KR20010029965A - Flat type display device and production method thereof - Google Patents

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KR20010029965A
KR20010029965A KR1020000041275A KR20000041275A KR20010029965A KR 20010029965 A KR20010029965 A KR 20010029965A KR 1020000041275 A KR1020000041275 A KR 1020000041275A KR 20000041275 A KR20000041275 A KR 20000041275A KR 20010029965 A KR20010029965 A KR 20010029965A
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KR1020000041275A
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모리히로시
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이데이 노부유끼
소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

PURPOSE: To lower power consumption and to aim at high emission luminance, in a flat display device. CONSTITUTION: A first and a second substrates 1, 2 are arranged opposite to each other, and the first substrate 1 is formed with a first electrode group 31 formed of plural first electrodes 21, arranged in parallel with each other as which are to become one of discharge electrodes, and the second substrate 2 is formed with plural barriers 4 arranged to maintain required intervals and formed with a second electrode group 31 formed of plural second electrodes 22 as the other electrode of the discharge electrode. The second electrode 22 is formed on at least one side surface of the barrier 4 except for the top thereof, or formed inside of the barrier 4 so that at least one edge thereof faces to at least one side surface of the barrier or the one edge thereof is positioned near the side surface of the barrier. Plasma discharge display by the negative electrode glow discharge is thereby performed.

Description

평면형 표시장치와 그 제조방법 {FLAT TYPE DISPLAY DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF}Flat panel display and manufacturing method {FLAT TYPE DISPLAY DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF}

본 발명은 교류 플라스마 방전표시에 의한 평면형 표시장치와 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display by alternating plasma discharge display and a manufacturing method thereof.

일반적으로, X전극 및 Y전극으로 호칭되는 각각 복수의 평행전극이 배열되어 이루어지는 제1 및 제2 전극을 가지고, 양 전극군이 선택된 전극 간의 플라스마방전에 의해 목적으로 하는 표시를 행하도록 한 2전극 방식, 이른바 매트릭스형 표시양태를 채용하는 평면형 플라스마 방전표시장치가 있다(예를 들면, 일본국 특개평 6(1994)-52802호 공보 참조).In general, a two-electrode having a first electrode and a second electrode in which a plurality of parallel electrodes called X electrodes and Y electrodes are arranged, respectively, in which both electrode groups perform target display by plasma discharge between selected electrodes. There is a planar plasma discharge display device employing a method, a so-called matrix type display mode (see, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6 (1994) -52802).

이 종류의 매트릭스형 플라스마 방전표시장치는 서로 대향하는 제1 및 제2 기판의 주변부가 밀봉되어, 양 기판 간에 기밀공간이 형성된다. 그리고, 제1 기판의 내면에 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 전극이 배열되어 이루어지는 한쪽의 방전전극을 구성하는 제1 전극군이 형성되고, 제2 기판의 내면에 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 전극이 배열되어 이루어지는 다른 쪽의 방전전극을 구성하는 제2 전극군이 형성되어 이루어진다.In this type of matrix plasma discharge display device, the peripheral portions of the first and second substrates facing each other are sealed to form an airtight space between the two substrates. Then, a first electrode group constituting one discharge electrode is formed on the inner surface of the first substrate extending in the first direction, and the first electrode group is orthogonal to the first direction on the inner surface of the second substrate. The 2nd electrode group which comprises the other discharge electrode by which the 2nd electrode extended in 2 directions is arrange | positioned is formed.

제1 및 제2 전극군의 양면에는 유전체층이 형성되고, 또한 MgO 등의 표면층이 형성된다.Dielectric layers are formed on both surfaces of the first and second electrode groups, and surface layers such as MgO are formed.

또한, 제1 또는 제2 전극 간의 한쪽 전극의, 예를 들면 양측에 소요 색의 발광이 이루어지는 형광체가 배치된다.In addition, phosphors which emit light of a required color are arranged on one side of, for example, both electrodes between the first or second electrodes.

이 구성에서는, 선택된 제1 및 제2 전극 간에 소요 교류전압을 인가함으로써 방전을 발생시키고, 이 때 발생한 자외선에 의해 형광체를 발광시켜 소요 색의 발광을 행하여 목적으로 하는, 예를 들면 컬러표시를 행하도록 되어 있다.In this configuration, a discharge is generated by applying a required alternating voltage between the selected first and second electrodes, and the phosphor is emitted by the ultraviolet rays generated at this time to emit the required color, for example, color display is performed. It is supposed to.

그런데, 보통의 매트릭스형 플라스마 방전표시장치는 전극 간 간격이 예를 들면 130㎛에서 200㎛로 선정된, 이른바 네거티브 글로방전에 의한 것이다. 그러나, 이 네거티브 글로방전은 비교적 구동전압 및 구동전류가 크고, 구동전력이 높으므로 소비전력이 커, 최근 대형화되는 방향에 있는 평면형 표시장치에서는 그 소비전력의 저감화 요구가 높다.By the way, an ordinary matrix plasma discharge display device is caused by a so-called negative glow discharge, in which the distance between electrodes is selected, for example, from 130 μm to 200 μm. However, since this negative glow discharge has a relatively high driving voltage, a high driving current, and a high driving power, the power consumption is large, and a demand for reducing the power consumption is high in flat panel display devices that are recently enlarged.

본 발명은 이 소비전력의 저감화를 도모할 수 있는 교류 구동형의 매트릭스형 플라스마 방전표시장치와 그 제조방법을 제공하는 것이다.The present invention provides an AC drive type matrix plasma discharge display device and a method of manufacturing the same which can reduce the power consumption.

도 1은 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 일예의 요부의 개략사시도.1 is a schematic perspective view of main parts of an example of a flat panel display device according to the present invention;

도 2는 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 일예의 제1 기판측 요부의 개략사시도.2 is a schematic perspective view of a first substrate side recessed portion of an example of a flat panel display device according to the present invention;

도 3 (A) 및 3 (B)는 본 발명에 의한 평면형 표시장치 제조방법의 일예의 각 일부 공정에서의 사시도.3 (A) and 3 (B) are perspective views of respective partial steps of an example of a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

도 4 (A) 및 4 (B)는 본 발명에 의한 평면형 표시장치 제조방법의 일예의 각 일부 공정에서의 사시도.4 (A) and 4 (B) are perspective views of respective partial steps of an example of a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

도 5 (A) 및 5 (B)는 본 발명에 의한 평면형 표시장치 제조방법의 일예의 각 일부 공정에서의 사시도.5 (A) and 5 (B) are perspective views of respective partial steps of an example of the method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

도 6은 본 발명에 의한 평면형 표시장치 제조방법의 일예의 각 일부 공정에서의 사시도.6 is a perspective view of each part of one example of a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention;

도 7은 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 다른 일예의 개략사시도.7 is a schematic perspective view of another example of a flat panel display device according to the present invention;

도 8 (A) 내지 8 (C)는 본 발명에 의한 평면형 표시장치 제조방법의 일예의 각 일부 공정에서의 단면도.8A to 8C are cross-sectional views of respective partial steps of an example of a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

도 9 (A) 및 9 (B)는 본 발명에 의한 평면형 표시장치 제조방법의 일예의 각 일부 공정에서의 단면도.9 (A) and 9 (B) are cross-sectional views of respective partial steps of an example of the method for manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

1: 제1 기판, 2: 제2 기판, 3: 돌기바(projecting bar), 3y: 돌기바부, 3x: 교차돌기바부, 4: 격벽, 4c: 연결부, 4A: 격벽 본체, 5: 유전체층, 6, 8: 표면층, 9: 도전재, 10: 에칭레지스트, 11: 도전층, 12: 절연층, 13: 마스크, R: 적의 형광체, G: 녹의 형광체, B: 청의 형광체, 21: 제1 전극, 21b: 버스전극, 22: 제2 전극, 31: 제1 전극군, 32: 제2 전극군.DESCRIPTION OF SYMBOLS 1st board | substrate, 2: 2nd board | substrate, 3: projecting bar, 3y: protrusion bar part, 3x: cross | protrusion bar part, 4: partition wall, 4c: connection part, 4A: partition body, 5: dielectric layer, 6 , 8: surface layer, 9: conductive material, 10: etching resist, 11: conductive layer, 12: insulating layer, 13: mask, R: red phosphor, G: rust phosphor, B: blue phosphor, 21: first electrode, 21b: bus electrode, 22: second electrode, 31: first electrode group, 32: second electrode group.

본 발명에 의한 평면형 표시장치는 그 방전양태가 기본적으로는 음극글로방전이 되는 구성으로 한다.In the flat panel display according to the present invention, the discharge mode is basically a cathode glow discharge.

즉, 본 발명에 의한 평면형 표시장치는 제1 기판과 제2 기판이 서로 대향하여 배치되고, 제1 기판측에, 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극이 배열되어 이루어지는 제1 전극군이 형성되고, 제2 기판측에, 소요 간격을 유지하여 병치(倂置) 배열된 복수의 격벽(隔璧)과, 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극이 배열되어 이루어지는 제2 전극군이 형성된다.That is, in the flat panel display according to the present invention, a first electrode group is formed in which a first substrate and a second substrate are disposed to face each other, and a plurality of first electrodes serving as one electrode of the discharge electrode is arranged on the first substrate side. Is formed, and the 2nd board | substrate by which the some partition wall arrange | positioned juxtaposedly arranged by maintaining a required space | interval, and the some 2nd electrode used as the other electrode of a discharge electrode are arranged in the 2nd board | substrate side An electrode group is formed.

이들 복수의 제2 전극은 복수의 격벽 정상면을 제외한 최소한 한 측면 상에 형성되거나, 또는 격벽 내에 한 측에지가 격벽의 최소한 한 측면에 면하거나 또는 이 측면 근방에 위치하도록 형성된다.These plurality of second electrodes are formed on at least one side surface except a plurality of top surfaces of the partition wall, or one side edge in the partition wall is formed at or near the side surface of at least one side of the partition wall.

이 구성에 의해, 제1 및 제2 전극에 의해 주로 음극글로방전에 의한 플라스마 방전표시가 이루어진다.With this configuration, plasma discharge display mainly by cathode glow discharge is performed by the first and second electrodes.

또, 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 제1 제조방법은 제1 기판에, 주된 연장방향이 제1 기판면에 따르는 제1 방향으로 된 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극을 병치배열 형성하는 제1 전극군의 형성공정과, 제2 기판에 이 제2 기판면에 따르는 제2 방향으로 연장되는 복수의 격벽을 병치배열 형성하는 격벽형성공정과, 제2 방향과 교차하는 방향의 경사 상방으로부터 도전재를 비상(飛翔)시켜, 격벽의 정상면 이외의 최소한 한 측면에 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극을 병치배열 형성하는 제2 전극군의 형성공정과, 인접하는 격벽 간의 홈부 내에 형광체를 형성하는 공정과, 제1 및 제2 방향이 교차하도록, 제1 및 제2 기판을 대향시켜 이들 제1 및 제2 기판의 주변부를 밀봉하는 공정을 거쳐 목적으로 하는 평면형 표시장치를 얻는다.In addition, in the first manufacturing method of the flat panel display device according to the present invention, a plurality of first electrodes arranged in parallel on the first substrate are used as one electrode of the discharge electrode whose main extension direction is in the first direction along the first substrate surface. A step of forming a first electrode group to be formed, a step of forming a partition wall in parallel with and forming a plurality of partition walls extending in a second direction along the second substrate surface on the second substrate, and an inclination in a direction crossing the second direction Formation process of the 2nd electrode group which makes an electrically conductive material fly from upper direction, and parallelly arranges the some 2nd electrode used as the other electrode of a discharge electrode in at least one side surface other than the top surface of a partition, and an adjacent partition And forming a phosphor in the groove portion between the first and second substrates, and opposing the first and second substrates so as to seal the peripheral portions of the first and second substrates so that the first and second directions cross each other. To Get

또한, 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 제2 제조방법은 제1 기판에, 주된 연장방향이 상기 제1 기판면에 따르는 제1 방향으로 된 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극을 병치배열 형성하는 제1 전극군의 형성공정과, 제2 기판 또는 제2 기판 상에 형성한 절연층 상에, 제2 방향으로 연장되는 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극을 병치배열 형성하는 제2 전극군의 형성공정과, 제2 전극 상을 피복하여 절연층을 적층 형성하는 공정과, 적층절연층으로부터 제2 기판 또는 이 기판 상에 형성된 절연층에 이르는 깊이의 홈 가공을 행하여 복수의 격벽을 형성하는 격벽형성공정과, 인접하는 격벽 간의 홈부 내에, 형광체를 형성하는 공정과, 제1 및 제2 방향이 교차하도록, 제1 및 제2 기판을 대향시켜 이들 제1 및 제2 기판의 주변부를 밀봉하는 공정을 가지고, 각 격벽이 격벽 본체와 적층절연층에 의해 구성되고, 제2 전극이 격벽 본체와 적층절연층 사이에 개재된 도전층에 의해 형성되고, 제2 전극의 한 측에지가 격벽의 측면에 면하거나 또는 이 측면 근방에 위치하도록 배치되어 이루어지는 평면형 표시장치를 얻는 것이다.In addition, in the second manufacturing method of the flat panel display device according to the present invention, a plurality of first electrodes serving as one electrode of the discharge electrode whose main extension direction is in the first direction along the first substrate surface is juxtaposed on the first substrate. The process of forming the first electrode group to be arrayed and a plurality of second electrodes serving as the other electrodes of the discharge electrodes extending in the second direction on the second substrate or the insulating layer formed on the second substrate. A step of forming a second electrode group to be formed, a step of forming an insulating layer by covering the second electrode, and laminating a depth from the laminated insulating layer to the second substrate or the insulating layer formed on the substrate, A partition wall forming step of forming a plurality of partition walls, a step of forming a phosphor in a groove portion between adjacent partition walls, and first and second substrates facing each other so that the first and second directions cross each other. Push the periphery of the board Each barrier rib is constituted by a barrier body and a laminated insulating layer, and a second electrode is formed by a conductive layer interposed between the barrier body and the laminated insulating layer, and one side edge of the second electrode is formed of the barrier rib. The present invention provides a flat panel display device which is disposed to face or be located near the side surface.

전술한 본 발명에 의한 평면형 표시장치는 그 방전표시가 주로, 즉 거의 음극글로방전에 의해 이루어지는 구성으로 함으로써, 구동전력을 네거티브 글로방전에 의한 경우에 비해 저감화할 수 있도록 하는 것이며, 특히 대화면 표시에서의 절전효과를 높이도록 하는 것이다.The flat display device according to the present invention described above has a configuration in which the discharge display is mainly composed of a negative electrode glow discharge, so that the driving power can be reduced as compared with the case of the negative glow discharge, in particular, a large screen display. This is to increase the power saving effect in.

또, 본 발명 장치에서는, 제2 기판에 격벽을 배열 형성하고, 그 측면에, 또는 그 측면에 면하여 또는 그 근방에 제2 전극이 배치된 구성으로 함으로써, 격벽에 의해 각 제2 전극 서로의 전기적 분리가 이루어진다. 따라서, 각 측벽 간의 홈부에, 각각 독립된 방전부를 형성할 수 있으므로, 컬러표시에 있어서는, 이들 인접하는 홈부에 순차 각색의 형광체를 배치할 수 있어, 고밀도화가 도모된다.Moreover, in the apparatus of the present invention, the partitions are arranged on the second substrate, and the second electrodes are arranged on the side surface, or on or near the side surface thereof, so that the second electrodes are separated from each other by the partition wall. Electrical separation is made. Therefore, since independent discharge parts can be formed in the groove portions between the respective side walls, in the color display, various fluorescent materials can be sequentially arranged in these adjacent groove portions, so that high density can be achieved.

그리고, 본 발명의 전술한 제1 제조방법에서는, 격벽의 측면에, 제2 전극을 형성하는 경우에 있어서는, 도전재를 격벽의 경사방향으로부터의 비상에 의해 형성하도록 했기 때문에, 확실하게 이 측면에 제2 전극을 형성할 수 있다.In the first manufacturing method described above, in the case where the second electrode is formed on the side surface of the partition wall, the conductive material is formed by the emergency from the inclined direction of the partition wall. The second electrode can be formed.

또, 본 발명의 전술한 제2 제조방법에서는, 격벽 내에, 제2 전극을 형성하는 경우에 있어서는, 격벽을 격벽 본체와 그 위의 적층절연층에 의해 구성하고, 그 사이에 제2 전극을 배치하는 방법에 의함으로써, 제2 전극을 소요 위치에 확실하게 형성할 수 있는 것이다.In the above-described second manufacturing method of the present invention, when the second electrode is formed in the partition wall, the partition wall is constituted by the partition body and the laminated insulating layer thereon, and the second electrode is disposed therebetween. By this method, the second electrode can be reliably formed at the required position.

본 발명에 의한 평면형 표시장치는 제1 및 제2 기판이 서로 대향하여 배치되고, 그 주변이 프릿실(frit seal) 등에 의해 기밀적으로 밀봉되어, 양 기판 사이에 편평공간이 형성된 편평용기에 의해 구성된다.In the flat display device according to the present invention, the first and second substrates are disposed to face each other, and the periphery thereof is hermetically sealed by a frit seal or the like, so that a flat container is formed between the two substrates. It is composed.

제1 기판측에는, 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극이 병치 배열되어 이루어지는 제1 전극군이 형성되고, 제2 기판측에는, 복수의 격벽이 병치 배열되는 동시에, 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극이 병치 배열되어 이루어지는 제2 전극군이 형성된다.On the first substrate side, a first electrode group in which a plurality of first electrodes serving as one electrode of the discharge electrode is arranged in parallel is formed, and on the second substrate side, a plurality of partition walls are arranged in parallel and the other electrode of the discharge electrode. A second electrode group in which a plurality of second electrodes to be arranged in parallel are arranged.

제1 전극군의 복수의 제1 전극은 그 주된 연장방향을 제1 기판의 기판면에 따르는 한 방향(이하, X방향이라고 함)으로 하고, 소요 간격을 유지하여 평행 배열된 구성으로 할 수 있다.The plurality of first electrodes of the first electrode group may have a main extension direction in one direction (hereinafter referred to as X direction) along the substrate surface of the first substrate, and may be arranged in parallel while maintaining a required interval. .

격벽은 제2 기판의 기판면에 따라, X방향과 교차, 예를 들면 직교하는 방향(이하, Y방향이라고 함)에 따라 연장되고, 또한 서로 소요 간격을 유지하여 평행 배열되어 형성되고, 예를 들면 이들 각 격벽의 최소한 한 측면 상에, 각각 제2 전극군의 제2 전극이 피착 형성된다.The barrier ribs are formed along the substrate surface of the second substrate and extend along the X direction, for example, the direction orthogonal to each other (hereinafter referred to as the Y direction), and are arranged in parallel with each other at a required interval. For example, on at least one side surface of each of these partition walls, a second electrode of the second electrode group is deposited.

이 제2 전극은 인접하는 격벽의 서로의 대향면 간의 홈부 저면에 가로질러 형성할 수도 있다.This second electrode may be formed across the bottom of the groove portion between the opposing surfaces of the adjacent partition walls.

제2 전극은 전술한 바와 같이, 각 격벽의 측면 상에 피착 형성할 수도 있고, 각 격벽 내에, 이 격벽의 연장방향에 따라 연장되는 도전층에 의해 형성하고, 그 한 측에지가 각 격벽의 한 측면에 면하거나 또는 이 측면 근방에 위치하도록, 또한 이 측면으로 치우친 위치에 배치함으로써 구성할 수 있다.As described above, the second electrode may be deposited on the side surface of each partition wall, and is formed in each partition by a conductive layer extending along the extending direction of the partition wall, and one side edge of the second electrode is one of the partition walls. It can be comprised by arrange | positioning to face side or located in this side surface, and also in the position which deviated to this side surface.

이와 같이, 제2 전극을 도전층에 의해 형성하는 경우, 각 격벽은, 예를 들면 격벽을 격벽 본체와 그 정상면에 적층 형성한 적층절연층에 의해 구성하고, 이 격벽 본체와 적층절연층 사이에 전술한 도전층, 즉 제2 전극이 배치된 구성으로 할 수 있다.Thus, when forming a 2nd electrode by a conductive layer, each partition is comprised by the laminated insulation layer which laminated | stacked the partition body in the partition body and the top surface, for example, and between this partition body and the laminated insulation layer is carried out. The conductive layer described above, that is, the second electrode can be arranged.

제2 전극은, 예를 들면 각 격벽의 양 측면에 관해 각각 배치할 수 있고, 이 경우, 각 격벽의 양 측면에 관한 제2 전극은 서로 전기적으로 분리하여 형성한다. 그리고, 이 경우, 인접하는 격벽의 서로의 대향면에 관한 제2 전극 서로를 그 단부에서 전기적으로 연결시킨다. 또는, 이들 대향면에서의 제2 전극 사이에 가로질러, 격벽 간의 홈부의 저부에 제2 전극을 연장시켜 형성함으로써, 대향면의 제2 전극 서로의 전기적 연결을 행한다.For example, the second electrodes can be arranged on both sides of each partition, and in this case, the second electrodes on both sides of each partition are electrically separated from each other. In this case, the second electrodes on the opposite surfaces of the adjacent partition walls are electrically connected to each other at their ends. Alternatively, the second electrodes are formed by extending the second electrodes at the bottom of the groove portion between the partition walls across the second electrodes on the opposite surfaces, thereby electrically connecting the second electrodes on the opposite surfaces.

그리고, 이들 서로 연결된 제2 전극으로부터 공통의 단자 도출을 행하는 구성으로 할 수 있다.The common terminal can be derived from the second electrodes connected to each other.

또, 인접하는 격벽의 서로의 대향면 간의 홈부 내에, 후술하는 플라스마방전에 의해 발생하는 진공자외선에 의해 여기(勵起) 발광하는 형광체가 도포된다.Moreover, the fluorescent substance which excites light emission by the vacuum ultraviolet-ray generate | occur | produced by the plasma discharge mentioned later is apply | coated in the groove part between mutually opposing surfaces of adjacent partition walls.

예를 들면, 컬러표시를 행하는 표시장치에서는, 예를 들면 적, 녹 및 청의 각 발광이 이루어지는 형광체 R, G 및 B가 순차 소요 순서를 갖고 2개 걸러의 홈부 내에 도포된 배열을 갖고 형성된다.For example, in the display device for displaying color, phosphors R, G, and B, which emit light of red, green, and blue, for example, are formed in an order required and have an arrangement applied in every two grooves.

그리고, 제1 및 제2 전극 간의 최단거리에서의 간격을, 50㎛ 이하 내지는 50㎛ 미만, 바람직하게는 20㎛ 이하의, 예를 들면 10㎛로 선정한다.The interval at the shortest distance between the first and second electrodes is selected to be 50 µm or less or less than 50 µm, preferably 20 µm or less, for example, 10 µm.

또, 제1 기판에는 격자형 돌기바가 형성된다.Further, a lattice protrusion bar is formed on the first substrate.

이 격자형 돌기바는 제2 기판의, 예를 들면 각 격벽에 대향하는 Y방향에 따라 연장되는 돌기바부와, 이들 돌기바부와 교차하여 제1 전극 사이에서 X방향으로 연장되는 교차돌기바부에 의해 구성된다.The lattice-shaped protrusion bar is formed by a protrusion bar portion extending along the Y direction of the second substrate, for example, facing each partition wall, and an intersecting protrusion bar portion extending in the X direction between the first electrodes and intersecting these protrusion bars. It is composed.

다음에, 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 한 실시형태의 일예를, 그 일부의 분단 개략사시도를 나타낸 도 1을 참조하여 설명하지만, 본 발명장치는 이 예에 한정되는 것은 아니다.Next, an example of one embodiment of the flat panel display according to the present invention will be described with reference to FIG. 1, which shows a schematic perspective view of a part of division, but the present invention is not limited to this example.

본 발명장치에 있어서는, 각각 예를 들면 유리기판으로 이루어지는 제1 및 제2 기판(1 및 2)이 서로 대향하여 이루어지고, 도시하지 않지만, 양 기판(1 및 2)의 주위가 프릿실 등에 의해 기밀적으로 밀봉된다.In the apparatus of the present invention, the first and second substrates 1 and 2 made of, for example, glass substrates face each other, and are not shown, but the periphery of both substrates 1 and 2 is formed by a frit seal or the like. Hermetically sealed.

그리고, 이 예에서는, 제1 기판(1)이 전면측 기판으로 되고, 이 제1 기판(1)측으로부터 발광표시를 관찰하는 구성으로 한 경우이며, 이 경우, 최소한 제1 기판(1)은 표시광을 투과하는 투명유리기판에 의해 형성된다.In this example, the first substrate 1 is the front substrate, and the light emitting display is observed from the first substrate 1 side. In this case, at least the first substrate 1 It is formed by a transparent glass substrate that transmits display light.

제1 기판(1)의 내면에는, 투명도전층, 예를 들면 ITO(인디움석(錫) 산화물)에 의한 복수의 제1 전극(21)이, 각각 그 주된 연장방향이 기판(1)의 기판면에 따르는 X방향으로 연장되는, 예를 들면 스트라이프형으로 서로 평행으로 병치배열되어 형성된 제1 전극군(31)이 배치된다.On the inner surface of the first substrate 1, a plurality of first electrodes 21 made of a transparent conductive layer, for example, ITO (Indium Oxide), each of which has a main extension direction is the substrate surface of the substrate 1. A first electrode group 31 is formed which extends in the X-direction along, for example, is formed in parallel with each other in a stripe shape.

제1 전극(21)이 투명도전층에 의해 형성되는 경우에는, 그 도전성이 비교적 낮기 때문에, 필요에 따라 이들 제1 전극(21)의 도전성을 보상하기 위해 도전성이 우수한, 예를 들면 Al에 의한 폭이 좁은 이른바 버스전극(21b)이 각 전극의 주된 연장방향에 따라 피착 형성된다.In the case where the first electrode 21 is formed of a transparent conductive layer, its conductivity is relatively low. Therefore, the width of the first electrode 21 is excellent in conductivity, for example, Al, to compensate for the conductivity of these first electrodes 21 as necessary. This narrow so-called bus electrode 21b is deposited along the main extension direction of each electrode.

또, 제1 기판(1)에는 도 2에 그 요부의 개략평면도를 나타낸 바와 같이, 제1 전극(21)을 가로질러 전술한 X방향과 교차, 예를 들면 직교하는 Y방향으로 연장되는 돌기바부(3y)와, 이와 교차, 예를 들면 직교하는 X방향으로 연장되는 교차돌기바부(3x)에 의한 격자형의 돌기바(3)가 형성된다.Moreover, as shown in the schematic plan view of the main part of FIG. 2, the first substrate 1 has a protrusion bar portion extending in the Y direction intersecting with the above-described X direction, for example, orthogonal to the first electrode 21. As shown in FIG. A lattice-shaped protrusion bar 3 is formed by (3y) and an intersecting protrusion bar portion 3x extending in the intersection with, for example, the orthogonal X direction.

이 격자형 돌기바(3)의 돌기바부(3y)는 후술하는 제2 기판(2)측에 형성하는 격벽(4)에 대응하여 배치 형성된다.The protrusion bar portion 3y of the lattice-shaped protrusion bar 3 is disposed to correspond to the partition wall 4 formed on the side of the second substrate 2 described later.

또, 교차돌기바부(3x)는 각 제1 전극(21) 사이에, 각 전극(21)에 일부 걸치고, 또는 걸치지 않고 형성된다.In addition, the intersecting protrusion bar portion 3x is formed between each of the first electrodes 21 or partially over each of the electrodes 21.

그리고, 제1 기판(1)의 내면에 전면적으로, 예를 들면 SiO2에 의한 유전체층(5)을 피착 형성하고, 또한 그 위에 일의 함수가 작고, 또한 전극의 보호를 행하는, 예를 들면 MgO에 의한 표면층(6)을 형성한다.And, across the board to the inner surface of the first substrate 1, for example, and it is deposited to form a dielectric layer 5 by the SiO 2, also small and the function of the one above it, and for example, performs the protection of the electrode, MgO The surface layer 6 by this is formed.

제2 기판(2)의 내면에는, Y방향에 따라 연장되는 복수의 스트라이프형 격벽(4)이 평행으로 배열 형성된다. 이 격벽(4)은 전술한 바와 같이, 제1 기판(1)의 돌기바(3)의 돌기바부(3y)에 대응하는 간격으로 선정된다.On the inner surface of the second substrate 2, a plurality of stripe-shaped partition walls 4 extending in the Y direction are arranged in parallel. As described above, the partition 4 is selected at intervals corresponding to the protrusion bar portion 3y of the protrusion bar 3 of the first substrate 1.

그리고, 이들 격벽(4)의 정부(頂部)를 제외하고 그 측면에 Y방향에 따라 제2 전극(22)이 형성되어, 제2 전극군(31)이 형성된다.The second electrode 22 is formed on the side surface of the partition wall 4 along the Y-direction except for the top portion of the partition 4, and the second electrode group 31 is formed.

도 1에 나타낸 예에서는, 각 제2 전극(22)을 인접하는 격벽(4) 사이에 형성되는 홈부(7) 내에서, 그 양 측면 및 저면에 걸쳐, 즉 단면 U자형으로 형성한 경우이다.In the example shown in FIG. 1, each 2nd electrode 22 is formed in the groove part 7 formed between the adjacent partition walls 4 over the both side surface and the bottom surface, ie, in cross-section U shape.

각 홈부(7) 내에는, 후술하는 플라스마방전에 의해 발생하는 진공자외선에 의한 여기에 의해, 각각 적, 녹 및 청의 광을 발광하는 각 형광체 R, G 및 B가 교대로, 즉 2개 걸러의 홈부(7)마다 도포된다.In each of the grooves 7, the phosphors R, G, and B, which emit red, green, and blue light, respectively, alternately, that is, every two or more, are excited by excitation by vacuum ultraviolet rays generated by plasma discharge described later. It is applied to every groove part 7.

또, 이들 제2 전극(22) 및 형광체 R, G 및 B를 피복하여, 예를 들면 전술한 MgO에 의한 표면층(8)이 형성된다.Moreover, these 2nd electrode 22 and fluorescent substance R, G, and B are coat | covered and the surface layer 8 by MgO mentioned above is formed, for example.

이 구성에 있어서, 격벽(4)과 격자형 돌기바(3)의 돌기바부(3y)가 도시한 예에서는 유전체층(5), 표면층(6 및 8)을 통해 맞대어져, 이들의 높이 및 두께에 의해 제1 및 제2 기판(1 및 2)의 간격이 선정되고, 동시에 제1 및 제2 전극(21 및 22)의 간격이 소정의 간격, 특히 음극글로방전이 이루어지는 간격, 즉 50㎛ 이하 내지 50㎛ 미만, 바람직하게는 20㎛ 이하, 예를 들면 10㎛로 선정된다.In this configuration, in the example shown, the partition wall 4 and the projection bar portion 3y of the lattice-shaped projection bar 3 are opposed to each other via the dielectric layers 5 and the surface layers 6 and 8, so that the height and thickness thereof are increased. By this, the interval between the first and second substrates 1 and 2 is selected, and at the same time, the interval between the first and second electrodes 21 and 22 is a predetermined interval, in particular, the interval at which the cathode glow discharge occurs, that is, 50 µm or less. To less than 50 µm, preferably 20 µm or less, for example 10 µm.

이와 같이 하여, 제1 및 제2 기판(1 및 2)의 돌기바부(3y) 및 격벽(4)과의 공동(共動)에 의해 방전을 가두어 다른 것과 분리된 방전영역을 형성하고, 이들 영역에서 각각 각색의 발광이 이루어지는 화소영역을 형성한다.In this way, the discharge region is confined by the cavity between the protrusion bar portion 3y and the partition wall 4 of the first and second substrates 1 and 2 to form a discharge region separated from the others, and these regions are formed. Each pixel region is formed to emit light of various colors.

그리고, 제1 및 제2 기판(1 및 2)에 의해 형성된 기밀공간 내를 배기하여, 소요가스, 예를 들면 He, Ne, Ar, Xe, Kr 중의 1종 이상의 가스, 예를 들면 Ne(96%)와 Xe(4%)의 혼합가스인 이른바 페닝가스를 안정되게 고휘도, 고효율의 방전을 유지할 수 있는 압력, 예를 들면 0.05~5.0 기압으로 봉입(封入)한다.Then, the inside of the airtight space formed by the first and second substrates 1 and 2 is exhausted, so that one or more kinds of gases such as He, Ne, Ar, Xe, Kr, for example, Ne (96) are exhausted. The so-called phening gas, which is a mixture of%) and Xe (4%), is encapsulated at a pressure capable of stably maintaining a high brightness and high efficiency discharge, for example, at 0.05 to 5.0 atmospheres.

이 본 발명장치에 있어서, 선택된 제1 및 제2 전극(21 및 22)과의 사이에, 소요 전압을 인가함으로써, 이들이 교차하는 부분에서 음극글로방전을 발생시키고, 이 방전에 의해 발생하는 진공자외선에 의해, 이 교차부에 위치하는 형광체를 발광시켜 목적으로 하는 발광표시를 행한다.In this apparatus of the present invention, by applying a required voltage between the selected first and second electrodes 21 and 22, a negative electrode glow discharge is generated at a portion where they cross, and a vacuum generated by this discharge is generated. Ultraviolet light causes the phosphor located at the intersection to emit light, and the target light emission display is performed.

이와 같이, 본 발명에 의한 평면형 표시장치는, 그 방전을 음극글로방전에 의한 구성으로 한다. 이 경우, 제1 및 제2 전극(21 및 22)의 방전에 기여하는 부분의 간격이 동일하지 않은 등에 의해, 일부에서 네거티브 글로방전이 발생하는 경우라도, 기본적으로는, 음극글로방전이 지배적으로 발생한다. 따라서, 이 구동전력을 네거티브방전에 의한 경우에 비해 저감화할 수 있는 것이며, 특히 대화면 표시에 있어서 문제가 되는 소비전력의 저감화를 도모할 수 있다.As described above, the flat panel display according to the present invention has the discharge by the cathode glow discharge. In this case, even when negative glow discharge occurs in part due to unequal spacing between portions contributing to the discharge of the first and second electrodes 21 and 22, basically, cathode glow discharge predominates. Occurs as Therefore, this driving power can be reduced compared with the case of negative discharge, and the reduction of power consumption which becomes a problem especially in big screen display can be aimed at.

다음에, 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 제조방법의 한 실시형태의 일예를 설명한다. 이 예는 전술한 도 1의 구성에 의한 평면형 표시장치를 얻는 경우의 일예이지만, 본 발명에 의한 제조방법은 이 예에 한정되는 것은 아니다.Next, an example of one embodiment of the manufacturing method of the flat display device according to the present invention will be described. This example is an example of obtaining a flat panel display device according to the configuration of FIG. 1 described above, but the manufacturing method according to the present invention is not limited to this example.

먼저, 제1 기판(1)측의 제조방법의 일예에 대하여 설명한다.First, an example of the manufacturing method of the 1st board | substrate 1 side is demonstrated.

이 경우, 도 2에 그 일부의 개략사시도를 나타낸 바와 같이, 예를 들면 투명의 유리기판으로 이루어지는 제1 기판(1)이 준비되고, 이 기판(1)의 내면에 제1 전극(21)을 형성한다.In this case, as shown in a schematic perspective view of a part of FIG. 2, for example, a first substrate 1 made of a transparent glass substrate is prepared, and the first electrode 21 is placed on the inner surface of the substrate 1. Form.

이들 제1 전극(21)의 형성은 기판(1)의 내면에 전면적으로 투명도전층, 예를 들면 ITO를, 예를 들면 약 300nm의 두께로 성막하고, 포토리소그래피에 의한 패턴 에칭을 행하여 소요 패턴, 도시의 예에서는 서로 대향하는 측에지가 소정의 간격을 유지하여 대향하는, 예를 들면 스트라이프 제1 전극(21)을 형성한다. 즉, 예를 들면 전면적으로 형성된 ITO 상에 포토레지스트층을 도포, 베이킹(baking)하고 소요 패턴의 노광 및 현상을 행하여 목적으로 하는 전극(21)의 패턴에 따른 패턴의 에칭마스크를 형성한다. 그리고, 이 에칭마스크를 사용하여, 예를 들면 염산 및 염화 제2철의 혼합액에 의한 에칭액에 의해 투명도전층을 에칭하여 제1 전극(21)을 형성한다.The formation of these first electrodes 21 is performed by depositing a transparent conductive layer, for example, ITO, on the entire surface of the substrate 1 to a thickness of, for example, about 300 nm, and performing pattern etching by photolithography to form a required pattern, In the example of illustration, the side edges which oppose mutually, for example, form the stripe 1st electrode 21 which opposes at predetermined intervals. That is, for example, a photoresist layer is applied and baked on the entire surface of the ITO, and the required pattern is exposed and developed to form an etching mask of a pattern corresponding to the pattern of the target electrode 21. Then, using this etching mask, the transparent conductive layer is etched with, for example, an etchant with a mixed solution of hydrochloric acid and ferric chloride to form the first electrode 21.

다음에, 필요에 따라 버스전극(21b)의 형성을 행한다. 이 버스전극(21b)의 형성은 먼저, 제1 기판(1)의 내면에 제1 전극(21)을 피복하여 전면적으로 양(良)도전성의, 예를 들면 Al을 약 1㎛의 두께로 증착하여, 전술한 것과 동일한 포토리소그래피에 의한 패턴 에칭을, 예를 들면 에칭액으로서 인산을 사용하여 행하고, 각 전극(21)의 각 한 측에지에 따라 전극(21)의 폭보다 충분히 작은 폭의 버스전극(21b)을 형성한다.Next, the bus electrode 21b is formed as necessary. The bus electrode 21b is first formed by coating the first electrode 21 on the inner surface of the first substrate 1 to deposit positively conductive, for example, Al in a thickness of about 1 μm. The same pattern photolithography as described above is performed by using phosphoric acid as an etching solution, for example, and a bus electrode having a width sufficiently smaller than the width of the electrode 21 according to each side edge of each electrode 21. It forms 21b.

그 후, 예를 들면 인쇄법에 의해, 전술한 돌기바부(3y)와 교차돌기바부(3x)에 의한 격자형의 돌기바(3)를 높이, 예를 들면 20㎛, 폭 30㎛~40㎛로 형성한다.Thereafter, the lattice-shaped protrusion bar 3 formed by the above-described protrusion bar portion 3y and the intersecting protrusion bar portion 3x is heightened, for example, by a printing method, for example, 20 μm and a width of 30 μm to 40 μm. To form.

그 후, 도시하지 않지만, 도 1에서 설명한, 예를 들면 SiO2에 의한 유전체층(7)을 CVD(Chemical Vapor Deposition)법 등에 의해 전면적으로 형성하고, 그 위에 예를 들면 MgO를 두께 약 0.5㎛~1.0㎛로, 예를 들면 증착하여 표면층(6)을 형성한다.Subsequently, although not shown, the dielectric layer 7 made of, for example, SiO 2 , which is described in FIG. 1, is entirely formed by CVD (Chemical Vapor Deposition) or the like, and MgO, for example, has a thickness of about 0.5 μm to The surface layer 6 is formed by, e.g., vapor deposition at 1.0 mu m.

다음에, 제2 기판에 관한 제조방법의 일예를, 각 공정에서의 일부의 사시도를 나타낸 도 3~도 5의 각 A 및 B와 도 6을 참조하여 설명한다.Next, an example of the manufacturing method regarding a 2nd board | substrate is demonstrated with reference to each A and B of FIGS. 3-5 which showed the perspective view of a part in each process, and FIG.

이 경우, 먼저 도 3 (A)에 나타낸 바와 같이, 예를 들면 유리기판에 의한 제2 기판을 준비하여, 그 한 주면(主面)에 Y방향으로 연장되고, X방향으로 소요 간격을 갖고 평행으로 병치 배열된 격벽(4)을 형성한다. 이들 격벽(4)의 양단(도 3에서는 그 일단만 나타나 있음)이 서로 연결되는 연결부(4c)가 형성된다.In this case, first, as shown in Fig. 3A, a second substrate made of, for example, a glass substrate is prepared, and extends in the Y direction on one main surface thereof, and in parallel with the required interval in the X direction. A partition 4 arranged in parallel is formed. A connecting portion 4c is formed in which both ends (only one end thereof is shown in FIG. 3) of these partitions 4 are connected to each other.

이들 격벽(4) 및 그 연결부(4c)는 인쇄법에 의해 형성할 수 있다. 예를 들면, 유리페이스트를 복수회 겹쳐 인쇄한다. 이 경우의 1회 인쇄의 두께는 약 10㎛이며, 이 인쇄를 반복함으로써, 높이(두께) 50㎛에서 80㎛의 스트라이프형 인쇄를 행한다. 그 후, 예를 들면 500℃~600℃의 베이킹을 행한다. 이와 같이 하면, 30㎛~60㎛ 높이의 격벽(4)을 형성할 수 있다.These partitions 4 and their connecting portions 4c can be formed by a printing method. For example, a glass paste is overlaid and printed several times. The thickness of one-time printing in this case is about 10 micrometers, and stripe type printing of 50 micrometers to 80 micrometers in height (thickness) is performed by repeating this printing. Then, baking of 500 degreeC-600 degreeC is performed, for example. By doing in this way, the partition 4 of 30 micrometers-60 micrometers height can be formed.

그 후, 격벽(4)의 최소한 1측면에, 격벽(4)의 정부를 제외하고 도전층의 형성을 행하여 전술한 제2 전극(11)의 형성을 행한다. 이 예에서는, 격벽(4)의 양 측면과, 각 격벽(4) 간에 형성되는 홈부(7)의 저면에 가로질러 제2 전극(11)의 형성을 행하도록 한 경우이다.Thereafter, the conductive layer is formed on at least one side of the partition 4 except for the top of the partition 4 to form the second electrode 11 described above. In this example, the second electrode 11 is formed across both side surfaces of the partition 4 and the bottom of the groove 7 formed between the partitions 4.

이 경우, 먼저, 도 3 (B)에 나타낸 바와 같이, Y방향에 따라 형성된 격벽(4)에 대하여, 화살표로 개략적으로 나타낸 바와 같이, 격벽(4)이 대응하는 한 측면측의 경사 상방으로부터 주로 이 한 측면에 도전재(9)를 피착한다.In this case, first, as shown in Fig. 3B, the bulkhead 4 formed along the Y direction is mainly from the inclined upper side of the side surface where the partition wall 4 corresponds, as schematically indicated by the arrow. The conductive material 9 is deposited on this one side.

이어서, 도 4 (A)에 화살표로 개략적으로 나타낸 바와 같이, 격벽(4)의 다른 쪽 측면측의 경사 상방, 즉 도 3 (B)에서 설명한 경사 상방과는 반대측의 경사 상방으로부터 동일한, 예를 들면 Al에 의한 도전재(9)를 비상방향으로 방향성을 가지는, 예를 들면 증착법에 의해 비상시켜 주로 격벽(4)의 다른 측면에 피착한다.Subsequently, as schematically shown by the arrow in FIG. 4A, the same example is obtained from the inclination upper side of the other side surface of the partition 4, that is, from the inclined upper side opposite to the inclined upper side described in FIG. For example, the electrically-conductive material 9 made of Al is made to fly in an emergency direction, for example, by a vapor deposition method, and is mainly deposited on the other side of the partition wall 4.

또한, 도 4 (B)에 화살표로 개략적으로 나타낸 바와 같이, 기판(1)의 상방으로부터 기판면에 대략 수직방향에 따라 동일한 Al 등의 도전재를 비상시켜, 홈부(7) 내의 저부에 도전재(9)를 피착 형성한다.In addition, as schematically indicated by arrows in FIG. 4B, the same conductive material, such as Al, is made to escape from the upper side of the substrate 1 along the direction substantially perpendicular to the substrate surface, and the conductive material is located at the bottom in the groove portion 7. (9) is deposited.

그 후, 도 5 (A)에 나타낸 바와 같이, 각 홈부(7) 내와, 이것으로부터 연결부(4c) 상으로 연장시켜, 각각 스트라이프형의, 예를 들면 포토레지스트에 의한 에칭레지스트(10)를 포토리소그래피에 의해 형성한다.Thereafter, as shown in Fig. 5A, each of the groove portions 7 and the connecting portions 4c are extended from each other to form an etching resist 10 of a stripe type, for example, a photoresist. It is formed by photolithography.

이 경우, 에칭레지스트(10)의 두께는 홈부(7) 내에서, 격벽(4)의 정부에 형성된 도전재(9)를 외부에 노정시킬 수 있는 두께로 선정한다. 다음에, 이 에칭레지스트(10)를 마스크로서 도전재(9)에 대한 에칭을 행하여, 격벽(4)의 정부 상의 도전재(9)를 연결부(4c) 상으로 연장하여 제거하고, 각 격벽(4)의 양 측면에 형성되어 있는 도전재(9)를 전기적으로 분리한다.In this case, the thickness of the etching resist 10 is selected so that the conductive material 9 formed at the top of the partition 4 in the groove 7 can be exposed to the outside. Next, the etching resist 10 is etched with respect to the conductive material 9 by using a mask to extend the conductive material 9 on the top of the partition 4 onto the connecting portion 4c to remove the conductive material 9. The electrically conductive material 9 formed in both sides of 4) is isolate | separated electrically.

그 후, 도 5 (B)에 나타낸 바와 같이, 에칭레지스트(10)를 제거한다.Thereafter, as shown in Fig. 5B, the etching resist 10 is removed.

이와 같이 하여, 각 홈부(7)에 관해 각각의 저면과 이를 사이에 두고 대향하는 격벽(4)의 각 한 측면에 형성된 도전재(9)에 의해 제2 전극(22)가 형성된 제2 전극군(32)이 형성된다.Thus, the 2nd electrode group in which the 2nd electrode 22 was formed by the electrically conductive material 9 formed in each bottom surface and each side surface of the partition 4 which opposes each groove part 7 in between. 32 is formed.

그리고, 이 경우, 각 제2 전극(21)의 단부에 격벽(4)의 연결부(4c) 상으로 연장되는 단자부(22a)를 형성할 수 있다.In this case, the terminal portion 22a extending on the connecting portion 4c of the partition wall 4 can be formed at the end of each second electrode 21.

도 5 (B)의 예에서는, 제2 전극(22)의 모든 단자부(22a)가 동일 단부에 형성된 구성으로 한 경우이지만, 예를 들면 인접하는 제2 전극(22)의 하나 걸러, 홈부(7)의 양단으로부터 도출하는 구성으로 할 수도 있다.In the example of FIG. 5B, although all the terminal portions 22a of the second electrodes 22 are formed at the same end, for example, every other second electrode 22 adjacent to each other is provided with a groove portion 7. It can also be set as the structure derived from both ends of).

그 후, 도 6에 나타낸 바와 같이, 각 격벽(4) 간의 홈부(7) 내에, 순차 각색의 형광체 R, G 및 B를 가지는, 예를 들면 감광성의 형광체 슬러리(slurry)의 도포, 베이킹을 반복작업에 의해, 적, 녹 및 청의 각 형광체 R, G 및 B를 형성한다.Then, as shown in FIG. 6, application | coating and baking of the photosensitive fluorescent substance slurry which have various fluorescent substance R, G, and B sequentially in the groove part 7 between each partition 4 are repeated, for example. By work, each phosphor R, G and B of red, green and blue is formed.

또한, 도 1에서 설명한 바와 같이, 전면적으로 MgO 등의 표면층(8)의 형성을 행한다.1, the surface layer 8, such as MgO, is formed over the whole surface.

이와 같이 하여, 제2 기판(2)에 관한 제조가 이루어진다.In this way, manufacture regarding the 2nd board | substrate 2 is performed.

그 후, 제1 및 제2 기판(1 및 2)을 전술한 위치관계에 대향시키고, 전술한 바와 같이, 그 주변을 프릿실하여 배기 및 전술한 소요 가스 봉입을 행하여, 목적으로 하는 평면형 표시장치를 얻는다.Thereafter, the first and second substrates 1 and 2 are opposed to the above-described positional relationship, and as described above, the surroundings are frit-silted and exhausted and the above-described gas encapsulation is carried out. Get

이 경우, 각 제1 전극(21)의 단부에 의한 단자부, 및 제2 전극(22)의 단자부(22a)는 기밀공간 밖으로 연장된 각 기판(1 및 2)의 외측부로 도출하여, 각각 급전단자로 할 수 있다.In this case, the terminal part by the end part of each 1st electrode 21, and the terminal part 22a of the 2nd electrode 22 are led to the outer part of each board | substrate 1 and 2 extended outside the airtight space, respectively, and a feed terminal, respectively. You can do

전술한 예에서는, 각 제2 전극(22)을 홈부(7)의 내측면 및 저면에 걸쳐 형성한 경우이며, 이와 같이 홈부(7)의 저면에 전극(22)의 형성을 행할 때에는, 이 전극(22)이 이른바 광반사면으로서 기능하여, 형광체 R, G 및 B로부터의 후방으로의 발광을 반사시켜, 전면(前面)패널측, 즉 제1 기판(1)으로부터 전방으로 효율 양호하게 도출시킬 수 있어, 밝은 표시를 행하는 효과가 있다. 그러나, 예를 들면 홈부(7)의 한 측면에만 형성할 수도 있고, 이 경우에는, 도 4 (A) 및 (B)의 공정을 생략할 수 있다.In the above-described example, each of the second electrodes 22 is formed over the inner side surface and the bottom surface of the groove portion 7. Thus, when the electrode 22 is formed on the bottom surface of the groove portion 7 in this way, this electrode is used. (22) functions as a so-called light reflecting surface, and reflects light emission from the phosphors R, G and B to the rear, so that the front panel side, i.e., the first substrate 1, can be efficiently drawn forward. There is an effect of displaying a bright display. However, for example, it may be formed only on one side surface of the groove 7, and in this case, the steps of FIGS. 4A and 4B may be omitted.

또, 제2 전극(22)을 홈부(7)의 저면을 제외한 양 측면에만 형성하는 경우에는, 도 4 (B)의 공정을 생략할 수 있다.In addition, when forming the 2nd electrode 22 only in both side surfaces except the bottom face of the groove part 7, the process of FIG. 4B can be abbreviate | omitted.

또, 전술한 방법에서는, 격벽(4)의 형성을 유리페이스트의 반복패턴 인쇄의 중복인쇄에 의해 형성한 경우이지만, 예를 들면, 전면적으로, 예를 들면 50㎛~80㎛로 인쇄하고, 건조시켜 이를 샌드블라스트(sand blast)에 의해 패턴화함으로써 형성할 수도 있다. 이 경우, 샌드블라스트의 마스크를 형성한다. 이 마스크의 형성은 전면적으로 감광제 필름을 적층하고, 이를 평행 스트라이프형으로 노광베이킹하고, 현상하여 소요 패턴의 마스크를 형성한다. 그 후, 마스크의 개구를 통해 샌드블라스트함으로써 불요부분의 유리층을 제거하고, 그 후, 감광제 필름을 제거하여, 500℃~600℃의 베이킹을 행함으로써 소요 높이의 격벽(4) 형성을 행할 수 있다.Moreover, in the above-mentioned method, although the formation of the partition 4 is formed by the overprinting of the repeat pattern printing of glass paste, for example, the whole surface is printed by 50 micrometers-80 micrometers, for example, and it dries. It can also be formed by patterning it by sand blast. In this case, a mask of sandblast is formed. This mask is formed by laminating a photosensitive film on the whole surface, exposing and baking it in a parallel stripe shape, and developing to form a mask having a required pattern. Thereafter, the glass layer of the unnecessary portion is removed by sandblasting through the opening of the mask, and then the photosensitive film is removed, and the partition 4 of the required height can be formed by baking at 500 ° C to 600 ° C. have.

또, 전술한 예에서는, 제2 전극(22)을 홈부(7) 내에 피착 형성한 경우이지만, 도 7에 그 일부의 분단사시도를 나타낸 바와 같이, 격벽(4) 내에 제2 전극(22)을 형성하는 스트라이프형 도전층을 격벽(4)의 연장방향(Y방향)에 따라 연장시키도록 매입(埋入)하여 형성할 수 있다.In addition, in the above-mentioned example, although the 2nd electrode 22 is formed in the groove part 7 to deposit, as shown in FIG. 7, the partial perspective view of the part of the 2nd electrode 22 in the partition 4 is shown. The stripe conductive layer to be formed may be embedded so as to extend in the extending direction (Y direction) of the partition wall 4.

이 예에서는, 그 제2 전극(22)은 각 격벽(4)이 대응하는 한 측면에 치우쳐 배치되고, 제2 전극(22)의 한 측에지가 각 격벽(4)이 대응하는 각 한 측면에 면해 형성된 경우이다.In this example, the second electrode 22 is disposed on one side to which each of the partition walls 4 corresponds, and one side edge of the second electrode 22 is on each side to which each of the partition walls 4 corresponds. This is the case formed.

이 경우의 제2 전극(22)과, 격벽(4)의 형성방법의 일예를 도 8 및 도 9의 각 공정에서의 일부의 개략단면도를 참조하여 설명한다.An example of the method of forming the second electrode 22 and the partition wall 4 in this case will be described with reference to a schematic cross-sectional view of a part of each step in FIGS. 8 and 9.

이 경우, 도 8 (A)에 나타낸 바와 같이, 제2 기판(2) 상, 또는 제2 기판(2) 상에 형성한 절연층 상에, 최종적으로 제2 전극을 형성하는 도전층(11)을, 도면에서 지면(紙面)과 직교하는 Y방향으로 연장하여 스트라이프형으로 형성한다. 이 스트라이프형 도전층(11)의 형성은 Al 등의 도전재를 전면적으로, 예를 들면 증착에 의해 형성하고, 그 후, 포토리소그래피에 의한 패턴 에칭에 의해 소정의 폭 및 간격으로 형성한다.In this case, as shown in FIG. 8A, the conductive layer 11 finally forming the second electrode on the second substrate 2 or on the insulating layer formed on the second substrate 2. In the drawing is extended in the Y direction orthogonal to the ground to form a stripe shape. The stripe conductive layer 11 is formed by, for example, vapor deposition on the entire surface of a conductive material such as Al, and is then formed at a predetermined width and interval by pattern etching by photolithography.

또는, 은(銀)페이스트 등의 도전페이스트를 인쇄함으로써 전술한 패턴의 도전층(11)을 형성한다.Or the conductive layer 11 of the pattern mentioned above is formed by printing conductive pastes, such as silver paste.

그 후, 도 8 (B)에 나타낸 바와 같이, 전면적으로 절연층(12)을, 예를 들면 연(鉛)유리페이스트 등의 절연페이스트를 전면적으로 인쇄하여 건조시킴으로써 형성한다.Thereafter, as shown in Fig. 8B, the insulating layer 12 is formed on the entire surface by printing and drying the insulating paste, such as soft glass paste, on the entire surface.

다음에, 도 8 (C)에 나타낸 바와 같이, 스트라이프형 도전층(11)의, 예를 들면 한 측에지 상을 피복하여 도전층(11)의 연장방향으로 따르는, 즉 Y방향으로 연장되는 스트라이프형 샌드블라스트의 마스크(13)를 형성한다. 이 마스크(13)는, 예를들면 드라이필름 레지스트를 절연층(12) 상에 적층하고, 그 후, 전술한 홈부(7)의 형성부를 노광 및 현상처리함으로써 제거하여 형성한다.Next, as shown in Fig. 8C, the stripe conductive layer 11 covers, for example, one side edge on the stripe and extends in the extending direction of the conductive layer 11, that is, the stripe extends in the Y direction. The mask 13 of the type sandblast is formed. The mask 13 is formed by, for example, laminating a dry film resist on the insulating layer 12, and then removing the formed portion of the groove 7 described above by exposing and developing the exposed portion.

그 후, 도 9 (A)에 화살표로 개략적으로 나타낸 바와 같이, 기판(2)의 상방으로부터 샌드블라스트를 행하여, 마스크(13)에 의해 피복되어 있지 않은 부분을 새겨들어가 홈부(7)의 형성, 즉 홈부(7) 사이에 격벽(4)을 형성한다.Thereafter, as schematically shown by arrows in FIG. 9A, sandblasting is performed from above the substrate 2 to engrave portions not covered by the mask 13 to form the grooves 7, That is, the partition 4 is formed between the grooves 7.

그리고, 도 9 (B)에 나타낸 바와 같이, 마스크(13)를 제거한다.Then, as shown in FIG. 9B, the mask 13 is removed.

이와 같이 하면, 이른바 격벽 본체(4A) 상에 절연층(12)이 형성된 격벽(4)이 형성된다. 그리고, 이들 격벽(4)의 한 측면에 단에지가 면하는 제2 전극(22)이 형성된다.In this way, the partition 4 in which the insulating layer 12 was formed is formed on what is called partition wall main body 4A. Then, the second electrode 22 facing the end edge is formed on one side surface of these partition walls 4.

그 후에는, 각 홈부(7) 내에, 예를 들면 스크린인쇄 등에 의해, 각색의 형광체 R, G 및 B를 소정의 배열순서를 갖고 형성한다.Subsequently, various phosphors R, G, and B are formed in each groove portion 7 in a predetermined arrangement order, for example, by screen printing.

그 후에는, 전술한 것과 동일한 공정을 거쳐, 목적으로 하는 즉 도 7에 나타낸 본 발명에 의한 평면형 표시장치를 얻는다. 도 7에서, 도 1과 대응하는 부분에는 동일부호를 붙이고 중복설명을 생략한다.After that, the same process as described above is carried out to obtain a flat display device according to the present invention as shown in FIG. In FIG. 7, parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and redundant descriptions thereof will be omitted.

전술한 본 발명의 제조방법에 의하면, 제1 및 제2 전극(21 및 22)과의 간격이 음극글로방전을 가능하게 하는 데 필요 충분하게 협소된, 본 발명에 의한 평면형 표시장치를 얻을 수 있다.According to the above-described manufacturing method of the present invention, the flat display device according to the present invention can be obtained in which the distance between the first and second electrodes 21 and 22 is sufficiently narrow to enable the cathode glow discharge. have.

그리고, 본 발명에 의한 평면형 표시장치, 또 그 제조방법은 전술한 예에 한정되지 않고, 여러가지의 변형 변경을 행할 수 있다.Incidentally, the flat panel display device and the manufacturing method thereof according to the present invention are not limited to the above-described examples, and various modifications and changes can be made.

예를 들면, 제1 및 제2 기판(1 및 2)은 전술한 바와 같이, 평면형 표시장치를 구성하는 기밀편평용기를 구성하는 전면 및 배면패널 자체에 의해 구성할 수도 있고, 기밀편평용기 내에 배치되는 서로 대향하는 기판에 의해 구성할 수도 있는 등 여러가지의 변형 변경을 행할 수 있는 것이다.For example, as described above, the first and second substrates 1 and 2 may be constituted by the front and rear panels themselves constituting the airtight flat container constituting the flat display device, and disposed in the airtight flat container. Various modifications can be made, such as being constituted by mutually opposing substrates.

또, 전술한 예에서는, 제1 기판(1)측으로부터 발광표시의 관찰을 행하도록 한 경우이지만, 제2 기판(2)측으로부터 관찰하는 구성으로 할 수도 있는 것이며, 이 경우에는, 제2 기판(2) 및 제2 전극(22)을 투명도전층에 의해 구성한다.Moreover, in the above-mentioned example, although it is a case where observation of light emission display is performed from the 1st board | substrate 1 side, it can also be set as the structure observed from the 2nd board | substrate 2 side, In this case, a 2nd board | substrate (2) and the second electrode 22 are constituted by a transparent conductive layer.

전술한 바와 같이,본 발명 장치에서는, 음극글로방전에 의한 구성으로 함으로써, 구동전력을 네거티브 글로방전에 의한 경우에 비해 저감화할 수 있다. 또는 구동전력을 종래와 동일 또는 종래에 가까운 크기로 할 때에는, 그 발광효율, 발광휘도를 높일 수 있다. 예를 들면, 종래와 동일한 구동전력으로 할 때, 그 밝기는 4할 이상 높일 수 있었다.As described above, in the apparatus of the present invention, the drive power can be reduced as compared with the case of negative glow discharge by the configuration by the cathode glow discharge. Alternatively, when the driving power is the same as or similar to the conventional one, the luminous efficiency and the luminous luminance can be increased. For example, at the same drive power as in the prior art, the brightness could be increased by more than 40%.

또, 제2 전극(22)을 격벽(4)의 측면에 형성하는 것이므로, 제1 및 제2 전극(21 및 22) 간의 간격을 전술한 바와 같이, 50㎛ 이하, 나아가서는 20㎛ 이하의 음극글로방전을 발생시킬 수 있는 충분히 작은 간격으로 선정할 수 있다.In addition, since the second electrode 22 is formed on the side surface of the partition wall 4, the gap between the first and second electrodes 21 and 22 is 50 µm or less, and further 20 µm or less, as described above. It can be selected at intervals small enough to cause glow discharge.

그리고, 그 방전공간은 격벽(4)에 의해 설정된 홈부(7)에서의 큰 공간을 확보할 수 있는 것이며, 또, 각 격벽(4) 사이에 각 형광체 R, G 및 B를 형성하기 때문에, 형광체의 도포면적을 크게 확보할 수 있어, 밝은 표시를 행할 수 있는 것이다.Since the discharge space can secure a large space in the groove portion 7 set by the partition wall 4, and the phosphors R, G and B are formed between the partition walls 4, the phosphors The coating area of can be largely secured, and bright display can be performed.

또, 인접하는 홈부(7)에 각 형광체 R, G 및 B가 도포되기 때문에, 화소피치는 충분히 작아진다.In addition, since the phosphors R, G, and B are applied to the adjacent groove portions 7, the pixel pitch is sufficiently small.

그리고, 구동전력의 저감화에 의해, 발열의 저감화가 도모되기 때문에, 방열팬의 사용 회피, 또는 방열팬의 개수 또는 파워의 저감화를 도모할 수 있거나, 방열팬의 개수, 면적의 저감화 등을 도모할 수 있어, 대면적 표시에서의 장치 전체의 소형화, 경량화 등을 도모할 수 있다.Since the reduction of the driving power reduces the heat generation, it is possible to avoid the use of the heat radiating fan or to reduce the number of heat radiating fans or the power, or to reduce the number of heat radiating fans and the area. This makes it possible to reduce the size and weight of the entire apparatus in large-area display.

또, 실제의 제조에서는, 제1 및 제2 기판(1 및 2)을 유리기판, 특히 염가의 연(鉛)유리 등에 의해 구성하는 경우, 그 제조과정에서의 열처리에 의해 큰 수축이 발생한다. 이 수축은, 예를 들면 10cm가 수100℃의 열처리로, 20㎛~30㎛나 이르고, 나아가 제품마다의 불균일이 크고, 또 이 수축은 화면의 중앙부와 주변부에서 상위하기 때문에, 동일기판에서 복수 패턴의 전극형성공정을 행하는 경우, 예를 들면 그 패턴 에칭에서의 노광마스크 등의 위치맞춤에, 각부에서 차질이 생기거나, 제품마다의 불균일이 발생하기 때문에, 특히 음극글로방전에서와 같이, 방전전극 간의 거리를 50㎛ 이하 내지는 50㎛ 미만 , 바람직하게는 20㎛ 이하로 형성하는 경우, 특히 그 치수 정밀도에 높은 정밀도가 요구되기 때문에, 수율, 신뢰성에 문제가 발생한다.Moreover, in actual manufacture, when the 1st and 2nd board | substrates 1 and 2 are comprised by a glass substrate, especially cheap lead glass, etc., big shrinkage arises by the heat processing in the manufacturing process. This shrinkage is, for example, 10 cm by a heat treatment of several 100 ° C., and reaches 20 μm to 30 μm. Furthermore, the nonuniformity of each product is large, and the shrinkage differs between the center part and the peripheral part of the screen. In the case of performing an electrode forming step of a pattern, for example, in the alignment of an exposure mask or the like in the pattern etching, a problem occurs in each part or a non-uniformity occurs for each product. In the case where the distance between the discharge electrodes is formed to be 50 m or less or less than 50 m, preferably 20 m or less, high precision is particularly required for the dimensional accuracy thereof, which causes problems in yield and reliability.

이에 대하여, 본 발명의 구성에 의할 때에는, 제1 및 제2 전극(21 및 22)을 서로 별도 기판의 제1 및 제2 기판(1 및 2)에 형성하기 때문에, 양 전극(21 및 22)의 간격은 소정의 협소한 간격으로 설정할 수 있어, 확실하게 음극글로방전을 행할 수 있다.In contrast, according to the configuration of the present invention, since the first and second electrodes 21 and 22 are formed on the first and second substrates 1 and 2 of the substrate separately from each other, both electrodes 21 and 22 are formed. Can be set at a predetermined narrow interval, and the cathode glow discharge can be surely performed.

또,전술한 바와 같이, 돌기바(3)와 격벽(4)과의 공동(共動)에 의해 제1 및 제2 기판(1 및 2)의 간격 설정, 즉 방전공간의 설정이 이루어지는 것이지만, 돌기바(3)에 교차돌기바부(3x)를 형성한 격자형으로 할 때에는, 양 기판(1 및 2)에 어긋남이 발생해도, 양 기판(1 및 2)의 간격, 따라서, 제1 및 제2 전극(1 및 2)의 간격을 소정의 간격으로 유지할 수 있다.In addition, as described above, the interval between the first and second substrates 1 and 2 is set by the cavity between the protrusion bar 3 and the partition wall 4, that is, the discharge space is set. When the grid | lattice form which the cross | projection bar part 3x was formed in the projection bar 3 was made into a grid | lattice, even if the shift | offset | difference arises in both board | substrates 1 and 2, the space | interval of both board | substrates 1 and 2, Therefore, 1st and 1st The interval between the two electrodes 1 and 2 can be maintained at a predetermined interval.

또, 본 발명의 제조방법에 의하면, 목적으로 하는 본 발명에 의한 평면형 표시장치의 제2 전극이 격벽의 측면에 형성되는 구성으로 함에도 불구하고, 경사방향의 도전재료의 비상, 또는 격벽 내에의 도전층 형성에 의해, 용이, 확실하게 그 형성을 행할 수 있어, 신뢰성이 높고, 특성의 균일화가 도모된 평면형 표시장치를 얻을 수 있는 것이다.In addition, according to the manufacturing method of the present invention, the second electrode of the flat panel display device according to the present invention is formed on the side surface of the partition wall. By forming the layers, it is possible to easily and reliably form them, thereby obtaining a flat display device having high reliability and uniformity of characteristics.

Claims (12)

제1 기판과 제2 기판이 서로 대향하여 배치되고,The first substrate and the second substrate are disposed opposite each other, 상기 제1 기판측에, 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극이 배열되어 이루어지는 제1 전극군이 형성되고,On the first substrate side, a first electrode group in which a plurality of first electrodes serving as one electrode of a discharge electrode is arranged is formed, 상기 제2 기판측에, 소요 간격을 유지하여 병치(倂置) 배열된 복수의 격벽(隔璧)과, 상기 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극이 배열되어 이루어지는 제2 전극군이 형성되고,A second electrode group in which a plurality of partition walls arranged in parallel with each other at a necessary interval and a plurality of second electrodes serving as the other electrode of the discharge electrode are arranged on the second substrate side. Is formed, 상기 제2 전극은 상기 격벽 양 측면의 최소한 한 측면 상에 형성되거나, 또는 상기 격벽 내의 한 측에지가 상기 격벽의 최소한 한 측면에 면하거나 또는 상기 측면 근방에 위치하도록 형성되고,The second electrode may be formed on at least one side of both sides of the barrier rib, or one side edge in the barrier rib may face at least one side of the barrier rib or be located near the side rib, 주로 음극글로방전(cathode glow discharge)에 의한 플라스마 방전표시가 이루어지는 평면형 표시장치.A flat display device in which plasma discharge display is mainly performed by cathode glow discharge. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 전극은 그 주된 연장방향이 상기 제1 기판의 기판면에 따르는 제1 방향으로 되어 배열되고,The first electrode is arranged such that its main extension direction is in a first direction along the substrate surface of the first substrate, 상기 복수의 격벽은 상기 제2 기판의 기판면에 따라 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 병치(倂置) 형성되어 이루어지는 평면형 표시장치.And the plurality of partition walls extend in a second direction crossing the first direction along the substrate surface of the second substrate to form a juxtaposition. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 전극이 인접하는 격벽 간 홈의 저면(底面)에 가로질러 형성되어 이루어지는 평면형 표시장치.And the second electrode is formed across the bottom surface of the groove between the adjacent partition walls. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 전극이 상기 격벽의 양 측면에 관해 서로 전기적으로 분리되어 형성되고,The second electrodes are formed to be electrically separated from each other with respect to both sides of the partition wall, 인접하는 격벽의 서로 대향하는 측면에 관해 형성된 상기 제2 전극끼리 단부(端部)에서 서로 전기적으로 연결되어 이루어지는 평면형 표시장치.A flat display device, wherein the second electrodes formed on opposite sides of adjacent partition walls are electrically connected to each other at an end portion thereof. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 격벽은 격벽 본체와 상기 격벽 본체 상에 적층된 적층절연층에 의해 형성되고,The barrier rib is formed by a barrier body and a laminated insulating layer stacked on the barrier body. 상기 제2 전극이 상기 격벽 본체와 상기 적층절연층 사이에 개재(介在)된 도전층에 의해 형성되고, 상기 도전층의 한 측에지가 상기 격벽의 측면에 면하거나 또는 상기 측면 근방에 위치하도록 배치되어 이루어지는 평면형 표시장치.The second electrode is formed by a conductive layer interposed between the partition body and the laminated insulating layer, and one side edge of the conductive layer is disposed to face the side surface of the partition wall or to be located near the side wall. Flat display device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 인접하는 상기 격벽 서로의 대향면 간의 홈부 내에 형광체가 도포되어 이루어지는 평면형 표시장치.A flat panel display device in which phosphors are coated in grooves between opposite surfaces of adjacent partition walls. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 인접하는 상기 격벽 서로의 대향면 간의 홈부의 순차(順次) 2개 걸러의 홈부 내에, 적, 녹 및 청의 각색을 발광하는 형광체가 소요 순서를 갖고 도포되어 이루어지는 평면형 표시장치.A flat panel display device in which phosphors that emit red, green, and blue colors are applied in the required order in the grooves of every other two or more of the grooves between the opposing surfaces of adjacent partitions. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 전극의 전극 간격이 50㎛ 이하로 선정되어 주로 음극글로방전에 의한 방전 개시가 이루어지는 평면형 표시장치.A flat display device in which the electrode gap between the first and second electrodes is selected to be 50 μm or less, whereby discharge is mainly initiated by cathode glow discharge. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 전극의 전극 간격이 20㎛ 이하로 선정되어 주로 음극글로방전에 의한 방전 개시가 이루어지는 평면형 표시장치.A flat panel display device in which the electrode gap between the first and second electrodes is selected to be 20 μm or less, and discharge is mainly initiated by cathode glow discharge. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1 기판에, 상기 제2 방향에 따라 연장되는 돌기바(projecting bar parts)부와, 상기 격벽과 교차하는 방향으로 연장되는 교차돌기바부에 의한 격자형 돌기바가 형성되어 이루어지는 평면형 표시장치.And a lattice shaped protrusion bar formed by the projecting bar parts extending in the second direction and the crossing protrusion bars extending in a direction crossing the partition wall. 제1 기판측에, 주된 연장방향이 상기 제1 기판면에 따르는 제1 방향으로 된 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극을 병치배열 형성하는 제1 전극군의 형성공정,A step of forming a first electrode group on a first substrate side in which a plurality of first electrodes serving as one electrode of a discharge electrode whose main extension direction is in a first direction along the first substrate surface is formed in parallel; 상기 제2 기판측에 상기 제2 기판면에 따르는 제2 방향으로 연장되는 복수의 격벽을 병치배열 형성하는 격벽형성공정,A partition wall forming step of forming a plurality of partition walls arranged in parallel in the second direction along the second substrate surface on the second substrate side; 상기 제2 방향과 교차하는 방향의 경사 상방으로부터 도전재를 비상(飛翔)시켜, 상기 격벽의 정상면 이외의 최소한 한 측면에 상기 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극을 병치배열 형성하는 제2 전극군의 형성공정,Conducting a conductive material from an incline upward in the direction crossing the second direction, and forming a plurality of second electrodes arranged in parallel on at least one side surface other than the top surface of the partition wall as the other electrode of the discharge electrode; Forming a second electrode group; 상기 인접하는 격벽 간의 홈부 내에 형광체를 형성하는 공정, 및Forming a phosphor in the groove portion between the adjacent partition walls, and 상기 제1 및 제2 방향이 교차하도록, 상기 제1 및 제2 기판을 대향시켜 이들 제1 및 제2 기판의 주변부를 밀봉하는 공정을 가지는 평면형 표시장치의 제조방법.And sealing the periphery of the first and second substrates so that the first and second substrates face each other so that the first and second directions cross each other. 제1 기판에, 주된 연장방향이 상기 제1 기판면에 따르는 제1 방향으로 된 방전전극의 한쪽 전극으로 되는 복수의 제1 전극을 병치배열 형성하는 제1 전극군의 형성공정,A step of forming a first electrode group in which a plurality of first electrodes serving as one electrode of a discharge electrode whose main extension direction is in a first direction along the first substrate surface is arranged in parallel; 상기 제2 기판 또는 상기 제2 기판 상에 형성한 절연층 상에, 제2 방향으로 연장되는 방전전극의 다른 쪽 전극으로 되는 복수의 제2 전극을 병치배열 형성하는 제2 전극군의 형성공정,A step of forming a second electrode group in which a plurality of second electrodes serving as the other electrodes of the discharge electrodes extending in the second direction are arranged in parallel on the insulating layer formed on the second substrate or the second substrate, 상기 제2 전극 상을 피복하여 절연층을 적층 형성하는 공정,Covering the second electrode and laminating an insulating layer; 상기 적층절연층으로부터 상기 제2 기판 또는 상기 기판 상에 형성된 절연층에 이르는 깊이의 홈 가공을 행하여 복수의 격벽을 형성하는 격벽형성공정,A partition wall forming step of forming a plurality of partition walls by performing groove processing having a depth from the laminated insulating layer to the second substrate or the insulating layer formed on the substrate; 상기 인접하는 격벽 간의 홈부 내에, 형광체를 형성하는 공정, 및Forming a phosphor in a groove portion between the adjacent partition walls, and 상기 제1 및 제2 방향이 교차하도록, 상기 제1 및 제2 기판을 대향시켜 이들 제1 및 제2 기판의 주변부를 밀봉하는 공정을 가지고,Sealing the periphery of the first and second substrates by opposing the first and second substrates so that the first and second directions cross each other; 상기 각 격벽이 상기 격벽 본체와 상기 적층절연층에 의해 구성되고,Each partition wall is constituted by the partition body and the laminated insulating layer, 상기 제2 전극이 상기 격벽 본체와 상기 적층절연층 사이에 개재된 상기 도전층에 의해 형성되고, 상기 제2 전극의 한 측에지가 상기 격벽의 측면에 면하거나 또는 상기 측면 근방에 위치하도록 배치되어 이루어지는 평면형 표시장치를 얻는 평면형 표시장치의 제조방법.The second electrode is formed by the conductive layer interposed between the partition body and the laminated insulating layer, and one side edge of the second electrode is disposed to face the side of the partition or to be located near the side surface. A manufacturing method of a flat panel display device which obtains a flat panel display device.
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