KR20010066533A - Vaporization method and equipment for preparation of stable vapor mixture for coating - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A method for evaporating a coating raw material and a device therefor are provided which improve the evaporation yield of the coating raw materials and control the generation of by-products when using more than two kinds of coating materials and keep the flow of carrying gas and coating raw material of vapor at constant temperature. CONSTITUTION: In the method for evaporating coating raw materials, heat for evaporation of the coating raw materials is previously involved by inserting a supplying line of a coating raw material in piping and simultaneously coating raw material solution are evenly sprayed on the inside of an evaporating chamber. When the coating raw materials are more than two kinds, the coating raw materials are separately injected through more than two separate supplying lines and the supplying quantity of heat to the evaporating chamber is differently controlled. The device comprises: (i) an evaporating chamber(3) which is formed by closing one side of a cylinder(1) with a head(2); (ii) a shaft(5) which has blades(6) by penetrating through the center of the head and is installed on the same axis as that of a motor(4); (iii) an inlet pipe(8), supplying pipes(9)(9')(9") and an outlet pipe(10) which are respectively formed on the cylinder; and (iv) heaters(7)(7')(7") which are installed on the outside of the cylinder.

Description

안정한 코팅용 기화물 생성방법 및 장치{Vaporization method and equipment for preparation of stable vapor mixture for coating}Vaporization method and equipment for preparation of stable vapor mixture for coating

본 발명은 액체 상태의 화합물, 특히 기화점 부근으로 액체 상태의 용액을 가열시 산화 분위기에서 쉽게 분해되는 특징을 갖는 화합물들의 기화를 증진시키는 방법, 구체적으로는 금속화합물의 증기와 같은 코팅원료물질을 고온의 플로트 유리 표면에 분사하여 유리표면에 산화물을 코팅하기 위해 사용되는 액체 상태의 코팅원료물질을 기화시키고 운반 기체와 균일한 혼합물을 형성시키는 방법과 여기에 이용되는 장치에 관한 것이다.The present invention provides a method for enhancing the vaporization of liquid compounds, in particular compounds having a characteristic of being easily decomposed in an oxidizing atmosphere when the liquid solution is heated near the vaporization point, specifically, a coating raw material such as a vapor of a metal compound. The present invention relates to a method for vaporizing a liquid coating raw material used for coating an oxide on a glass surface by spraying a hot float glass surface and forming a homogeneous mixture with a carrier gas and an apparatus used therein.

일반적으로 코팅유리는 플로트(Float) 공정이라는 유리 제조공정상에서 이동하는 유리 표면에 코팅원료물질을 연속적으로 공급하여 코팅막을 형성시킨다. 코팅이 실시되는 지점은 주석조, 레어(Lehr) 또는 주석조와 레어의 중간 영역에서 코팅이 실시될 수 있으며 주석조 내에는 질소와 수소가스를 사용하여 환원 분위기가 유지되며 레어와의 중간 영역 및 레어에서는 산화 분위기가 유지된다.In general, the coating glass continuously forms a coating material on the surface of the glass moving in a glass manufacturing process called a float process to form a coating film. The coating may be performed at tin, rare or intermediate areas between tin and rare. In the tin, a reducing atmosphere is maintained by using nitrogen and hydrogen gas. In oxidizing atmosphere is maintained.

유리 기판상에 공급되는 코팅원료물질의 형태는 고체, 액체, 기체 상태뿐만 아니라 이들 화합물이 운반 기체에 분산된 채 공급될 수 있다. 특히 운반 기체 속에 분산된 코팅 증기의 경우 균일한 두께의 코팅막을 얻기가 쉽다. 따라서 보다 두꺼운 코팅막을 증착하고 코팅막의 품질을 적절히 제어하기 위해서는 고농도의 균일한 운반기체/코팅물의 증기 흐름을 형성시켜 줄 필요가 있다.The form of coating raw material supplied on the glass substrate can be supplied in the solid, liquid, gaseous state as well as dispersed in the carrier gas. In particular, in the case of the coating vapor dispersed in the carrier gas, it is easy to obtain a coating film having a uniform thickness. Therefore, in order to deposit a thicker coating film and to properly control the quality of the coating film, it is necessary to form a vapor stream of a high concentration of uniform carrier gas / coating material.

미국특허 제3,850,679호에서는 운반기체, 금속함유반응물 증기, 용매 증기를 포함하는 기체혼합물을 고온의 유리 표면에 공급하여 금속 산화물을 증착하는 공정을 기술하고 있으며 코팅용액을 기화 시키기 위한 기화기에 대해 언급하고 있다. 용액상태의 코팅원료물질을 용액공급라인과 스프레이 팁(Spray tip)을 사용하여 기화챔버의 상부에 공급하고 동시에 별도의 운반기체 공급라인을 통해 운반기체를 챔버 상부에 공급하고 있다. 공급된 코팅원료물질 용액과 운반기체는 실린더형의 기화기를 상하로 구분하는 핀 엔드 튜브(Fin & Tube) 형의 열교환기를 통과하면서 기화된다. 그러나 이 곳에는 두 가지 이상의 용액을 공급하는 경우의 문제점이나 기화기 효율에 관한 내용은 언급하지 않고 있다.U.S. Patent No. 3,850,679 describes a process for depositing a metal oxide by supplying a gas mixture comprising a carrier gas, a metal-containing reactant vapor, and a solvent vapor to a high temperature glass surface, and mentions a vaporizer for vaporizing a coating solution. have. The coating material in the solution state is supplied to the upper part of the vaporization chamber by using a solution supply line and a spray tip, and at the same time, the carrier gas is supplied to the upper part of the chamber through a separate carrier gas supply line. The supplied coating raw material solution and the carrier gas are vaporized while passing through a fin & tube type heat exchanger which divides the cylindrical vaporizer up and down. However, it does not address the problem of supplying more than one solution or the vaporizer efficiency.

미국특허 제4,924,936호에서는 한 개의 원통형 외곽(Shell) 내부에 여러 개의 증발컬럼(Vaporization column)을 갖는 기화기에 대해 언급하고 있다. 수직으로 평행하게 배열된 컬럼 하부를 통해 예열 된 운반기체를 공급하면서 상부를 통해 용액 상태의 코팅원료물질을 공급하여 용액과 운반기체가 접촉함으로써 코팅원료물질을 기화 시키는 방식이다. 각 컬럼들은 쉘(Shell) 내부에 있고 쉘을 통해 고온의 열매체(Heat medium oil)를 통과시킴으로써 기화에 필요한 열을 공급하고 있다.U.S. Patent No. 4,924,936 mentions a vaporizer having several vaporization columns inside one cylindrical shell. It is a method to vaporize the coating material by contacting the solution with the carrier gas by supplying the preheated carrier gas through the lower column arranged vertically in parallel and supplying the coating material in the solution state through the upper part. Each column is inside a shell and passes the heat medium oil through the shell to provide heat for vaporization.

운반기체와 코팅원료물질이 고온의 컬럼 표면과 장시간 접촉하도록 여러 개의 컬럼을 사용하였지만 컬럼 전체 표면에 골고루 코팅원료물질을 접촉시키기 어렵고 여러 개의 컬럼에 균일한 코팅원료물질 용액을 공급하기 어렵다는 문제가 있다.Although several columns are used for the carrier gas and the coating material to be in contact with the high temperature column surface for a long time, there is a problem that it is difficult to contact the coating material evenly over the entire surface of the column and to supply a uniform coating material solution to the multiple columns. .

미국특허 제5,090,985호에서는 화학증착 방법(Chemical vapor deposition)에 의한 코팅을 위한 증기화합물 제조방법에 관해 기술하고 있는데 원통형의 기화챔버의 상부 인입구를 통해 코팅원료물질 용액을 공급하고 하부 인입구를 통해 운반기체를 주입하여 원통형 내부에는 블레이드(Blade)를 고속회전 시킴으로써 원심력을 이용하여 고온의 표면에 코팅원료물질과 운반기체를 부딪쳐 기화 시키는 수평박막증발기 방식의 기화챔버를 갖고 있다. 기화된 코팅원료물질은 인입구 반대편에 위치한 배출구를 통해 배출되어 유리 표면으로 이송된다. 이러한 방법을 사용하여 기화실험을 실시한 경우, 주입되는 코팅원료물질의 기화열이 큰 경우 코팅원료물질이 공급되는 지점에서 챔버내 내용물의 온도가 급격히 저하되며 두개 이상의 혼합용액을 사용할 경우 두 코팅원료물질 간의 부산물이 생성되는 단점을 갖고 있다.U.S. Patent No. 5,090,985 describes a method for preparing a vapor compound for coating by chemical vapor deposition, which supplies a coating material solution through the upper inlet of a cylindrical vaporization chamber and a carrier gas through the lower inlet. It has a horizontal evaporation chamber of the thin film evaporator type to vaporize the coating raw material and the carrier gas on the surface of high temperature by centrifugal force by rotating the blade at high speed by injecting. The vaporized coating raw material is discharged through the outlet located opposite the inlet and transported to the glass surface. In the case of conducting vaporization experiment using this method, if the heat of vaporization of the coating raw material injected is large, the temperature of the contents in the chamber drops sharply at the point where the coating raw material is supplied, and when two or more mixed solutions are used, It has the disadvantage of producing byproducts.

본 발명은 상기한 문제점들을 개선하는 방법과 그를 실현하기위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and method for realizing the above problems.

본 발명은 박막증발기를 이용하여 코팅에 필요한 고농도의 균일한 운반기체/코팅원료물질 증기 흐름을 형성시 기화율을 높이기 위해 개선된 방법과 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 코팅 용액의 기화 공정은 기화챔버에 액체상태의 코팅 원료물질과 운반 기체를 공급하고 기화챔버 내의 블레이드가 공급된 코팅 물질과 운반기체를 고온의 기화챔버 벽면에 부딪치게 하여 기화시키는 기화 방법으로서 특히 코팅원료물질의 기화율을 높이기 위해 예열된 운반 기체의 공급 라인 내부에 코팅원료물질 공급 라인을 삽입하여 코팅원료물질이 기화에 필요한 열을 예열된 운반 기체로부터 공급 받을 뿐만 아니라 코팅원료물질이 고속으로 유입되는 운반기체에 내부에서 기화챔버로 유입되므로 작은 액적으로 분쇄된 상태로 분사됨으로써 기화 수율을 증진시키는 방법, 두 가지 이상의 물질을 공급하는 경우 두 가지 이상의 화합물들이 서로 반응하여 부산물을 생성시키는 것을 최소화시키기 위한 방법 및 기화기 내부를 이동하는 운반기체/코팅원료물질 또는 운반기체/ 코팅원료물질 증기의 흐름이 일정한 온도를 갖도록 하는 방법 및 여기에 유용한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an improved method and apparatus for increasing the vaporization rate when forming a high concentration of uniform carrier gas / coating raw material vapor stream required for coating using a thin film evaporator. The vaporization process of the coating solution according to the present invention is a vaporization method of supplying a liquid coating raw material and carrier gas to the vaporization chamber and vaporizing the coating material and carrier gas supplied by the blades in the vaporization chamber to the wall of the high temperature vaporization chamber Especially, in order to increase the evaporation rate of the coating raw material, the coating raw material supply line is inserted inside the supply line of the preheated carrier gas, so that the coating raw material is not only supplied with the heat required for vaporization from the preheated carrier gas. Since the gas is introduced into the vaporization chamber from inside the high velocity inlet gas, it is sprayed in the form of small droplets to enhance the vaporization yield. When two or more substances are supplied, two or more compounds react with each other to produce byproducts. To minimize the risk and moving inside the carburetor Relates to a device useful in the method of the flow of the carrier gas / coating source material or the carrier gas / vapor coating source material so as to have a uniform temperature, and here.

도 1은 본 발명에 기화장치의 단면도이고1 is a cross-sectional view of the vaporizer in the present invention

도 2는 도 1의 Z-Z'선 수직 단면도이며2 is a vertical cross-sectional view taken along the line Z-Z 'of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 기화챔버내 위치에 따른 온도분포를 나타낸 그래프이다.3 is a graph showing the temperature distribution according to the position in the vaporization chamber according to the present invention.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

1 : 실린더 2 : 헤드 3 : 기화챔버 4 : 모터DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylinder 2 Head 3 Vaporization chamber 4 Motor

5 : 회전축 6 : 블레이드 7, 7', 7" : 히터5: Rotation axis 6: Blade 7, 7 ', 7 ": Heater

8 : 유입관 9, 9', 9" : 공급관 10 : 유출관8: inlet pipe 9, 9 ', 9 ": supply pipe 10: outlet pipe

본 발명에 따른 장치는, 실린더(1)의 일측이 헤드(2)로 폐쇄되어 내부에 기화챔버(3)가 형성되며, 헤드(2)의 중심을 관통하여 교호로 블레이드(6)를 갖는 회전축(5)이 모터(4)와 동축상에 설치되고, 실린더(1)의 외부에 히터(7)(7')(7")가다단으로 구획 설치되며, 헤드(2)의 일측을 관통하여 운반기체가 공급되는 유입관(8)이 형성되고, 유입관(8)의 중심부에 코팅 원료물질이 공급되는 공급관(9)이 형성되며, 실린더(1)의 일측에 또 다른 코팅 원료물질이 공급되는 공급관(9')(9")이 하나 이상 설치되고, 실린더(1)의 후방에 유출관(10)이 형성되어 구성된다.In the device according to the invention, one side of the cylinder (1) is closed by the head (2) to form a vaporization chamber (3) therein, a rotating shaft having blades 6 alternately through the center of the head (2) (5) is installed coaxially with the motor (4), the heater (7) (7 ') (7 ") is divided into multiple stages on the outside of the cylinder (1), and penetrates one side of the head (2) An inlet pipe 8 through which the carrier gas is supplied is formed, and a supply pipe 9 through which the coating raw material is supplied is formed at the center of the inlet pipe 8, and another coating raw material is supplied to one side of the cylinder 1. One or more supply pipes 9 'and 9 "are provided, and the outflow pipe 10 is formed in the back of the cylinder 1, and is comprised.

본 발명에서 기화 시키려고 하는 코팅원료물질을 원료물질의 기화온도 이상으로 가열할 경우 분해되어 산화물을 형성하는 특성을 가지므로 기화점 이하에서 코팅원료물질을 기화 시켜야 하는데 기화시 많은 양의 열이 필요하게 된다. 따라서 기화챔버(3) 내에 코팅원료물질이 공급되는 초반영역(A)의 경우 도 3에 표현된 것과 같이 운반 기체의 온도를 급격히 저하시키게 되고 이는 결국 코팅원료물질의 기화를 방해하게 된다. 이를 개선하기 위해 코팅원료물질의 공급 라인을 예열된 채로 기화기 내로 공급되는 운반 기체의 공급 라인 내부에 삽입하여 코팅원료물질 용액이 기화에 필요한 열을 미리 공급 받을 뿐만 아니라 코팅원료물질 용액이 고속으로 유입되는 운반기체의 중심부에서 기화챔버(3)로 유입되므로 작은 액적으로 분쇄된 상태로 운반기체에 균질하게 분사됨으로써 기화 효율을 높일 수 있도록 하였다.In the present invention, when the coating raw material to be vaporized is heated above the vaporization temperature of the raw material, the coating raw material is decomposed to form an oxide, so that the coating raw material must be vaporized below the vaporization point. do. Therefore, in the case of the initial region A in which the coating raw material is supplied in the vaporization chamber 3, as shown in FIG. 3, the temperature of the carrier gas is drastically lowered, which in turn hinders the vaporization of the coating raw material. In order to improve this, the coating raw material supply line is pre-heated and inserted into the supply line of the carrier gas supplied into the vaporizer, so that the coating raw material solution is supplied with the heat necessary for vaporization in advance, and the coating raw material solution is introduced at high speed. Since it is introduced into the vaporization chamber (3) from the center of the carrier gas to be uniformly sprayed on the carrier gas in the state of pulverized small droplets to increase the vaporization efficiency.

또한 두가지 이상의 코팅원료물질 사용시, 두 가지 이상의 코팅원료물질을 혼합하여 하나의 주입구로 동시에 투입할 경우, 두 원료물질(액체상태)의 혼합을 위해 용매(알코올류, 아세톤류, 에테르류등)를 사용하게 되는데, 이때 용매에서 제공되는 산소로 인해 기화과정에서 원료물질이 산화되어 분말상의 산화물을 형성하는 문제가 있으며, 뿐만 아니라 사용되는 원료물질중 산소원을 가진원료물질(tetraethoxyorthosilicate등)이 있을 경우 원료물질간의 반응에 의해 산화물이 형성되어 기화율을 떨어뜨리는 것은 물론, 코팅품질을 저하시키는 문제가 있다. 따라서 본 발명에서는 두가지 이상의 코팅원료물질을 기화시킬 경우 다른 공급관(9)(9')(9")을 통해 순차적으로 기화 챔버 내로 공급함으로써 , 용매가 필요치 않고, 용매의 사용에 의한 코팅원료물질의 산화에 의한 불순물 생성의 문제가 없으며, 사용되는 코팅원료물질중 산소원을 가진 물질이 있는 경우에도 먼저 유입된 원료물질이 기화된 상태에서 다른 원료물질과 접촉되므로 두 물질간의 반응이 크게 저하되어 산화에 의한 불순물 형성을 억제함으로써 기화효율 높임은 물론 두껍고 깨끗한 코팅막의 제조가 가능한 장점이 있다.In addition, when two or more coating raw materials are used, when two or more coating raw materials are mixed and introduced into one inlet at the same time, a solvent (alcohol, acetone, ether, etc.) may be added to mix two raw materials (liquid state). In this case, there is a problem that the raw material is oxidized in the process of vaporization due to the oxygen provided in the solvent, thereby forming a powdery oxide. In addition, when there is a raw material having an oxygen source (tetraethoxyorthosilicate, etc.) among the used raw materials, Oxides are formed by the reaction between the raw materials, thereby lowering the vaporization rate and degrading the coating quality. Therefore, in the present invention, when two or more coating raw materials are vaporized, they are sequentially supplied into the vaporization chamber through different feed pipes 9, 9 ', 9 ", so that no solvent is required, There is no problem of the generation of impurities by oxidation, and even if there is an oxygen source among the coating raw materials used, the reaction between the two materials is greatly reduced because the first raw materials are first contacted with other raw materials in the vaporized state. By suppressing the formation of impurities by the increase in the evaporation efficiency, there is an advantage that can be manufactured thick and clean coating film.

기화챔버(3)는 크게 두개의 영역으로 분리할 수 있다. 코팅원료물질이 공급되어 기화기 일어나는 전반부와 기화가 일어난 코팅원료물질 증기가 운반기체와 혼합되어 기화챔버(3)로부터 배출되기 전까지의 후반부로 분리할 수 있다. 아직 기화가 일어나지 않은 물질이 존재하는 전반부의 경우는 이 물질의 기화를 위해 많은 열량이 필요하게 되며 기화에 필요한 열을 운반기체나 기화챔버(3)의 벽면으로부터 공급 받게 되는데 그 결과 전반부의 내용물 온도가 급격히 저하되어 기화율이 저하되는 현상이 나타난다. 반면에 후반부의 경우 기화가 모두 일어난 상태로 코팅원료물질 증기와 운반기체로 구성된 내용물을 갖게 된다. 여기서는 주로 이들의 균질한 혼합이 이루어지므로 그렇게 많은 열량이 필요하지는 않는다. 따라서 본 발명에서는 코팅챔버(3)를 여러 개의 영역(A)(B)(C)으로 구분하고 각각의 영역을 가열하는 열량을 각 영역의 내용물의 온도로부터 제어하게 하여 코팅챔버(3)의 코팅원료물질공급관(9)이 있는 전반영역(A)에서 생성된 기체 혼합물이, 유출관(10)이 있는 후반영역(C)까지 전체 기화챔버(3)가 코팅원료물질의 기화온도 이하의 일정한 온도를 가질 수 있도록 함으로써 기화율을 높이는 장점이 있는 것이다. 이 때 가열방법으로는 오일스팀 재킷에 의한 방법, 전기저항 발열체에 의한 방법 등 여러 가지 방법이 있지만 이밖에도 다양한 방법에 의해 기화기 표면이 가열될 수 있다.The vaporization chamber 3 can be largely divided into two regions. The coating raw material may be separated into the first half of the vaporization stage and the second half of the vaporization of the coating raw material vapor before the vaporization is mixed with the carrier gas and discharged from the vaporization chamber 3. In the case of the first half where there is no vaporization yet, a large amount of heat is required for the vaporization of this substance, and the heat required for vaporization is supplied from the carrier gas or the wall of the vaporization chamber (3). Decreases rapidly and the vaporization rate decreases. On the other hand, in the latter part, all of the vaporization takes place and the contents consist of the coating material vapor and the carrier gas. The homogeneous mixing of these is mainly done here, so not so much calories are necessary. Therefore, in the present invention, the coating chamber 3 is divided into a plurality of regions A, B, and C, and the amount of heat for heating each region is controlled from the temperature of the contents of each region to coat the coating chamber 3. The gas mixture produced in the first half region (A) with the raw material supply pipe (9), the entire vaporization chamber (3) up to the second half region (C) with the outlet pipe (10) is a constant temperature below the vaporization temperature of the coating raw material By having a has the advantage of increasing the vaporization rate. In this case, there are various methods such as a method using an oil steam jacket or a method of an electric resistance heating element, but the surface of the vaporizer may be heated by various methods.

유리 기판상의 코팅은 일반적으로 기상화학증착법이라 불리는 공정에 의해 실시되며 플로트공정이라 불리는 유리 제조 공정상에서 직접 실시될 수 있다. 형성된 기체 흐름이 연속적으로 이동하는 고온의 유리 표면에 연속적으로 공급될 경우 일정한 두께의 코팅막을 유리 제조공정에서 직접 생산할 수 있게 되는 것이다. 따라서 기화챔버로부터 생산된 코팅원료물질 증기/운반기체 혼합물은 기화챔버로부터 배출된 후 유리 표면에 분사되어 산화물 코팅막을 형성하게 된다. 그러나 본 발명이 금속이나 비산화물 코팅막을 증착하는데도 사용될 수 있으며 유리 이외의 다른 재질의 기판상에도 본 발명이 언급하는 장치를 사용하여 코팅 될 수 있다.Coating on the glass substrate is generally carried out by a process called vapor phase chemical vapor deposition and can be carried out directly on a glass manufacturing process called a float process. When the formed gas flow is continuously supplied to the continuously moving hot glass surface, a coating film having a constant thickness may be directly produced in the glass manufacturing process. Therefore, the coating material vapor / carrier gas mixture produced from the vaporization chamber is discharged from the vaporization chamber and then sprayed onto the glass surface to form an oxide coating film. However, the present invention can also be used to deposit metal or non-oxide coatings and can be coated onto substrates of materials other than glass using the apparatus of the present invention.

본 발명을 실행함에 있어서 코팅원료물질로는 규소화합물 또는 주석화합물등In the practice of the present invention, the coating raw material is a silicon compound or a tin compound.

과 같은 금속화합물이 사용될 수 있다. 규소화합물로서는 테트라에틸올토실리케이트(tetraethylortho silicate), 디아세톡시디-부톡시실란(diacetoxydi-t- butoxysilane), 에틸트리아세톡시실란(ethyltriacetoxysilane), 메틸트리아세톡시실란(methyltriacetoxysilane), 메틸디아세톡시실란(methyldiacetoxysilane), 테트라메틸디실록산(tetramethyldisiloxane), 테트라메틸사이클로테트라실록산(tetramethylcyclotetrasiloxane), 디피나콜옥시실란(dipinacoloxysilane) 및 미합중국 특허 제 3,378,396호, 제4,187,336호, 제 4,308,316호, 제 4,377,613호, 제 4,419,386호, 제 4,206,252호, 제 4,440,822호, 제 4, 386,117호에 개시된 규소화합물이 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 이들 화합물은 증착속도를 증가시키기 위해 트리에틸포스파이트(triethylphospite), 트리에틸포스페이트(triethylphosphate)등의 화합물을 포함할 수 있다.Metal compounds such as may be used. As the silicon compound, tetraethylortho silicate, diacetoxydi-t-butoxysilane, ethyltriacetoxysilane, methyltriacetoxysilane, methyldiacetoxysilane (methyldiacetoxysilane), tetramethyldisiloxane, tetramethylcyclotetrasiloxane, dipinacoloxysilane and U.S. Pat. , 4,206,252, 4,440,822, 4,386,117, but are not limited to the silicon compounds disclosed. These compounds may also include compounds such as triethylphospite, triethylphosphate, etc. to increase the deposition rate.

또한 본 발명에 사용가능한 주석화합물로는 모노부틸틴트리클로라이드(monobutyltin trichloride), 디메틸틴디클로라이드(dimethyltin dichloride), 디에틸틴디클로라이드(dietyltin dichloride), 디부틸틴디아세테이트(dibutyltin diacetate), 테트라메틸틴(tetramethyltin), 메틸틴트리클로라이드(methyltin trichloride), 트리에틸틴클로라이드(triethyltin chloride), 트리메틸틴클로라이드(trimethyltin chloride), 테트라부틸틴티타네이트(tetrabutyl titanate), 사염화티탄(titanum tetrachloride)등이 있으나 여기에만 한정되는 것은 아니며, 상기의 규소화합물 또는 주석화합물 이외에도 티타늄테트라이소프로프옥사이드(titanum tetraisopropoxide), 트리에틸알미늄(triethyl aluminum), 알미늄아세틸아세토네이트(aluminum acetylacetonate), 알미늄에틸레이트(aluminum ethylate), 진크아세틸아세토네이트(zinc acetyl acetonate), 진크프로피오네이트(zinc propionate)등도 사용 가능하다. 또한 주석화합물을 코팅원료물질로 사용할 경우는 코팅막의 품질 향상 및 증착속도 향상을 위해 삼불화초산(trifluoroacetic acid),무수삼불화초산(trifluoroacetic anhydride), 에틸트리플루오로아세토아세테이트(ethyl trifluoroacetoacetate), 트리플루오로에탄올(trifluoroethanol), 에틸트리플루오로아세테이트(ethyl trifluoroacetate), 펜타플루오로프로피온산(pentafluoropropionic acid), 2-클로로-1,1,2-트리플루오로에틸메틸에텔(2-chloro-1,1,2-trifluoroethyl methyl ether), 1,1,1-트리플루오로아세틸아세톤(1,1,1-trifluoroacetylacetone) 중 한개이상의 화합물 및 증류수 등을 포함할 수 있지만 반드시 이들로만 한정되는 것은 아니다.In addition, the tin compound usable in the present invention is monobutyltin trichloride, dimethyltin dichloride, diethyltin dichloride, dibutyltin diacetate, tetramethyltin ( tetramethyltin, methyltin trichloride, triethyltin chloride, trimethyltin chloride, tetrabutyl titanate, titanium tetrachloride, etc. In addition to the above-described silicon compound or tin compound, but not limited to titanium tetraisopropoxide, triethyl aluminum, aluminum acetylacetonate, aluminum ethylate, zinc acetyl Acetonate (zinc acetyl acetonate), zinpro Also onate (zinc propionate) are available. In addition, when tin compound is used as a coating material, trifluoroacetic acid, trifluoroacetic anhydride, ethyl trifluoroacetoacetate, and tree are used to improve the quality of the coating film and the deposition rate. Trifluoroethanol, ethyl trifluoroacetate, pentafluoropropionic acid, 2-chloro-1,1,2-trifluoroethylmethylether (2-chloro-1,1 , 2-trifluoroethyl methyl ether), 1,1,1-trifluoroacetylacetone (1,1,1-trifluoroacetylacetone) may include one or more compounds and distilled water and the like, but is not limited thereto.

본 발명을 실시함에 있어서 적합한 코팅원료물질은 기화점이하에서 상당한 수준의 증기압을 갖아 운반기체 내에 코팅막을 형성할 수 있을 정도로 함유될 수 있는 화합물이다. 코팅원료물질은 액체뿐만 아니라 고체일 수 있는데 고체의 경우는 융점이상으로 코팅원료물질을 가열함으로써 액체상태로 쉽게 전환할 수 있다.Suitable coating raw materials in the practice of the present invention are compounds which may contain a sufficient level of vapor pressure below the vaporization point to form a coating film in the carrier gas. The coating material may be a solid as well as a liquid. In the case of a solid, the coating material may be easily converted into a liquid state by heating the coating material above the melting point.

기화챔버(3) 내에서 액체상태의 코팅원료물질은 그 물질의 융점이상 기화점 이하로 가열되며 기화챔버(3)에 공급되는 코팅원료물질 및 운반기체를 균일하게 혼합하고 코팅원료물질의 기화를 촉진하기위해 블레이드(6)를 사용하여 이를 고속으로 회전시키기 위해 모터(4) 등 다양한 방법들이 동원될 수 있다. 회전하는 블레이드(6)의 원심력에 의해 코팅원료물질은 운반기체와 더불어 기화챔버(3) 표면에 분배되고 공급된 운반 기체의 압력에 의해 유출관(10) 방향으로 이송되면서 난류가 형성되고 기화챔버(3) 표면에 위치한 히터(7)(7')(7")로부터 기화에 필요한 열을 공급 받아 완전히 기화되고 운반기체와 균일한 혼합물을 형성하게 된다. 운반기체로 적합한 기체로는 공기, 산소, 헬륨, 질소, 수소, 아르곤 또는 이들의 혼합물 등이 있지만 이들로서만 한정되는 것은 아니다.The coating material in the liquid state in the vaporization chamber 3 is heated below the melting point above the melting point of the material, and uniformly mixes the coating material and the carrier gas supplied to the vaporization chamber 3 and vaporizes the coating material. Various methods, such as the motor 4, can be mobilized to rotate it at high speed using the blade 6 to facilitate it. Due to the centrifugal force of the rotating blade 6, the coating raw material is distributed to the surface of the vaporization chamber 3 together with the carrier gas, and is conveyed toward the outlet pipe 10 by the pressure of the supplied carrier gas to form turbulent flow and vaporization chamber. (3) The heaters 7, 7 ', and 7 "located on the surface are supplied with heat required for vaporization to completely vaporize and form a homogeneous mixture with the carrier gas. , Helium, nitrogen, hydrogen, argon or mixtures thereof, and the like, but are not limited thereto.

본 발명은 고농도의 균일한 코팅원료물질 증기/운반기체 혼합물을 제조하기위한 개선된 기화방법을 제공한다. 이는 제조될 코팅막의 두께를 정밀하게 조절하고 코팅 챔버에 도달하기 전에 분해되는 출발 물질의 양을 최소화하여 지금까지의 방법들에 의해 얻어진 것보다 두껍고 깨끗한 코팅막의 제조가 가능하게 한다. 이 방법에 의해 제조된 기체 혼합물을 기화에 의해 발생한 압력과 공급된 운반 기체의 압력에 의해 출구를 거쳐 코팅 챔버에 연속적으로 공급될 수 있다.The present invention provides an improved vaporization method for producing a high concentration of uniform coating raw material vapor / carrier gas mixture. This precisely controls the thickness of the coating film to be produced and minimizes the amount of starting material to be decomposed before reaching the coating chamber, thereby making it possible to produce a thicker and cleaner coating film than that obtained by the methods up to now. The gas mixture prepared by this method can be continuously supplied to the coating chamber via the outlet by the pressure generated by vaporization and the pressure of the supplied carrier gas.

본 발명을 따라 3~5 bar의 압력과 50~500 slpm(Standard liter per minute)의 유량으로 운반기체를 공급하고 운반기체는 기화챔버의 온도보다 낮은 온도로 미리 예열된 채 코팅 챔버에 공급된다. 코팅원료물질도 운반기체 공급라인 내에 삽입되어 있으므로 기화 챔버에 도달하기 전 운반기체로부터 기화에 필요한 열량을 공급 받은 상태로 기화챔버 내로 분사된다. 기화챔버 내의 내용물은 160~190℃ 범위에서 일정한 온도로 유지된다. 액체 코팅물질은 0.5~120㎖/min의 유량으로 기화챔버 내로 공급될 수 있다.According to the present invention, the carrier gas is supplied at a pressure of 3 to 5 bar and a flow rate of 50 to 500 slpm (Standard liter per minute), and the carrier gas is supplied to the coating chamber preheated to a temperature lower than the temperature of the vaporization chamber. Since the coating raw material is also inserted into the carrier gas supply line, the coating material is injected into the vaporization chamber while receiving the amount of heat required for vaporization from the carrier gas before reaching the vaporization chamber. The contents in the vaporization chamber are maintained at a constant temperature in the range of 160-190 ° C. The liquid coating material may be supplied into the vaporization chamber at a flow rate of 0.5-120 ml / min.

필요한 기화량은 코팅막의 두께와 증착속도에 의해 결정되는데 산화주석 코팅막을 증착하기 위해 적합한 모노부틸틴트리클로라이드(Monobutyltin trichloride:이하 MBTC라 한다)와 3~5bar의 압력 50~500slpm의 공기를 운반기체로 사용하고 기화챔버의 온도를 180℃로 일정하게 유지시킬 수 있다. 출구에서 500slpm의 공기 속에 포함된 MBTC의 양은 0.1~12%까지 가능하다. 이를 통해 최대 3.2㎛/s의 증착속도로 산화주석 코팅막을 유리표면에 코팅할 수 있었다.The amount of evaporation required is determined by the thickness of the coating and the deposition rate. Monobutyltin trichloride (hereinafter referred to as MBTC) suitable for depositing a tin oxide coating film and a carrier gas of 50 to 500 slm pressure of 3 to 5 bar are required. The temperature of the vaporization chamber can be kept constant at 180 ° C. At the outlet, the amount of MBTC contained in 500slpm of air can be 0.1-12%. Through this, it was possible to coat the tin oxide coating film on the glass surface at a deposition rate of up to 3.2㎛ / s.

대부분의 코팅원료물질은 기화될 때 산화분위기에서 인화성을 갖는다. 따라서 인화성은 갖지 않는 농도로 운반기체 속에 포함시켜야 하는데 온도에 따라서 12% 이상 함유시 공급된 유리 표면상에 코팅물 증기가 발화되는 것을 발견할 수 있다.Most coating materials are flammable in an oxidizing atmosphere when vaporized. Therefore, it can be found that the coating vapor is ignited on the supplied glass surface when it is contained in a carrier gas at a concentration having no flammability, and it contains 12% or more depending on the temperature.

실시예 1Example 1

코팅원료물질 용액의 공급라인을 운반기체 공급라인에 삽입하였을 때의 효과를 파악하기 위해 도 1에 도시된 기화장치의 기화기에 운반기체 유입관(8)을 통해 1000ℓ/min의 유량으로 공기를 공급하고 코팅원료물질 용액을 운반기체 유입관(8) 내에 삽입한 경우와 별도의 라인을 통해 코팅원료물질을 공급하는 실험을 실시하였다. 코팅원료물질 용액 공급관(9)을 통해 디메틸틴클로라이드(dimethyltin dichloride)를 공급하여 기화 후의 증기화합물내 디메틸틴클로라이드 증기의 농도가 6mole%가 되도록 공급하였으며 실린더(1) 표면의 히터 (7)(7')(7")는 내용물의 온도가 190℃가 되도록 유지하였다.In order to understand the effect of inserting the supply line of the coating material material solution into the carrier gas supply line, air is supplied at a flow rate of 1000 l / min through the carrier gas inlet pipe 8 to the vaporizer of the vaporization apparatus shown in FIG. And the coating raw material solution was inserted into the carrier gas inlet pipe (8) and the experiment was performed to supply the coating raw material through a separate line. Dimethyltin chloride was supplied through the coating raw material solution supply pipe (9) to supply a concentration of dimethyltin chloride vapor in the vaporized vapor compound to 6mole%. Heater (7) on the surface of the cylinder (1) ') (7 ") was maintained so that the temperature of the contents was 190 ° C.

1시간동안 기화기를 운전한 후 기화기내 잔류물을 수거하여 잔류물 양을 측정한 결과 운반기체 유입관(8)과 코팅원료물질 용액 공급관(9)을 별도로 한 경우 공급한 코팅원료물질에 대해 약 6%의 반응 잔류물이 남았으나 용액공급관(9)을 운반기체 유입관(8)내에 삽입한 경우 현저히 기화율이 높아져 잔류물의 양이 0.01% 이하 수준으로 낮아 졌는데 이는 운반기체가 용액공급관(9)을 통해 나오는 코팅원료물질을 분사시킴으로써 액적을 줄여 기화를 촉진하기 때문이다.After operating the carburetor for 1 hour and collecting the residue in the carburetor and measuring the residue amount, when the carrier gas inlet pipe (8) and the coating material solution supply pipe (9) were separated, Although 6% of the reaction residue remained, when the solution feed tube 9 was inserted into the carrier gas inlet tube 8, the vaporization rate was significantly increased, and the amount of residue was lowered to 0.01% or less. This is because by spraying the coating raw material coming out through the) to reduce the droplets to promote vaporization.

실시예 2Example 2

두 가지 이상의 용액 공급시 기화도를 측정하기 위한 실험을 실시하였다. 도 1에 도시한 기화장치의 운반기체 유입관(8)을 통해 유리 코팅을 실시할 유리 폭방향 1m 당 1000ℓ/min의 유량을 공급하고 코팅원료물질 공급관(9)을 통해 MBTC와 테트라에톡시실리케이트(tetraethoxyorthosilicate)를 혼합한 용액을 공급하는 경우와 두 코팅원료물질을 혼합하지 않고 MBTC를 코팅원료물질 공급관(6)을 통해, 테트라에톡시올토실리케이트(tetraethoxyorthosilicate:이하 TEOS라 한다)를 별도의 코팅원료물질 공급관(9')을 통해 공급하는 경우 두 가지 종류의 실험을 실시하였다.Experiments were conducted to determine the degree of vaporization upon feeding two or more solutions. MBTC and tetraethoxysilicate are supplied through the carrier gas inlet pipe 8 of the vaporization apparatus shown in FIG. (tetraethoxyorthosilicate, hereinafter referred to as TEOS) is supplied through the feedstock material supply tube (6) without supplying a solution containing tetraethoxyorthosilicate and without mixing the two coating materials. In the case of feeding through the material supply pipe 9 ', two types of experiments were performed.

기화기내 잔류물을 수거하여 분석한 결과 두가지 용액을 혼합하여 한 개의 코팅원료물질 공급관(9)을 통해 공급한 경우는 공급한 코팅원료물질에 대해 약 5% 정도의 노란색 잔류물이 기화기 내에 남았고 성분분석결과 55.1%의 SiO2와 44.9%의 SnO2로 구성되어 있었다. 한편 두 가지 용액을 별도의 공급관(9)(9')을 통해 각각 공급한 경우는 잔류물의 양이 0.01% 이하로 두 가지 용액을 혼합하지 않고 별도의 라인을 통해 공급함으로써 두 가지 화합물의 반응에 의한 잔류물 생성을 줄여 기화도를 높일 수 있었다.As a result of collecting and analyzing the residues in the vaporizer, when the two solutions were mixed and supplied through one coating raw material supply pipe (9), about 5% of yellow residues remained in the vaporizer. The analysis showed 55.1% SiO2 and 44.9% SnO2. On the other hand, when two solutions are supplied through separate supply pipes (9) and (9 '), the amount of residue is 0.01% or less, and the two solutions are supplied through separate lines without mixing the two solutions. The degree of vaporization could be increased by reducing the production of residues.

실시예 3Example 3

실린더내 온도가 기화에 미치는 영향을 파악하기 위해 실린더(1) 벽면을 한 개의 히터로 가열하는 경우와 실린더(1) 벽면을 3개의 영역(A)(B)(C)으로 분리한 후 각 영역(A)(B)(C)을 서로 다른 히터(7)(7')(7")에 의해 가열하는 경우 기화도를측정하기 위해 각 영역(A)(B)(C)의 내용물 온도를 측정하는 실험을 실시하였다. 운반기체 유입관(8)을 통해 1000ℓ/min의 속도로 공기를 공급하면서 운반기체 유입관(8)내의 코팅원료물질 공급관(9)을 통해 MBTC를 공급하여 생성된 증기화합물내 MBTC 농도가 6몰 %가 되도록 하였다.In order to understand the effect of the temperature inside the cylinder on the vaporization, the cylinder (1) wall surface is heated by one heater and the cylinder (1) wall surface is divided into three zones (A) (B) (C) and then each zone. (A) (B) (C) When heated by different heaters (7) (7 ') (7 "), the contents temperature of each area (A) (B) (C) is measured to measure the degree of vaporization. The experiment was carried out to measure the vapor generated by supplying MBTC through the feedstock material supply pipe 9 in the carrier gas inlet pipe 8 while supplying air at a rate of 1000 l / min through the carrier gas inlet pipe 8. The MBTC concentration in the compound was adjusted to 6 mol%.

한 개의 히터를 설치하고 출구쪽 영역(C)의 온도를 측정하여 히터를 제어한 결과 도 3에 나타난 바와같이 후반부 영역(C)의 온도는 180℃를 유지하였으나 전반부 영역(A)은 150℃, 중간영역(B)은 170℃로 나타났다. 이는 영역(A)에 코팅원료물질이 공급되면서 코팅원료물질의 기화에 필요한 기화열에 의해 영역(A)내 내용물의 온도를 떨어뜨리고 결국 기화도를 저하시키는 것으로 나타났으며 약 3% 정도의 잔류물이 기화기 내부에 남았다. 한편 A, B, C 세 지점에 서로 다른 히터를 설치하고 A, B, C 세 지점의 내용물 온도로부터 히터가 제어된 경우는 A, B, C 세 영역 모두 동일하게 180℃의 온도를 유지 시킬 수 있었고 이로인해 잔류물이 남지않게 전량 기화시킬 수 있었다.As a result of controlling the heater by installing one heater and measuring the temperature of the outlet area C, as shown in FIG. 3, the temperature of the second half area C was maintained at 180 ° C., but the first half area A was 150 ° C., The middle region B was found to be 170 ° C. It was found that as the coating raw material was supplied to the zone A, the temperature of the contents in the zone A was decreased by the heat of vaporization necessary for vaporization of the coating raw material, and thus the degree of vaporization was lowered. Remained inside this carburetor. On the other hand, if different heaters are installed at three points A, B, and C, and the heater is controlled from the contents temperature of three points A, B, and C, all three areas A, B, and C can maintain the same temperature. This allowed it to evaporate entirely without leaving any residue.

실시예 4Example 4

제 1도에 설명한 바와같은 기화기의 운반기체 주입구 7을 통해 코팅할 유리 폭 1m 당 1000ℓ/min의 유량으로 공기를 공급하고 동시에 코팅원료물질 주입구 6을 통해 MBTC를 공급하여 기화기 배출구 8을 통해 6몰 %의 MBTC를 포함하는 증기화합물을 배출하고 이를 다시 본 특허에는 언급되지 않았지만 이동하는 유리의 폭방향에대해 균일하게 증기를 분배하는 장치를 통해 플로트 라인을 통해 8m/min의 속도로 이동중인 유리 표면에 기화기를 통해 생성된 증기화합물을 분사하였다.6 mol through the carburetor outlet 8 by supplying air at a flow rate of 1000 l / min per 1 m of glass width to be coated through the carrier gas inlet 7 of the carburetor as described in FIG. A glass surface moving at a rate of 8 m / min through a float line through a device that emits a vapor compound containing% MBTC and which is not mentioned again in this patent but which distributes steam evenly in the width direction of the moving glass. The vaporized vapor compound was injected into the vaporizer.

이를 통해 두께 350nm 두께의 SnO2 코팅막을 유리 표면에 증착할 수 있었으며 코팅영역을 지날 때 유리 표면의 온도는 680℃, 기화기로부터 배출되는 증기화합물의 온도는 180℃였다.As a result, a 350 nm thick SnO 2 coating film was deposited on the glass surface. When passing through the coating area, the temperature of the glass surface was 680 ° C., and the temperature of the vapor compound discharged from the vaporizer was 180 ° C.

실시예 5Example 5

도 1에 설명한 바와같은 기화기의 운반기체 유입관(8)을 통해 코팅할 유리 폭 1m 당 1000ℓ/min의 유량으로 공기를 공급하고 동시에 코팅원료물질 공급관(9)을 통해 MBTC를 공급하고 동시에 코팅원료물질 공급관(9')을 통해 또 다른 코팅원료물질인 TEOS를 주입하여 MBTC와 TEOS의 농도가 각각 1몰%인 증기화합물을 제조하였다. 제조된 증기화합물을 본 명세서에는 자세히 설명되어 있지 않지만 이동중인 유리의 폭방향에 대해 균일하게 증기화합물을 분배하는 장치를 통해 플로트 라인을 통해 8m/min의 속도로 이동중인 유리 표면에 분사하여 유리 표면에 70nm 두께의 SiO2와 SnO2를 포함하는 코팅막을 제조하였다.The air is supplied at a flow rate of 1000 l / min per 1 m of glass width to be coated through the carrier gas inlet pipe 8 of the vaporizer as described in FIG. 1, and at the same time, MBTC is supplied through the coating material supply pipe 9, and at the same time, the coating material. Another coating raw material, TEOS, was injected through the material supply pipe (9 ') to prepare a vapor compound having a concentration of 1 mol% of MBTC and TEOS, respectively. Although not described in detail herein, the prepared vapor compound is sprayed onto the moving glass surface at a speed of 8 m / min through a float line through a device that distributes the vapor compound uniformly in the width direction of the moving glass. To prepare a coating film containing 70nm thick SiO2 and SnO2.

본 발명은 기화챔버 내의 블레이드가 코팅물질과 운반기체를 고온의 기화챔버 벽면에 부딪치게 하여 기화시켜 주고 운반기체 공급라인 내부에 코팅 원료물질 공급라인을 삽입하여 코팅원료물질이 기화에 필요한 열을 예열 운반된 운반기체로 부터 공급받게 하여 주므로서 코팅원료물질의 기화 수율을 증진시켜 줄수 있으며,두가지 이상의 코팅 물질을 사용하는 경우 이들이 서로 반응하여 부산물을 생성하는 것을 억제하고 기화기 내부로 이동하는 운반기체/코팅원료물질 증기의 흐름이 일정한 온도를 유지할 수 있게 하는 효과가 있다.According to the present invention, the blade in the vaporization chamber makes the coating material and the carrier gas collide with the wall of the high temperature vaporization chamber to vaporize and inserts the coating raw material supply line inside the carrier gas supply line to preheat and transport the heat required for the vaporization of the coating raw material. It is possible to improve the vaporization yield of coating raw materials by supplying from the carrier gas.In case of using two or more coating materials, the carrier gas / coating which prevents them from reacting with each other to produce by-products and moves inside the vaporizer. There is an effect that the flow of the raw material vapor can be maintained at a constant temperature.

Claims (6)

산화 분위기 상태에서 기화점 부근에 도달시 분해되는 특성을 갖는 화합물을 유리표면에 코팅시키기 위해 액체상태의 코팅원료물질과 코팅원료물질의 이동량을 증가시키기 위한 운반기체 혼합물을 코팅원료물질의 표준 기화 온도 이하에서 수평박막증발기를 사용하여 기화 시키는 방법에 있어서,In order to coat the glass surface with a compound that has a property of decomposing upon reaching the vaporization point in an oxidizing atmosphere, a carrier gas mixture for increasing the amount of transport of the coating material in liquid form and the coating material is used. In the method of vaporizing using a horizontal thin film evaporator below, 예열된 운반 기체를 기화기 내에 공급하는 배관 내부에 코팅원료물질 공급 라인을 삽입하여 코팅원료물질이 기화에 필요한 열을 미리 습득하고 동시에 운반기체 에 의해 코팅원료물질 용액을 작은 액적 상태로 기화챔버 내에 균일하게 분사 시키며, 코팅원료물질이 두가지 이상일 경우 두개 이상의 별도의 공급라인을 통해 투입하고 , 기화챔버에 가열하기 위한 열량의 공급을 코팅원료물질/운반기체 혼합물의 온도에 따라 두개 이상의 영역으로 구분하여 다르게 제어하여 기화챔버내의 온도분포를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 코팅원료물질의 기화방법.Insert the coating raw material supply line into the pipe supplying the preheated carrier gas into the vaporizer to acquire the heat required for vaporizing the coating raw material in advance and at the same time uniformly disperse the coating raw material solution in the vaporization chamber by the carrier gas. If there are two or more coating raw materials, it is input through two or more separate supply lines, and the heat supply for heating to the vaporization chamber is divided into two or more areas according to the temperature of the coating raw material / carrier gas mixture. Method of vaporizing the coating raw material, characterized in that to maintain a constant temperature distribution in the vaporization chamber by controlling. 제 1항에 있어서, 코팅원료물질이 모노부틸틴트리클로라이드, 디메틸틴디클로라이드, 디에틸틴디클로라이드, 디부틸틴디아세테이트, 테트라메틸틴, 메틸틴트리클로라이드, 트리에틸틴클로라이드, 트리메틸틴클로라이드, 테트라부틸틴티타네이트, 사염화티탄, 테트라이소프로프옥사이드, 트리에틸알미늄, 알미늄아세틸아세토메이트, 알미늄에틸레이트, 진크아세틸아세토네이트, 진크프로피오네이트, 테트라에틸올토실리케이트, 디아세톡시디-부톡시실란, 에틸트리아세톡시실란, 메틸트리아세톡시실란, 메틸디아세톡시실란, 테트라메틸디실록산, 테트라메틸사이클로테트라실록산, 디피나콜옥시실란 및 이들의 혼합물로 이어어진 군에서 선택되는 코팅원료물질의 기화방법.The method of claim 1, wherein the coating material is monobutyl tin trichloride, dimethyl tin dichloride, diethyl tin dichloride, dibutyl tin diacetate, tetramethyl tin, methyl tin trichloride, triethyl tin chloride, trimethyl tin chloride, tetrabutyl Tin titanate, titanium tetrachloride, tetraisopropoxide, triethylaluminum, aluminum acetylacetomate, aluminum ethylate, zinc acetylacetonate, zinc propionate, tetraethyloltosilicate, diacetoxydi-butoxysilane, ethyltria Cetoxysilane, methyltriacetoxysilane, methyldiacetoxysilane, tetramethyldisiloxane, tetramethylcyclotetrasiloxane, dipinacoloxysilane and mixtures thereof. 제 1항에 있어서 운반기체는 질소, 수소, 아르곤, 헬륨 및 이들의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅원료물질의 기화방법.The method of claim 1, wherein the carrier gas is nitrogen, hydrogen, argon, helium and mixtures thereof. 실린더(1)의 일측이 헤드(2)로 폐쇄되어 내부에 기화챔버(3)가 형성되며, 헤드(2)의 중심을 관통하여 블레이드를 갖는 회전축(5)이 모터(4)와 동축상에 설치되고, 헤드(2)와 실린더(1)에 유입관(8)과 공급관 및 유출관(10)이 각각 형성된 것에 있어서, 실린더(1)의 외부에 히터(7)(7')(7")가 설치되고, 공급관(9)(9')(9")이 다수 형성되며, 블레이드(6)가 회전축(5)에 교호로 설치된 코팅원료물질의 기화장치.One side of the cylinder 1 is closed by the head 2 to form a vaporization chamber 3 therein, and a rotating shaft 5 having a blade penetrating the center of the head 2 coaxially with the motor 4. In which the inlet pipe 8, the supply pipe and the outlet pipe 10 are formed in the head 2 and the cylinder 1, respectively, and the heaters 7, 7 ′, 7 ″ outside the cylinder 1. ), A plurality of supply pipes (9) (9 ') (9 ") is formed, the blade 6 is the vaporization device of the coating raw material alternately installed on the rotary shaft (5). 제 4항에 있어서, 일측 공급관(9)은 유입관(8)의 중심부에 형성되고, 타측 공급관(9')(9")은 실린더(1)의 일측을 관통하여 순차적으로 형성된 코팅원료물질의 기화장치.The method according to claim 4, wherein one side supply pipe (9) is formed in the center of the inlet pipe (8), the other side supply pipe (9 ') (9 ") of the coating raw material sequentially formed through one side of the cylinder (1) Vaporizer. 제 4항에 있어서, 히터(7)(7')(7")가 다단으로 구획형성된 코팅원료물질의 기화장치.5. A vaporization apparatus according to claim 4, wherein the heater (7) (7 ') (7 ") is partitioned into multiple stages.
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