KR20020086766A

KR20020086766A - 필터링 장치

Info

Publication number: KR20020086766A
Application number: KR1020010025486A
Authority: KR
Inventors: 오정근; 위재원
Original assignee: 주식회사 엘지이아이
Priority date: 2001-05-10
Filing date: 2001-05-10
Publication date: 2002-11-20

Abstract

본 발명 필터링 장치는 몸체부(21)의 중앙에 설치되는 구획판(24)에 수개의 관통공(24a)이 형성되어 있고, 그 관통공(24a)에 백 필터(27)와 필터 홀더(28)가 삽입설치되어 있으며, 그 백 필터(27)의 내측에서 외측으로 에어를 분사할 수 있도록 에어 공급관(41)과 에어 노즐(42)이 설치되어 있어서, 주기적으로 에어 노즐(42)을 통하여 백 필터(27)의 내측에서 외측으로 에어를 분사하는 것에 의하여 백 필터(27)의 외측면에 부착되어 있는 미립자들이 제거되도록 함으로써, 백 필터(27)이 사용수명이 연장되게 된다.

Description

필터링 장치{FILTERING APPARATUS}

본 발명은 필터링 장치에 관한 것으로, 특히 에어 제트를 이용하여 에어 백에 부착되어 있는 반응부산물과 이물질을 주기적으로 제거함으로써 연속적인 필터링 작업이 이루어지도록 하는데 적합한 필터링 장치에 관한 것이다.

일반적으로 산업용 장비의 배기라인에는 장비의 내부에서 배출되는 이물질들이 펌프의 로터에 부착되지 않도록 필터링 장치가 장착되어 있다.

그 일예로, 플라즈마 증착장비의 배기라인에 장착되어 있는 종래의 필터링 장치가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 필터링 장치는 원통형상의 몸체부(1) 상측에 덮개(2)가 복개가능하게 설치되어 있고, 하단부에는 이물질(3)이 수거되는 이물질 수거통(4)이 클램프(5)에 의하여 착,탈할 수 있도록 결합되어 있다.

그리고, 상기 몸체부(1)의 내측에는 하측의 흡입공간(6)과 상측의 배출공간(7)이 구획되도록 구획판(8)이 형성되어 있고, 그 구획판(8)에는 수개의 관통공(9)이 형성되어 있고, 그 각각의 관통공(9)에는 백 필터(10)가 각각 삽입된 상태로 스테인레스재질의 망체로된 필터 홀더(11)에 의하여 고정되어 있다.

또한, 상기 몸체부(5)의 하단부 외측에는 상기 흡입공간(6)으로 배기가스를 유입시키기 위한 가스유입관(12)이 결합되어 있고, 상단부 외측에는 상기 배출공간(7)으로 배출된 필터링된 가스를 외부로 배출하기 위한 가스배출관(13)이결합되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 필터링 장치(13)는 가스유입관(12)을 통하여 배기가스가 몸체부(1)의 흡입공간(6)으로 유입되고, 그와 같이 유입된 배기가스는 백 필터(10)에 의하여 필터링 되며 상측으로 배출공간(7)으로 배출되며, 그와 같이 필터링되어 배출공간(7)으로 배출된 배기가스는 가스배출관(13)을 통하여 배기라인의 배출구측으로 배출되어 진다.

그리고, 상기와 같이 백 필터(10)에 필터링되며 부착되는 미립자들은 덩어리상태가 되면 자중에 의하여 하측의 이물질 수거통(4)에 수거되는데, 이와 같이 이물질 수거통(4)에 수거되는 이물질들은 이물질 수거통(4)을 주기적으로 해체하여 제거하게 된다.

그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래의 필터링 장치(13)는 장기간 필터링 작업시 백 필터(10)의 외측면에 부착되는 미립자들이 백 필터(10)를 통하여 배출되는 배기가스의 배출력에 의하여 강하게 부착되어, 어느정도 큰 덩어리 상태가 되어도 떨어지지 않고 계속 부착되어 있어서, 백 필터(10)를 신제품으로 자주 교체하여야 하므로 작업지연 및 제조원가의 상승을 초래하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 백 필터의 사용수명을 연장하여 제조원가를 절감할 수 있고, 잦은 백 필터의 교체에 따른 작업지연이 발생되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 필터링 장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 필터링 장치의 구조를 보인 종단면도.

도 2는 본 발명의 필터링 장치의 구조를 보인 종단면도.

도 3은 본 발명의 요부구성인 미립자 제거수단을 보인 사시도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

21 : 몸체부22 : 흡입공간

23 : 배출공간24 : 구획판

24a : 관통공25 : 가스 유입관

26 : 가스배출관27 : 밸 필터

28 : 필터 홀더29 : 미립자

32 : 이물질 수거통40 : 미립자 제거수단

41 : 에어 공급관42 : 에어 노즐

42a : 에어 분사공

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 일측에 가스유입관이 구비되어 있고 타측에 가스배출관이 구비되어 있으며 내측에는 흡입공간과 배출공간이 구획되도록 구획판이 고정되어 있는 몸체부와, 그 몸체부의 구획판에 형성된 수개의 관통공에 각각 삽입되어 흡입공간에서 배출공간으로 배출되는 배기가스 중의 미립자를 필터링하는 백 필터와, 그 백 필터를 관통공에 고정시키기 위한 필터 홀더와, 상기 몸체부의 하단부에 착,탈가능하게 결합되어 있는 이물질 수거통과, 상기 백 필터의 내측에서 외측으로 에어를 분사하여 백 필터의 외측면에 부착되는 미립자들을 제거하기 위한 미립자 제거수단을 포함하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 필터링 장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 필터링 장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명의 필터링 장치의 구조를 보인 종단면도이고, 도 3은 본 발명의 요부구성인 미립자 제거수단을 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 필터링 장치는 원통체인 몸체부(21)의 내부에 구획판(24)에 의하여 구획되어 배기가스가 흡입되는 흡입공간(22)과 배출되는 배출공간(23)이 형성되어 있고, 그 흡입공간(22)으로 배기가스를 유입시키기 위한 가스유입관(25)이 몸체부(21)의 하단부 외측에 결합되어 있고, 상단부 외측에는 배출공간(22)에서 배출되는 배기가스를 외부로 배출하기 위한 가스배출관(26)이 결합되어 있다.

그리고, 상기 구획판(24)에는 수개의 관통공(24a)이 각각 형성되어 있고, 그 관통공(24a)에는 배기가스 중의 미립자를 필터링하기 위한 백 필터(27)가 각각 결합되어 있으며, 그 백 필터(27)가 관통공(24a)에 고정되도록 스테인레스 재질의 망체인 필터 홀더(28)가 백 필터(27)의 내측으로 삽입고정되어 있다.

또한, 상기 몸체부(21)에 형성된 배출공간(23)의 상측에는 클램프(30)에 의하여 조립/해체가 가능하도록 덮개(31)가 결합되어 있고, 하단부에는 백 필터(27)에서 떨어지는 미립자(29)를 수거하는 이물질 수거통(32)이 양측에 고정된 클램프(33)에 의하여 착,탈가능하게 결합되어 있으며, 상기 배출공간(23)에는 백 필터(27)의 외측면에 부착되는 미립자를 제거하기 위한 미립자 제거수단(40)이 구비되어 있다.

상기 미립자 제거수단(40)은 상기 덮개(31)를 관통하여 내부로 삽입설치되어 공기를 공급하기 위한 에어 공급관(41)과, 그 에어 공급관(41)에 연결됨과 아울러 상기 백 필터(27)와 필터 홀더(28)의 내측에 삽입되도록 설치되며 외주면에 다수개의 에어 분사공(42a)이 형성되어 에어 공급관(41)에서 공급되는 공기를 백 필터(27)의 내측에서 외측으로 분사하여 백 필터(27)이 외주면에 부착된 미립자를 제거하기 위한 에어 노즐(42)로 구성되어 있다.

그리고, 상기 몸체부(21)의 하단부 외측에는 에어 노즐(42)에서 에어가 분사될때에서 가스유입관(25)을 통하여 역류되지 않고 외부로 배출되도록 필터(43)가 내설된 에어 밴트(44)가 설치되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 필터링 장치(50)는 배기라인(미도시)을 통하여 배출되는 미립자가 포함된 배기 가스가 가스 유입관(25)을 통하여 흡입공간(22)의 내부로 유입되고, 그와 같이 흡입공간(22)에 유입된 배기가스가 백필터(27)를 통과하며 미립자가 필터링되어 배출공간(23)으로 배출된 후, 가스 배기관(26)을 통하여 외부로 배출되어 진다.

그리고, 상기와 같이 백 필터(27)의 외주면에 부착되는 반응부산물이나 이물질등의 미립자(29)들은 덩어리 상태가 되면 자중에 의하여 하측의 이물질 수거통(32)에 떨어지고, 이와 같이 이물질 수거통(32)에 떨어진 미립자(29)들은 이물질 수거통(32)을 해체하여 주기적으로 청소하는 것에 의하여 제거된다.

또한, 상기와 같이 백 필터(27)에 부착되는 미립자들 중 강하게 부착되어 있는 것들은 에어공급관(41)을 통하여 주기적으로 에어를 공급하고, 그와 같이 공급된 에어가 에어 노즐(42)의 에어 분사공(42a)을 통하여 백 필터(27)의 내부에서 외부로 분사되는 것에 의하여 떨어지므로, 백 필터(27)의 외주면에 부착되는 미립자(29)들을 완전히 제거하게 되어 백 필터(27)의 사용수명이 연장되고, 그에 따라서 백 필터(27)를 자주 교체하는데 따른 작업지연 및 번거로움이 해소된다.

한편, 상기와 같이 에어 노즐(42)에서 분사되는 에어가 백 필터(27)의 내측에서 외측으로 분사될때에 흡입공간(22)으로 배출되어진 에어가 에어 밴트(44)를 통하여 배출되므로 가스 유입관(25)을 통하여 배기가스가 역류되는 것을 방지할 수 있게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 필터링 장치는 몸체부의 중앙에 설치되는 구획판에 수개의 관통공이 형성되어 있고, 그 관통공에 백 필터와 필터 홀더가 삽입설치되어 있으며, 그 백 필터의 내측에서 외측으로 에어를 분사할수 있도록 에어 공급관과 에어 노즐이 설치되어 있어서, 주기적으로 에어 노즐을 통하여 백 필터의 내측에서 외측으로 에어를 분사하는 것에 의하여 백 필터의 외측면에 부착되어 있는 미립자들이 제거되도록 함으로써, 백 필터이 사용수명이 연장이 되어 종래와 같이 백 필터의 잦은 교체에 따른 작업지연 및 번거로움이 해소되는 효과가 있다.

Claims

일측에 가스유입관이 구비되어 있고 타측에 가스배출관이 구비되어 있으며 내측에는 흡입공간과 배출공간이 구획되도록 구획판이 고정되어 있는 몸체부와, 그 몸체부의 구획판에 형성된 수개의 관통공에 각각 삽입되어 흡입공간에서 배출공간으로 배출되는 배기가스 중의 미립자를 필터링하는 백 필터와, 그 백 필터를 관통공에 고정시키기 위한 필터 홀더와, 상기 몸체부의 하단부에 착,탈가능하게 결합되어 있는 이물질 수거통과, 상기 백 필터의 내측에서 외측으로 에어를 분사하여 백 필터의 외측면에 부착되는 미립자들을 제거하기 위한 미립자 제거수단을 포함하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 필터링 장치.
제 1항에 있어서, 상기 미립자 제거수단은 상기 덮개에 관통되도록 삽입설치되어 에어를 공급하기 위한 에어 공급관과, 그 에어 공급관에 각각 연결됨과 아울러 백 필터를 고정하는 필터 홀더의 내측에 각각 삽입설치되며 외주면에 다수개의 에어 분사공이 형성되어 있는 에어 노즐로 구성되는 것을 특징으로 하는 필터링 장치.