KR20030033485A - 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용리미트센서 어셈블리 - Google Patents

반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용리미트센서 어셈블리 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명에 의하면, 핸들러의 챔버 일측에 설치되는 베이스판과, 이 베이스판의 일측 끝단에 수직하게 설치된 설치판과, 상기 베이스판을 따라 좌우로 수평하며 테스트 트레이를 홀딩하여 일측 챔버 위치에서 타측 챔버 위치로 밀면서 이송하는 홀더어셈블리를 포함하여 구성된 트레이 이송장치에 있어서, 상기 설치판에 형성된 관통공과, 이 관통공에 고정되게 설치된 중공의 보스와, 상기 보스의 중공부에 축방향으로 따라 이동가능하게 삽입되는 작동부재와, 전단부가 상기 작동부재의 후단과 결합하며 후단부는 상기 홀더어셈블리와 대향되어 홀더어셈블리의 작용에 의해 상기 작동부재를 밀어서 이동시키는 푸쉬부재와, 상기 보스의 후단부와 푸쉬부재의 전단부 사이에 개재되어 보스에 대해 푸쉬부재를 탄성적으로 지지하는 탄성부재 및, 상기 설치판의 보스 바로 전단부에 고정되게 설치되어 작동부재의 이동을 감지하는 감지수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리가 제공된다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리{Limit sensor assembly for tray transfer of handler for testing semiconductor devices}
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리에 관한 것으로, 특히 핸들러의 챔버에서 트레이 이송장치의 초기 위치를 설정함과 더불어 트레이 이송과정에서 설정된 초기 위치 이상으로 진행하는 것을 방지하도록 된 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.
통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에 전열히터 및 액화질소 분사시스템에 의한 고온 및 저온의 극한 온도상태의 환경을 조성하여 반도체 소자 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 온도테스트가 가능한 핸들러에서는 다수개의 반도체 소자들을 하나의 테스트 트레이에 장착한 후, 이 테스트 트레이를 특정한 온도 조건이 조성된 복수의 챔버 간으로 이동시키며 테스트를 수행하게 되는 바, 핸들러의 챔버에는 테스트 트레이들을 일측 챔버 위치에서 타측 챔버 위치로 이송하여 주는 역할을 하는 트레이 이송장치들이 구비되어 있다.
상기와 같은 트레이 이송장치들은 자체에 구비된 트레이 홀더어셈블리로 직립 상태의 테스트 트레이의 일측 모서리부를 홀딩한 후, 상기 홀더어셈블리를 구동수단에 의해 직선운동시켜 테스트 트레이를 밀면서 슬라이딩 이동시켜 챔버 일측에서 타측으로 반송시킨 다음, 다시 구동수단을 역으로 동작시켜 홀더어셈블리를 초기의 이송 대기위치로 반송하여 다음 트레이 이송작업을 수행하도록 되어 있다.
그런데, 종래의 트레이 이송장치들은 상기한 홀더어셈블리를 이용하여 테스트 트레이를 반송시킨 후 구동수단(예컨대 볼스크류와 이를 회동시키는 서보모터)의 역동작에 의해 홀더어셈블리를 반송시킬 때, 구동수단의 제어가 정확하게 이루어지지 못할 경우 홀더어셈블리가 챔버 내벽면까지 이동하여 챔버 내벽면 또는 다른 구성 부품과 충돌하여 구성요소에 손상이 생기는 문제가 있었다.
또한, 핸들러를 가동하여 테스트를 실시하기 전에 트레이 이송장치의 홀더어셈블리를 초기 위치에 위치시키는 홈체킹(home checking)작업이 수행되어야 하는데, 종래의 트레이 이송장치에는 이를 수행할 수 있는 적절한 장치가 마련되어 있지 않아 사용자가 수동으로 홀더어셈블리의 홈체킹을 수행해야 하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 트레이 이송장치의 구동수단의 오동작에 의해 홀더어셈블리가 설정 위치를 초과하여 이동하는 것을 감지함과 더불어, 핸들러의 가동전 홈체킹을 수행시 상기 홀더어셈블리의 초기 위치를 설정하는 홈체킹작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 리미트센서 어셈블리가 설치된 핸들러용 트레이 이송장치 구성을 나타낸 사시도
도 2는 도 1의 리미트센서 어셈블리가 설치된 상태를 나타낸 사시도
도 3은 도 1의 리미트센서 어셈블리의 분해 사시도
도 4a와 도 4b는 각각 도 1의 리미트센서 어셈블리의 작동을 개략적으로 나타낸 도면
* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *
101a - 설치판 105 - 이동블럭
120 - 홀더 201 - 관통공
202 - 보스 204 - 푸쉬바아
206 - 작동부재 207 - 압축스프링
208 - 센서베이스 209 - 센서
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 핸들러의 챔버 일측에 설치되는 베이스판과, 이 베이스판의 일측 끝단에 수직하게 설치된 설치판과, 상기 베이스판을 따라 좌우로 수평하며 테스트 트레이를 홀딩하여 일측 챔버 위치에서 타측 챔버 위치로 밀면서 이송하는 홀더어셈블리를 포함하여 구성된 트레이 이송장치에 있어서, 상기 설치판에 형성된 관통공과, 이 관통공에 고정되게 설치된 중공의 보스와, 상기 보스의 중공부에 축방향으로 따라 이동가능하게 삽입되는 작동부재와, 전단부가 상기 작동부재의 후단과 결합하며 후단부는 상기 홀더어셈블리와 대향되어 홀더어셈블리의 작용에 의해 상기 작동부재를 밀어서 이동시키는 푸쉬부재와, 상기 보스의 후단부와 푸쉬부재의 전단부 사이에 개재되어 보스에 대해 푸쉬부재를 탄성적으로 지지하는 탄성부재 및, 상기 설치판의 보스 바로 전단부에 고정되게 설치되어 작동부재의 이동을 감지하는 감지수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리를 제공한다.
이하, 본 발명에 따른 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
첨부된 도면의 도 1은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러의 챔버 후방에 설치된 트레이 이송장치의 구성을 나타낸 도면으로, 트레이 이송장치는 핸들러의 테스트사이트를 구성하는 챔버 후방면에 측방으로 수평하게 설치되는 베이스판(101)과,상기 베이스판(101)의 일단부에 수직하게 설치되며 챔버 측벽면을 형성하는 설치판(101a)과, 상기 베이스판(101)의 길이방향을 따라 측방으로 수평하게 설치된 가이드레일(102)과, 이 가이드레일(102)을 따라 이동가능하도록 설치된 이동블럭(105) 및, 이 이동블럭(105)에 고정되게 설치되어 테스트 트레이의 일측 모서리부를 홀딩하여 이송하는 홀더(120)와, 상기 이동블럭(105) 및 홀더(120)를 이동시키기 위한 구동수단 및, 상기 가이드레일(102)과 나란하도록 상기 설치판(101a)에 일정 각도 범위 내에서 회동가능하게 설치되며 상기 홀더(120)와 결합되어 홀더(120)를 테스트 트레이 측면 모서리부에 대해 결합 및 해제 작동시키는 스플라인(110)으로 구성된다.
상기 구동수단은 상기 베이스판(101)의 상측에 가이드레일(102)과 나란하게 설치된 볼스크류(103)와, 상기 이동블럭(105)과 고정되게 결합되며 볼스크류(103)를 따라 이동하도록 된 볼하우징(104)과, 상기 설치판(101a)에 설치되어 볼스크류(103)를 회동시키는 서보모터(106)로 이루어진다.
또한, 상기 설치판(101a)의 외측면에는 상기 스플라인(110)을 회동시키기 위한 회동수단이 설치되는 바, 이 회동수단은 상기 스플라인(110)의 끝단에 스플라인(110)의 반경방향 외측으로 연장되게 설치된 돌출부(111)와, 이 돌출부(111)와 링크되도록 설치되어 상기 돌출부(111)를 전후진시킴으로써 스플라인(110)을 소정 각도 범위 내에서 왕복 회동시키는 실린더(112)로 구성된다.
도 2 내지 도 4b에 도시된 것과 같이, 상기 설치판(101a)에는 트레이 이송장치의 홀더어셈블리의 이동을 제한하는 리미트센서 어셈블리가 구비되는 바, 상기설치판(101a)에는 트레이 이송장치의 이동블럭(105)과 동일선상에 관통공(201)이 형성되고, 이 관통공(201)에는 중공부가 형성된 보스(202)가 고정되게 설치되며, 이 보스(202)의 중공부에는 중공부의 내경보다 약간 작은 외경을 갖는 대략 원통형의 작동부재(206)가 축방향으로 전후진 이동가능하도록 내설된다.
상기 작동부재(206)의 후단부는 트레이 이송장치의 이동블럭(105) 끝단과 대향되게 설치되는 푸쉬바아(204)의 전단부와 고정되게 결합되며, 상기 보스(202)의 후단부와 푸쉬바아(204) 사이에는 보스(202)에 대해 푸쉬바아(204)를 탄성적으로 지지하여 주는 압축스프링(207)이 개재되어 있다.
그리고, 상기 설치판(101a)의 외측면에는 작동부재(206)의 바로 전방위치에 센서베이스(208)가 고정되게 부착되고, 이 센서베이스(208)에는 작동부재(206)의 전단부의 전후진 이동을 감지하는 대략 U자형 광센서(209)가 부착되어 있다.
상기 광센서(209)의 U자형 개방부 사이에는 빔(beam)이 흐르도록 되어 있는 바, 상기 광센서(209)의 U자형 개방부 사이로 작동부재(206)의 전단부가 삽입되면 빔이 차단되면서 작동부재(206)의 이동을 감지하게 된다.
상기와 같이 구성된 리미트센서 어셈블리의 작동은 다음과 같이 이루어진다.
본 발명의 리미트센서 어셈블리는 핸들러 가동 중 트레이 이송장치의 홀더(120)가 설정된 초기 위치로 이동하는 것을 감지하여 홀더(120)의 이동을 초기 위치에서 정확하게 정지시키는 역할을 하게 되는데, 핸들러를 가동중 트레이 이송장치의 홀더(120)가 일측 챔버 위치에서 타측 챔버 위치로 테스트 트레이를 이송 완료한 후 초기의 위치로 복귀하는 도중, 홀더(120)가 부착되어 있는이동블럭(105)이 리미트센서 어셈블리의 푸쉬바아(204)와 접촉하게 되면, 이 푸쉬바아(204)에 결합된 작동부재(206)가 보스(202)의 중공부 내에서 전진 이동하여 그 전단부가 광센서(209)의 개방부위를 지나게 되고, 이에 따라 광센서(209)가 이를 감지하여 핸들러의 제어유닛(미도시)에 신호를 보내어 서보모터(106)의 작동을 중지시킴으로써 이동블럭(105) 및 홀더(120)를 정지시킨다.
이어서 이동블럭(105)과 푸쉬바아(204) 간의 결합이 해제되면, 푸쉬바아(204) 및 이에 결합된 작동부재(206)는 압축스프링(207)의 탄성력에 의해 원래 상태로 복귀한다.
또한, 상기와 같은 리미트센서 어셈블리는 핸들러의 가동 초기에 트레이 이송장치의 홀더(120)의 초기 위치를 설정하는 경우에도 이용되는데, 이 경우 역시 마찬가지로 작업자가 핸들러를 가동하여 테스트를 수행하기 전에 트레이 이송장치의 홀더(120) 및 이동블럭(105)을 동작시켜 리미트센서 어셈블리를 작동시키면 핸들러의 제어유닛(미도시)은 이 때의 홀더(120) 및 이동블럭(105) 위치를 초기 위치로 설정하여 트레이 이송작업을 수행하게 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 트레이 이송장치의 홀더어셈블리가 트레이 이송작업시 항상 정확한 초기 위치로 복귀할 수 있게 되므로 구동수단의 오동작 등에 의한 트레이 이송장치 및 기타 구성부품의 손상을 방지하고 이로 인한 테스트 지체 현상을 방지할 수 있다.
또한, 핸들러의 가동전 트레이 이송장치의 초기 위치를 설정하는 홈체킹작업이 용이하게 이루어질 수 있는 효과도 있다.

Claims (3)

  1. 핸들러의 챔버 일측에 설치되는 베이스판과, 이 베이스판의 일측 끝단에 수직하게 설치된 설치판과, 상기 베이스판을 따라 좌우로 수평하며 테스트 트레이를 홀딩하여 일측 챔버 위치에서 타측 챔버 위치로 밀면서 이송하는 홀더어셈블리를 포함하여 구성된 트레이 이송장치에 있어서,
    상기 설치판에 형성된 관통공과, 이 관통공에 고정되게 설치된 중공의 보스와, 상기 보스의 중공부에 축방향으로 따라 이동가능하게 삽입되는 작동부재와, 전단부가 상기 작동부재의 후단과 결합하며 후단부는 상기 홀더어셈블리와 대향되어 홀더어셈블리의 작용에 의해 상기 작동부재를 밀어서 이동시키는 푸쉬부재 및, 상기 설치판의 보스 바로 전단부에 고정되게 설치되어 작동부재의 이동을 감지하는 감지수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 보스의 후단부와 푸쉬부재의 전단부 사이에는 보스에 대해 푸쉬부재를 탄성적으로 지지하는 탄성부재가 개재된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 감지수단은 설치판에 고정되는 센서베이스와, 상기 센서베이스 상에 설치되어 작동부재의 전단부의 이동을 감지하는 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치용 리미트센서 어셈블리.
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