KR20020044910A - 로봇 구동모타 벨트 텐션장치 - Google Patents

Abstract

퓨전(fusion) 유브이/ 베이크(uv/bake) 설비에서 로보트 구동모타의 동력을 전달하는 벨트의 장력을 조절하기 위하여;

로보트 구동모타를 베이스 플레이트상에 설치한 모타 서포트와,

상기 베이스 플레이트상에서 모타 서포트를 좌,우 이동 가능하게 모타 서포트의 일측에 회전운동을 직선운동으로 변환하게 설치한 텐션 조정수단을 포함하여 이루어지는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.

Description

로봇 구동모타 벨트 텐션장치{ VELT TENSION SYSTEM FOR ROBOT DRIVE MOTOR }

본 발명은 로보트 구동모타 벨트 텐션장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 퓨전(fusion) 유브이/ 베이크(uv/bake) 설비에서 로보트 구동모타의 동력을 전달하는 벨트의 장력을 조절하기 위하여 텐션장치를 설치한 로보트 구동모타 벨트 텐션장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 장비인 퓨전 유브이/베이크 설비에 웨이퍼를 이송하는 장치로 수직, 수평, 회전운동을 하는 로보트가 이용되고 있다.

상기한 로보트의 3축운동은 각각의 모타 제어에 의해 이루어지고, 모타의 동력은 구동축의 구동풀리에 설치된 타이밍 벨트를 통해 동력을 전달하게 되어 있다.

도 1은 종래기술로 로보트 구동장치를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 A방향에서 도시한 평면도이다.

로보트 구동장치(2)는 퓨전 유브이/베이크 설비에서 웨이퍼를 이송하는 장치에 사용되는 3-AXIS Robot Ass'y 기종의 구동부이다.

이러한 로보트 구동장치(2)의 구성은 베이스 플레이트(4)에 수직으로 배치된 구동부(6)와, 이 구동부(6)에 의해 전달받은 동력에 의해 작동하는 종동부(8)로 구성되어 이루어지고 있다.

구동부(6)는 베이스 플레이트(4)에 모터 서포터(10)로 설치되는 스텝모타(12)와, 이 스텝모타(12)의 구동축(14) 상부에 브레이크(16)를 구비하고, 하단에는 구동풀리(18)를 설치하고 있다.

종동부(8)는 구동부(6)로 부터 일정 간격 이격되어 베이스 플레이트(4)의 하부에 설치되며, 동력을 전달받아 각 부위로 회전력을 전달하여 동작하게 종동축(20)에 종동풀리(22)를 구비하고 있다.

상기한 구동풀리(18)와 종동풀리(22)는 타이밍벨트(24)로 연결되어 동력을 전달하게 되어 있다.

상기한 바와 같이 타이밍 벨트(24)에 의해 전달되는 동력은 장시간에 걸쳐작동함에 따라 구동부(6)나 종동부(8)의 각축을 지지하는 베어링의 마모를 가져온다.

이에 따라 구동풀리(18)와 종동풀리(22)를 연결하여 동력을 전달하는 타이밍 벨트(24)의 장력은 초기 설정 텐션보다 이완된다.

이에 구동부(6)에서 종동부(8)로 전달되는 동력은 손실을 발생하게 되며, 이로 인해 정밀한 작동을 하지 못하여 주변의 장치에 나쁜 영향을 미치게 된다.

그래서 상기한 바와 같은 타이밍 벨트(24)의 이완은 모타 서포터(10)를 통해 이루어지는데, 이 모타 서포터(10)는 4곳에 좌,우 이동이 가능하게 장공(26)을 뚫어 형성하고 있으며, 이 장공(26)을 통해 고정볼트(28)로 베이스 플레이트(4)에 고정되고 있다.

상기한 모타 서포터(10)에 의한 타이밍 벨트(24)의 텐션 조정은 베이스 플레이트(4)상에 스텝모타(12)를 거치하고 있는 모타 서포터(10)를 수동으로 좌,우 이동시켜 가면서 하게 된다.

이러한 모타 서포터(10)를 이용한 텐션 조정작업을 좀더 구체적으로 설명하면, 일단 4개의 고정볼트(28)를 약간 풀어 모타서포터(10)의 유동을 가능하게 한 다음 작업자중 한사람은 힘을 이용 텐션이 최대한 적정하게 작용하도록 우측으로 밀거나 당긴다.

그리고 나서 다른 작업자가 고정볼트(28)를 조임으로서 텐션 조정 작업을 완료하게 된다.

상기한 바와 같이 이루어지는 로보트 구동장치(2)의 텐션작업이 작업자의 감각적인 수작업에 의해 이루어짐에 따라 작업자마다 텐션의 조정정도가 다르게 나타날 수 있는 문제점이 있다.

그리고 로보트 구동장치의 정밀한 텐션 조정을 기할 수 없어, 베어링이나 벨트에 악영향을 미치게 되어 내구성을 떨어뜨리는 문제점이 있다.

또, 작업자 한 사람만으로는 타이밍 벨트 텐션 작업을 원활하게 수행할 수 없는 문제점이 있다.

상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 제안된 본 발명의 목적은 퓨전(fusion) 유브이/ 베이크(uv/bake) 설비에서 로보트 동력원인 스텝모타의 동력을 전달하는 벨트의 장력을 조절하기 위하여 텐션장치를 설치한 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래기술로 로보트 구동장치를 도시한 도면.

도 2는 도 1의 A방향에서 도시한 평면도.

도 3은 본 발명으로 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 도시한 도면.

도 4는 본 발명으로 로보트 구동모타 벨트 텐션장치의 작용을 도시한 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

32:스텝모타 34:베이스 플레이트 36:모타 서포트

38:고정볼트 40:장공 42:볼스크류축

44:가이드부 46:토크렌치

이를 실현하기 위한 본 발명은

로보트 동력원인 스텝모타 설치를 위해 베이스 플레이트상에 설치한 모타 서포트와,

상기 베이스 플레이트상에서 모타 서포트를 좌,우 이동 가능하게 모타 서포트의 일측에 회전운동을 직선운동으로 변환하게 설치한 텐션 조정수단을 포함하여 이루어지는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.

텐션 조정수단은 모타 서포터의 일측면에 회전 가능하게 조립 설치된 볼스크류축과, 상기 볼스크류축의 전진과 후퇴를 안내하게 베이스 플레이트에 설치된 가이드부와, 상기 볼스크류축의 일단에 회전량을 조절하게 설치한 토크렌치를 포함하여 이루어지는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 제공하는데 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예의 구성과 작용을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명으로 로보트 구동모타 벨트 텐션장치를 도시한 도면이다.

로보트 구동모타 벨트 텐션장치(30)는 로보트 동력원인 스텝모타(32) 설치를 위해 베이스 플레이트(34)상에 모타 서포트(36)를 설치하고, 상기 모타 서포트(36)를 좌,우 이동 가능하게 베이스 플레이트(34) 일측에 설치한 텐션 조정수단을 포함하여 이루어지고 있다.

모타서포트(36)는 베이스 플레이트(34)에 고정볼트(38)로 체결이 이루어지게 4곳에 장공(40)을 뚫어 형성하고 있다.

상기 장공(40)은 모타 서포트(36)의 좌,우 이동이 가능하게 횡방향으로 형성하고 있다.

텐션 조정수단은 모타 서포터(36)의 일측면에 회전 가능하게 연결 설치된 볼스크류축(42)과, 상기 볼스크류축(42)을 베이스 플레이트(34)에 고정하면서 좌,우 이동을 안내하는 가이드부(44)와, 상기 볼스크류축(42)의 일단에 회전력을 눈금 또는 숫자를 보고 죌 수 있는 공구인 토크렌치(46)를 설치하여 이루어지고 있다.

볼스크류축(42)은 통상의 기술로 구체적인 도면은 생략하고 있으며, 가이드부(44)와 함께 이용되고 있다.

상기한 바와 같이 이루어지는 본 발명의 작용을 도4에 의하여 설명하면, 베이스 플레이트(34)에 모타 서포트(36)를 고정하고 있는 체결볼트(38)를 약간 풀어 이완시킨다.

그리고 나서 타이밍 벨트(48)의 수명이 다되었으면 교환하고, 그렇지 않고 벨트의 텐션이 이완되어 있으면, 토오크 렌치(46)를 시계방향으로 회전시켜 원하는 치수에 이를때 까지 모타 서포트(36)를 일방향으로 이동시킨다.

모타 서포트(36)의 이동으로 구동축(47)의 구동풀리(50)에 걸친 타이밍 벨트(48)의 텐션이 알맞게 긴장상태를 갖게 되면 이완되어 있던 고정볼트(38)를 조인다.

반대로 상기 타이밍 벨트(48)의 텐션이 너무 강하면 모터 서포터(36)를 고정하고 있는 고정볼트(38)를 먼저 약간 풀어 놓은 후 토크 렌치(46)를 반시계방향으로 회전시켜 가면서 모타 서포트(36)를 이동시켜 조정한 한 후 고정볼트(38)를 조인다.

이상에서 본 발명의 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

토크렌치의 수치를 이용하여 벨트 텐션을 조절하므로서 텐션 오차를 해소하게 되어 일정한 텐션을 유지하게 되는 발명이다.

작업자 한 사람만으로 텐션 조정 작업을 할 수 있게 된다.

Claims (2)

1. 로보트 동력원인 스텝모타 설치를 위해 베이스 플레이트상에 설치한 모타 서포트와,

   상기 베이스 플레이트상에서 모타 서포트를 좌,우 이동 가능하게 모타 서포트의 일측에 회전운동을 직선운동으로 변환하게 설치한 텐션 조정수단을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치.
2. 제 1 항에 있어서, 텐션 조정수단은 모타 서포터의 일측면에 회전 가능하게 조립 설치된 볼스크류축과, 상기 볼스크류축의 전진과 후퇴를 안내하게 베이스 플레이트에 설치된 가이드부와, 상기 볼스크류축의 일단에 회전량을 조절하게 설치한 토크렌치를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 로보트 구동모타 벨트 텐션장치.