KR20020076449A - 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 절연 기판;상기 절연 기판 상에 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선;상기 게이트 배선 및 데이터 배선에 연결된 스위칭 소자인 박막 트랜지스터;상기 게이트 배선과 데이터 배선 및 박막 트랜지스터 상부의 보호층;상기 보호층 상부에 투명 도전 물질로 이루어지고, 상기 게이트 배선과 연결되어 있는 캐패시터 전극;상기 캐패시터 전극을 덮고 있는 오버코트층;상기 오버코트층 상부의 화소 영역에 투명 도전 물질로 이루어지고 상기 박막 트랜지스터와 연결되며, 상기 캐패시터 전극과 중첩하는 화소 전극을 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 보호층은 적, 녹, 청의 색이 상기 화소 전극에 대응하여 순차적으로 배열되는 컬러필터로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판.
- 제 1 항과 제 2 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 캐패시터 전극은 인듐-틴-옥사이드와 인듐-징크-옥사이드 중의 어느 하나로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판.
- 제 3 항에 있어서,상기 오버코트층은 상기 보호층 및 상기 게이트 절연막과 함께 상기 캐패시터 전극 및 상기 게이트 배선의 일부를 드러내는 콘택홀을 포함하며, 상기 콘택홀 상부에 상기 캐패시터 전극 및 상기 게이트 배선과 접촉하는 도전 패턴을 더 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판.
- 제 4 항에 있어서,상기 도전 패턴은 상기 화소 전극과 같은 물질로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판.
- 기판을 구비하는 단계;상기 기판 상에 게이트 배선 및 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 배선 및 게이트 전극 상부에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 전극 상부의 상기 게이트 절연막 상에 액티브층 및 오믹 콘택층을 형성하는 단계상기 오믹 콘택층 상부에 소스 및 드레인 전극과 데이터 배선을 형성하는 단계;상기 데이터 배선 상부에 보호층을 형성하는 단계;상기 보호층 상부에 투명 도전 물질로 이루어진 캐패시터 전극을 형성하는 단계;상기 캐패시터 전극 상부에 위치하며, 상기 보호층 및 상기 게이트 절연막과 함께 상기 드레인 전극을 드러내는 제 1 콘택홀과 상기 캐패시터 전극 및 상기 게이트 배선을 드러내는 제 2 콘택홀을 가지는 오버코트층을 형성하는 단계;상기 오버코트층 상부에 투명 도전 물질로 이루어지고, 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 연결되며 상기 캐패시터 전극과 중첩하는 화소 전극, 그리고 상기 제 2 콘택홀을 통해 상기 캐패시터 전극 및 상기 게이트 배선에 연결되는 도전 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 보호층은 적, 녹, 청의 색이 상기 화소 전극에 대응하여 순차적으로 배열되는 컬러필터로 이루어진 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제 6 항과 제 7 항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 액티층과 상기 오믹 콘택층을 형성하는 단계는 상기 데이터 배선을 형성하는 단계와 동일한 사진 식각 공정에서 이루어지는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 사진 식각 공정은 감광막을 이용하여 노광 및 현상, 식각하는 공정을 포함하며, 상기 노광 공정에 이용되는 마스크는 상기 소스 및 드레인 전극의 사이에 대응하는 부분에 다수의 슬릿 패턴을 가지는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 사진 식각 공정은 감광막을 이용하여 노광 및 현상, 식각하는 공정을 포함하며, 상기 노광 공정에 이용되는 마스크는 상기 소스 및 드레인 전극의 사이에 대응하는 부분에 반투과막을 가지는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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