KR200251906Y1 - 버퍼탱크의 약액 배출장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 버퍼 탱크의 약액 배출장치에 관한 것이다.

본 고안은 위험 수위에 다다른 약액을 배출시킬 수 있도록 상기 버퍼탱크에 설치되며, 중간부에 볼밸브가 마련된 배출관과; 상기 배출관으로 오버플로우된 약액을 배출시키기 위하여 가압용 질소가스를 공급하는 가압용 질소가스라인이; 커플러에 의하여 연결 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서 약액 저장 장치에서 약액의 오버플로우 발생시 약액을 배출시킬 수 있는 배출장치를 설치함으로서, 약액의 누수로 인한 장비 오염 및 인체 손상 방지와 에러 발생시 에러 처리 시간을 줄여 장비의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Description

버퍼탱크의 약액 배출장치{CHEMICAL DRAIN DEVICE OF BUFFER TANK}

본 고안은 버퍼탱크의 약액장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 사용되는 버퍼탱크 내의 약액이 오버 플로우될 때 이를 배출시키는 버퍼탱크의 약액 배출 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼의 제조에서 습식공정에 사용되는 약액장치는, 가공조건 및 특성에 따라 하나의 공정에도 화학적 성질이 다른 여러 종류의 약액을 이용하고 있으며 이 때에는 버퍼탱크에 담겨진 약액과 웨이퍼가 반응될 수 있도록 다수의 웨이퍼를 버퍼탱크의 내부에 일정 시간동안 담궈두고 반응이 완료된 웨이퍼는 세정수가 담겨진 또 다른 버퍼탱크에 세척을 하며 상술한 바와 같은 공정을 반복하여 제조하고 있다.

상기와 같이 웨이퍼를 제조하기 위해서 버퍼탱크에 공급되는 약액은 일정한 높이를 유지하여야 한다.

도 1은 일반적으로 약액이 담겨진 버퍼탱크 장치를 도시한 개략도로서, 약액(2)은 공장에서 자동공급되어 장비의 부속장비인 버퍼탱크(1)를 거쳐 장비본체(3)로 공급되어진다.

버퍼탱크(1)로 유입되는 약액(2)은 버퍼탱크 공급관(4)을 통하여 약액(2)이 충진되며, 충진된 약액(2)은 버퍼탱크(1)내에 설치된 로우(low)센서(5)와 하이(high)센서(6)에 의하여 그 충진된 정도가 감지된다.

그리고 하이센서(6) 보다 높게 설치되어 약액의 오버플로우시 경고음을 발생하는 오버플로우 센서(7)가 마련된다.

그리고 버퍼탱크(1)내에 충진된 약액(2)을 배출시키기 위하여 질소가스가 질소가스라인(8)을 통해 공급된다. 공급되는 가스는 버퍼탱크(1)의 저면까지 작용하는데 질소가스의 공기압은 약액(2)을 누르는 압력과 대기압이 더해져 작용하는 버퍼탱크(1) 저면의 압력과 균형을 이루게 된다. 그리고 이 압력은 역압으로 작용하여 장비측 공급관(9)을 통하여 장비본체(3)로 공급된다.

그러나 상기와 같은 버퍼탱크에서는 약액이 위험 수위에 올라와 오버플로우 센서에 감지되어 경고음이 발생하면 약액의 공급과 모든 시스템을 중단하고, 작업자가 직접 약액 저장 장치의 모든 배관을 분리한 후, 수작업으로 약액을 들어서 부어버리게 된다.

이렇게 잦은 배관의 분리는 약액 저장 장치의 누수가 발생되어 장비 오염이 될 수 있으며, 사용자가 직접 수작업으로 실시하여 인체가 약액에 의한 손상의 우려가 있다.

본 고안은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 약액 저장 장치에서 약액의 오버플로우 발생시 약액을 배출시킬 수 있는 배출장치를 설치함으로서, 장비 오염 및 인체 손상을 방지하고 약액의 처리 시간을 단축 한 버퍼탱크의 약액 배출 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 반도체 제조에서 습식공정에 사용되는 약액을 버퍼탱크 공급관을 통하여 저장하는 버퍼탱크와, 상기 버퍼탱크 내의 약액 수위를 감지하는 감지용 센서들과, 상기 버퍼탱크 내부에 일부 설치되어 질소가스가 공급되는 질소가스라인과, 상기 질소가스의 압력에 의하여 역류된 약액이 장비측 공급관을 통하여 장비본체로 공급되는 버퍼탱크의 약액 장치에 있어서; 위험 수위에 다다른 약액을 배출시킬 수 있도록 상기 버퍼탱크에 설치되며, 중간부에 볼밸브가 마련된 배출관과; 상기 배출관으로 오버플로우된 약액을 배출시키기 위하여 가압용 질소가스를 공급하는 가압용 질소가스라인이; 커플러에 의하여 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 버퍼 탱크의 약액 배출장치를 제공한다.

본 고안의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 고안의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

도 1은 일반적으로 약액이 담겨진 버퍼탱크 장치를 도시한 개략도.

도 2는 본 고안에 따른 버퍼탱크의 약액 배출장치를 도시한 개략도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 버퍼탱크 20 : 약액

12 : 로우(low)센서 14 : 하이(high)센서

16 : 오버플로우(overflow)센서 30 : 장비본체

40 : 버퍼탱크 공급관 50 : 장비측 공급관

60 : 질소가스라인 70 : 배출관

72 : 볼밸브(ball valve) 80 : 가압용 질소가스라인

82 : 커플러

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 따른 버퍼탱크의 약액 배출장치를 도시한 개략도이다.

본 고안에 따른 버퍼 탱크의 약액 배출장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 제조에서 습식공정에 사용되는 약액(20)을 저장하는 버퍼탱크(10)가 설치되며, 이 버퍼탱크(10)에 약액(20)을 공장으로부터 공급하는 버퍼탱크 공급관(40)이 설치된다.

그리고 버퍼탱크(10) 내에 충진되는 약액(20)의 수위를 감지하기 위하여 바닥면에 설치된 로우센서(12)와, 일정거리 높이에 설치된 하이센서(14)가 설치되며, 상기 하이센서(14)의 상부에는 약액(20)의 위험 수위를 알리는 오버플로우 센서(16)가 설치된다.

또한, 버퍼탱크(10) 내부에 일부 설치되어 질소가스를 공급하는 질소가스라인(60)이 설치되며, 상기 질소가스라인(60)에 의하여 가압되는 약액(20)이 장비본체(30)로 공급되도록 장비본체(30)와 버퍼탱크(10)를 연결하는 장비측 공급관(50)이 설치된다.

그리고 본 고안의 특징에 따라 상기 버퍼탱크(10)의 내부에 일부 설치되어 위험 수위에 다다른 약액(20)을 배출시키는 배출관(70)과, 배출관(70)의 중간부에 조작 가능한 볼밸브(72)가 설치된다.

그리고 배출관(70)으로 오버플로우된 약액(20)을 배출시키기 위하여 가압용 질소가스를 공급하는 가압용 질소가스라인(80)이 커플러(82)에 의하여 연결 설치된다.

이와 같이 구성된 본 고안에 따른 버퍼 탱크의 약액 배출장치 작동을 설명하면 다음과 같다.

공장측에서 공급되는 약액(20)은 버퍼탱크 공급관(40)을 통하여 버퍼탱크(10)로 공급되며, 그 약액(20)이 충진되는 정도가 로우센서(12)나 하이센서(14)에 의하여 감지된다.

한편, 에러로 인하여 계속되는 약액(20)의 공급은 버퍼탱크(10)의 위험 수위까지 약액(20)이 도달되면, 오버플로우 센서(16)에서 이를 감지하여 경고음을 보내게 된다.

오버플로우 센서(16)에 의하여 경고음이 발생되면, 우선 질소가스라인(60)이 자동 차단되며, 별도의 가압용 질소가스라인(80)을 커플러(82)에 연결하여 질소가스를 공급시키게 된다.

이에 공급되는 질소가스는 반도체 공정에서 사용되는 약품과 화학적 반응이 없는 순수 물질이며 질소가스가 버퍼탱크(10)내로 가압이 될 때 밀폐된버퍼탱크(10)중에 정지되어 있는 약액(20) 일부에 가해진 압력은 약액(20)의 모든 부분에 수직으로 작용하게 되어 버퍼탱크(10) 내의 약액(20)이 수직 상승 작용에 의하여 배출관(70)으로 배출된다. 이 때, 볼밸브(72)는 수직 상승되는 약액(20)량을 작업자가 조절하여 배출시킬 수 있다.

이처럼 본 고안은 버퍼탱크(10)내의 오버플로우 되는 약액(20)을 배출시킬 수 있는 배출장치를 설치하여, 종래에 버퍼탱크로부터 모든 배관을 분리하고 따로 넘치는 약액을 부어버리던 작업에서 장비오염 및 인체에 미치는 영향을 방지하고 그 처리 시간을 줄여 생산성을 향상시킨다.

이상, 상기 내용은 본 고안의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 고안의 당업자는 본 고안의 요지를 변경시킴이 없이 본 고안에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 버퍼 탱크의 약액 배출장치는, 약액 저장 장치에서 약액의 오버플로우 발생시 약액을 배출시킬 수 있는 배출장치를 설치함으로서, 약액의 누수로 인한 장비 오염 및 인체 손상 방지와 에러 발생시 에러 처리 시간을 줄여 장비의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 반도체 제조에서 습식공정에 사용되는 약액을 버퍼탱크 공급관을 통하여 저장하는 버퍼탱크와, 상기 버퍼탱크 내의 약액 수위를 감지하는 감지용 센서들과, 상기 버퍼탱크 내부에 일부 설치되어 질소가스가 공급되는 질소가스라인과, 상기 질소가스의 압력에 의하여 역류된 약액이 장비측 공급관을 통하여 장비본체로 공급되는 버퍼탱크의 약액 장치에 있어서;

   위험 수위에 다다른 약액을 배출시킬 수 있도록 상기 버퍼탱크에 설치되며, 중간부에 볼밸브가 마련된 배출관과; 상기 배출관으로 오버플로우된 약액을 배출시키기 위하여 가압용 질소가스를 공급하는 가압용 질소가스라인이; 커플러에 의하여 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 버퍼 탱크의 약액 배출장치.