KR200289728Y1 - Corona discharge Dehumidifier - Google Patents

Abstract

본 고안은 습식가스스크러버(Wet Gas Scrubber)를 포함하는 반도체 제조공정의 배기시스템에서 사용되는 코로나방전 제습장치에 관한 것이다. 습식가스스크러버에서 나온 습기를 내포한 배기가스가 외부와 연결된 메인 덕트(Main Duct)에 유입되기 전에 집진극과 방전극으로 구성된 코로나방전 제습장치에서 배기가스에 내포된 습기와 잔류불순물을 집진극에 흡착시켜 제거함으로써 메인 덕트의 부식 및 누수를 방지하며 인체에 유해한 잔류불순물이 대기로 방출되는 것을 방지하여 환경을 보호할 수 있는 코로나방전 제습장치를 말한다.The present invention relates to a corona discharge dehumidifying apparatus used in an exhaust system of a semiconductor manufacturing process including a wet gas scrubber. Adsorb moisture and residual impurities contained in the exhaust gas in the corona discharge dehumidifier composed of dust collector and discharge electrode before the exhaust gas containing moisture from the wet gas scrubber flows into the main duct connected to the outside. It is a corona discharge dehumidifier that can protect the environment by preventing corrosion and leakage of the main duct and preventing the release of residual impurities that are harmful to human body.

Description

코로나방전 제습장치{Corona discharge Dehumidifier}Corona discharge dehumidifier {Corona discharge Dehumidifier}

본 고안은 반도체 제조 공정의 메인장비에서 방출되는 배기가스에 포함된 이물질을 제거하는 습식스크러버와 함께 사용되어 배기가스에 내포된 습기와 잔류불순물을 집진극에 흡착시켜 제거하기 위한 코로나방전 제습장치에 관한 것이다.The present invention is used together with a wet scrubber to remove foreign substances contained in exhaust gas emitted from the main equipment of the semiconductor manufacturing process, and the corona discharge dehumidifier for absorbing moisture and residual impurities contained in the exhaust gas by adsorbing to the dust collector. It is about.

통상, 반도체 제조 공정은 여러공정과 설비를 이동하며 진행되는데,그 여러공정 과정 중에는 반도체기판상에 산화막을 성장시키는 공정, 반도체 기판 상에 불순물을 확산하는 공정, 반도체 기판 상에 형성된 산화막을 재배열하는 공정등은 확산공정에 의해서 이루어진다. 상기 확산공정은 석영관 및 히팅 엘리먼트(Heating element)가 구성된 확산로 내부로 도펀트 소스(Dopantsource), 반응가스, 불활성가스 등이 공급되어 반도체기판을 도핑(Doping)시키는 공정이다. 상기 도펀트 소스는 대부분 가스형태로 되어 있으므로 가스 봄베(Bombe)에 압축되어 확산로에 공급된다. 확산로에 공급된 도펀트 소스, 반응가스, 불활성 가스는 공정진행 후 배기가스로 배기되는데 배기가스에는 인체 및 환경에 악영향을 주는 성분이 많이 포함되어 있다. 따라서, 확산로에서 배기되는 배기가스는 물를 이용하여 불순물을 제거하는 습식가스스크러버(Wet Gas Scrubber)를 통과시킨 후 외부로 연결된 메인덕트로 배기시키고 있다.In general, a semiconductor manufacturing process is performed by moving a number of processes and equipment. During the process, a process of growing an oxide film on a semiconductor substrate, a process of diffusing impurities on a semiconductor substrate, and rearranging an oxide film formed on the semiconductor substrate is performed. The process is done by the diffusion process. The diffusion process is a process of doping a semiconductor substrate by supplying a dopant source, a reaction gas, an inert gas, and the like into a diffusion furnace including a quartz tube and a heating element. Since the dopant source is mostly in the form of a gas, it is compressed in a gas bomb and supplied to the diffusion furnace. The dopant source, the reactant gas, and the inert gas supplied to the diffusion furnace are exhausted into the exhaust gas after the process is progressed, and the exhaust gas contains many components that adversely affect the human body and the environment. Therefore, the exhaust gas exhausted from the diffusion path passes through a wet gas scrubber that removes impurities using water and is then exhausted to the main duct connected to the outside.

습식가스스크러버(Wet Gas Scrubber)에 유입된 배기가스는 공급된 물과 혼합되어 흡습재를 통과하게 되며 흡습재를 통과하는 과정에서 배기가스에 포함된 이물질이 제거된다. 그러나 습식가스스크러버를 통과한 배기가스에 잔류하는 습기와 불순물이 메인덕트 내에서 응결하여 메인덕트를 부식시켜 메인덕트의 누수등의 문제가 발생하고 있다.The exhaust gas introduced into the wet gas scrubber is mixed with the supplied water to pass through the absorbent material, and foreign substances contained in the exhaust gas are removed in the process of passing through the absorbent material. However, moisture and impurities remaining in the exhaust gas passing through the wet gas scrubber condense in the main duct, causing the main duct to corrode, causing problems such as leakage of the main duct.

본 고안은 기존의 반도체 메인장비의 배기시스템의 문제점인 습식가스스크러버를 통과한 배기가스에 잔류하는 습기와 불순물(특히 F 나 Cl 가스)이메인덕트(Main Duct) 내에서 응결하여 메인덕트의 부식 및 누수가 발생하는 것을 방지하기 위하여 습식가스스크러버에서 나온 배기가스가 외부와 연결된 메인덕트(Main Duct)에 유입되기 전에 집진극과 방전극으로 구성된 코로나방전 제습장치에서 배기가스에 내포된 습기와 잔류불순물을 집진극에 흡착시켜 제거함을 목적으로 한다.The present invention condenses the main duct by condensation in the main duct of moisture and impurities (especially F or Cl gas) remaining in the exhaust gas passing through the wet gas scrubber, which is a problem of the exhaust system of the existing semiconductor main equipment. And moisture contained in the exhaust gas in the corona discharge dehumidifier composed of dust collector and discharge electrode before the exhaust gas from the wet gas scrubber flows into the main duct connected to the outside to prevent leakage. Is to be removed by adsorption to the collecting electrode.

도1은 본 고안의 구체적 실시예를 나타내는 개략적인 조립도이다.1 is a schematic assembly view showing a specific embodiment of the present invention.

도2는 본 고안의 구체적 실시예를 나타내는 개략적인 분해도이다.Figure 2 is a schematic exploded view showing a specific embodiment of the present invention.

도3은 본 고안이 적용된 반도체 공정의 배기시스템의 구체예이다.3 is a specific example of an exhaust system of a semiconductor process to which the present invention is applied.

도4는 본 고안의 절연플랜지의 확대단면도이다.Figure 4 is an enlarged cross-sectional view of the insulating flange of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 방전극 20 : 집진극10: discharge electrode 20: dust collecting electrode

25 : 세척수주입구 30 : 절연플랜지25: washing water inlet 30: insulation flange

32 : 질소가스주입구 40 : 하부연결부32: nitrogen gas inlet 40: lower connection

50 : 상부연결부50: upper connection

본 고안은 크게 방전극(10), 집진극(20) 및 절연플랜지(30)로 구성된다.The present invention is largely composed of the discharge electrode 10, the dust collecting electrode 20 and the insulating flange (30).

방전극(10)은 전기전도성이 있는 금속재료로서 코로나 방전이 용이하게 일어나도록 봉상(棒狀) 또는 침상(針狀)으로 구성된다. 코로나 방전이란 기체 속 방전의 한 형태로서 2개의 전극사이에 높은 전압을 가하면, 불꽃을 발하기 이전에 전기장의 강한 부분만이 발광(發光)하여 전도성(傳導性)을 갖는 현상을 말한다. 2개의 전극이 모두 평판 또는 지름이 큰 구(球)와 같은 경우의 전기장은 거의 균일하지만, 한쪽 극 또는 양극이 봉상(棒狀) 또는 침상(針狀)으로 되어 있으면, 그 극 부근의 전기장이 특히 강해져 부분적인 방전이 일어나 빛이나 소리를 낸다. 이와 같은 상태를 코로나 방전이라고 한다. 코로나 방전이 발생하면 코로나 손실이 생긴다. 이 방전은 극 사이의 일부에 방전이 일어나고 있는 상태이며, 극 사이의 전역(全域)이 방전하고 있는 아크 방전과는 다르다. 코로나 방전은 직류전압이나 교류전압에서도 일어나는데, 뾰족한 전극이 양(陽)쪽이냐 또는 음(陰)쪽이냐에 따라 발광하는 모양이 달라지며, 교류일 경우에는 1/2 Hz마다 양 ·음의 코로나가 교대로 나타난다. 또 공기 속에서는 코로나가 잘 나타나는데, 기압을 낮추면 점점 불안정해진다. 고전압의 송전선(送電線)에서도 코로나를 일으키는 경우가 있는데, 이것이 라디오 장애를 일으킨다. 이 장애를 방지하기 위해 전선이나 애자( 弓 子)의 구조를 개량하여 효과를 얻고 있다. 도1 및 도2에 도시된 본 고안의 구체적 실시예는 STS304 또는 STS316과 같은 스테인레스 스틸(Stainless steel) 재질의 봉상의 원주면을 따라 일정한 간격으로 침상(11)이 형성되어 있어 전원이 공급될 경우 코로나 방전이 용이하게 일어난다. 또한 방전극(10)의 일단부에는 하기 절연플랜지(30)와 결합하기 위해 스텝가공원주(12)와 나사산(13)이 형성되어 있다. 스텝가공원주(12)에는 하기 절연플랜지(30)와 결합되었을 경우 하기 질소가스주입구(32)에 대응하는 부위에 원주를 따라 홈(14)이 가공되어 있다.The discharge electrode 10 is an electrically conductive metal material and is formed in a rod or needle shape so that corona discharge occurs easily. Corona discharge is a form of discharge in a gas, and when a high voltage is applied between two electrodes, only a strong part of the electric field is emitted before the spark is emitted and has conductivity. The electric field in the case where both electrodes are a flat plate or a sphere with a large diameter is almost uniform. However, if one pole or anode is rod-shaped or needle-shaped, the electric field near the pole is Particularly strong, partial discharge occurs to give light or sound. This state is called corona discharge. If a corona discharge occurs, there is a corona loss. This discharge is in a state where a discharge occurs in a part between the poles, and is different from the arc discharge in which the entire area between the poles discharges. Corona discharge also occurs in direct current or alternating voltage, and the shape of the light varies depending on whether the pointed electrode is positive or negative.In the case of alternating current, the positive and negative coronas are applied every 1/2 Hz. Appears alternately. Corona also appears well in the air. Corona may also occur in high-voltage transmission lines, which cause radio disturbances. In order to prevent this obstacle, the structure of the wire and insulator (개량 子) is improved to obtain the effect. Specific embodiments of the present invention shown in Figures 1 and 2 is a needle 11 is formed at regular intervals along the circumferential surface of the rod of stainless steel (Stainless steel) material such as STS304 or STS316 when the power is supplied Corona discharge occurs easily. In addition, one end of the discharge electrode 10 is formed with a stepper park 12 and the thread 13 to be coupled to the insulating flange 30. In the stepped park column 12, when coupled with the insulating flange 30, the groove 14 is processed along the circumference at a portion corresponding to the following nitrogen gas inlet 32.

집진극(20)은 전기전도성이 있는 금속재료로서 습식가스스크러버에서 나온 배기가스를 외부로 연결된 메인덕트로 송출할 수 있도록 파이프 형상으로 구성된다. 본 고안의 구체적 실시예인 도1에 의하면 집진극(20) 내부에는 방전극(10)이 삽입되어 위치하게 되며 집진극(20)과 방전극(10)에 직류전원을 연결하게 되면 방전극(10)에서 집진극으로 코로나 방전이 발생한다. 이때 집진극(20)에는 (+)전원이 연결되며 방전극에는 (-)전원이 연결된다. 공급되는 전원은 5000 V 에서 100,000 V 사이의 고전압이 사용될때 전류는 1 ㎃ 에서 100 ㎃ 사이가 흐르게 되며, 통상적으로는 20,000 V 내외의 고전압이 사용된다. 집진극(20)은 습식가스스크러버와 연결되는 개구부(21), 옥외폐수처리장으로 연결되는 개구부(22), 절연플랜지(30)가 장착되는 개구부(23) 및 메인덕트와 연결되는 개구부(24)를 포함하며, 메인덕트와 연결되는 개구부(24) 아랫부분에는 집진극(20) 내부로 통하는 세척수주입구(25)를 형성하고 있어 세척수주입구(25)를 통하여 주기적으로 물을 공급하여 집진극(20) 내부의 벽면에 흡착된 습기 및 불순물을 주기적으로 옥외폐수처리장으로 흘려 보낸다. 집진극(20)은 도2에 도시한 바와 같이 습식가스스크러버와 연결되는 개구부(21) 및 옥외폐수처리장으로 연결되는 개구부 (22)를 포함하는 하부연결부(40)와 절연플랜지(30)가 장착되는 개구부(23) 및 메인덕트와 연결되는 개구부(24)를 포함하는 상부연결부(50)를 분리가능하도록 구성할 수 있으나, 하부연결부(40)와 상부연결부(50)를 분리가 되지 않는 일체형으로 구성할 수도 있다. 하부연결부(40)와 상부연결부(50)를 분리가능하도록 구성하는 경우에는 하부연결부(40)와 상부연결부(50)를 제외한 집진극(20)만의 분리교체가 가능하여 배기시스템의 유지보수 비용을 절감할 수 있다.The dust collecting electrode 20 is an electrically conductive metal material, and is configured in a pipe shape so that exhaust gas from the wet gas scrubber can be sent to the main duct connected to the outside. According to FIG. 1, which is a specific embodiment of the present invention, the discharge electrode 10 is inserted into the dust collecting electrode 20, and when the direct current power source is connected to the dust collecting electrode 20 and the discharge electrode 10, the dust collecting electrode 10 is collected. Corona discharge occurs at the poles. At this time, (+) power is connected to the dust collecting electrode 20, and (-) power is connected to the discharge electrode. When the supplied power is used at a high voltage between 5000 V and 100,000 V, the current flows between 1 kV and 100 kV, and a high voltage of about 20,000 V is usually used. The dust collecting electrode 20 includes an opening 21 connected to a wet gas scrubber, an opening 22 connected to an outdoor wastewater treatment plant, an opening 23 on which an insulating flange 30 is mounted, and an opening 24 connected to a main duct. It includes, and the lower portion of the opening 24 connected to the main duct to form a washing water inlet 25 to the inside of the dust collecting pole 20, the water supply periodically through the washing water inlet 25 to collect the dust collecting pole 20 ) Moisture and impurities adsorbed on the inner wall are periodically flown to the outdoor wastewater treatment plant. As shown in FIG. 2, the dust collecting electrode 20 is equipped with an insulating flange 30 and a lower connecting portion 40 including an opening 21 connected to a wet gas scrubber and an opening 22 connected to an outdoor wastewater treatment plant. The upper connecting portion 50 including the opening 23 and the opening 24 connected to the main duct may be configured to be detachable, but the lower connecting portion 40 and the upper connecting portion 50 are not separated. It can also be configured. When the lower connection part 40 and the upper connection part 50 are configured to be detachable, only the dust collecting pole 20 except for the lower connection part 40 and the upper connection part 50 can be replaced and replaced, thereby reducing the maintenance cost of the exhaust system. Can be saved.

절연플랜지(30)는 전기전도성이 없는 PVC 나 TEFLON과 같은 합성수지로서 방전극(10)을 집진극(20) 내부로 삽입하여 위치시킬 때 방전극(10)과 집진극(20) 사이에 전기전도가 일어나지 않도록 한다. 도1 및 도2에 도시된 본 고안의 구체적 실시예에 의하면 절연플랜지(30)는 파이프의 일단부와 결합하는 뚜껑 형상으로 되어 있으며 그 중심부에는 방전극(10)을 삽입하여 결합할 수 있도록 스텝가공된 방전극결합구가 형성되어 있다. 방전극(10)의 일단부에 형성된 스텝가공원주 (12)를 상기 절연플랜지(30)의 중심부에 형성된 방전극결합구에 안착시키면 절연플랜지(30) 상부로 방전극(10)의 일단부에 형성된 나사산(13)이 돌출하게 된다. 절연플랜지(30) 상부로 돌출된 나사산(13)에는 너트(33)가 체결되어 방전극(10)과 절연플랜지(30)의 결합이 이루어진다. 또한 절연플랜지(30)는 절연플랜지(30)와 방전극(10) 사이의 절연을 보다 완벽하게 하기 위하여 절연플랜지(30)의 원주면에서 절연플랜지(30)의 중심부를 향하여 방전극결합구에 도달하는 질소가스주입구(32)를 더 포함할 수도 있다.The insulating flange 30 is a synthetic resin such as PVC or TEFLON having no electrical conductivity, and thus electrical conductivity occurs between the discharge electrode 10 and the dust collecting electrode 20 when the discharge electrode 10 is inserted into the dust collecting electrode 20. Do not According to a specific embodiment of the present invention shown in Figures 1 and 2 has an insulating flange 30 has a lid shape that is coupled to one end of the pipe and the step is processed to insert the discharge electrode 10 in the center The discharge electrode coupling sphere is formed. When the step temporary groove 12 formed at one end of the discharge electrode 10 is seated on the discharge electrode coupling hole formed at the center of the insulating flange 30, a screw thread formed at one end of the discharge electrode 10 on the insulating flange 30 is formed. 13) will protrude. The nut 33 is fastened to the thread 13 protruding upward from the insulating flange 30, thereby coupling the discharge electrode 10 and the insulating flange 30. In addition, the insulating flange 30 reaches the discharge coupler toward the center of the insulating flange 30 from the circumferential surface of the insulating flange 30 to more completely insulate the insulation between the insulating flange 30 and the discharge electrode 10. It may further include a nitrogen gas inlet (32).

도1 및 도2에 도시된 본 고안의 구체적 실시예를 보면 스테인레스 스틸로 구성된 방전극(10)의 스텝가공원주(12)가 절연플랜지(30)의 방전극결합구에 안착되고 절연플랜지(30)의 상부로 돌출된 방전극(10)의 나사산에 너트가 체결되어 방전극(10)과 절연플랜지(30)의 결합이 이루어진다. 방전극(10)과 결합된 절연플랜지(30)는 집진극(20)의 절연플랜지가 장착되는 개구부(23)에 삽입되어 O-Ring 과 Chain Clamp를 이용하여 결합된다. 여기에서 O-Ring은 집진극(20)과 절연플랜지 (30)와의 결합부위로 배기가스가 누출되는 것을 방지하는 역할을 하며 Chain Clamp는 집진극(20)과 절연플랜지(30)를 고정시켜주는 역할을 한다. 집진극(20)은 개구부가 있는 연결부가 분리가 되지 않는 일체형으로 구성할 수도 있으나, 도2에 도시한 바와 같이 습식가스스크러버와 연결되는 개구부(21) 및 옥외폐수처리장으로 연결되는 개구부(22)를 포함하는 하부연결부(40)와 절연플랜지(30)가 장착되는 개구부(23) 및 메인덕트와 연결되는 개구부(24)를 포함하는 상부연결부(50)를 분리가능하도록 구성하여 집진극(20)만의 분리교체가 가능하여 배기시스템의 유지보수 비용을 절감할 수 있다. 분리가능한 하부연결부(40) 및 상부연결부(50)를 집진극 (20)과 결합할 때에는 O-Ring 과 볼트 및 너트를 사용하여 결합부위에서의 배기가스의 누출을 방지한다. 방전극(10)과 집전극(20)은 절연플랜지(30)를 매개로 하여 결합이 이루어지는 결과 방전극(10)과 집전극(20) 상호간에는 절연이 이루어지나 절연플랜지(30)와 방전극(10) 사이의 절연을 보다 완벽하게 하기 위하여 질소가스주입구(32)를 통하여 질소가스를 주입하여 본 고안의 실시시 절연플랜지(30)의 내부면에 습기나 불순물이 흡착되어 절연이 파괴되는 경우를 미연에 방지하고 있다. 질소가스주입구(32)로 질소가 공급되면 방전극(10)의 스텝가공원주 (12)의 외면과 절연플랜지(30)의 방전극결합구의 내면 사이에 질소가스층이 형성되어 습기 및 불순물의 흡착을 방지하게 된다. 이를 위하여 도4에 도시된 바와 같이 방전극(10)의 스텝가공원주(12)의 외경은 절연플랜지(30)의 방전극결합구의 내경보다 작게 가공되어 방전극(10)과 절연플랜지(30)가 결합되었을 경우 일정한 간격이 유지되고 이 공간을 질소가스주입구 (32)를 통하여 공급된 질소가스가 차지하는 구조로 구성된다.1 and 2, the stepgap 12 of the discharge electrode 10 made of stainless steel is seated on the discharge electrode coupling hole of the insulating flange 30, and the insulating flange 30 of the insulating flange 30 is shown. The nut is fastened to the thread of the discharge electrode 10 protruding upward, thereby coupling the discharge electrode 10 and the insulating flange 30. The insulating flange 30 combined with the discharge electrode 10 is inserted into the opening 23 in which the insulating flange of the dust collecting electrode 20 is mounted, and is coupled using the O-ring and the chain clamp. Here, O-ring serves to prevent the exhaust gas from leaking to the coupling portion between the dust collecting pole 20 and the insulating flange 30, and the chain clamp fixes the dust collecting pole 20 and the insulating flange 30. Play a role. The dust collecting electrode 20 may be configured as an integral type in which the connection part having the opening is not separated, but as shown in FIG. 2, the opening 21 connected to the wet gas scrubber and the opening 22 connected to the outdoor wastewater treatment plant. The dust collecting electrode 20 is configured to detach the upper connecting portion 50 including the opening 23 and the opening 24 connected to the main duct and the lower connecting portion 40 and the insulating flange 30. Only separate replacements are possible, reducing the maintenance costs of the exhaust system. When the detachable lower connection part 40 and the upper connection part 50 are combined with the dust collecting electrode 20, O-rings and bolts and nuts are used to prevent the leakage of the exhaust gas at the coupling part. As the result of the coupling between the discharge electrode 10 and the collecting electrode 20 via the insulating flange 30, the insulating electrode 10 and the collecting electrode 20 are insulated from each other, but the insulating flange 30 and the discharge electrode 10 are insulated from each other. Nitrogen gas is injected through the nitrogen gas inlet 32 in order to completely insulate the insulation between moisture and impurities adsorbed to the inner surface of the insulating flange 30 when the insulation is destroyed. It is preventing. When nitrogen is supplied to the nitrogen gas inlet 32, a step of the discharge electrode 10 forms a nitrogen gas layer between the outer surface of the park column 12 and the inner surface of the discharge electrode coupling hole of the insulating flange 30 to prevent adsorption of moisture and impurities. do. To this end, as shown in FIG. 4, the outer diameter of the step 12 of the discharge electrode 10 is smaller than the inner diameter of the discharge electrode coupling hole of the insulating flange 30, so that the discharge electrode 10 and the insulating flange 30 are combined. In this case, a constant interval is maintained and this space is constituted by a structure occupied by nitrogen gas supplied through the nitrogen gas inlet 32.

방전극(10)과 집진극(20)을 절연플랜지(30)를 매개로 하여 결합한 후 방전극(10)과 집진극(20)에 직류전원을 연결하면 방전극(10)에서 집진극(20) 방향으로 코로나 방전이 일어나며 습식가스스크러버를 통과한 배기가스 속에 잔류하는 습기와 불순물(특히 F 나 Cl 가스)의 입자들은 대전되어 집진극(20)으로 모여 흡착되고, 잔류하는 습기와 불순물이 제거된 배기가스는 메인덕트로 유입되어 외부로 배출된다.When the discharge electrode 10 and the dust collecting electrode 20 are coupled to each other via the insulating flange 30, and a direct current power source is connected to the discharge electrode 10 and the dust collecting electrode 20, the discharge electrode 10 is moved toward the dust collecting electrode 20. Particles of moisture and impurities (especially F or Cl gas) remaining in the exhaust gas passing through the wet gas scrubber through the corona discharge are charged and collected in the dust collecting electrode 20, and the remaining moisture and impurities are removed. Is introduced into the main duct and discharged to the outside.

집진극(20)으로 흡착된 습기와 불순물은 주기적으로 집진극(20)의 세척수주입구(25)를 통하여 공급된 물에 의하여 제거되어 집진극(20) 하부에 설치된 옥외폐수처리장으로 배출된다.Moisture and impurities adsorbed to the dust collector 20 are periodically removed by the water supplied through the washing water inlet 25 of the dust collector 20 and discharged to the outdoor wastewater treatment plant installed under the dust collector 20.

방전극(10)은 도1과 도2에 도시한 바와 같이 집진극(20) 내부에 1개만을 장착하는 것이 아니라 방전효과를 극대화 시키기 위하여 다수개를 장착할 수 있으며,첨부도면에는 표현되지 않았으나 방전극(10)이 결합된 집진극(20)을 다수개 직렬로 연결하여 사용할 수도 있고, 다수개 병렬로 연결하여 Manifold 형식으로 구성할 수도 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, the discharge electrode 10 may be installed in a plurality of dust collecting electrodes 20 to maximize the discharge effect instead of only one, and is not shown in the attached drawings. A plurality of dust collecting poles 20 combined with each other may be used in series, or may be connected in plurality and configured in a manifold form.

본 고안은 반도체 제조 공정의 메인장비에서 방출되는 배기가스에 포함된 이물질을 제거하는 습식가스스크러버와 함께 사용되어 배기가스에 내포된 습기와 잔류불순물을 집진극에 흡착시켜 제거하기 위한 코로나방전 제습장치에 관한 것이다.The present invention is used together with a wet gas scrubber to remove foreign substances contained in exhaust gas emitted from the main equipment of semiconductor manufacturing process, and the corona discharge dehumidifier for removing moisture and residual impurities contained in the exhaust gas by adsorbing to the dust collector. It is about.

습식가스스크러버에서 나온 배기가스가 외부와 연결된 메인덕트(Main Duct)에 유입되기 전에 집진극(20)과 방전극(10)으로 구성된 코로나방전 제습장치를 통과하면서 코로나 방전에 의하여 배기가스에 내포된 습기와 잔류불순물 입자들이 대전되어 집진극(20)에 흡착되고, 잔류하는 습기와 불순물이 제거된 배기가스는 메인덕트로 유입되어 외부로 배출된다. 따라서 기존의 반도체 메인장비의 배기시스템의 문제점인 습식가스스크러버를 통과한 배기가스에 잔류하는 습기와 불순물(특히 F 나 Cl 가스)이 메인덕트(Main Duct) 내에서 응결하여 메인덕트의 부식 및 누수가 발생하는 것을 방지하며 인체에 유해한 잔류불순물이 대기로 방출되는 것을 방지하여 환경을 보호하는 효과가 있다.Moisture contained in the exhaust gas by corona discharge while passing through the corona discharge dehumidifier composed of the dust collecting electrode 20 and the discharge electrode 10 before the exhaust gas from the wet gas scrubber flows into the main duct connected to the outside. And residual impurities are charged and adsorbed to the dust collecting electrode 20, and the exhaust gas from which the residual moisture and impurities are removed is introduced into the main duct and discharged to the outside. Therefore, moisture and impurities (especially F or Cl gas) remaining in the exhaust gas passing through the wet gas scrubber, which is a problem of the exhaust system of the existing semiconductor main equipment, condense in the main duct and cause corrosion and leakage of the main duct. Is prevented from occurring and it is effective to protect the environment by preventing the release of residual impurities harmful to human body to the atmosphere.

또한 집진극(20)으로 흡착된 습기와 불순물은 주기적으로 집진극(20)의 세척수주입구(25)를 통하여 공급된 물에 의하여 제거되어 집진극(20) 하부에 설치된 옥외폐수처리장으로 배출됨으로써 집진극(20)을 분리할 필요가 없이 집진극(20)의 주기적 정비가 가능하여 작업효율을 제고하였으며 반영구적 사용이 가능한 코로나방전 제습장치를 실현하였다.In addition, the moisture and impurities adsorbed to the dust collector 20 are periodically removed by water supplied through the washing water inlet 25 of the dust collector 20 to be discharged to the outdoor wastewater treatment plant installed below the dust collector 20 to collect the dust. It is possible to perform periodic maintenance of the dust collecting pole 20 without having to separate the pole 20, thereby improving work efficiency and realizing a corona discharge dehumidifying device capable of semi-permanent use.

Claims (6)

반도체 제조 공정의 배기 시스템의 일부를 구성하며,Form part of the exhaust system of the semiconductor manufacturing process, 파이프 형상의 전기도체로 구성되는 집진극;A dust collecting pole composed of a pipe-shaped electric conductor; 전기부도체로 구성되는 절연플랜지;및,Insulating flange composed of electrical conductors; And, 전기도체로 구성되는 방전극;을 포함하여 구성되는 코로나방전 제습장치에서, 상기 집진극은 습식가스스크러버와 연결되는 개구부, 메인덕트와 연결되는 개구부 및 상기 절연플랜지가 장착되는 개구부를 포함하고 있으며, 상기 절연플랜지는 상기 집진극의 절연플랜지가 장착되는 개구부에 결합되는 뚜껑형상으로서 그 중심부에는 스텝가공된 중공이 형성되어 있으며, 상기 방전극은 상기 절연플랜지의 스텝가공된 중공에 삽결되어 상기 집진극 내부로 삽입되어 상기 방전극과 상기 집진극 사이에 전기적 절연이 이루어지는 것을 특징으로 하는 코로나방전 제습장치.In the corona discharge dehumidifying apparatus comprising a discharge electrode comprising an electrical conductor, the dust collecting electrode includes an opening connected to the wet gas scrubber, an opening connected to the main duct and an opening in which the insulating flange is mounted. The insulating flange has a lid shape coupled to an opening in which the insulating flange of the dust collecting pole is mounted, and a hollowed step is formed at the center thereof, and the discharge electrode is inserted into the hollow of the stepped process of the insulating flange to the inside of the dust collecting pole. The corona discharge dehumidifier is inserted into the electrical discharge between the discharge electrode and the dust collecting electrode. 제1항에서,In claim 1, 상기 방전극은 봉상의 외주면에 길이 방향으로 일정간격으로 다수개의 침상의 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코로나방전 제습장치.The discharge electrode is corona discharge dehumidifying apparatus, characterized in that a plurality of needle-like projections are formed at regular intervals in the longitudinal direction on the outer peripheral surface of the rod. 제1항에서,In claim 1, 상기 집진극은 집진극의 내부면으로 통하는 세척수주입구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나방전 제습장치.The dust collecting electrode is corona discharge dehumidifying apparatus further comprises a washing water inlet to the inner surface of the collecting electrode. 제1항에서,In claim 1, 상기 집진극에 옥외폐수처리장으로 연결되는 개구부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나방전 제습장치.Corona discharge dehumidification apparatus further comprises an opening connected to the outdoor wastewater treatment plant to the dust collector. 제1항에서,In claim 1, 상기 절연플랜지는 절연플랜지의 스텝가공된 중공의 내부면으로 통하는 질소가스주입구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코로나방전 제습장치.The insulation flange is corona discharge dehumidifier further comprises a nitrogen gas inlet through the stepped hollow inner surface of the insulating flange. 제1항 또는 제2항에서,The method of claim 1 or 2, 상기 집진극의 내부에 상기 방전극이 다수개 장착되는 것을 특징으로 하는 코로나방전 제습장치.Corona discharge dehumidifier, characterized in that the plurality of discharge electrodes are mounted inside the dust collector.