그 너트부재(14)에 나사결합한 나사축(15)의 단부를 제 1 테이블(2a)의 상면 일측부에 설치된 축받이부재(16)로 회전 자유롭게 지지하고, 그 나사축(15)을 단부에 부착한 핸들(15a)로 회전시켜 제 2 테이블(2b)을 리니어 레일(12)을 따라 이동시키도록 하고 있다.The conveying apparatus 13 is provided with the nut member 14 in the lower surface of the 2nd table 2b, and the edge part of the screw shaft 15 screwed to the nut member 14 is the upper surface of the 1st table 2a. Rotationally supported by the bearing member 16 provided in the side part, the screw shaft 15 is rotated by the handle 15a attached to the end part, and the 2nd table 2b is moved along the linear rail 12, have.
제 2 테이블(2b)의 상측에는 위쪽에는 워크(W)를 지지하는 척장치(20)와, 그 척장치(20)에 의해 클램프된 워크(W)를 회전시키는 회전구동장치로서의 모터(40)가 지지되어 있다.On the upper side of the second table 2b, a chuck device 20 for supporting the work W on the upper side, and a motor 40 as a rotation driving device for rotating the work W clamped by the chuck device 20. Is supported.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 척장치(20)는 제 2 테이블(2b)의 상면에 고정된 통형상의 스핀들 홀더(21)를 갖고, 그 스핀들 홀더(21)의 내부에 내장된 축받이(22)에 의해 통형상의 스핀들(23)을 회전 자유롭게 지지하고, 그 스핀들(23)을 모터(40)로 회전시키도록 하고 있다.As shown in Figs. 3 and 4, the chuck device 20 has a cylindrical spindle holder 21 fixed to an upper surface of the second table 2b, and is built in the spindle holder 21. The bearing 22 allows the cylindrical spindle 23 to be freely rotated, and the spindle 23 is rotated by the motor 40.
또한, 스핀들(23)의 내부에 통형상의 콜릿(25)을 내장하고, 그 콜릿(25)의 후단부 안둘레에 형성된 암나사(25a)에 플랜지가 부착된 너트(26)를 나사결합하고, 그 너트(26)를 결합하여 너트(26)에 설치된 플랜지(26a)와 콜릿(25)으로 스핀들(23)의 안둘레에 설치된 환상돌출부(23a)를 양측에서 클램프하여, 콜릿(25)을 축방향으로 비가동으로 지지하고, 콜릿(25)의 선단부 바깥둘레에 설치된 회전금지핀(27)을 스핀들(23)의 선단부에 형성된 절개부(28)에 삽입하여 콜릿(25)을 회전금지하고 있다.Further, a cylindrical collet 25 is built into the spindle 23, and a flanged nut 26 is screwed into the female screw 25a formed at the rear end of the collet 25, The nut 26 is coupled and the flange 26a provided on the nut 26 and the collet 25 are clamped on both sides of the annular projection 23a provided on the inner circumference of the spindle 23, and the collet 25 is shafted. Direction is supported in a non-moving direction, the rotation inhibiting pin 27 provided on the outer circumference of the front end of the collet 25 is inserted into the cutout 28 formed at the front end of the spindle 23 to prevent rotation of the collet 25. .
여기서, 콜릿(25)은 선단부 바깥둘레에 플랜지(29)가 형성되고, 그 플랜지(29)의 후단부 바깥둘레에 테이퍼면(29a)이 설치되어 있다. 또 콜릿(25)에는 선단부로부터의 축방향으로 연장되는 복수의 슬릿(30)이 원주방향으로 간격을 두고 형성되어 있다. 이 콜릿(25)은 베이크라이트 등의 합성수지로 형성되어 있다.Here, the collet 25 is provided with the flange 29 in the outer periphery of the front end, and the taper surface 29a is provided in the outer periphery of the rear end of the flange 29. The collet 25 is formed with a plurality of slits 30 extending in the axial direction from the tip portion at intervals in the circumferential direction. The collet 25 is made of synthetic resin such as bakelite.
또, 스핀들 홀더(21)에 형성된 소경 통부(31)의 바깥둘레에 수나사(32)를 설치하고, 이 수나사결합된 조작 링(33)과 콜릿(25)에 형성된 플랜지(29) 사이에 축받이(34)와 가압 링(35)을 내장하고, 상기 조작 링에 의한 축방향의 이동에 의해 축받이(34) 및 가압 링(35)을 통해 콜릿(25)의 플랜지(29) 바깥둘레에 형성된 테이퍼면(29a)을 눌러 콜릿(25)을 직경축소시키도록 하고 있다.In addition, a male screw 32 is provided on the outer circumference of the small-diameter cylindrical portion 31 formed in the spindle holder 21, and a bearing (between the male screw-coupled operation ring 33 and the flange 29 formed in the collet 25) 34 and a tapered surface formed in the outer circumference of the flange 29 of the collet 25 through the bearing 34 and the pressing ring 35 by the axial movement by the operating ring. The collet 25 is reduced in diameter by pressing 29a.
여기서, 척장치(20)의 콜릿(25)에 의해 외경 사이즈가 다른 복수의 워크를 클램프할 수 있도록, 콜릿(25)의 내측에 대하여 어댑터(36)가 부착이탈 자유롭게 되어 있다. 어댑터(36)는 통형상을 이루고, 그 어댑터(36)에 선단면으로부터 축방향으로 연장되는 복수의 슬릿(37)이 원주방향으로 간격을 두고 형성되어 있다. 이 어댑터(36)도 베이크라이트 등의 합성수지로 형성되어 있다.Here, the adapter 36 is detachably attached to the inner side of the collet 25 so that the collet 25 of the chuck device 20 can clamp a plurality of workpieces having different outer diameter sizes. The adapter 36 has a cylindrical shape, and a plurality of slits 37 extending in the axial direction from the distal end face are formed in the adapter 36 at intervals in the circumferential direction. The adapter 36 is also made of synthetic resin such as bakelite.
실시예에서 나타내는 필터케이스(50)의 수나사(56)의 연마에 있어서는, 척장치(20)에 의해 필터케이스(50)를 클램프하고, 그 클램프후, 모터(24)를 구동하여 필터케이스(50)를 회전하고, 이동장치(5)의 조속이송장치(5a)에 의해 제 1 테이블(2a)을 조속이송하여 필터케이스(50)의 수나사(56)를 버프차(4)의 바깥둘레에 근접하는 위치까지 이동시키고, 다음에 미세이송장치(5b)의 나사축(15)을 회전하고, 제 1 테이블(2a)을 미세이송하여 수나사(55)를 버프차(4)의 바깥둘레에 밀어붙인다.In the polishing of the male screw 56 of the filter case 50 shown in the embodiment, the filter case 50 is clamped by the chuck device 20, and after the clamp is driven, the motor 24 is driven to filter the filter case 50. ), The first table 2a is moved by the speed feeder 5a of the moving device 5 so that the male screw 56 of the filter case 50 is close to the outer circumference of the buff car 4. Move the screw shaft 15 of the microfeeding device 5b, and microfeed the first table 2a to push the male screw 55 to the outer circumference of the buffing car 4. .
여기서, 버프차(4)는 미세한 연마입자를 보유하는 탄성체로 이루어지고, 그 폭치수는 수나사(56)의 축방향길이보다 커져 있다. 이 버프차(4)는 모터(M1)의 구동에 의해 필터케이스(50)의 회전속도보다 빠른 속도로 회전된다. 그 고속회전되는 버프차(4)에 필터케이스(50)의 수나사(56)를 밀어붙임으로써 버프차(4)의 접촉회전에 의해 수나사(56)를 연마할 수 있다.Here, the buffing car 4 is made of an elastic body that holds fine abrasive grains, and the width dimension thereof is larger than the axial length of the male screw 56. The buffing car 4 is rotated at a speed faster than the rotation speed of the filter case 50 by the driving of the motor M 1 . The male screw 56 can be polished by the contact rotation of the buff car 4 by pushing the male screw 56 of the filter case 50 to the buff car 4 which rotates at high speed.
수나사(56)의 연마가공의 종료 후에는 조속이송장치(5a)를 작동하여 버프차(4)로부터 수나사(56)가 이반되는 방향으로 제 1 테이블(2a)을 후퇴시키고, 그 후퇴정지위치에서 필터케이스(50)의 클램프를 해제한다. 이후, 동일 사이즈의 복수의 필터케이스(50)의 수나사(56)의 연마에 있어서는, 제 1 테이블(2a)을 조속이송장치(5a)에 의해서만 일정 스트로크 왕복운동하게 하는 동작과, 제 1 테이블(2a)의 후퇴위치에서 연마후의 필터케이스(50)를 척장치(20)로부터 분리하여 다음의 필터케이스(50)를 클램프하는 동작을 반복하여 행하도록 한다.After finishing the grinding of the male screw 56, the speed feed device 5a is operated to retract the first table 2a from the buffing car 4 in the direction in which the male screw 56 is separated, and at the retreat stop position. Release the clamp of the filter case 50. Subsequently, in the polishing of the male screw 56 of the plurality of filter cases 50 of the same size, an operation of causing the first table 2a to be reciprocated by a constant stroke only by the speed feed device 5a, and the first table ( In the retracted position of 2a), the filter case 50 after polishing is removed from the chuck device 20, and the operation of clamping the next filter case 50 is repeated.
상기한 바와 같이, 동일 사이즈의 필터케이스(50)의 수나사(56)의 연마에 있어서는, 최초에 미세이송장치(5b)를 작동시키는 것만으로 되고, 이후는 조속이송장치(5a)에 의해 제 1 테이블(2a)을 왕복운동시키는 동작과 제 1 테이블(2a)의 후퇴위치에 있어서 필터케이스(50)의 부착이탈을 번갈아 반복하여 행하는 것 만으로 되기 때문에, 동일 사이즈의 필터케이스(50)의 수나사(56)를 매우 효율적으로 연마할 수 있다.As described above, in the polishing of the male screw 56 of the filter case 50 of the same size, only the first operation of the fine feed device 5b is performed, and after that, the first feed is carried out by the speed feed device 5a. Since the operation of reciprocating the table 2a and the attachment and detachment of the filter case 50 are repeatedly performed alternately at the retreat position of the first table 2a, the male screw of the filter case 50 of the same size ( 56) can be polished very efficiently.
여기서, 척장치(20)에 의해 필터케이스(50)를 클램프하려면 필터케이스(50)를 콜릿(25) 또는 콜릿(25) 내에 내장된 어댑터(36) 내에 삽입한 후, 조작 링(33)을 회전하고, 그 조작 링(33)의 축방향의 이동에 의해 축받이(34)를 통해 가압 링(35)을 축방향으로 누르고, 그 가압 링(35)이 콜릿(25)의 플랜지(29)에 설치된 테이퍼면(29a)을 누르는 작용에 의해 콜릿(25)을 직경축소시키는 동시에, 그 콜릿(25) 내에 어댑터(36)가 내장되어 있는 경우에 어댑터(36)를 직경축소시켜 필터케이스(50)를 클램프한다.Here, in order to clamp the filter case 50 by the chuck device 20, the filter case 50 is inserted into the collet 25 or the adapter 36 embedded in the collet 25, and then the operation ring 33 is inserted. Rotate, and the pressing ring 35 is pressed in the axial direction through the bearing 34 by the axial movement of the operating ring 33, and the pressing ring 35 is pressed against the flange 29 of the collet 25. By collapsing the collet 25 by the action of pressing the provided tapered surface 29a, the adapter 36 is reduced in diameter when the adapter 36 is built in the collet 25 so that the filter case 50 can be reduced. To clamp.
필터케이스(50)를 클램프하는 콜릿(25) 및 어댑터(36)는 합성수지로 형성되어 있기 때문에 필터케이스(50)를 상처내지 않고 클램프할 수 있다.Since the collet 25 and the adapter 36 clamping the filter case 50 are made of synthetic resin, the filter case 50 can be clamped without being damaged.
실시예에서는 필터케이스(50)의 수나사(56)의 연마를 예로 들어 설명하였으나, 연마되는 워크는 이것에 한정되는 것은 아니다. 연마되는 워크의 축방향 길이가 버프차(4)의 폭치수보다 큰 경우, 제 1 테이블(2a)의 직진운동에 의해 워크를 버프차(4)에 밀어붙인 후, 제 2 테이블(2b)을 제 1 테이블(2a)의 이동방향과 직교하도록 이동시키도록 한다.In the embodiment, the grinding of the male screw 56 of the filter case 50 has been described as an example, but the workpiece to be polished is not limited thereto. When the axial length of the workpiece to be polished is larger than the width dimension of the buff car 4, the second table 2b is attached after pushing the work to the buff car 4 by the linear motion of the first table 2a. The movement is made to be orthogonal to the moving direction of the first table 2a.
이상과 같이, 본 발명에서는 척장치에 의해 워크를 클램프한 후, 제 1 테이블을 버프차를 향하여 이동하여, 버프차에 워크를 밀어붙임으로써 워크를 연마할 수 있기 때문에, 워크를 매우 능률적으로 안전하게 연마할 수 있다.As described above, in the present invention, after clamping the workpiece by the chuck device, the workpiece can be polished by moving the first table toward the buffing car and pushing the workpiece to the buffing car, thus making the work very efficient and safe. It can be polished.
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