KR200297282Y1 - 이온주입장비의 로드락 챔버 - Google Patents

Abstract

본 고안은 이온주입장비의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 상단이 개방되고, 하면 일측에 관통홀(111)이 형성되며, 내측으로 진공이 공급되는 진공공급라인(112)이 연결되는 챔버(110)와; 관통홀(111)에 지지대(121)가 수직방향으로 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 지지대(121)의 상단 일측에 챔버(110)의 상단과 착탈가능하게 결합되는 밀폐커버(122)가 결합되며, 지지대(121)의 상부 일측에 일정 간격으로 복수의 지지플레이트(123)가 결합되고, 지지플레이트(123) 각각의 상면에 웨이퍼(W) 하면을 탄성지지하는 적어도 세 개 이상의 탄성편(124)이 각각 설치되는 웨이퍼 카세트(120)와; 지지플레이트(123)를 관통하는 적어도 세 개 이상의 승강핀(131)이 상면에 설치되는 웨이퍼승강플레이트(132)가 지지플레이트(123) 각각의 하측에 위치하고, 웨이퍼승강플레이트(132) 각각의 일측이 결합되는 승강축(133)이 지지대(121)의 내측에 길이방향을 따라 왕복운동 가능하게 설치되며, 승강축(133)의 일단에 승강축(133)을 왕복운동시키는 공압실린더(134)가 설치되는 웨이퍼승강부(130)와; 지지대(121)의 하단에 볼너트(141)가 연결되고, 볼너트(141)에 나사결합되는 리드스크류(142)가 수직되게 설치되며, 리드스크류(142)를 회전시키는 모터(143)가 구비되는 카세트이송부(140)를 포함하는 것으로서, 웨이퍼 이송아암이 로드락 챔버의 웨이퍼카세트로부터 웨이퍼를 들어 올릴때 휘게 되는 것을 방지하는 효과를 가진다.

Description

이온주입장비의 로드락 챔버{LOAD LOCK CHAMBER OF AN ION IMPLANTER}

본 고안은 이온주입장비의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 이송아암이 이온주입공정을 마친 웨이퍼를 후속공정을 위해 로드락 챔버의 웨이퍼카세트로부터 들어 올리기 전에 웨이퍼의 열로 인해 웨이퍼와 서로 부착된 탄성편으로부터 웨이퍼를 분리시킴으로써 웨이퍼 이송아암이 웨이퍼를 들어 올릴때 휘게 되는 것을 방지하는 이온주입장비의 로드락 챔버에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정중에서 이온주입공정은 순수 실리콘(Si) 웨이퍼의 표면에 불순물을 플라즈마 상태의 이온빔 상태로 만든 후 웨이퍼 표면에 침투시켜 필요한 전도형 및 비저항의 소자를 얻는 공정이다.

이온주입공정을 실시하는 이온주입장비에는 다수의 웨이퍼를 장착하여 진공상태로 프로세스 챔버로 이송시키기 위해 로드락 챔버가 구비된다.

종래의 이온주입장비에 구비되는 로드락 챔버를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 이온주입장비의 로드락 챔버를 도시한 단면도이고, 도 2는 종래의 로드락 챔버의 웨이퍼카세트의 지지플레이트로부터 웨이퍼 이송아암이 웨이퍼를 이송하는 것을 도시한 평면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 이온주입장비(미도시)에서 프로세스 챔버(미도시)로 다수의 웨이퍼(W)를 진공상태로 이송시키는 로드락 챔버는 챔버(10)와, 복수의 웨이퍼(W)가 장착됨과 아울러 챔버(10) 내로 삽입되어 챔버(10)를 밀폐시키는 웨이퍼카세트(20)와, 웨이퍼카세트(20)를 챔버(10)내로 로딩/언로딩시키는 카세트이송부(30)를 포함한다.

챔버(10)는 상단이 개방되고, 하면 일측에 관통홀(11)이 형성되며, 내측으로 진공이 공급되는 진공공급라인(12)이 연결된다.

진공공급라인(12) 상에는 진공의 공급을 개폐하도록 진공개폐밸브(12a)가 설치된다.

웨이퍼카세트(20)는 관통홀(11)에 지지대(21)가 수직상태로 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 지지대(21)의 상단 일측에 챔버(10)의 상단과 착탈가능하게 결합되는 밀폐커버(22)가 결합되며, 지지대(21)의 상부 일측에 일정 간격으로 복수의 지지플레이트(23)가 결합되고, 지지플레이트(23) 각각의 상면에 웨이퍼(W) 하면을 탄성지지하는 적어도 세 개 이상의 탄성편(24)이 각각 설치된다.

탄성편(24)은 웨이퍼카세트(20)가 승하강시 웨이퍼(W)의 흔들림과 충격을 방지하기 위해 실리콘(silicon)과 같은 탄성을 가지는 재질로 형성되며, 지지플레이트(23)상에 나사결합되는 고정부재(24a)의 상측에 삽입됨으로써 지지플레이트(23)상에 설치된다.

또한, 탄성편(24)은 웨이퍼(W)를 균형 있게 지지하기 위해 도 2에서 나타낸 바와 같이 세 개로 이루어진다.

카세트이송부(30)는 지지대(21)의 하단에 볼너트(31)가 연결되고, 볼너트(31)와 나사결합되는 리드스크류(32)가 수직되게 설치되며, 리드스크류(32)를 회전시키는 모터(33)가 구비된다.

리드스크류(32)가 모터(33)에 의해 회전되도록 리드스크류(32)는 하단에 풀리(32a)가 결합되고, 모터(33)의 회전축(33a)에도 풀리(33b)가 결합되며, 리드스크류(32)와 모터(33)의 풀리(32a,33b)가 벨트(34)로 연결된다.

이와 같은 구조로 이루어진 종래의 이온주입장비의 로드락 챔버의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

웨이퍼 이송아암(1)에 의해 웨이퍼카세트(20)의 지지플레이트(23)상에 웨이퍼(W)가 안착되어 웨이퍼카세트(20)에 일정 개수의 웨이퍼(W)가 장착되면 모터(33)가 회전하고, 모터(33)의 회전력은 벨트(34)에 의해 리드스크류(32)를 회전시킴으로써 볼너트(31)를 수직 하방으로 이동시킨다.

볼너트(31)가 수직 하방으로 이동함으로써 지지대(21)도 함께 아래로 이동함으로써 웨이퍼카세트(20)는 챔버(10) 내측에 삽입된다.

웨이퍼카세트(20)가 챔버(10) 내측으로 삽입되어 밀폐커버(22)가 챔버(10)의 상단에 결합됨으로써 챔버(10) 내부를 밀폐시키면 모터(33)는 정지되며, 진공개폐밸브(12a)의 개방에 의해 진공공급라인(12)을 통해 진공이 공급되어 챔버(10) 내부는 진공상태가 된다.

챔버(10) 내부에 웨이퍼카세트(20)가 로딩되어 진공을 유지한 상태에서 로드락 챔버는 90도로 기울어진 상태에서 이온주입공정을 실시하기 위해 이송로봇(미도시)에 의해 프로세스 챔버(미도시)로 이동된다.

웨이퍼(W)에 대한 이온주입공정이 종료되면 상기의 반대 순서에 따라 웨이퍼 이송아암(1)에 의해 로드락 챔버로부터 웨이퍼가 후속공정을 실시하기 위해 이송된다.

이와 같은 종래의 이온주입장비의 로드락 챔버는 이온주입공정을 마친 웨이퍼(W)의 온도가 이온빔의 물리적인 영향으로 인해 30도씨 내지 50도씨에 도달하게 된다. 따라서, 웨이퍼(W)가 가지는 열로 인해 웨이퍼(W)와 접촉하는 탄성편(24)이 점성을 가지게 되어 웨이퍼(W) 표면에 부착됨으로써 웨이퍼 이송아암(1)이 웨이퍼(W)를 들어 올릴 때 저항으로 작용하게 되며, 이로 인해 얇은 알루미늄 재질로 형성된 웨이퍼 이송아암(1)이 휘게 되어 웨이퍼(W)를 제대로 들어 올리지 못할 뿐만 아니라 다른 웨이퍼(W)에 스크래치(scratch)를 유발시키며, 심지어는 웨이퍼(W)를 떨어트려 파손시키는 문제점을 가지고 있었다.

본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 웨이퍼 이송아암이 이온주입공정을 마친 웨이퍼를 후속공정을 위해 로드락 챔버의 웨이퍼카세트로부터 들어 올리기 전에 웨이퍼의 열로 인해 웨이퍼와 서로 부착된 탄성편으로부터 웨이퍼를 분리시킴으로써 웨이퍼 이송아암이 웨이퍼를 들어 올릴때 휘게 되는 것을 방지하여 웨이퍼를 원활하게 이송토록 함과 아울러 웨이퍼에 스크래치가 발생하거나 추락에 의해 파손되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 수율을 향상시키는 이온주입장비의 로드락 챔버를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은, 상단이 개방되고, 하면 일측에 관통홀이 형성되며, 내측으로 진공이 공급되는 진공공급라인이 연결되는 챔버와; 관통홀에 지지대가 수직방향으로 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 지지대의 상단 일측에 챔버의 상단과 착탈가능하게 결합되는 밀폐커버가 결합되며, 지지대의 상부 일측에 일정 간격으로 복수의 지지플레이트가 결합되고, 지지플레이트 각각의 상면에 웨이퍼 하면을 탄성지지하는 적어도 세 개 이상의 탄성편이 각각 설치되는 웨이퍼 카세트와; 지지플레이트를 관통하는 적어도 세 개 이상의 승강핀이 상면에 설치되는 웨이퍼승강플레이트가 지지플레이트 각각의 하측에 위치하고, 웨이퍼승강플레이트 각각의 일측이 결합되는 승강축이 지지대의 내측에 길이방향을 따라 왕복운동 가능하게 설치되며, 승강축의 일단에 승강축을 왕복운동시키는 공압실린더가 설치되어, 웨이퍼를 탄성편으로부터 들어 올리는 웨이퍼승강부와; 지지대의 하단에 볼너트가 연결되고, 볼너트에 나사결합되는 리드스크류가 수직되게 설치되며, 리드스크류를 회전시키는 모터가 구비되어, 웨이퍼 카세트를 챔버내로 로딩/언로딩시키는 카세트이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래의 이온주입장비의 로드락 챔버를 도시한 단면도이고,

도 2는 종래의 로드락 챔버의 웨이퍼카세트의 지지플레이트로부터 웨이퍼 이송아암이 웨이퍼를 이송하는 것을 도시한 평면도이고,

도 3은 본 고안에 따른 이온주입장비의 로드락 챔버를 도시한 단면도이고,

도 4는 본 고안에 따른 로드락 챔버의 지지플레이트 및 웨이퍼승강플레이트를 도시한 평면도이고,

도 5는 본 고안에 따른 로드락 챔버의 지지플레이트 및 웨이퍼승강플레이트를 도시한 단면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

110 ; 챔버 111 ; 관통홀

112 ; 진공공급라인 112a ; 진공개폐밸브

120 ; 웨이퍼카세트 121 ; 지지대

121a ; 슬라이드홀 121b ; 스토퍼장착공간

121c ; 연결대 122 ; 밀폐커버

123 ; 지지플레이트 124 ; 탄성편

124a ; 고정부재 130 ; 웨이퍼승강부

131 ; 승강핀 132 ; 웨이퍼승강플레이트

133 ; 승강축 133a ; 스토퍼

134 ; 공압실린더 134a ; 에어공급부

134b ; 솔레노이드밸브 140 ; 카세트이송부

141 ; 볼너트 142 ; 리드스크류

142a ; 풀리 143 ; 모터

143a ; 풀리 144 ; 벨트

이하, 본 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 고안에 따른 이온주입장비의 로드락 챔버를 도시한 단면도이고, 도 4는 본 고안에 따른 로드락 챔버의 지지플레이트 및 웨이퍼승강플레이트를 도시한 평면도이고, 도 5는 본 고안에 따른 로드락 챔버의 지지플레이트 및 웨이퍼승강플레이트를 도시한 단면도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 이온주입장비의 로드락 챔버(100)는 챔버(110)와, 복수의 웨이퍼(W)를 장착하여 챔버(110)내로 삽입되어 챔버(110)내부를 밀폐시키는 웨이퍼카세트(120)와, 웨이퍼카세트(120)내에서 웨이퍼(W)를 일정 높이로 상승시키는 웨이퍼승강부(130)와, 웨이퍼카세트(120)를 챔버(110)로 로딩/언로딩시키는 카세트이송부(140)를 포함한다.

챔버(110)는 상단이 개방되고, 하면 일측에 관통홀(111)이 형성되고, 내측으로 진공이 공급되는 진공공급라인(112)이 연결되며, 진공공급라인(112)상에는 진공공급을 개폐시키는 진공개폐밸브(112a)가 설치되고, 내측으로 웨이퍼카세트(120)가 삽입되어 결합된다.

웨이퍼카세트(120)는 챔버(110)의 관통홀(111)에 지지대(121)가 수직방향으로 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 지지대(121)의 상단 일측에 챔버(110)의 상단과 착탈가능하게 결합되는 밀폐커버(122)가 결합되며, 지지대(121)의 상부 일측에 일정 간격으로 복수의 지지플레이트(123)가 결합되고, 지지플레이트(123) 각각의 상면에 웨이퍼(W) 하면을 탄성지지하는 적어도 세 개 이상의 탄성편(124)이 각각 설치된다.

한편, 탄성편(124)은 본 실시예를 도시한 도 4 및 도 5에서와 같이, 웨이퍼(W)를 균형 있게 지지하기 위한 최소의 개수인 세 개로 이루어지며, 웨이퍼카세트(120)가 승하강시 웨이퍼(W)의 흔들림과 충격을 방지하기 위해 실리콘(silicon)과 같은 탄성을 가지는 재질로 형성되며, 지지플레이트(123)상에 나사결합되는 고정부재(124a)의 상측에 삽입됨으로써 지지플레이트(123)상에 설치된다.

웨이퍼승강부(130)는 지지플레이트(123)를 관통하는 적어도 세 개 이상의 승강핀(131)이 상면에 설치되는 웨이퍼승강플레이트(132)가 지지플레이트(123) 각각의 하측에 위치하고, 웨이퍼승강플레이트(132) 각각의 일측이 결합되는 승강축(133)이 지지대(121)의 내측에 길이방향을 따라 왕복운동 가능하게 설치되며, 승강축(133)의 일단에 승강축(133)을 왕복운동시키는 공압실린더(134)가 설치된다.

승강핀(131)은 도 4에서 나타낸 바와 같이, 탄성편(124)과 동일 개수인 세 개로 이루어져 있으며, 웨이퍼(W)를 탄성편(124)으로부터 들어 올릴때 웨이퍼(W)에 휨이 발생하는 것을 최소화하기 위해 웨이퍼승강핀(131) 각각은 탄성편(124) 각각에 인접하도록 웨이퍼승강플레이트(132) 상면에 설치됨이 바람직하다.

웨이퍼승강플레이트(132) 각각은 일측이 승강축(133)의 측부에 승강축(133)의 길이방향으로 일정 간격으로 배열되도록 결합된다.

한편, 승강축(133)이 상하로 이동시 승강축(133)과 연결되는 웨이퍼승강플레이트(132)의 일측이 지지대(121)와 간섭을 일으키지 않도록 도 5에서 나타낸 바와 같이, 웨이퍼승강플레이트(132)의 일측이 상하로 이동하는 범위에 해당하는 슬라이드홀(121a)이 지지대(121)의 측부에 길이방향으로 일정 간격으로 형성된다.

승강축(133)은 지지대(121)를 왕복운동시 일정범위 내에서 이동하기 위하여 상단에 스토퍼(133a)가 형성되며, 스토퍼(133a)는 지지대(121)의 상단에 길이방향으로 형성된 스토퍼장착공간(121b)내에서 상하로 제한적으로 왕복이동한다.

공압실린더(134)는 피스톤로드 끝단이 승강축(133)과 연결되며, 에어공급부(134a)로부터 공급되는 에어가 솔레노이드밸브(134b)에 의해 공급됨으로써 그 피스톤이 왕복운동하는 복동실린더이다.

카세트이송부(140)는 볼너트(141)의 측부에 지지대(121)의 하단에 직각방향으로 결합되는 연결대(121c)가 결합되고, 볼너트(141)는 수직되게 설치되는 리드스크류(142)에 나사결합되며, 리드스크류(142)는 모터(143)에 의해 회전하도록 모터(143)에 기계적으로 연결된다.

리드스크류(142)가 모터(143)의 구동에 의해 회전하기 위하여 리드스크류(142) 하단과 모터(143)의 회전축에 각각 풀리(142a,143a)가 결합되며, 이들 풀리(142a,143a)는 벨트(144)에 의해 연결된다.

한편, 각각의 풀리(142a,143a)는 타이밍 풀리이며, 벨트(144)는 타이밍 벨트임이 바람직하다. 따라서, 모터(143)의 회전력을 정확하게 리드스크류(142)로 전달한다.

이와 같은 구조로 이루어진 이온주입장비의 로드락 챔버의 동작은 다음과 같이 이루어진다.

웨이퍼 이송아암(1; 도 2에 도시)에 의해 웨이퍼카세트(120)의 지지플레이트(123)상에 웨이퍼(W)가 안착되어 웨이퍼카세트(120)에 일정 개수의 웨이퍼(W)가 장착되면 모터(143)가 회전하고, 모터(143)의 회전력은 벨트(144)에 의해 리드스크류(142)를 회전시킴으로써 볼너트(141)를 수직 하방으로 이동시킨다.

볼너트(141)가 수직 하방으로 이동함으로써 지지대(121)도 아래로 이동하면 웨이퍼카세트(120)는 챔버(110) 내측에 삽입된다.

웨이퍼카세트(120)가 챔버(110) 내측으로 삽입되어 밀폐커버(122)가 챔버(110)의 상단에 결합되어 챔버(110) 내부를 밀폐시키면 모터(143)는 정지하고, 진공개폐밸브(112a)의 개방에 의해 진공공급라인(112)을 통해 진공이 공급되어 챔버(110) 내부는 진공상태가 된다.

챔버(110) 내부에 웨이퍼카세트(120)가 로딩되어 진공을 유지한 상태에서 로드락 챔버(100)는 90도로 기울어져 이온주입공정을 실시하기 위해 이송로봇(미도시)에 의해 프로세스 챔버(미도시)로 이동된다.

웨이퍼(W)에 대한 이온주입공정이 종료되면 상기의 반대 순서에 따라 웨이퍼 이송아암(1; 도 2에 도시)에 의해 로드락 챔버(100)로부터 웨이퍼(W)가 후속공정을 실시하기 위해 이송된다.

모터(143)의 구동에 의해 챔버(110)로부터 수직 상승한 웨이퍼카세트(120)로부터 웨이퍼 이송아암(1)이 웨이퍼(W)를 후속공정을 실시하기 위해 이송하기 직전에 에어공급부(134a)로부터 솔레노이드밸브(134b)의 동작에 의해 에어가 공압실린더(134)의 에어공급포트(미도시)에 공급됨으로써 공압실린더(134)가 승강축(133)을 상방으로 이동시킨다.

승강축(133)이 상승함으로써 도 5에서 나타낸 바와 같이, 웨이퍼승강플레이트(132)도 상승하여 승강핀(131)이 웨이퍼(W)를 지지플레이트(123)의 탄성편(124)으로부터 들어올린다. 따라서, 이온주입공정을 마친 웨이퍼(W)의 열로 인해 탄성편(124)에 부착된 웨이퍼(W)를 탄성편(124)으로부터 분리시킨다.

웨이퍼 이송아암(1; 도 2에 도시)은 웨이퍼승강플레이트(132)의 승강핀(131)에 의해 탄성편(124)으로부터 들어 올려진 웨이퍼(W)를 후속공정을 위해 이송한다.

웨이퍼 이송아암(1)에 의해 웨이퍼카세트(120)에 장착된 웨이퍼(W)의 이송이 완료되면 솔레노이드밸브(134b)가 전환됨으로써 에어공급부(134a)로부터 공급되는 에어가 공압실린더(134)의 다른 에어공급포트로 공급됨으로써 승강축(133)을 하강시킨다.

승강축(133)의 하강에 의해 웨이퍼승강플레이트(132)도 하강함으로써 승강핀(131)은 지지플레이트(123)의 탄성편(124)보다 낮은 위치에 위치하게 된다.

이상과 같이 본 고안의 바람직한 실시예에 따르면, 웨이퍼 이송아암이 이온주입공정을 마친 웨이퍼를 후속공정을 위해 로드락 챔버의 웨이퍼카세트로부터 들어 올리기 전에 웨이퍼의 열로 인해 웨이퍼와 서로 부착된 탄성편으로부터 웨이퍼를 분리시킴으로써 웨이퍼 이송아암이 웨이퍼를 들어 올릴때 휘게 되는 것을 방지하여 웨이퍼를 원활하게 이송토록 함과 아울러 웨이퍼에 스크래치가 발생하거나 추락에 의해 파손되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 수율을 향상시킨다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 이온주입장비의 로드락 챔버는 웨이퍼 이송아암이 이온주입공정을 마친 웨이퍼를 후속공정을 위해 로드락 챔버의 웨이퍼카세트로부터 들어 올리기 전에 웨이퍼의 열로 인해 웨이퍼와 서로 부착된 탄성편으로부터 웨이퍼를 분리시킴으로써 웨이퍼 이송아암이 웨이퍼를 들어 올릴때 휘게 되는 것을 방지하여 웨이퍼를 원활하게 이송토록 함과 아울러 웨이퍼에 스크래치가 발생하거나 추락에 의해 파손되는 것을 방지함으로써 웨이퍼의 수율을 향상시키는 효과를 가지고 있다.

이상에서 설명한 것은 본 고안에 따른 이온주입장비의 로드락 챔버를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 실용신안등록청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (2)

1. 상단이 개방되고, 하면 일측에 관통홀이 형성되며, 내측으로 진공이 공급되는 진공공급라인이 연결되는 챔버와;

   상기 관통홀에 지지대가 수직방향으로 슬라이딩 가능하도록 결합되고, 상기 지지대의 상단 일측에 상기 챔버의 상단과 착탈가능하게 결합되는 밀폐커버가 결합되며, 상기 지지대의 상부 일측에 일정 간격으로 복수의 지지플레이트가 결합되고, 상기 지지플레이트 각각의 상면에 웨이퍼 하면을 탄성지지하는 적어도 세 개 이상의 탄성편이 각각 설치되는 웨이퍼 카세트와;

   상기 지지플레이트를 관통하는 적어도 세 개 이상의 승강핀이 상면에 설치되는 웨이퍼승강플레이트가 상기 지지플레이트 각각의 하측에 위치하고, 상기 웨이퍼승강플레이트 각각의 일측이 결합되는 승강축이 상기 지지대의 내측에 길이방향을 따라 왕복운동 가능하게 설치되며, 상기 승강축의 일단에 상기 승강축을 왕복운동시키는 공압실린더가 설치되어, 웨이퍼를 상기 탄성편으로부터 들어 올리는 웨이퍼승강부와;

   상기 지지대의 하단에 볼너트가 연결되고, 상기 볼너트에 나사결합되는 리드스크류가 수직되게 설치되며, 상기 리드스크류를 회전시키는 모터가 구비되어, 상기 웨이퍼 카세트를 상기 챔버내로 로딩/언로딩시키는 카세트이송부;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장비의 로드락 챔버.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼승강핀 각각은 상기 탄성편 각각에 인접하도록 상기 웨이퍼승강플레이트 상면에 설치되는 것을 특징으로 하는 이온주입장비의 로드락 챔버.