KR20000027414A - Pneumatic valve - Google Patents

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송호기
이동규
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윤종용
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Abstract

PURPOSE: A pneumatic valve is provided to sense the open or close state of a valve easily and to make easy the installation by improving the structure. CONSTITUTION: A pneumatic valve composed of a valve housing(410), a valve cover, a valve head, a valve stem(441) and a switch device additionally comprise of a sensor(161) sensing the elevation of the valve stem for the confirmation of the open or close state of a pneumatic valve. Herein, the pneumatic valve is in an open state according to the supply of the compressed air so that fluid flows by passing in the valve housing. The sensor senses the upper end part of the valve stem and makes a confirmation of the open state of the pneumatic valve according to the approach or contact of the upper end part of the valve stem to the sensor when the valve stem is lifted completely.

Description

뉴메틱 밸브Pneumatic valve

본 발명은 압축공기에 의해 작동되는 뉴메틱 밸브에 관한 것으로, 특히 개폐 상태를 용이하게 감지할 수 있도록 된 뉴메틱 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a pneumatic valve operated by compressed air, and more particularly, to a pneumatic valve that can easily detect the opening and closing state.

뉴메틱 밸브는 일반적으로 이온주입 설비 뿐만 아니라 진공을 이용하는 설비 등 반도체 소자의 제조공정에 많이 사용되는 것으로, 압축공기에 의해 밸브 스템을 작동시켜 밸브 내부를 통해 유체를 흐르도록 하거나 유체의 흐름을 차단하는 역할을 하는 것이다.Pneumatic valves are generally used in the manufacturing process of semiconductor devices such as vacuum injection facilities as well as ion implantation equipment. The pneumatic valve operates the valve stem by compressed air to allow fluid to flow through the valve or block the flow of fluid. It is to play a role.

이하에서 종래의 뉴메틱 밸브의 구성 및 작용을 첨부 도면을 참조하면서 설명하기로 한다.Hereinafter, the configuration and operation of a conventional pneumatic valve will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1과 도 2는 종래의 뉴메틱 밸브의 닫힘 상태와 열림 상태를 각각 나타낸 종단면도이다.1 and 2 are longitudinal cross-sectional views showing the closed state and the open state of the conventional pneumatic valve, respectively.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 뉴메틱 밸브는 밸브 하우징(110), 밸브 카바(120) 및 헤드 카바(130)를 구비하고 있으며, 그 내부에는 개폐장치가 설치되어 있다.1 and 2, the conventional pneumatic valve is provided with a valve housing 110, a valve cover 120 and a head cover 130, and the opening and closing device is installed therein.

상기 밸브 하우징(110)에는 유체가 출입할 수 있도록 유입구(111)와 유출구(112)가 마련되어 있으며, 그 내부에는 후술하는 밸브 헤드(142)가 밀착되는 밸브 시이트(113)가 형성되어 있다.The valve housing 110 is provided with an inlet 111 and an outlet 112 so that fluid can enter and exit, and a valve seat 113 is formed therein in which the valve head 142 described later is in close contact.

상기 밸브 카바(120)는 밸브 하우징(110)의 상부에 장착되며, 스크루(151)에 의해 체결되어 있다. 상기 밸브 카바(120)의 일측에는 압축공기를 공급하기 위한 하나의 에어 공급구(121)가 마련되어 있으며, 그 내부에는 에어 공급구(121)와 연결되는 에어 통로(122)가 형성되어 있다. 또한 상기 밸브 카바(120)의 상부에는 중공부(123)가 형성되어 있다.The valve cover 120 is mounted on an upper portion of the valve housing 110 and is fastened by a screw 151. One air supply port 121 for supplying compressed air is provided at one side of the valve cover 120, and an air passage 122 connected to the air supply port 121 is formed therein. In addition, a hollow portion 123 is formed at an upper portion of the valve cover 120.

상기 헤드 카바(130)는 밸브 카바(120)의 상부에 장착되며, 스크루(151)에 의해 체결되어 있다. 상기 헤드 카바(130)의 중심부에는 후술하는 밸브 스템(141) 상단부의 캡(143)이 상하 이동할 수 있도록 구멍(131)이 형성되어 있다.The head cover 130 is mounted on an upper portion of the valve cover 120 and is fastened by a screw 151. A hole 131 is formed in the center of the head cover 130 so that the cap 143 of the upper end of the valve stem 141 to be described later can move up and down.

상기 개폐장치는 에어 공급구(121)를 통해 공급되는 압축공기에 의해 유체의 흐름을 단속하는 장치로서, 밸브 스템(141), 밸브 헤드(142), 분리판(148), 스프링(146), 벨로우즈(147), 패킹(144), 너트(135) 및 캡(143)을 구비하고 있다.The opening and closing device is a device for regulating the flow of the fluid by the compressed air supplied through the air supply port 121, the valve stem 141, the valve head 142, the separating plate 148, the spring 146, The bellows 147, the packing 144, the nut 135, and the cap 143 are provided.

상기 밸브 스템(141)은 밸브 카바(120)의 중심부를 관통하여 상하 이동가능하도록 설치되어 있으며, 상기 밸브 스템(141)과 밸브 카바(120) 사이에는 압축공기가 유입될 수 있도록 소정 간격의 틈(124)이 형성되어 있다. 상기 밸브 헤드(142)는 밸브 시이트(113)와 밀착될 수 있도록 밸브 스템(141)의 하단부에 부착되어 있다. 상기 분리판(148)은 밸브 하우징(110)의 상부에 설치되어 에어 공급구(121)를 통해 공급된 압축공기가 밸브 하우징(110)의 내부에 들어오지 못하도록 하는 것으로, 밸브 카바(120)의 저면과는 소정 간격 떨어지도록 설치되어 있다.The valve stem 141 is installed to move vertically through the center of the valve cover 120, and a gap of a predetermined interval so that the compressed air flows between the valve stem 141 and the valve cover 120. 124 is formed. The valve head 142 is attached to the lower end of the valve stem 141 to be in close contact with the valve seat 113. The separating plate 148 is installed on the upper portion of the valve housing 110 to prevent the compressed air supplied through the air supply port 121 from entering the inside of the valve housing 110 and the bottom surface of the valve cover 120. Is provided to be spaced apart by a predetermined interval.

상기 스프링(146)은 분리판(148)과 밸브 헤드(142) 사이에 밸브 스템(141)을 감싸고 있는 형태로 설치되며, 밸브 헤드(142)를 밸브 시이트(113)에 밀착시키는 역할을 한다. 상기 벨로우즈(147)는 스프링(146)을 감싸고 있는 형태로 설치되며, 밸브 하우징(110)의 내부를 흐르는 유체가 스프링(146) 및 밸브 스템(141)과 접촉하지 못하도록 하는 역할을 한다. 상기 벨로우즈(147)는 밸브 스템(141)의 상하 이동이 방해받지 않도록 신축이 가능하도록 되어 있다.The spring 146 is installed to surround the valve stem 141 between the separator plate 148 and the valve head 142, and serves to bring the valve head 142 into close contact with the valve seat 113. The bellows 147 is installed to surround the spring 146 and prevents the fluid flowing inside the valve housing 110 from contacting the spring 146 and the valve stem 141. The bellows 147 can be expanded and contracted so that the vertical movement of the valve stem 141 is not disturbed.

상기 패킹(144)은 밸브 카바(120)에 형성된 중공부(123)의 내부에 상하 이동 가능하도록 설치되는 것으로, 압축공기에 의해 상승하며 밸브 스템(141)을 상승시키는 역할과, 압축공기가 외부로 유실되지 않도록 밀봉하는 역할을 한다. 상기 너트(145)는 밸브 스템(141)에 설치되어 패킹(144)의 상면에 밀착된다. 상기 캡(143)은 밸브 스템(141)의 상단부에 설치되어, 헤드 카바(130)의 구멍(131)을 통해 상하 이동하는 것으로, 육안으로 확인이 쉽도록 주로 붉은색으로 되어 있다.The packing 144 is installed to be moved up and down inside the hollow portion 123 formed in the valve cover 120, the role of raising the valve stem 141 while rising by the compressed air, the compressed air outside It acts as a seal to prevent loss. The nut 145 is installed on the valve stem 141 to be in close contact with the upper surface of the packing 144. The cap 143 is installed at the upper end of the valve stem 141 and moves up and down through the hole 131 of the head cover 130, and is mainly reddish for easy visual confirmation.

상술한 바와 같은 구성을 갖는 종래의 뉴메틱 밸브의 개폐작동을 이하에서 설명하기로 한다.The opening and closing operation of the conventional pneumatic valve having the configuration as described above will be described below.

도 1에 도시된 바와 같이, 압축공기가 공급되지 않은 상태에서는 스프링(146)의 탄성력에 의해 밸브 헤드(142)가 벨브 시이트(113)에 밀착되어 유체의 흐름이 차단되므로, 뉴메틱 밸브는 닫힘 상태를 유지하게 된다. 이때, 밸브 스템(141)은 완전히 하강한 상태이며, 밸브 스템(141)의 상단부에 설치된 캡(143)은 헤드 카바(130)의 구멍(131)에 몰입된 상태로서 외부에서 육안 식별이 불가능하다.As shown in FIG. 1, since the valve head 142 is in close contact with the valve sheet 113 by the elastic force of the spring 146 in the state where the compressed air is not supplied, the pneumatic valve is closed. State is maintained. At this time, the valve stem 141 is in a completely lowered state, and the cap 143 installed at the upper end of the valve stem 141 is immersed in the hole 131 of the head cover 130 and cannot be visually identified from the outside. .

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 에어 공급구(121)를 통해 압축공기가 공급되면, 공급된 압축공기는 에어 통로(122)를 통해 밸브 카바(120)의 저면과 분리판(148) 사이에 형성된 공간으로 유입되고, 다시 밸브 스템(141)과 밸브 카바(120) 사이에 형성된 틈(124)을 통해 패킹(144)의 저면에 압력을 가하게 되고, 이에 따라 패킹(144)은 상승하게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, when compressed air is supplied through the air supply port 121, the supplied compressed air is provided between the bottom surface of the valve cover 120 and the separator plate 148 through the air passage 122. Flows into the space formed in the chamber, and pressurizes the bottom surface of the packing 144 through the gap 124 formed between the valve stem 141 and the valve cover 120, and thus the packing 144 is raised. .

압축공기에 의한 패킹(144)의 상승은 그 상면에 접촉되어 있는 너트(145)의 상승을 동반하고, 이에 따라 너트(145)에 체결되어 있는 밸브 스템(141)도 상승하게 된다. 밸브 스템(141)의 상승에 따라 그 하단부에 부착된 밸브 헤드(142)는 스프링(146)의 탄성력을 극복하고 벨로우즈(147)를 수축시키며 상승하여 밸브 시이트(113)와 소정 간격 떨어지게 된다.The rise of the packing 144 by the compressed air is accompanied by the rise of the nut 145 in contact with the upper surface thereof, thereby raising the valve stem 141 fastened to the nut 145. As the valve stem 141 rises, the valve head 142 attached to the lower end thereof overcomes the elastic force of the spring 146 and contracts and expands the bellows 147 to be spaced apart from the valve seat 113 by a predetermined distance.

상술한 바와 같이, 압축공기가 공급되면 뉴메틱 밸브는 열림 상태가 되므로 유체는 밸브 하우징(110) 내부를 통과하여 흐르게 된다. 이때에는 밸브 스템(141)이 완전히 상승하게 되고, 이에 따라 캡(143)도 상승하여 헤드 카바(130)의 구멍(131)을 통해 외부로 돌출되므로 외부에서 육안 식별이 가능하게 된다.As described above, when the compressed air is supplied, the pneumatic valve is opened, and the fluid flows through the inside of the valve housing 110. At this time, the valve stem 141 is fully raised, and thus the cap 143 is also raised to protrude to the outside through the hole 131 of the head cover 130, thereby visually identifying the outside.

이와 같이 종래의 뉴메틱 밸브는 그 개폐 여부를 밸브 스템(141)의 상단부에 설치된 캡(143)의 돌출 여부에 따라 육안으로 확인할 수 있게 되어 있다.As described above, the conventional pneumatic valve can be visually checked according to whether the cap 143 provided at the upper end of the valve stem 141 is projected.

그런데, 근래에는 거의 모든 설비나 장치의 작동상태를 원거리의 컨트롤 룸에서 스크린에 의해 확인할 수 있게 되어 매우 간편하게 되어 있으나, 종래의 뉴메틱 밸브의 경우에는 실제로 뉴메틱 밸브가 작동되었는지를 확인하려면 직접 뉴메틱 밸브가 설치되어 있는 장소로 가서 밸브 스템(141) 상단부에 설치된 캡(143)의 돌출 여부를 육안으로 확인할 수 밖에 없는 불편한 점이 있다. 이와 같은 불편한 점은 종종 뉴메틱 밸브의 오작동을 확인하지 못함으로 인한 공정 불량을 야기시키는 원인이 되기도 한다.By the way, in recent years, it is very easy to check the operation of almost all equipments and devices by means of a screen in a remote control room, but in the case of conventional pneumatic valves, it is necessary to directly check whether the pneumatic valve is actually operated. Going to the place where the mechanical valve is installed, there is an inconvenient point that can only visually check whether the cap 143 provided at the upper end of the valve stem 141 is projected. This inconvenience is often the cause of process failure due to failure to check pneumatic valve malfunction.

도 3은 종래의 뉴메틱 밸브의 평면도이다.3 is a plan view of a conventional pneumatic valve.

도 3에 도시된 바와 같이, 종래의 뉴메틱 밸브에는 하나의 에어 공급구(121)만 마련되어 있으며, 이는 유출구(112)의 반대쪽에 위치하고 있다.As shown in FIG. 3, the conventional pneumatic valve is provided with only one air supply port 121, which is located on the opposite side of the outlet port 112.

그런데, 이러한 구조는 종종 다음과 같은 문제점을 발생시킨다.However, such a structure often causes the following problems.

상술한 바와 같이 종래의 뉴메틱 밸브에는 에어 공급구(121)가 유출구(112)의 반대쪽에 하나만 마련되어 있으므로, 뉴메틱 밸브를 설비나 장치내에 설치한 후 에어 공급구(121)에 압축공기를 공급하기 위한 에어 공급 라인을 연결하고자 할 때, 그와 인접한 다른 기구나 설비와의 간섭으로 인해 연결이 곤란한 경우가 자주 발생한다. 이 경우에는 스크루(151)를 풀어 뉴메틱 밸브를 분해한 후, 에어 공급구(121)의 방향을 바꾸어야 하므로, 이는 매우 불편하고 많은 시간을 소비하게 되는 문제점이 있다.As described above, since only one air supply port 121 is provided on the opposite side of the outlet 112 in the conventional pneumatic valve, compressed air is supplied to the air supply port 121 after the pneumatic valve is installed in a facility or a device. When attempting to connect an air supply line, the connection is often difficult due to interference with other apparatus or equipment adjacent thereto. In this case, after disassembling the pneumatic valve by releasing the screw 151, it is necessary to change the direction of the air supply port 121, which is very inconvenient and consumes a lot of time.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 특히 밸브의 개폐상태를 용이하게 감지할 수 있으며, 설치가 쉽도록 그 구조가 개선된 뉴메틱 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, in particular, it is possible to easily detect the opening and closing state of the valve, the object of the present invention is to provide a pneumatic valve improved in its structure for easy installation. .

도 1은 종래의 뉴메틱 밸브의 닫힘 상태를 나타낸 종단면도,1 is a longitudinal sectional view showing a closed state of a conventional pneumatic valve;

도 2는 종래의 뉴메틱 밸브의 열림 상태를 나타낸 종단면도,2 is a longitudinal sectional view showing an open state of a conventional pneumatic valve;

도 3은 종래의 뉴메틱 밸브의 평면도,3 is a plan view of a conventional pneumatic valve,

도 4는 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 담힘 상태를 나타낸 종단면도,4 is a longitudinal sectional view showing a state of containment of the pneumatic valve according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 열림 상태를 나타낸 종단면도,5 is a longitudinal sectional view showing an open state of the pneumatic valve according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 평면도.6 is a plan view of a pneumatic valve according to the present invention;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110,410...밸브 하우징 111,411...유입구110,410 ... valve housing 111,411 ... inlet

112,412...유출구 113,413...밸브 시이트112,412 ... outlet 113,413 ... valve seat

120,420...밸브 카바 121,421...에어 공급구120,420 ... Valve cover 121,421 ... Air supply port

122,422...에어 통로 123,423...중공부122,422 Air passage 123,423

130,430...헤드 카바 141,441...밸브 스템130,430 ... Head cover 141,441 ... Valve stem

142,442...밸브 헤드 143...캡142,442 ... valve head 143 ... cap

144,444...패킹 146,446...스프링144,444 ... Packing 146,446 ... Spring

147,447...벨로우즈 148,448...분리판Bellows 148,448 Separator

461...센서461 ... sensor

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브는: 유입구와 유출구 및 그 내부에 밸브 시이트가 형성되어 있는 밸브 하우징;과 상기 밸브 하우징의 상부에 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부로 압축공기를 공급하기 위한 에어 공급구가 마련된 밸브 카바; 및 상기 밸브 하우징의 내부에 승강 가능하도록 설치되는 밸브 스템과, 상기 밸브 스템의 하단부에 부착되는 밸브 헤드를 구비하여, 상기 에어 공급구를 통해 공급되는 압축공기에 의해 상기 밸브 스템을 승강시킴으로써 상기 밸브 헤드를 상기 밸브 시이트에 밀착시키거나 이격시켜 상기 밸브 하우징 내부의 유체의 흐름을 단속하는 개폐장치;를 포함하는 뉴메틱 밸브에 있어서, 상기 뉴메틱 밸브의 개폐 여부를 확인하기 위해 상기 밸브 스템의 승강을 감지하는 감지 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the pneumatic valve according to the present invention includes: a valve housing having an inlet and an outlet and a valve sheet formed therein; and installed at an upper portion of the valve housing, and supplying compressed air into the valve housing. A valve cover provided with an air supply port for discharging; And a valve stem attached to the inside of the valve housing so as to be elevated, and a valve head attached to a lower end of the valve stem, by elevating the valve stem by compressed air supplied through the air supply port. A pneumatic valve comprising: an opening and closing device to close or close a head to the valve seat to control a flow of fluid inside the valve housing, wherein the pneumatic valve is lifted up or down to check whether the pneumatic valve is opened or closed. It characterized in that it comprises a detection means for detecting.

이때, 상기 감지 수단은, 상기 밸브 스템의 상부에 설치되어 상기 밸브 스템의 승강에 따른 상기 밸브 스템 상단부와의 근접 여부에 의해 상기 밸브 스템의 승강을 감지하는 센서인 것이 바람직하다.In this case, the sensing means is preferably a sensor which is installed on the upper portion of the valve stem to detect the lift of the valve stem by proximity to the upper end of the valve stem according to the lift of the valve stem.

또한, 상기 에어 공급구는, 각각 위치를 달리하여 복수개가 설치되는 것이 바람직하며, 특히 상기 에어 공급구는, 각각 방향을 달리하여 네 개가 설치되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a plurality of air supply ports are provided at different positions, and particularly, four air supply ports are provided at different positions.

따라서, 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브에 의하면, 그 개폐상태를 센서에 의해 원거리에서도 용이하게 감지할 수 있으며, 에어 공급라인의 연결이 간편하게 된다.Therefore, according to the pneumatic valve according to the present invention, the opening and closing state can be easily detected at a long distance by the sensor, and the connection of the air supply line is simplified.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the pneumatic valve according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4와 도 5는 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 담힘 상태와 열림상태를 각각 나타낸 종단면도이다.4 and 5 are longitudinal cross-sectional views showing the closed state and the open state of the pneumatic valve according to the present invention, respectively.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브는 밸브 하우징(410), 밸브 카바(420) 및 헤드 카바(430)를 구비하며, 그 내부에는 개폐장치가 설치되고 상기 헤드 카바(430)의 상부에는 센서(461)가 설치된다.4 and 5, the pneumatic valve according to the present invention includes a valve housing 410, a valve cover 420, and a head cover 430, and an opening and closing device is installed inside the head. A sensor 461 is installed on the top of the cover 430.

상기 밸브 하우징(410)에는 유체가 출입할 수 있도록 유입구(411)와 유출구(412)가 마련되며, 그 내부에는 상기 밸브 헤드(442)가 밀착되는 밸브 시이트(413)가 형성된다.The valve housing 410 is provided with an inlet 411 and an outlet 412 to allow fluid to enter and exit, and therein is formed a valve sheet 413 in which the valve head 442 is in close contact.

상기 밸브 카바(420)는 상기 밸브 하우징(410)의 상부에 장착되며, 스크루(451)에 의해 체결된다. 상기 밸브 카바(420)의 측면에는 압축공기를 공급하기 위한 복수개의 에어 공급구(421)가 마련되며, 그 내부에는 상기 에어 공급구(421)와 연결되는 에어 통로(422)가 형성되고, 상기 밸브 카바(420)의 상부에는 중공부(423)가 형성된다.The valve cover 420 is mounted on the valve housing 410 and fastened by a screw 451. A plurality of air supply holes 421 for supplying compressed air are provided at the side of the valve cover 420, and an air passage 422 connected to the air supply holes 421 is formed therein. The hollow part 423 is formed on the valve cover 420.

상기 헤드 카바(430)는 상기 밸브 카바(420)의 상부에 장착되며, 스크루(451)에 의해 체결된다. 상기 헤드 카바(430)의 중심부에는 후술하는 밸브 스템(141)의 상단부가 상하 이동할 수 있도록 구멍(431)이 형성된다.The head cover 430 is mounted on the valve cover 420 and fastened by a screw 451. A hole 431 is formed in the center of the head cover 430 so that the upper end of the valve stem 141 to be described later can move up and down.

상기 개폐장치는 상기 에어 공급구(421)를 통해 공급되는 압축공기에 의해 유체의 흐름을 단속하는 장치로서, 밸브 스템(441), 밸브 헤드(442), 분리판(448), 스프링(446), 벨로우즈(447), 패킹(444) 및 너트(435)를 구비한다.The opening and closing device is a device for controlling the flow of fluid by the compressed air supplied through the air supply port 421, the valve stem 441, the valve head 442, the separating plate 448, the spring 446 , Bellows 447, packing 444 and nut 435.

상기 밸브 스템(441)은 상기 밸브 카바(420)의 중심부를 관통하여 상하 이동가능하도록 설치되며, 상기 밸브 스템(441)과 밸브 카바(420) 사이에는 압축공기가 유입될 수 있도록 소정 간격의 틈(424)이 형성된다. 상기 밸브 헤드(442)는 상기 밸브 시이트(413)와 밀착될 수 있도록 상기 밸브 스템(441)의 하단부에 부착된다. 상기 분리판(448)은 밸브 하우징(410)의 상부에 설치되어 상기 에어 공급구(421)를 통해 공급된 압축공기가 밸브 하우징(410)의 내부에 들어오지 못하도록 하는 것으로, 밸브 카바(420)의 저면과는 소정 간격 떨어지도록 설치된다.The valve stem 441 is installed to move upward and downward through a central portion of the valve cover 420, and has a gap at a predetermined interval so that compressed air flows between the valve stem 441 and the valve cover 420. 424 is formed. The valve head 442 is attached to the lower end of the valve stem 441 to be in close contact with the valve seat 413. The separation plate 448 is installed on the upper portion of the valve housing 410 to prevent the compressed air supplied through the air supply port 421 from entering the valve housing 410. It is provided so as to be spaced apart from the bottom by a predetermined interval.

상기 스프링(446)은 상기 분리판(448)과 밸브 헤드(442) 사이에 상기 밸브 스템(441)을 감싸고 있는 형태로 설치되며, 상기 밸브 헤드(442)를 상기 밸브 시이트(413)에 밀착시키는 역할을 한다. 상기 벨로우즈(447)는 상기 스프링(446)을 감싸고 있는 형태로 설치되며, 밸브 하우징(410)의 내부를 흐르는 유체가 스프링(446) 및 밸브 스템(441)과 접촉하지 못하도록 하는 역할을 한다. 상기 벨로우즈(447)는 밸브 스템(441)의 상하 이동이 방해받지 않도록 신축이 가능하도록 되어 있다.The spring 446 is installed between the separation plate 448 and the valve head 442 to surround the valve stem 441, and the valve head 442 is in close contact with the valve seat 413. Play a role. The bellows 447 is installed to surround the spring 446 and prevents the fluid flowing inside the valve housing 410 from contacting the spring 446 and the valve stem 441. The bellows 447 can be expanded and contracted so that the vertical movement of the valve stem 441 is not disturbed.

상기 패킹(444)은 밸브 카바(420)에 형성된 상기 중공부(423)의 내부에 상하 이동 가능하도록 설치되는 것으로, 압축공기에 의해 상승하며 상기 밸브 스템(441)을 상승시키는 역할과, 압축공기가 외부로 유실되지 않도록 밀봉하는 역할을 한다. 상기 너트(445)는 밸브 스템(441)에 설치되어 상기 패킹(444)의 상면에 밀착된다.The packing 444 is installed to be moved up and down inside the hollow portion 423 formed in the valve cover 420, and is lifted by the compressed air to raise the valve stem 441, and the compressed air. Serves to seal the product so that it is not lost to the outside. The nut 445 is installed on the valve stem 441 and is in close contact with the upper surface of the packing 444.

상기 센서(461)는 본 발명의 특징부로서, 상기 헤드 카바(430)의 상부에 설치되어 헤드 카바(430)의 구멍(431)을 통해 상하 이동하는 밸브 스템(441)의 승강여부를 감지하여 뉴메틱 밸브의 개폐여부를 확인시켜 주는 역할을 한다. 즉, 상기 센서(461)는 밸브 스템(441) 상단부가 센서(461)에 근접하였는지 여부를 감지함으로써 밸브 스템(441)의 승강여부를 인지시켜 준다.The sensor 461 is a feature of the present invention. The sensor 461 is installed on the top of the head cover 430 to detect whether the valve stem 441 moves up and down through the hole 431 of the head cover 430. It checks whether pneumatic valve is open or closed. That is, the sensor 461 detects whether the valve stem 441 is elevated by detecting whether the upper end of the valve stem 441 is close to the sensor 461.

상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 개폐작동을 이하에서 설명하기로 한다.The opening and closing operation of the pneumatic valve according to the present invention having the configuration as described above will be described below.

도 4에 도시된 바와 같이, 압축공기가 공급되지 않은 상태에서는 상기 스프링(446)의 탄성력에 의해 상기 밸브 헤드(442)가 상기 벨브 시이트(413)에 밀착되어 유체의 흐름이 차단되므로, 뉴메틱 밸브는 닫힘 상태를 유지하게 된다. 이때, 밸브 스템(441)은 완전히 하강한 상태로, 밸브 스템(441)의 상단부는 상기 센서(461)와 소정 간격 떨어지게 된다.As shown in FIG. 4, in the state where compressed air is not supplied, the valve head 442 is in close contact with the valve seat 413 by the elastic force of the spring 446, and thus the flow of fluid is blocked. The valve will remain closed. At this time, the valve stem 441 is completely lowered, and the upper end of the valve stem 441 is separated from the sensor 461 by a predetermined distance.

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 에어 공급구(421)를 통해 압축공기가 공급되면, 공급된 압축공기는 에어 통로(422)를 통해 밸브 카바(420)의 저면과 분리판(448) 사이에 형성된 공간으로 유입되고, 다시 밸브 스템(441)과 밸브 카바(420) 사이에 형성된 틈(424)을 통해 상기 패킹(444)의 저면에 압력을 가하게 되고, 이에 따라 패킹(444)은 상승하게 된다.Meanwhile, as shown in FIG. 5, when compressed air is supplied through the air supply port 421, the supplied compressed air is provided between the bottom surface of the valve cover 420 and the separator plate 448 through the air passage 422. Flows into the space formed therein, and again pressurizes the bottom surface of the packing 444 through the gap 424 formed between the valve stem 441 and the valve cover 420, thereby causing the packing 444 to rise. do.

압축공기에 의한 패킹(444)의 상승은 그 상면에 접촉되어 있는 너트(445)의 상승을 동반하고, 이에 따라 너트(445)에 체결되어 있는 밸브 스템(441)도 상승하게 된다. 밸브 스템(441)의 상승에 따라 그 하단부에 부착된 밸브 헤드(442)는 스프링(446)의 탄성력을 극복하고 벨로우즈(447)를 수축시키며 상승하여 밸브 시이트(413)와 소정 간격 떨어지게 된다.The rise of the packing 444 by the compressed air is accompanied by the rise of the nut 445 in contact with the upper surface thereof, thereby raising the valve stem 441 fastened to the nut 445. As the valve stem 441 rises, the valve head 442 attached to the lower end thereof overcomes the elastic force of the spring 446 and contracts and expands the bellows 447 to be spaced apart from the valve seat 413 by a predetermined distance.

상술한 바와 같이, 압축공기가 공급되면 뉴메틱 밸브는 열림 상태가 되므로 유체는 밸브 하우징(410) 내부를 통과하여 흐르게 된다. 이때에는 밸브 스템(441)이 완전히 상승한 상태로서 밸브 스템(441)의 상단부가 상기 센서(461)에 근접 내지 접촉하게 되므로, 상기 센서(461)는 밸브 스템(441)의 상단부를 감지하여 뉴메틱 밸브가 열린 상태임을 확인시켜 준다.As described above, when the compressed air is supplied, the pneumatic valve is in an open state, and the fluid flows through the inside of the valve housing 410. At this time, since the valve stem 441 is fully raised, the upper end of the valve stem 441 is brought into close contact with or in contact with the sensor 461, so that the sensor 461 detects the upper end of the valve stem 441 to provide pneumatics. Confirm that the valve is open.

이와 같이 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브는 그 개폐 여부를 밸브 스템(141)의 상부에 설치된 센서(461)에 의해 확인할 수 있게 된다. 즉, 센서(461)가 밸브 스템(441) 상단부의 근접 여부를 감지하여 컨트롤 시스템에 전송하게 되므로 원거리에서도 뉴메틱 밸브의 개폐 여부를 확인할 수 있게 된다.As described above, the pneumatic valve according to the present invention can be opened or closed by a sensor 461 installed on the valve stem 141. That is, since the sensor 461 detects the proximity of the upper end of the valve stem 441 and transmits it to the control system, it is possible to check whether the pneumatic valve is opened or closed at a long distance.

따라서, 뉴메틱 밸브의 작동 여부를 확인하기 위해 뉴메틱 밸브가 설치되어 있는 장소로 직접 가지 않아도 되는 간편한 점이 있으며, 또한 뉴메틱 밸브의 오작동을 원거리에서도 즉시 확인할 수 있으므로 공정 불량을 예방할 수 있게 된다.Therefore, there is a convenient point that does not need to go directly to the place where the pneumatic valve is installed in order to confirm the operation of the pneumatic valve, and also the malfunction of the pneumatic valve can be immediately checked from a long distance, thereby preventing process defects.

본 실시예에서는 밸브 스템의 승강 여부를 확인하기 위해 밸브 스템 상단부의 근접여부를 감지하는 센서가 사용되었으나, 본 발명의 기술적 범위가 이에 한정되는 것은 아니며, 뉴메틱 밸브의 종류, 형상 또는 크기 등에 따라 센서의 종류나 위치는 변경될 수 있다.In the present embodiment, a sensor for detecting proximity of the upper end of the valve stem is used to check whether the valve stem is raised or lowered, but the technical scope of the present invention is not limited thereto, and according to the type, shape, or size of the pneumatic valve. The type or location of the sensor may change.

도 6은 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브의 평면도이다.6 is a plan view of a pneumatic valve according to the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이, 뉴메틱 밸브에는 유출구(412)의 반대측면 뿐만 아니라 각 측면마다 하나씩의 에어 공급구(421), 즉 모두 네 개의 에어 공급구(421)가 마련된다. 그리고, 헤드 카바(430)에는 전술한 바와 같이 센서(461)가 설치된다.As shown in FIG. 6, the pneumatic valve is provided with one air supply port 421, that is, four air supply ports 421 for each side as well as the opposite side of the outlet port 412. The head cover 430 is provided with a sensor 461 as described above.

본 실시예에서는 네 개의 에어 공급구(421)가 마련되어 있으나, 본 발명의 기술적 범위가 이에 한정되는 것은 아니며, 뉴메틱 밸브의 종류, 형상 또는 크기 등에 따라 에어 공급구(421)의 위치나 수량은 변경될 수 있다.In the present embodiment, four air supply ports 421 are provided, but the technical scope of the present invention is not limited thereto, and the position or quantity of the air supply ports 421 may vary depending on the type, shape, or size of the pneumatic valve. can be changed.

상술한 바와 같이 복수개의 에어 공급구(421)를 갖는 뉴메틱 밸브는 이를 설비나 장치에 설치할 때에 편리하다. 즉, 뉴메틱 밸브를 설비나 장치에 설치한 후 에어 공급 라인을 연결하고자 할 때, 각각 위치을 달리하는 복수 개의 에어 공급구(421) 중 가장 연결이 쉬운 하나의 에어 공급구(421)를 선택하여 에어 공급 라인을 연결할 수 있게 된다. 그리고 사용하지 않는 나머지 에어 공급구(421)는 마개 등으로 막아 둠으로써 압축공기의 누설을 방지할 수 있다.As described above, a pneumatic valve having a plurality of air supply ports 421 is convenient when it is installed in a facility or an apparatus. That is, when the pneumatic valve is installed in a facility or an apparatus, and an air supply line is to be connected, one of the air supply ports 421 that is most easily connected among the plurality of air supply ports 421 having different positions is selected. The air supply line can be connected. The remaining air supply port 421 which is not in use can be prevented from leaking of compressed air by blocking with a stopper or the like.

따라서, 본 발명에 의하면 다른 기구나 설비와의 간섭으로 인한 에어 공급구의 방향 변경을 위해 뉴메틱 밸브를 분해, 조립하는 불편한 점을 해소할 수 있게 되며, 뉴메틱 밸브의 설치 및 에어 공급 라인의 연결시 소요되는 시간이 감소된다.Therefore, according to the present invention, it is possible to solve the inconvenience of disassembling and assembling the pneumatic valve for changing the direction of the air supply port due to interference with other mechanisms or facilities, and installing the pneumatic valve and connecting the air supply line. The time required is reduced.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 뉴메틱 밸브는 그 개폐상태를 센서에 의해 원거리에서도 용이하게 감지할 수 있으며, 뉴메틱 밸브를 설비나 장치에 설치시에도 에어 공급라인의 연결이 쉬워지는 효과가 있다.As described above, the pneumatic valve according to the present invention can easily detect the opening and closing state of the pneumatic sensor by a sensor, and the connection of the air supply line becomes easy even when the pneumatic valve is installed in a facility or a device. There is.

Claims (6)

유입구와 유출구 및 그 내부에 밸브 시이트가 형성되어 있는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징의 상부에 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부로 압축공기를 공급하기 위한 에어 공급구가 마련된 밸브 카바; 및A valve housing having an inlet and an outlet and a valve sheet formed therein; A valve cover installed at an upper portion of the valve housing and provided with an air supply port for supplying compressed air into the valve housing; And 상기 밸브 하우징의 내부에 승강 가능하도록 설치되는 밸브 스템과, 상기 밸브 스템의 하단부에 부착되는 밸브 헤드를 구비하여, 상기 에어 공급구를 통해 공급되는 압축공기에 의해 상기 밸브 스템을 승강시킴으로써 상기 밸브 헤드를 상기 밸브 시이트에 밀착시키거나 이격시켜 상기 밸브 하우징 내부의 유체의 흐름을 단속하는 개폐장치;를 포함하는 뉴메틱 밸브에 있어서:And a valve head attached to the lower portion of the valve stem, the valve head being attached to the lower end of the valve housing, and elevating the valve stem by the compressed air supplied through the air supply port. In the pneumatic valve comprising: an opening and closing device to close or close the valve seat to control the flow of the fluid inside the valve housing; 상기 뉴메틱 밸브의 개폐 여부를 확인하기 위해 상기 밸브 스템의 승강을 감지하는 감지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 뉴메틱 밸브.And pneumatic valves for detecting lift of the valve stem to check whether the pneumatic valve is opened or closed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 감지 수단은, 상기 밸브 스템의 상부에 설치되어 상기 밸브 스템의 승강에 따른 상기 밸브 스템 상단부와의 근접 여부에 의해 상기 밸브 스템의 승강을 감지하는 센서인 것을 특징으로 하는 뉴메틱 밸브.The detection means is a pneumatic valve, characterized in that the sensor installed on top of the valve stem for detecting the lift of the valve stem by proximity to the upper end of the valve stem according to the lift of the valve stem. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 에어 공급구는, 각각 위치를 달리하여 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 뉴메틱 밸브.The pneumatic valve is characterized in that a plurality of air supply port is installed in each different position. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 에어 공급구는, 각각 방향을 달리하여 네 개가 설치되는 것을 특징으로 하는 뉴메틱 밸브.Pneumatic valve, characterized in that four air supply port is installed in each different direction. 유입구와 유출구 및 그 내부에 밸브 시이트가 형성되어 있는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징의 상부에 설치되며, 상기 밸브 하우징 내부로 압축공기를 공급하기 위한 에어 공급구가 마련된 밸브 카바; 및A valve housing having an inlet and an outlet and a valve sheet formed therein; A valve cover installed at an upper portion of the valve housing and provided with an air supply port for supplying compressed air into the valve housing; And 상기 밸브 하우징의 내부에 승강 가능하도록 설치되는 밸브 스템과, 상기 밸브 스템의 하단부에 부착되는 밸브 헤드를 구비하여, 상기 에어 공급구를 통해 공급되는 압축공기에 의해 상기 밸브 스템을 승강시킴으로써 상기 밸브 헤드를 상기 밸브 시이트에 밀착시키거나 이격시켜 상기 밸브 하우징 내부의 유체의 흐름을 단속하는 개폐장치;를 포함하는 뉴메틱 밸브에 있어서:And a valve head attached to the lower portion of the valve stem, the valve head being attached to the lower end of the valve housing, and elevating the valve stem by the compressed air supplied through the air supply port. In the pneumatic valve comprising: an opening and closing device to close or close the valve seat to control the flow of the fluid inside the valve housing; 상기 에어 공급구는, 각각 위치를 달리하여 복수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 뉴메틱 밸브.The pneumatic valve is characterized in that a plurality of air supply port is installed in each different position. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 에어 공급구는, 각각 방향을 달리하여 네 개가 설치되는 것을 특징으로 하는 뉴메틱 밸브.Pneumatic valve, characterized in that four air supply port is installed in each different direction.
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