KR200148607Y1 - 스핀 드라이어의 정전기 방지장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 세정된 웨이퍼를 고속으로 회전시켜 원심력으로 물기를 제거하는 스핀 드라이어(SPIN DRYER)의 정전기 방지장치에 관한 것으로, 제전 효과를 향상시킴과 아울러 웨이퍼의 오염을 방지하도록 구성한 것인 바, 이러한 본 고안은 스핀 드라이어 본체의 상부에 회동개, 폐 가능하게 결합되어 있는 도어(2)의 공기 필터(7) 하부에 질소 가스 공급 라인(11)을 설치함과 아울러 상기 질소 가스를 이온화시키기 위한 자외선 램프(12)를 설치하여, 자외선 램프(12)에 의해 이온화된 질소 가스의 이온들이 웨이퍼와 접촉함으로서 정전기의 제전이 이루어지도록 구성한 것이다.
Description
제1도는 일반적인 스핀 드라이어의 개략 구조도.
제2도는 종래 정전기 방지장치를 구성하는 아이언아이저 방전 전극의 구조도.
제3도는 본 고안에 의한 정전기 방지장치의 전체구성을 보인 개략도.
제4도는 본 고안의 요부 구성인 질소 이온화 수단의 구조도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 도어 11 : 질소 가스 공급 라인
7 : 공기 필터 12 : 자외선 램프
본 고안은 세정된 웨이퍼를 고속으로 회전시켜 원심력으로 물기를 제거하는 스핀 드라이어(SPIN DRYER)의 정전기 방지장치에 관한 것으로, 특히 제전 효과를 향상시킴과 아울러 웨이퍼의 오염을 방지 하도록 한 스핀 드라이어의 정전기 방지장치에 관한 것이다.
종래 세정된 웨이퍼를 고속으로 회전시키면서 원심력으로 웨이퍼상의 물기를 제거하는 스핀 드라이어 있어서, 고속 회전으로 인해 웨이퍼에 발생하는 정전기를 제거 또는 방지하기 위한 장치로써 이언아이저 방전 전극을 이용한 장치와, 이소프로필 알콜을 이용한 장치가 알려지고 있었다. 제1도는 상기한 아이언아이저 방전 전극을 이용한 정전기 방지장치가 적용된 스핀 드라이어의 구조를 보인 도면으로서, 도면에서 1은 스핀 드라이어 본체를 보인 것이고, 2는 도어를 보인 것으로, 상기 도어(2)는 스핀 드라이어 본체(1)의 상부에 에어 실린더 장치 (3)에 의해 개,폐 가능하도록 설치되어 있다.
그리고, 상기 스핀 드라이어 본체(1)의 내부에는 고속 회전 모터장치(4)가 내장되어 있고, 상기 고속 회전 모터장치(4)의 축(4a)에 는 다수개의 웨이퍼를 수납한 카세트(5)가 장착되는 카세트 홀더(5) 가 결합되어 있다.
또한, 상기 도어(2)에는 흡입되는 공기를 정화시키기 위한 공기 필터(7)가 착설되어 있고, 상기 공기 필터(7)의 하부에는 고속 회전으로 웨이퍼에 발생하는 정전기를 방지 또는 제거하기 위한 아이언 아이저 방전 전극(8)이 설치되어 있다.
도면에서 미설명 부호 9 및 10은 배수구 및 배기구를 각각 보인 것이다.
상기와 같은 일반적인 스핀 드라이어의 동작을 살려보면 다음과 같다.
스핀 드라이어 본체(1)의 카세트 홀더(6)에 장착된 카세트(5)가 고속 회전 모터장치(4)에 의해 고속으로 회전하게 되고, 이와 동시에 도어(2)의 공기 필터(7)를 통해 공기가 흡입되면서 원심력 작용으로 웨이퍼상의 물기를 제거하게 되며, 이때 고속 회전으로 발생되 는 웨이퍼의 정전기는 아이언아이저 방전 전극(8)에 의해 제전 된다.
여기서, 상기 아이언아이저 방전 전극(8)은 상술한 바와 같이, 웨이퍼에 발생하는 정전기를 제거하거나, 또는 방지하기 위한 것으로, 제2도에 그의 구조를 상세하게 나타내었다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 정전기 방지장치는 아이언아이저 방전 전극(8)을 사용함으로써 방전 전극의 선단에 미립자(이물질)가 부착될 수 있고, 이로 인해 고속 회전시 이물이 웨이퍼에 떨어져 웨이퍼 오염을 야기시키는 문제가 있었고, 또 방전에 의하여 미량의 오존(03)이 발생됨으로써 불필요한 산화막이 성장되는등 웨이퍼 의 오염문제가 대두되었다.
상기와 같은 문제를 해소하기 위하여 종래에는 이소프로필 알콜 증기 드라이(Isopropyl Alcohol Vapor Dry) 방법, 즉 건조 챔버내에 이소프로필 알콜을 주입하여 외부에서 200℃이상 가열하여 증기화시키고, 상기 챔버에 웨이퍼를 장입하여 물기와 이소프로필 알콜 증기가 서로 치환되면서 건조됨과 동시에 웨이퍼의 정전기를 제거하는 방법을 체택하고 있으나, 장치의 복잡성으로 이물 발생의 우려가 있고, 생산원가 증가 및 공정시간 증가등의 문제가 따르고 있었다.
이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 질소 가스를 이온화시켜 웨이퍼의 정전기를 제거함으로써 웨이퍼의 오염을 방지함과 아울러 제전효과를 보다 향상시킬 수 있도록 한 스핀 드라이어의 정전기 방지장치를 제공함에 있다.
본 고안의 다른 목적은 원가 절감 및 공정시간 단축을 도모하려는 데 있다.
상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 스핀 드라이어 본체의 상부에 회동개,폐 가능하게 결합되어 있는 도어의 공기 필터 하부에 질소 가스 공급 라인을 설치함과 아울러 상기 질소 가스를 이온화시키기 위한 자외선 램프를 설치하여 구성함을 특징으로 하는 스핀 드라이어의 정전기 방지장치가 제공 된다.
상기와 같이된 본 고안의 장치에 의하면, 종래와 같은 방전 전극을 사용하지 않음으로써 이물 및 오존 발생으로 인한 웨이퍼 오염을 방지할 수 있고, 제전 효과가 뛰어나며, 간단한 구조로 이루어짐으로써 생산 원가 절감 및 공정시간 단축을 기할 수 있다는 등의 효과가 있다.
이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 스핀 드라이어의 정전기 방지장치를 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명 한다.
첨부한 제3도는 본 고안 장치의 전체 구성을 보인 개략도 이고, 제4도는 본 고안의 요부 구성인 질소 이온화 수단의 구조도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 스핀 드라이어의 정전기 방지장치는 스핀 드라이어 본체(도시되지 않음)의 상부에 회동 개,폐 가능하게 결합되어 있는 도어(2)의 공기 필터(7) 하부에 질소 가스 공급 라인(11)을 설치함과 아울러 상기 질소 가스를 이온화시키기 위한 자외선 램프(19)를 설치하여, 자외선 램프(12)에 의해 이온화된 질소 가스의 이온들이 웨이퍼와 접촉함으로써 정전기의 제전이 이루어지도륵 구성한 것을 특징으로 하고 있다. 도면에서 미설명 부호 13은 질소 가스량 조절 밸브를 보인 것 이다.
상기와 같은 본 고안 장치의 정전기 제전 원리를 살펴보면, 질소가스는 자외선 램프(12)를 통과하면서 이온화(N2 +) 되고, 상기 이온들이 웨이퍼와 접촉하여 제전이 이루어지는 바, 웨이퍼 정전기: e-, 질소 이온화: N2→ N2 ++ e-가 되어 웨이퍼의 정전기가 제거되는 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안의 정전기 방지장치에 의하면, 종래와 같은 방전 전극을 사용하지 않음으로써 이물 및 오존 발생으로 인한 웨이퍼 오염을 방지할 수 있고, 제전 효과가 뛰어나며, 간단한 구조로 이루어짐으로써 생산 원가 절감 및 공정시간 단축을 기할 수 있다는 등의 효과가 있다.
Claims (1)
- 스핀 드라이어 본체의 상부에 회동개,폐 가능하게 결합되어 있는 도어(2)의 공기 필터(7) 하부에 질소 가스 공급 라인(11)을 설치함과 아울러 상기 질소 가스를 이온화시키기 위한 자외선 램프(12)를 설치하여 구성함을 특징으로 하는 스핀 드라이어의 정전기 방지 장치.
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| KR2019930027239U KR200148607Y1 (ko) | 1993-12-10 | 1993-12-10 | 스핀 드라이어의 정전기 방지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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