KR20020038917A - Anode thin film for lithium secondary battery - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 리튬 2차 전지용 음극 박막에 대한 것으로, 보다 상세하게는 집전체상에 형성되는 음극 활물질층 형성 재료로서 실리콘(Si)과 은(Ag)을 사용함으로써 충방전 사이클 특성이 개선된 리튬 2차 전지의 음극 박막에 관한 것이다.The present invention relates to a negative electrode thin film for a lithium secondary battery. More specifically, lithium 2 having improved charge and discharge cycle characteristics by using silicon (Si) and silver (Ag) as a negative electrode active material layer forming material formed on a current collector. It relates to a negative electrode thin film of a secondary battery.
최근 마이크로 일렉트로닉스(microelectronics) 산업의 발전과 전자 소자(electronic device)의 소형화, 고성능화 및 초소형 센서 기기 등이 개발됨에 따라 이들을 구동시킬 전원으로서 초소형 및 초박형의 전지에 대한 필요성이 점점 높아지고 있다.Recent developments in the microelectronics industry, miniaturization of electronic devices, high performance, and miniaturized sensor devices have increased the need for ultra-small and ultra-thin batteries as a power source for driving them.
도 1은 종래 기술에 따른 박막 전지의 구조를 개략적으로 나타낸 것이다.1 schematically shows the structure of a thin film battery according to the prior art.
이를 참조하면, 박막 전지는 기본적으로 집전체 (11)상에 캐소드(cathode)(12), 전해질(electrolyte) (14) 및 애노드(anode) (13)가 박막 형태로 순차적으로 적층된 구조를 구비하고 있고, 전체적인 두께가 약 10㎛ 정도로 제조됨에 따라 다음과 같은 잇점을 갖고 있다.Referring to this, the thin film battery basically has a structure in which a cathode 12, an electrolyte 14, and an anode 13 are sequentially stacked in the form of a thin film on the current collector 11. As the overall thickness is about 10 μm, it has the following advantages.
즉, 박막으로 증착하여 캐소드 근처에 애노드를 배치함으로써 전류 밀도가 높고, 전지 효율 특성이 우수하며, 박막으로 형성하므로 이온간의 이동 거리가 줄어들게 되어 이온의 이동이 보다 용이해지고 빨라지기 때문에 반응 물질의 함량을 매우 줄일 수 있게 된다. 또한 이와 같은 박막 전지는 특별한 목적에 부합되도록 임의의 모양과 크기로 제작하기가 용이하여 초소형 전자 소자, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 소자 및 초소형 센서들을 구동시키는 주 전원으로서 매우 유망하다.In other words, by depositing a thin film and placing an anode near the cathode, the current density is high, the battery efficiency characteristics are excellent, and the thin film is formed so that the moving distance between the ions decreases, making the movement of ions easier and faster. Can be greatly reduced. In addition, such a thin film battery is very promising as a main power source for driving ultra-small electronic devices, micro electro mechanical system (MEMS) devices and micro-sensors because it is easy to manufacture in any shape and size to meet a special purpose.
박막 전지는 특히 반도체의 제조 공정과 동일한 방법에 따라 제조되기 때문에 반도체 칩 위에 전자 회로와 함께 실장될 수 있어 이를 백-업(back-up) 전원으로 하는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 메모리 칩을 구현할 수 있다. 또한 전자 기기의 불용 공간을 최소화시켜 공간 이용 효율을 극대화시킬 수 있고, 적절한 설계와 식각 공정을 통한 직렬 및 병렬 연결로 다양한 전압 및 용량을 가진 전지로 구현될 수 있어 이용 범위가 매우 광범위하다.Since the thin film battery is manufactured according to the same method as that of a semiconductor manufacturing process, it can be mounted with an electronic circuit on a semiconductor chip to implement a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) memory chip which is used as a back-up power supply. Can be. In addition, it is possible to maximize the space utilization efficiency by minimizing the unused space of the electronic device, and can be implemented as a battery having a variety of voltages and capacities through a series and parallel connection through a proper design and etching process, the use range is very wide.
현재까지 박막 전지에 대한 연구는 주로 V2O5, LiCoO2, 및 LiMn2O4등으로 이루어진 양극 박막 제조 및 평가에 집중되어 있고, 이에 대하여 만족할 만한 결과들이 보고되고 있다. 그리고 이러한 박막 전지의 음극 박막으로는 리튬 금속을 증착하여 형성된 리튬 금속 박막에 대한 것이 주류를 이루고 있다.To date, research on thin film cells has been concentrated on the production and evaluation of a positive electrode thin film mainly composed of V 2 O 5 , LiCoO 2 , LiMn 2 O 4 , and the like, and satisfactory results have been reported. As the negative electrode thin film of such a thin film battery, a lithium metal thin film formed by depositing lithium metal is mainstream.
그런데, 리튬 금속은 180℃ 정도로 융점이 낮은 편이라서 패키징(packaging)과정에 수반되는 솔더링(soldering) 공정에서 발생하는 열로 인해 용융되어 디바이스를 손상시킬 수 있다. 또한 리튬 금속은 대기중에서의 높은 반응성으로 인해 취급상 어려움이 많고 수분과 산소로부터 격리하기위한 별도의 장치를 부가적으로 설치해야 하는 등 초소형 전자기기 전원의 전극 물질로서 실질적으로 응용되기에는 많은 문제점을 안고 있다.However, since lithium metal has a low melting point of about 180 ° C., the lithium metal may be melted due to the heat generated during the soldering process accompanying the packaging process to damage the device. In addition, lithium metal has many problems in handling due to its high reactivity in the air, and requires additional installation of a separate device for isolation from moisture and oxygen. Holding it.
상술한 리튬 금속 박막 이외에, 음극 박막으로서 실리콘 틴 옥시나이트라이드(silicon tin oxynitride: SITON), 주석 산화물(SnO2) 및 질화물 계열로 이루어진 음극 박막이 시도되었으나 초기 충방전 사이클에서 발생하는 비가역 반응을 제어하지 못하고 있는 실정이다.In addition to the lithium metal thin film described above, a negative electrode thin film composed of silicon tin oxynitride (SITON), tin oxide (SnO 2 ), and nitride series has been attempted as a negative electrode thin film, but an irreversible reaction occurring in an initial charge / discharge cycle is controlled. I can't do it.
한편, 리튬의 낮은 충방전 효율을 극복하기 위해 리튬 합금에 대한 연구가 진행되었는데 리튬과 합금이 가능한 금속으로는 주석(Sn), 실리콘(Si) 또는 알루미늄(Al)이 차세대 음극 활물질로서 주목받고 있다. 그런데 이러한 음극 활물질들은 리튬에 대해 낮은 전압 구간에서의 용량 특성이 우수하지만, 충방전 과정에서 리튬의 삽입과 탈리에 따라 발생하는 활물질의 부피 변화는 박막 내부 및 계면에서 응력을 발생시킴으로써 음극 박막의 구조를 퇴화시켜 사이클 특성을 저해하고 특히 고체 전해질을 사용하는 박막 전지의 경우, 전극과 집전체간의 계면에서의 접착력이 현저하게 저하됨으로써 전지 성능을 저하시킬 수 있다. 따라서 첫번째 충방전 사이클에서 리튬의 삽입 또는 탈리되는 과정에서 비가역 반응으로 인한 용량 감소가 없고, 사이클 특성이 우수한 물질을 개발하는 것이 선결과제이다.Meanwhile, researches on lithium alloys have been conducted to overcome the low charge and discharge efficiency of lithium, and tin (Sn), silicon (Si), or aluminum (Al) is attracting attention as a next-generation anode active material as a metal capable of alloying with lithium. . By the way, although these negative electrode active materials have excellent capacity characteristics in the low voltage range with respect to lithium, the volume change of the active material generated by the insertion and desorption of lithium during charge and discharge process generates stress at the inside and the interface of the thin film so that the structure of the negative electrode thin film Deterioration of the cycle characteristics, and in the case of a thin film battery using a solid electrolyte, in particular, the adhesive force at the interface between the electrode and the current collector is significantly lowered, thereby lowering the battery performance. Therefore, there is no capacity reduction due to irreversible reaction during the insertion or desorption of lithium in the first charge / discharge cycle, and it is a priority to develop a material having excellent cycle characteristics.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기 문제점을 해결하여 충방전 사이클 특성이 개선된 리튬 2차 전지용 음극 박막을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a negative electrode thin film for a lithium secondary battery having improved charge and discharge cycle characteristics by solving the above problems.
도 1은 통상적인 박막 전지의 개략적인 구조를 나타낸 도면이고,1 is a view showing a schematic structure of a conventional thin film battery,
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따라 제조된 다층 박막을 채용한 음극의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고,2 is a view schematically showing the structure of a cathode employing a multilayer thin film prepared according to Example 1 of the present invention,
도 3은 본 발명의 실시예 1 및 비교예 1에 따라 제조된 리튬 2차 전지의 사이클 특성을 비교한 도면이고,3 is a view comparing the cycle characteristics of the lithium secondary battery prepared according to Example 1 and Comparative Example 1 of the present invention,
도 4는 본 발명의 실시예 1의 MSA-1, MSA-2, MSA-4 구조의 다층 음극 박막을 채용한 음극의 실리콘(Si)층의 두께에 따른 사이클 특성을 비교한 도면이고,4 is a view comparing cycle characteristics according to the thickness of a silicon (Si) layer of a cathode employing a multilayer cathode thin film having a structure of MSA-1, MSA-2, MSA-4 of Example 1 of the present invention,
도 5a는 본 발명의 실시예 1에 따라 제조된 다층 박막을 채용한 음극의 실리콘(Si)층의 총두께에 따른 첫번째 사이클에서의 충전 용량, 방전 용량 및 비가역적 용량을 나타낸 도면이고,5A is a view showing charge capacity, discharge capacity and irreversible capacity in the first cycle according to the total thickness of the silicon (Si) layer of the cathode employing a multilayer thin film prepared according to Example 1 of the present invention,
도 5b는 본 발명의 실시예 1에 따라 제조된 다층 박막을 채용한 음극의 은(Ag) 층의 총두께에 따른 첫번째 사이클에서의 충전 용량, 방전 용량 및 비가역적 용량을 나타낸 도면이고,5B is a view showing charge capacity, discharge capacity and irreversible capacity in the first cycle according to the total thickness of the silver (Ag) layer of the cathode employing a multilayer thin film prepared according to Example 1 of the present invention,
도 6은 본 발명의 실시예 1의 MSA-1과 MSA- 6 구조의 다층 음극 박막을 채용한 음극의 은(Ag)층의 두께에 따른 사이클 특성을 비교한 도면이고,6 is a view comparing cycle characteristics according to the thickness of the silver (Ag) layer of a cathode employing a multilayer anode thin film of the MSA-1 and MSA- 6 structure of Example 1 of the present invention,
도 7은 본 발명의 실시예 1에 따라 제조된 MSA-4와 MSA-5 구조의 다층 음극박막을 채용한 음극의 사이클 특성을 도시한 그래프이고,7 is a graph showing the cycle characteristics of the negative electrode using a multilayer negative electrode thin film of the MSA-4 and MSA-5 structure prepared according to Example 1 of the present invention,
도 8은 본 발명의 실시예 2에 따라 제조된 실리콘-은 단일층 음극 박막을 채용한 음극의 사이클 특성을 도시한 그래프이다.FIG. 8 is a graph illustrating cycle characteristics of a cathode employing a silicon-silver single layer cathode thin film prepared according to Example 2 of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>
11, 21.... 집전체 12... 캐소드11, 21 .... the whole house 12 ... cathode
13.... 애노드14.... 전해질13 .... Anode14 .... Electrolyte
15.... 보호층15 ... protective layer
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명에서는,In the present invention to achieve the above technical problem,
집전체와 그 상부에 형성된 음극 활물질층을 구비하고 있는 리튬 2차 전지용 음극 박막에 있어서,In the negative electrode thin film for a lithium secondary battery provided with an electrical power collector and the negative electrode active material layer formed in the upper part,
상기 음극 활물질층이, 실리콘(Si)층과 은(Ag)층이 적층된 다층 박막인 것을 특징으로 하는 리튬 2차 전지용 음극 박막을 제공한다.The negative electrode active material layer is a multilayer thin film in which a silicon (Si) layer and a silver (Ag) layer are stacked, to provide a negative electrode thin film for a lithium secondary battery.
본 발명의 기술적 과제는 또한, 집전체와 그 상부에 형성된 음극 활물질층을 구비하고 있는 리튬 2차 전지용 음극 박막에 있어서,The present invention also provides a negative electrode thin film for a lithium secondary battery including a current collector and a negative electrode active material layer formed thereon,
상기 음극 활물질층이, 실리콘과 은을 포함하는 단일층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 리튬 2차 전지용 음극 박막에 의하여 이루어진다.The negative electrode active material layer is made of a negative electrode thin film for a lithium secondary battery, characterized in that it consists of a single layer containing silicon and silver.
상기 다층 박막은 특히 Si/Ag/Si막, Si/Ag/Si/Ag막, Si/Ag/Si/Ag/Si/Ag막, Si/Ag/Si/Ag/Si/Ag/Si/Ag막, 또는 Ag/Si/Ag/Si/Ag/Si/Ag막인 것이 바람직하다.The multi-layered thin film is particularly Si / Ag / Si film, Si / Ag / Si / Ag film, Si / Ag / Si / Ag / Si / Ag film, Si / Ag / Si / Ag / Si / Ag / Si / Ag film Or Ag / Si / Ag / Si / Ag / Si / Ag film.
또한, 본 발명의 음극 박막은 다층 박막의 최상층이 은(Ag)으로 이루어지는 것이 바람직한데, 이는 이 조건을 만족시킬 때 이러한 음극 박막을 채용한 리튬 2차 전지의 사이클 특성이 보다 우수하기 때문이다.In addition, it is preferable that the uppermost layer of the multilayer thin film is made of silver (Ag) of the negative electrode thin film of the present invention because the cycle characteristics of the lithium secondary battery employing such a negative electrode thin film are more excellent when this condition is satisfied.
본 발명의 음극 박막은, 상기 실리콘(Si)층과 은(Ag)층이 교호적으로 형성되는 것이 바람직하며, 특히 상기 은(Ag)층을 실리콘(Si)층 사이에 형성하는 것이 보다 바람직하다.In the cathode thin film of the present invention, the silicon (Si) layer and the silver (Ag) layer are preferably formed alternately, and more preferably, the silver (Ag) layer is formed between the silicon (Si) layers. .
실리콘은 원래 리튬(Li)에 대해 낮은 전압 구간에서 큰 용량을 나타내어 음극 활물질로서 많은 장점을 가짐에도 불구하고 충방전 과정에서 발생하는 큰 부피 변화에 의한 활물질 퇴화를 제어하지 못하여 음극 활물질로서의 응용이 제한적이었다. 본 발명에서는 이와 같은 실리콘이 갖고 있는 단점 즉, 실리콘의 부피 팽창에 따른 응력을 완화해주면서 리튬 이온과 전자가 이동할 수 있는 매질로서 작용가능한 은(Ag)을 함께 사용하여 음극 활물질층을 형성한 데 그 특징이 있다. 여기서 은은 실리콘과 반응하지 않기 때문에 리튬-실리콘 반응의 용량 및 가역성을 확보하고 향후 박막 전지의 패키징 공정에서 요구되는 가열 조건에서 활물질 구조의 안정성을 확보할 수 있게 한다. 그리고 이러한 음극 활물질층을 채용하고 있는 리튬 2차 전지에 있어서, 충방전 사이클 특성은 음극 활물질로 사용한 실리콘(Si)과 은(Ag)의 각 층의 두께와 배열 순서, 전체적인 음극 활물질층의 두께, 박막 형성시 열처리 조건, 음극 활물질층으로서 은과 실리콘 함유 단일층 형성시 은과 실리콘의 혼합 중량비 등에 의해 각 상들의 미세 구조, 결정성, 크기 및 분포 양상이 제어됨으로써 다양한 값을 얻을 수 있다.Although silicon exhibits a large capacity in the low voltage range with respect to lithium (Li), and has many advantages as a negative electrode active material, silicon cannot be used to control active material degradation due to a large volume change generated during charging and discharging. It was. In the present invention, the negative electrode has a disadvantage, that is, to reduce the stress caused by the volume expansion of the silicon while using a lithium (Ag) acting as a medium that can move the electrons to form a negative electrode active material layer There is a characteristic. Since silver does not react with silicon, it is possible to secure the capacity and reversibility of the lithium-silicon reaction and to secure the stability of the active material structure under heating conditions required in the packaging process of the thin film battery in the future. In the lithium secondary battery employing such a negative electrode active material layer, the charge and discharge cycle characteristics are the thickness and arrangement order of each layer of silicon (Si) and silver (Ag) used as the negative electrode active material, the thickness of the overall negative electrode active material layer, Various values can be obtained by controlling the microstructure, crystallinity, size, and distribution of the respective phases by the heat treatment conditions when forming the thin film and the mixing weight ratio of silver and silicon when forming a single layer containing silver and silicon as the negative electrode active material layer.
이하, 도 2의 a-e를 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 음극 박막을 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a cathode thin film according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to a-e of FIG. 2.
도 2의 a-e에 도시된 바와 같이, 본 발명의 음극 박막은 집전체와 그 상부에 음극 활물질층으로서 실리콘(Si)층과 은(Ag)층이 적층된 다층 박막을 구비함으로써 구성된다. 본 발명의 음극 박막에서, 상기 음극 집전체는 특별히 한정되지는 않으나, 통상 구리 박막을 사용하며, 이때 집전체의 두께는 통상 100~300 nm이다.As shown in a-e of FIG. 2, the negative electrode thin film of the present invention is constituted by providing a current collector and a multilayer thin film in which a silicon (Si) layer and a silver (Ag) layer are stacked as a negative electrode active material layer thereon. In the negative electrode thin film of the present invention, the negative electrode current collector is not particularly limited, but usually a copper thin film, wherein the thickness of the current collector is usually 100 ~ 300 nm.
도 2의 a의 음극 활물질층은 Si층/Ag층/Si층/Ag층/Si층/Ag층/Si/Ag층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 도 2의 b의 활물질층은 Si층/Ag층/Si층/Ag층/Si층/Ag층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 도 2의 c의 음극 활물질층은 Si층/Ag층/Si층/Ag층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 도 2의 d의 음극 활물질층은 Si층/Ag층/Si층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 도 2의 e의 음극활물질층은 Ag층/Si층/Ag층/Si층/Ag층/Si층/Ag층이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다.The negative electrode active material layer of FIG. 2a has a structure in which Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers / Si / Ag layers are sequentially stacked. The active material layer of FIG. 2b has a structure in which Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers are sequentially stacked. The negative electrode active material layer of FIG. 2c has a structure in which Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers are sequentially stacked. The negative electrode active material layer of FIG. 2d has a structure in which Si layers / Ag layers / Si layers are sequentially stacked. The negative electrode active material layer of e of FIG. 2 has a structure in which Ag layers / Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers / Si layers / Ag layers are sequentially stacked.
도 2의 a-e에 도시된 바와 같이, 본 발명의 음극 활물질층은 실리콘(Si)층과 은(Ag)층이 교호적으로 적층된 것이 바람직하며 특히, 실리콘층 사이에 은층을 형성하면 실리콘(Si)의 부피 팽창을 억제하는 효과가 더욱 크기 때문에 효과적이다.As shown in ae of FIG. 2, in the negative electrode active material layer of the present invention, a silicon (Si) layer and a silver (Ag) layer are alternately stacked. Particularly, when a silver layer is formed between the silicon layers, silicon (Si) is formed. It is effective because the effect of inhibiting the volume expansion of) is greater.
실리콘(Si)층의 두께 및 적층수는 음극 활물질의 양과 비례하므로 디바이스의 요구와 캐소드의 용량에 따라 다양하게 변화시킬 수 있으나, 50~250Å 범위인 것이 바람직하다. 만약 실리콘층의 두께가 50Å보다 작은 경우는 요구되는 용량의 설계를 위해 실리콘/은 다층 박막의 층수가 증가하게 되는데 은(Ag)층의 수가 소정 범위 이상으로 증가하면 음극 박막의 과전압(overpotential)이 증가하는 문제가 있고, 실리콘층의 두께가 250Å 보다 큰 경우에는 실리콘의 부피 팽창을 충분히 억제하지 못하는 문제가 있다.Since the thickness of the silicon (Si) layer and the number of stacked layers are proportional to the amount of the negative electrode active material, the thickness of the silicon (Si) layer may vary depending on the requirements of the device and the capacity of the cathode, but is preferably in the range of 50 to 250 kV. If the thickness of the silicon layer is less than 50 kHz, the number of layers of the silicon / silver multilayer thin film increases for the design of the required capacity. When the number of silver (Ag) layers increases more than a predetermined range, the overpotential of the cathode thin film is increased. There is a problem of increasing, and when the thickness of the silicon layer is larger than 250 kHz, there is a problem that the volume expansion of the silicon is not sufficiently suppressed.
또한, 은(Ag)은, 0.08V 이하의 낮은 전압 구간에서 리튬과 반응하여 안정한 은-리튬(Ag-Li) 합금을 형성한다. 그러나 충전 과정에서는 이와 반대로 형성된 Li-Ag 합금이 Li과 Ag으로 분해하는 반응이 느리게 진행되어 반응한 리튬이 다 빠져나오지 못하고 가역성이 저하되어 비가역 용량으로 작용한다. 따라서 이와 같은 역할을 수행할 수 있도록 은을 최소한의 두께로 증착하며, 10~70Å 범위로 형성하는 것이 바람직하다. 만약 은층의 두께가 10Å보다 작은 경우에는 실리콘층의 부피 변화를 억제시키는 효과가 미미하고. 은층의 두께가 70Å보다 큰 경우에는 Li-Ag 합금이 Li과 Ag으로 분해하는 반응속도가 저하되는 문제점이 있다.In addition, silver (Ag) reacts with lithium in a low voltage section of 0.08V or less to form a stable silver-lithium (Ag-Li) alloy. In the charging process, however, the Li-Ag alloy formed on the contrary is slowly decomposed into Li and Ag, so that the reacted lithium does not escape and the reversibility decreases, thus acting as an irreversible capacity. Therefore, it is preferable to deposit silver to a minimum thickness so as to perform such a role, and to form a range of 10 ~ 70Å. If the thickness of the silver layer is less than 10Å, the effect of suppressing the volume change of the silicon layer is negligible. If the thickness of the silver layer is greater than 70 GPa, there is a problem in that the reaction rate at which the Li-Ag alloy decomposes into Li and Ag is lowered.
본 발명의 집전체 상부에 적층되는 실리콘/은 다층 박막은 적층 순서 및 적층 두께에 따라 다양한 성능을 갖는 리튬 2차 전지를 얻을 수 있다. 다층 박막의 최상층이 도 2의 d와 같이 실리콘층인 경우에는 특히 전지 용량이 우수하며, 최상층이 도 2의 a 내지 d 및 e와 같이 은층인 경우에는 사이클 특성이 매우 우수하다. 그리고 다층 박막의 최상층이 은층인 경우에는 전해질과의 계면에서 실리콘의 부피 팽창 및 수축에 의한 크랙킹과 실리콘 활물질의 소실을 억제하는 작용을 하기 때문이다.The silicon / silver multilayer thin film laminated on the current collector of the present invention may obtain a lithium secondary battery having various performances according to the stacking order and the stacking thickness. In the case where the uppermost layer of the multilayer thin film is a silicon layer as shown in d of FIG. 2, the battery capacity is particularly excellent, and in the case where the uppermost layer is a silver layer as shown in FIGS. This is because when the uppermost layer of the multilayer thin film is a silver layer, it acts to suppress cracking and loss of the silicon active material due to volume expansion and contraction of silicon at the interface with the electrolyte.
또한, 본 발명의 음극 박막에서는 음극 활물질층으로서, 도 2의 a-e와 같이 실리콘층과 은층이 적층된 다층 박막을 형성하는 대신 도 2의 f에 도시된 바와 같이 실리콘(Si)과 은(Ag)을 포함하는 단일막을 형성하는 것도 가능하다. 이 때 상기 집전체와 음극 활물질층 사이에는 바나디움(V), 니켈(Ni), 몰리브데늄(Mo), 구리(Cu)로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상으로 된 완충막이 더 형성되는 것도 가능하다.In addition, in the negative electrode thin film of the present invention, instead of forming a multilayer thin film in which a silicon layer and a silver layer are stacked as shown in ae of FIG. 2, silicon (Si) and silver (Ag) as shown in f of FIG. 2. It is also possible to form a single film comprising a. At this time, between the current collector and the negative electrode active material layer, it is also possible to further form a buffer film of at least one selected from the group consisting of vanadium (V), nickel (Ni), molybdenum (Mo), copper (Cu). .
본 발명의 음극 박막에 있어서, 실리콘층과 은층이 적층된 다층 박막 또는실리콘과 은 함유 단일층을 형성하는 방법은 특별히 제한되지는 않는다. 구체적인 제조방법으로는 스퍼터링, 전자선 증착방법, 이온선 보조증착 등을 들 수 있다. 이 때 각 방법의 공정 조건은 특별히 제한되지 않으나, 이들 각각의 방법에 대하여 부연설명하면 다음과 같다.In the negative electrode thin film of the present invention, the method of forming a multilayer thin film in which a silicon layer and a silver layer are laminated or a silicon and silver containing single layer is not particularly limited. Specific manufacturing methods include sputtering, electron beam deposition, ion beam assisted deposition and the like. At this time, the process conditions of each method are not particularly limited, but each of these methods will be described in detail as follows.
상기 스퍼터링 방법에 의하여 증착하면, 각 성분들이 매우 미세하고 균일한 분포를 가지며 기판의 냉각 정도에 따라 비정질 또는 나노 결정 구조의 박막을 얻을 수 있다. 그리고 모자이크 형태의 타겟을 이용한 모자이크 스퍼터링 또는 두 개 이상의 타겟을 사용한 동시 스퍼터링 또는 합금 타겟을 이용한 스퍼터링을 이용하을 이용하면 다원계 박막을 요구하는 조성에 맞춰 동시 증착 방법으로 제조할 수 있다.When deposited by the sputtering method, each component has a very fine and uniform distribution, it is possible to obtain a thin film of amorphous or nanocrystalline structure according to the degree of cooling of the substrate. In addition, by using mosaic sputtering using a mosaic-type target, or simultaneous sputtering using two or more targets, or sputtering using an alloy target, a multi-layered thin film may be manufactured according to a composition required for a simultaneous deposition method.
별도의 스퍼터링 타겟을 동시에 스퍼터링하여 증착하는 경우, 각각의 타겟에 인가되는 고주파 전력을 조절함으로써 다양한 조성의 박막을 얻을 수 있다. 동시 스퍼터링시에는 다른 증착조건(증착 압력, 가스 흐름속도, 가스 비율)은 동일하므로 박막의 조성을 조절하기 위해서는 각각의 타겟에 인가되는 고주파 전력만이 변수가 된다. 통상, 기본 물질(Si)의 증착 전력은 동일하게 유지하고 첨가되는 물질의 증착 전력을 변화시킨다. 예를 들어, 실리콘의 경우는 증착 전력은 100 내지 300W 범위이고, 금속(M)의 경우는 0 내지 100W 범위이다. 그리고 모자이크 타겟 방식일 경우에는 스퍼터링의 공정 조건이 모두 동일하며, 칩의 갯수가 조성 변화의 변수가 된다.In the case of sputtering and depositing separate sputtering targets simultaneously, thin films of various compositions may be obtained by adjusting high frequency power applied to each target. In the case of simultaneous sputtering, different deposition conditions (deposition pressure, gas flow rate, and gas ratio) are the same, so only the high frequency power applied to each target becomes a variable to control the composition of the thin film. Typically, the deposition power of the base material (Si) remains the same and changes the deposition power of the added material. For example, in the case of silicon, the deposition power is in the range of 100 to 300W, and in the case of the metal M, in the range of 0 to 100W. In the case of the mosaic target method, the sputtering process conditions are all the same, and the number of chips is a variable of composition change.
이온선 보조 증착법을 이용하여 증착하면, 가속된 전자빔이 기판에 증착되는원자들과 충돌하면서 원자들의 이동도 및 반응성을 증가시키는 효과로 이온선 조건을 적절하게 조절함으로써 다성분계 비정질 및 결정질의 박막을 제조할 수 있다. 박막의 조성은 각 증발원에 인가되는 전자선의 전자선 전류를 조절하여 변화시킬 수 있으며, 증착된 박막의 결정성 및 미세구조는 Ar 이온의 플럭스와 가속 전압을 변화시킴으로써 조절할 수 있다.Deposition using ion beam assisted deposition, multi-component amorphous and crystalline thin films can be formed by appropriately adjusting ion beam conditions with the effect of increasing the mobility and reactivity of atoms while colliding with the atoms deposited on the substrate. It can manufacture. The composition of the thin film can be changed by adjusting the electron beam current of the electron beam applied to each evaporation source, and the crystallinity and microstructure of the deposited thin film can be controlled by changing the flux and acceleration voltage of Ar ions.
전자선 증착방법은 전자선을 각각 다른 증착 소오스에 동시에 집속, 증발시켜 기판에 동시 증착한다. 이와 동시에 아르곤 이온을 가속시켜 기판에 조사함으로써 증착원자들의 이동도를 증가시키거나 박막의 표면상태를 변화시킬 수 있다. 박막의 조성은 각 증발원에 인가되는 전자빔의 전자 플럭스(전자선 전류)를 조절하여 변화시킬 수 있으며, 가속 전압을 변화시킴으로써 증착된 박막의 결정성 및 미세 구조를 조절할 수 있다.In the electron beam deposition method, electron beams are simultaneously focused and evaporated on different deposition sources and simultaneously deposited on a substrate. At the same time, by accelerating the argon ions to the substrate it is possible to increase the mobility of the deposition atoms or to change the surface state of the thin film. The composition of the thin film can be changed by adjusting the electron flux (electron beam current) of the electron beam applied to each evaporation source, and the crystallinity and microstructure of the deposited thin film can be controlled by changing the acceleration voltage.
본 발명에서는 실리콘과 은 함유 단일층 형성시, 상술한 방법중 특히 실리콘(Si)과 은(Ag)을 동시 스퍼터링(Co-Sputtering)법에 따라 증착하는 방법을 이용한다. 이와 같이 동시 스퍼터링법으로 단일층을 형성할 때는 실리콘 내에 분포되어 있는 은의 분포 양상, 입자 크기, 혼합비 등에 따라 최종적으로 얻어지는 음극 활물질층의 특성이 약간씩 달라지나, 실리콘 사이에 은을 미세한 입자 상태로 그리고 골고루(uniform) 분포되게 끔 제어함으로서 도 2의 a-e에 도시된 바와 같은 상기 실리콘/은의 다층 박막과 같은 효과를 얻을 수 있다. 이 때 실리콘(Si)과 은(Ag)을 포함하는 단일막은 실리콘(Si)과 은(Ag)이 7 : 3 내지 3 : 7의 혼합몰비로 구성되는 것이 바람직하다 . 만약 실리콘에 대한 은의 함량이 상기 범위보다많은 경우에는 리튬과의 반응 활물질인 실리콘 주위에 많은 은이 존재하게 되어 실리콘이 주위의 은에 의해 차폐되는 효과를 나타내어 모든 이용 가능한 실리콘 원자에 리튬이 접근하지 못하게 되어 전극의 용량이 실제 설계한 것보다 매우 낮아지게 된다. 또한, 은의 함량이 상기 범위 미만인 경우에는 실리콘층의 부피 변화를 억제시키는 효과가 미미한 문제점이 있다. 그리고 상기 단일층의 두께는 디바이스의 요구와 캐소드의 용량에 따라 다양하게 변화시킬 수 있으며, 상기의 조성 범위에서 실리콘 사이에 은을 미세한 입자 상태로 골고루(uniform) 분포될수 있다면 적절한 범위에서 두께의 증가가 가능하다.In the present invention, in the formation of a single layer containing silicon and silver, in particular, a method of depositing silicon (Si) and silver (Ag) by the co-sputtering method is used. As described above, when the single layer is formed by the simultaneous sputtering method, the characteristics of the finally obtained negative electrode active material layer vary slightly depending on the distribution pattern, particle size, and mixing ratio of silver distributed in the silicon. And by controlling the uniform distribution (uniform) it can be obtained the same effect as the multilayer thin film of the silicon / silver as shown in ae of FIG. In this case, the single film containing silicon (Si) and silver (Ag) is preferably composed of a mixed molar ratio of silicon (Si) and silver (Ag) of 7: 3 to 3: 7. If the amount of silver in the silicon is more than the above range, a large amount of silver is present around the silicon, which is a reactive active material with lithium, and the effect is that silicon is shielded by the surrounding silver, preventing lithium from accessing all available silicon atoms. As a result, the electrode capacity is much lower than the actual design. In addition, when the content of silver is less than the above range, there is a problem that the effect of suppressing the volume change of the silicon layer is insignificant. In addition, the thickness of the single layer may be varied according to the requirements of the device and the capacity of the cathode, and the thickness may be increased in an appropriate range if the silver may be uniformly distributed in the form of fine particles of silver between the silicon in the above composition range. Is possible.
한편, 본 발명의 음극 박막은, 도 2의 a 내지 f에 도시된 바와 같이 집전체와 음극 활물질층 사이에 완충막을 형성하는 것이 바람직하다. 이 완충막은 바나디움(V), 니켈(Ni), 몰리브데늄(Mo) 및 구리(Cu)로 이루어진 그룹에서 선택된 1종 이상의 금속을 이용하여 형성하며, 음극 활물질층과 집전체간의 응력 완화 및 계면에서의 안정성을 확보하는 역할을 수행한다. 이 때 상기 완충막의 두께는 50 내지 250Å가 바람직하다. 만약 상기 완충막의 두께가 50Å보다 작은 경우는 상술한 바와 같은 집전체와 음극 활물질층간의 응력 완화 등의 완충(buffering) 역할을 충분히 할 수 없고, 완충막의 두께가 250Å 보다 큰 경우는 전기화학적 특성에는 큰 영향이 없으나 전체 음극 박막의 부피 증가만을 가져오므로 바람직하지 못하다.On the other hand, the negative electrode thin film of the present invention, it is preferable to form a buffer film between the current collector and the negative electrode active material layer, as shown in a to f of FIG. The buffer film is formed using at least one metal selected from the group consisting of vanadium (V), nickel (Ni), molybdenum (Mo), and copper (Cu), and stress relaxation and interface between the negative electrode active material layer and the current collector. It plays a role to secure stability in. At this time, the thickness of the buffer film is preferably 50 to 250 kPa. If the thickness of the buffer film is less than 50 GPa, the buffering agent may not sufficiently play a buffering role such as stress relaxation between the current collector and the negative electrode active material layer as described above. There is no significant effect, but it is not preferable because it brings only the volume increase of the entire cathode thin film.
이하, 본 발명을 하기 실시예를 들어 상세하게 설명하기로 하되, 본 발명이 하기 실시예로만 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited only to the following examples.
실시예 1Example 1
구리(Cu) 기판 위에 2인치 직경의 실리콘(Si), 은(Ag) 및 바나디움(V) 타겟을 각각 이용하여 박막의 각 성분을 순차적으로 증착하여 하기 표 1과 같은 6가지 구조의 음극 박막을 제조하였다.A cathode thin film having six structures as shown in Table 1 was deposited by sequentially depositing each component of the thin film using a 2 inch diameter silicon (Si), silver (Ag), and vanadium (V) target on a copper substrate. Prepared.
증착시, 먼저 초기 진공도를 2×10-6torr 이하로 조절한 후 아르곤(Ar) 가스 5 mTorr 및 유량 10sccm 조건하에서 바나디움(V) 박막을 고주파(rf) 전력 50W 조건에서 200Å 두께로 증착한 후 그 상부에 은(Ag) 박막과 실리콘(Si) 박막을 번갈아 증착하였다. 이 때 실리콘 박막은 rf 전력 200W 조건에서 70 ~ 200Å 두께로 증착하며, 은 박막은 직류(dc) 270V 및 30㎃ 조건에서 실리콘 박막 사이에 25 ~ 50Å 두께로 증착하였다.At the time of deposition, the initial vacuum degree was adjusted to 2 × 10 -6 torr or less, and then the vanadium (V) thin film was deposited to 200 Å thickness at a high frequency (rf) power of 50 W under 5 mTorr of argon gas and 10 sccm of flow rate The silver (Ag) thin film and the silicon (Si) thin film were alternately deposited on the top. At this time, the silicon thin film was deposited with a thickness of 70 ~ 200kW under the rf power of 200W, and the silver thin film was deposited with a thickness of 25 ~ 50kW between the silicon thin film under the condition of DC (270V) and 30kW.
상술한 바와 같이 제조된 음극 박막의 전기화학적 특성을 측정하기 위하여 리튬 메탈을 상대 전극 및 기준 전극으로 하고, 전해액으로서 에틸렌 카보네이트(EC)와 디에틸카보네이트(DEC)의 혼합용매중에 녹아있는 1M LiPF6을 사용하여 리튬 2차 전지를 제조하였다.1M LiPF 6 dissolved in a mixed solvent of ethylene carbonate (EC) and diethyl carbonate (DEC) using lithium metal as a counter electrode and a reference electrode to measure the electrochemical characteristics of the anode thin film prepared as described above. Was used to prepare a lithium secondary battery.
비교예 1Comparative Example 1
구리 집전체 상부에 MSA-2에서의 사용된 총 실리콘 양과 동일한 실리콘 함량을 사용하여 순수한 실리콘 박막만을 300Å 두께로 증착하여 음극 박막을 완성하였고, 이 음극 박막을 이용하여 실시예 1과 동일한 방법에 따라 리튬 2차 전지를 제조하였다.Using only the same silicon content as the total amount of silicon used in MSA-2 on top of the copper current collector, only a pure silicon thin film was deposited to a thickness of 300 Å to complete a negative electrode thin film. The negative thin film was used in the same manner as in Example 1 A lithium secondary battery was produced.
상기 실시예 1의 음극 박막(시료명: MSA-2)과 비교예 1의 음극 박막을 채용한 리튬 2차 전지의 사이클 특성을 조사하였고, 그 결과는 도 3에 나타난 바와 같다. 여기서 사이클 특성은 50 ㎂/㎠의 전류 밀도로 리튬에 대해 0.08~1.5V 구간에서 50회 이상 충전과 방전을 실시하는 방법에 따라 평가한다.The cycle characteristics of the lithium secondary battery including the negative electrode thin film (sample name: MSA-2) of Example 1 and the negative electrode thin film of Comparative Example 1 were investigated, and the results are shown in FIG. 3. Here, the cycle characteristics are evaluated according to the method of charging and discharging 50 times or more in a range of 0.08 to 1.5V for lithium at a current density of 50 mA / cm 2.
도 3을 참조하면, 실시예 1의 음극 활물질층은 비교예 1의 실리콘 단일막보다 사이클 특성이 매우 향상됨을 알 수 있었다. 특히 실시예 1의 음극 활물질층은 50 사이클 이후에도 초기 용량의 95% 이상이 유지되었다. 이와 같이 음극 활물질층으로서 실리콘/은 다층 박막을 사용하면 순수한 실리콘 박막으로 된 음극 활물질층을 이용한 경우와 비교하여 실리콘의 부피 팽창과 수축에 따른 활물질의 퇴화가 크게 감소되어 사이클 특성이 크게 향상된다.Referring to FIG. 3, it can be seen that the negative electrode active material layer of Example 1 has much improved cycle characteristics than the silicon single layer of Comparative Example 1. In particular, the negative electrode active material layer of Example 1 maintained more than 95% of the initial capacity even after 50 cycles. As described above, when the silicon / silver multilayer thin film is used as the negative electrode active material layer, the deterioration of the active material due to the volume expansion and contraction of silicon is greatly reduced compared to the case of using the negative electrode active material layer made of pure silicon thin film, thereby greatly improving cycle characteristics.
또한 상기 실시예 1의 MSA-1, MSA-2, MSA-4 구조의 다층 음극 박막을 채용한 리튬 2차 전지의 사이클 특성을 조사하였고, 그 결과는 도 4에 나타난 바와 같다. 여기서 사이클 특성은 50 ㎂/㎠의 전류 밀도로 리튬에 대해 0.08~1.5V 구간에서 정전류 방식으로 100회 이상 충전과 방전을 실시하는 방법에 따라 평가하였다. 도 4에서 보면 실리콘 층의 두께가 얇을수록 충방전 사이클 특성이 우수하였다. 실리콘 층의 두께가 200Å인 MSA-4 구조의 음극 박막에서는 약 50 사이클 이후에 용량 감소가 관찰 되었으나 실리콘 층의 두께가 각각 70Å, 100Å인 MSA-1와 MSA-2 구조에서는 100회 동안의 반복적인 충전과 방전 과정에서도 용량 감소가 거의 일어나지 않았다.In addition, the cycle characteristics of the lithium secondary battery using the multilayer anode thin films of the MSA-1, MSA-2, and MSA-4 structures of Example 1 were investigated, and the results are shown in FIG. 4. Here, the cycle characteristics were evaluated according to the method of charging and discharging 100 times or more by a constant current method in a range of 0.08 to 1.5V for lithium at a current density of 50 mA / cm 2. 4, the thinner the silicon layer, the better the charge / discharge cycle characteristics. Capacity reduction was observed after about 50 cycles in the MSA-4 structured anode thin film with a silicon layer thickness of 200 μs but repeated 100 times in the MSA-1 and MSA-2 structures with 70 μm and 100 μm thickness respectively. Little reduction in capacity occurred during charging and discharging.
한편, 도 3과 도 4를 참조하면, 첫번째 사이클에서의 비가역적인 용량이 관찰되었다.Meanwhile, referring to FIGS. 3 and 4, irreversible capacity in the first cycle was observed.
이러한 비가역 용량의 원인을 파악하기 위하여 상기 실시예1의 다층 박막 음극을 채용한 리튬 2차 전지에 있어서의 첫 번째 사이클에서의 충전 용량, 방전 용량 및 비가역 용량을 도 5a와 b에 나타내었다. 이 때 이 특성들은 50 ㎂/㎠의 전류 밀도로 리튬에 대해 0.08 ~ 1.5V 구간에서 충전과 방전을 행하는 조건하에서 평가하였다.In order to understand the cause of such irreversible capacity, the charge capacity, discharge capacity and irreversible capacity in the first cycle in the lithium secondary battery employing the multilayer thin film negative electrode of Example 1 are shown in FIGS. 5A and B. At this time, these characteristics were evaluated under the conditions of charging and discharging with respect to lithium at a current density of 50 mA / cm 2 in a range of 0.08 to 1.5V.
도 5a-b를 참조하면, 첫번째 사이클에서의 충전 및 방전 용량은 실리콘 활물질의 양에 비례하나 비가역적 용량은 활물질로 사용한 실리콘 및 은의 양과는 무관하게 일정한 값을 나타내었다. 이러한 결과로부터 첫번째 사이클에서의 비가역 용량은 방전 과정중 음극활물질 내부에 삽입된 리튬이 충전 과정에서 탈리되지 못하여 생긴 것이라기보다는 전해액과의 계면에서 발생한 부반응으로 추정되며 활물질 자체의 구조적 손상에 의한 비가역적 용량은 아닌 것으로 보여진다.5A-B, the charge and discharge capacity in the first cycle was proportional to the amount of the silicon active material, but the irreversible capacity showed a constant value regardless of the amount of silicon and silver used as the active material. From these results, the irreversible capacity in the first cycle is estimated to be a side reaction at the interface with the electrolyte rather than the lithium inserted in the negative electrode active material during the discharging process during the discharging process, and irreversible due to the structural damage of the active material itself. It does not seem to be a dose.
상기 실시예1의 은 층의 두께에 따른 사이클 특성을 살펴보기 위하여 MSA-1과 MSA-6 구조의 음극박막을 채용한 리튬 2차전지의 사이클 특성을 조사하였고, 그 결과는 도 6에 나타난 바와 같다. MSA-1과 MSA-6 구조 모두 우수한 사이클 특성을 나타내고 있으나, 특히 은층의 두께가 50Å으로 증가하면서 사이클에 따른 용량 감소가 25Å인 구조에 비해 다소 둔화되었으며, 초기 충전 용량 18㎂h에서 100사이클 후 약 95%의 용량이 유지되었다.In order to examine the cycle characteristics according to the thickness of the silver layer of Example 1, the cycle characteristics of the lithium secondary battery employing the anode thin films of the MSA-1 and MSA-6 structures were investigated, and the results are shown in FIG. 6. same. Both the MSA-1 and MSA-6 structures showed excellent cycle characteristics, but the thickness of the silver layer increased to 50 ms, which was somewhat slower than the structure with 25 cycles of capacity reduction. Approximately 95% of the dose was maintained.
한편, 음극 활물질층의 최상부층이 은층인 경우와 실리콘층인 경우를 비교하기 위하여 실시예의 MSA-4와 MSA-5 구조의 다층 박막을 채용한 리튬 2차전지의 사이클 특성을 비교, 측정하였고, 그 결과는 도 7에 도시된 바와 같다.Meanwhile, in order to compare the case where the uppermost layer of the anode active material layer is the silver layer and the silicon layer, the cycle characteristics of the lithium secondary battery using the multilayer thin films of the MSA-4 and MSA-5 structures of Examples were compared and measured. The result is as shown in FIG.
도 7를 참조하면, 음극 활물질층의 최상부층에 실리콘이 존재하는 경우(MSA-5)가 보다 큰 전지 용량을 나타내었고, 음극 활물질층의 최상부층에 은이 존재하는 경우(MSA-4)는 실리콘이 전해액에 노출된 경우(MSA-5)보다 사이클 특성이 보다 우수하였다.Referring to FIG. 7, when silicon is present in the uppermost layer of the negative electrode active material layer (MSA-5), the battery capacity is greater, and when silver is present in the uppermost layer of the negative electrode active material layer (MSA-4), The cycle characteristics were better than those exposed to this electrolyte (MSA-5).
이는 최상부층이 은층인 경우, 전해질과의 계면에서 실리콘의 부피 팽창 및 수축에 의한 크랙킹(cracking)과 활물질의 소실을 억제하기 때문이다. 이러한 결과로부터 음극 활물질층의 최상부에 은층을 형성하여, 고체 전해질을 채용한 리튬 2차 전지를 제작할 경우, 전극과 전해질 계면간의 화학적 및 기계적 안정성을 크게 향상시킬 것으로 기대된다.This is because when the uppermost layer is a silver layer, cracking and loss of the active material due to volume expansion and contraction of silicon at the interface with the electrolyte are suppressed. From these results, when the silver layer is formed on the top of the negative electrode active material layer to fabricate a lithium secondary battery employing a solid electrolyte, it is expected to greatly improve the chemical and mechanical stability between the electrode and the electrolyte interface.
실시예 2Example 2
음극박막으로 실리콘(Si), 은(Ag) 및 바나디움(V) 타겟을 동시 스퍼터링하여 도 2의 f와 같은 적층 구조를 갖는 실리콘-은 (Si0.6Ag0.4) 단일막을 900Å 두께로 증착한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다. 이 때 단일층 내에서의 실리콘과 은의 함량을 조절하기 위하여 실리콘 타겟에 인가되는 rf 전력은 200W로 고정하고, 은 타겟에 인가되는 직류(dc) 전압을 조절하였다.Except for depositing 900-mm thick silicon-silver (Si 0.6 Ag 0.4 ) single layer having the laminated structure as shown in f of FIG. 2 by sputtering the silicon (Si), silver (Ag) and vanadium (V) targets with the cathode thin film And it carried out similarly to Example 1. At this time, in order to control the content of silicon and silver in a single layer, the rf power applied to the silicon target was fixed at 200W, and the direct current (dc) voltage applied to the silver target was adjusted.
실시예 3Example 3
바나디움(V) 타겟 대신 니켈(Ni) 타겟을 이용한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하여 음극 박막을 제조하였다.A negative electrode thin film was manufactured according to the same method as Example 1 except for using a nickel (Ni) target instead of a vanadium (V) target.
실시예 4Example 4
바나디움(V) 타겟 대신 몰리브데니움(Mo) 타겟을 이용한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.The same procedure as in Example 1 was conducted except that the molybdenum (Mo) target was used instead of the vanadium (V) target.
실시예 5Example 5
바나디움(V) 타겟 대신 구리(Cu) 타겟을 이용한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법에 따라 실시하였다.The same procedure as in Example 1 was conducted except that a copper (Cu) target was used instead of the vanadium (V) target.
상기 실시예 2-5의 음극 박막을 채용한 리튬 2차 전지의 사이클 특성을 조사하였다. 여기서 사이클 특성은 50 ㎂/㎠의 전류 밀도로 리튬에 대해 0.12~1.5V 구간에서 정전류 방식으로 50회 이상 충전과 방전을 실시하는 방법에 따라 평가하였다.The cycle characteristics of the lithium secondary battery employing the negative electrode thin film of Example 2-5 were investigated. Here, the cycle characteristics were evaluated according to a method of charging and discharging 50 times or more by a constant current method in a section of 0.12 to 1.5V for lithium at a current density of 50 mA / cm 2.
평가 결과, 실시예 2-5에 따라 제조된 리튬 2차 전지의 사이클 특성이 우수하다는 것을 알 수 있었다. 특히 도 8은 실시예 2의 경우에 대한 것으로서, 이를 참조해볼 때, 초기 충전 용량 약 32㎂h에서 50 사이클 후 약 90%의 용량이 유지되었다.As a result of the evaluation, it was found that the cycle characteristics of the lithium secondary battery prepared in Example 2-5 were excellent. In particular, FIG. 8 is for the case of Example 2, with reference to this, a capacity of about 90% was maintained after 50 cycles at an initial charge capacity of about 32 mAh.
본 발명의 음극 박막은 충방전 과정에서 발생하는 실리콘의 부피 팽창 및 수축을 억제하여 사이클 특성을 크게 향상시킬 수 있다. 따라서, 이 박막 음극을 채용하면, 전극과 전해질 계면의 화학적 안정성 및 기계적 안정성을 크게 개선되어수명 특성이 향상된 리튬 2차 전지를 제조할 수 있다.The negative electrode thin film of the present invention can greatly improve the cycle characteristics by suppressing the volume expansion and contraction of the silicon generated during the charge and discharge process. Therefore, by employing this thin film negative electrode, it is possible to manufacture a lithium secondary battery with a significant improvement in chemical and mechanical stability between the electrode and the electrolyte interface and improved life characteristics.
본 발명에 대해 상기 실시예를 참고하여 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명에 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the above embodiments, it is merely illustrative, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. .
따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
Claims (10)
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