KR200161812Y1 - 척-케리어 감지센서 - Google Patents

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KR200161812Y1
KR200161812Y1 KR2019940017305U KR19940017305U KR200161812Y1 KR 200161812 Y1 KR200161812 Y1 KR 200161812Y1 KR 2019940017305 U KR2019940017305 U KR 2019940017305U KR 19940017305 U KR19940017305 U KR 19940017305U KR 200161812 Y1 KR200161812 Y1 KR 200161812Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 제조를 위한 습식장비에서 로보트 척을 사용하여 웨이퍼 캐리어를 이동시킬 때 캐리어에 대한 척의 위치를 검출하기위한 척-캐리어 감지센서센서로서, 상기 로보트척바의 하단 설치되고 상기 로보트척이 상기 캐리어를 집는 지의 여부에 따라 연동되어 가스의 누출 여부가 결정되는 끝단에 마개가 장착된 튜브와, 상기 튜브에 가스를 공급하는 가스 공급기와, 상기 튜브에 설치되어 가스의 흐름에 의한 압력의 변화를 감지하여 온 또는 오프 동작하는 압력스위치를 포함한다. 개스는 불활성개스를 사용하면 되고, 마개는 테프론 마개를 사용하면 된다.

Description

척-캐리어 감지센서
제1 및 2도 종래의 척-캐리어 감지센서의 개략도
제3도 본 고안의 척-캐리어 감지센서의 개략도
본 고안은 반도체 제조공정에서 사용되는 습식(WET)장비의 로보트(ROBOT) 척(CHUCK)을 사용하여 웨이퍼 캐리어(CARRIER)의 정확한 위치를 감지하는 척-캐리어 감지센서에 관한 것이다.
종래 습식장비, 즉 웨이퍼를 습식으로 공정처리하기 위한 장비인 습식식각장치나 습식세척장비 등에는 웨이퍼를 액체속에 집어넣고 들어 올려서 이동시키위하여 웨이퍼를 집는 척(CHUCK)을 가진 로보트가 있어서, 웨이퍼를 보관하는 캐리어(CARRIER)를 이 로버트의 척으로 집어서 소정의 작업위치로 이동시키고 있다.
이런 장비에서 로보트의 척이 캐리어를 정확히 집어 이동시키기위하여는 로보트와 캐리어의 상호위치를 정확히 파악할 수 있어야 한다. 그래서 이 척-캐리어 상호위치를 감지하기위하여 종래사용하는 방법은 두 가지가 있는데, 한가지는 제1도에 개략적으로 도시한 바와 같이, 씽크(SINK)(1O)내에 있는 배쓰(11)에 캐리어를 이동시킬 때 발광소자(12)와 수광소자(12')로 된 광센서를 이용하여 로보트(14)가 척(15,15')으로 캐리어를 집어 나르는 것을 검출하는 방법이고, 또 다른 하나의 방법을 로보트(24)의 척(21)에 리미트 스위치(LIMIT SWITCH)(23)와 스위치구동봉(22)를 설치하여 척이 캐리어와 상호 작용하는 것을 구동봉의 움직임을 리미트스위치로서 검출하도록 한 방법이다.
첫째 방법은 배스상단에서 배스(BATH)로 인(IN) 아웃(OUT) 되는 동안 감지하는 방식으로서, 척에 부착된 리미트스위치가 척이 캐리어를 잡으면 구동봉이 캐리어에 밀려서 리미트스위치를 온(ON) 시킴으로 감지 여부를 판단한다.
이 방법은 캐리어의 인/아웃 될때 수초간의 짧은 시간에 감지를 해야되는데, 잘못 감지하는 경우가 빈번하고 또 높은 온도의 탈이온수 등을 사용하는 곳에서는 중기(FUME)에 의한 오감지도 발생되어 신뢰도가 낮다.
다음으로 로보트(24)의 척(21)에 리미트스위치(LIMIT SWITCH)(23)와 스위치구동봉(22)를 설치하여 척이 캐리어와 상호 작용할 때 구동봉의 움직임을 리미트스위치로서 검출하는 방법은 척에 구동봉의 고정을 정기적으로 교정하지 않으면 오감지되는 문제점이 있다.
본 고안은 기존의 척-캐리어 감지 방법의 단점을 해결하여 보다 정확히 척-캐리어의 상호위치를 감지하기 위한 것이다.
본 고안은 반도체 제조를 위한 습식장비에서 로보트 척을 사용하여 웨이퍼 캐리어를 이동시킬 때 캐리어에 대한 척의 위치를 검출하기위한 척-캐리어 감지센서로서, 로보트(30)의 척바(31)의 하단(31')과 나란히 맞추어서 설치된 불활성개스를 흘려주는 파이프(34)와, 파이프의 일측 단부에 설치된 열림과 닫힘이 외력에 의해 자유롭게 되는 마개(35)와, 파이프(34)의 타측 단부에 연결되고, 일정한 압력으로 개스를 공급하는 불활성개스공급기(36)와, 파이프의 일측단부와 타측단부사이의 개스 통로에 설치되고, 압력에 따라 스위치가 온오프되는 압력스위치(37)를 포함하여 이루어진다. 불활성개스는 질소개스를 사용하면 되고, 마개는 테프론 마개를 사용하면 되는데 물론 다른 불활성개스나 다른 재질로된 마개를 사용하여도 된다.
본 고안의 척-캐리어 감지센서는 제3도에 보인 바와 같이, 로보트(30)의 척바(31)에 질소(N2)를 흘려주는 파이프(34)가 연동되게 설치하고, 이 파이프(34)의 일측 단부를 척바의 하단(31')와 맞추고 파이프(34) 끝에 테프론 마개(35)를 설치하며, 파이프(34)의 타측은 질소개스공급기(36)에 연결하고, 이 파이프(34)와 연통되는 질소개스 통로에 압력스위치(37)압력의 세기에 따라 온/오프 되는 스위치(37)를 설치하여 파이프(34)의 끝에 설치된 테프론 마개(35)가 막히면 파이프(34)의 질소개스 압력이 상승하여 스위치(37)가 온되고, 이 마개(35)가 열리면 파이프(34)의 질소개스압력이 낮아져서 스위치(37)가 오프되도록 구성된 것이다.
이 테프론 마개(35)는 척(31)이 캐리어(32)를 집을 때는 이 테프론 마개(35)가 파이프(34) 끝을 막아서 질소개스가 나오지 못하게 하고, 척(34)이 캐리어(32)를 집지 아니할 때는 이 테프론 마개(35)가 파이프 끝을 막지 아니하여서 질소개스가 나오게한다.
그래서 파이프(34)의 끝에 설치된 테프론 마개(35)가 막히면 파이프(34)의 압력이 증가되어 스위치(37)가 온되고, 이 마개(35)가 열리면 파이프(34)의 질소개스 압력이 낮아져서 스위치(37)가 오프된다.
여기서 질소(N2)개스의 압력을 0.2Kg/cm.cm 정도로하여 압력스위치(37)를 작동시키는 것이 좋으며, 질소개스 대신 다른 불활성개스를 사용하여도 된다.
척-캐리어 감지부는 척의 밑단(31')에서 캐리어(32)와 만나며 퍼지(PUARGE)되던 질소(N2)는 캐리어(32)에 의해 퍼지되지 않고 파이프(34)에 압력이 걸리면서 압력 스위치 또는 리미트 스위치(LIMIT SWICH)를 작동시켜 감지한다.
본 고안의 동작을 보면 웨이퍼(33)가 안치된 캐리어(32)를 로보트(30)의 척이 척바(31)을 오무려서 집으면 척바(31)의 끝에 설치된 개스 파이프(34)가 연동되어 단부에 설치된 마개(35)가 입구를 막아서 관내의 압력을 증가시켜서 압력스위치(37)를 온시킨다. 척바(31)가 캐리어(32)를 놓으면 개스 파이프(34)가 연동되어 동작이 반대로되어 압력스위치(37)가 오프된다. 제3a도 및 제3b도는 척-캐리어 감지부를 확대하여 온 오프 동작을 보인 것이다.
본 고안의 효과는 기존 쎈서의 단점을 보완하였으며 기존보다 더욱 나쁜 조건, 즉 고온 캐미칼(CHEMICAL) 또는 고온의 디아이 워터(DIW)를 사용하는 곳에서도 사용이 가능하며 척이 이동중 흔들림에서도 정확한 감지가 가능하다.

Claims (3)

  1. 로보트 척을 이용한 웨이퍼 캐리어의 이동시, 상기 웨이퍼 캐리어에 대한 척의 위치를 감지하는 반도체장치에 있어서, 상기 로보트척바의 하단 설치되고 상기 로보트척이 상기 캐리어를 집는 지의 여부에 따라 연동되어 가스의 누출 여부가 결정되는 끝단에 마개가 장착된 튜브와, 상기 튜브에 가스를 공급하는 가스 공급기와, 상기 튜브에 설치되어 가스의 흐름에 의한 압력의 변화를 감지하여 온 또는 오프 동작하는 압력스위치를 포함하는 척-캐리어 감지센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가스는 불활성개스인 것이 특징인 척-캐리어 감지센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 마개는 테프론 마개인 것이 특징인 척-캐리어 감지센서.
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