KR20000018434A - Layout of a semiconductor memory device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 메모리장치의 레이아웃에 관한 것으로서, 특히, 글로발 입출력 배선을 메모리셀 블록의 중앙부에 배치하므로서 형성된 여유공간을 활용하여 입출력 배선의 부하를 줄이고 칩 싸이즈를 감소시키는 반도체 메모리장치의 레이아웃에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a layout of a memory device, and more particularly, to a layout of a semiconductor memory device that utilizes a free space formed by arranging the global input / output wiring in the center of a memory cell block to reduce the load of the input / output wiring and reduce the chip size. .
일반적으로 반도체 메모리장치는 기억소자로서 데이타를 기억 내지는 저장할 수 있는 잔치와 이곳으로 외부의 데이타를 실어오거나 기억된 데이타를 외부로 실어내는 장치로 크게 나누어 볼 수 있다. 데이타를 전달하는 장치를 주변회로라 하며 저장장치를 셀 어레이라고 하는데 셀어레이는 단위기억소자 들이 매트릭스 형태로 모여있는 집합체이다. 이하, 셀어레이를 메모리셀 블록이라 칭한다. 일반적으로 1 비트 단위의 데이타를 저장할 수 있는 단위기억소자는 데이타의 유지 및 보존장치, 메모리 셀을 선택하여 활성화하는 신호선(이하, 워드라인이라 한다), 그리고 메모리 셀의 데이타를 입출력할 수 있는 선(이하, 비트라인이라 한다)으로 구성된다.In general, a semiconductor memory device may be classified into a memory device, a feast for storing or storing data, and a device for loading external data or storing stored data to the outside. A device that delivers data is called a peripheral circuit and a storage device is called a cell array. A cell array is a collection of unit memory elements in a matrix. Hereinafter, the cell array is called a memory cell block. Generally, a unit memory device capable of storing data of 1 bit unit is a device for holding and storing data, a signal line for selecting and activating a memory cell (hereinafter referred to as a word line), and a line for inputting / outputting data of the memory cell. (Hereinafter referred to as bit line).
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 메모리장치의 레이아웃이다.1 is a layout of a semiconductor memory device according to the prior art.
도 1 을 참조하면, 메모리장치는 메모리셀 블록(MAT)을 구성하는 복수개의 메모리 셀과 주변부를 이루는 센스 앰프(SA), 서브워드라인 드라이버(SWD), 그리고 이들이 교차하는 크로스 어리아 블록(cross area block)으로 구성된다.Referring to FIG. 1, a memory device includes a plurality of memory cells constituting a memory cell block MAT, a sense amplifier SA forming a peripheral portion, a subword line driver SWD, and a cross-area block in which they cross. area block).
먼저, 메모리 셀 블록(MAT)은 소자에 따라 64K, 128K, 256K, 512K 비트 등의 단위를 가지고 있다. 그리고 메모리셀 블록(MAT)과 수평방향으로 배치된 센스앰프 블록(SA)은 센스 앰프, 비트라인 이퀄라이저, 컬럼 스위치 등의 회로로 구성된다. 또한, 서브워드라인 드라이버 블록(SWD)은 서브워드라인을 구동시키기 위한 메모리셀 블록(MAT)을 사이에 두고 센스 앰프(SA)와 직교하는 형태로 배치되어 있으며, 크로스 어리아 블록은 센스앰프 드라이버, 입출력 이퀄라이저, X계 어드레스신호 드라이버로 이루어진 회로부로 구성된다.First, the memory cell block MAT has units of 64K, 128K, 256K, and 512K bits, depending on the device. The memory cell block MAT and the sense amplifier block SA arranged in the horizontal direction are configured with circuits such as a sense amplifier, a bit line equalizer, a column switch, and the like. In addition, the subword line driver block SWD is disposed in a form orthogonal to the sense amplifier SA with the memory cell block MAT for driving the subword line interposed therebetween, and the cross area block is a sense amplifier driver. And a circuit section comprising an input / output equalizer and an X-based address signal driver.
이러한 크로스 어리아 블록을 중심으로 보면 각각의 센스앰프 블록(SA)과 서브워드라인 드라이버 블록(SWD)은 수평방향과 수직방향으로 메모리셀 블록(MAT)을 개재시킨 형태를 가지며 반복적으로 배치되어 있다.The sense amplifier block SA and the subword line driver block SWD have a shape interposing a memory cell block MAT in a horizontal direction and a vertical direction. .
그리고, 센스앰프 블록(SA) 위로 로칼 입출력선(Local IO)이 지나가며, 서브워드라인 블록 위로 글로발 입출력선(Global IO)이 지나간다.The local input / output line (Local IO) passes over the sense amplifier block SA, and the global input / output line (Global IO) passes over the subword line block.
로칼 입출력선(Local IO)이 종적으로 이웃한 메모리셀 블록(MAT)들과 연결되는 부위가 'A'로 지시되어 있으며 이는 도 2 에서 설명한다. 또한, 서브워드라인 드라이버(SWD)들이 메모리셀 블록(MAT)에 연결되는 모양을 도 3에서 설명한다.A portion where the local IO is connected to the neighboring memory cell blocks MAT is indicated as 'A', which will be described with reference to FIG. 2. In addition, the shape of the subword line drivers SWD connected to the memory cell block MAT will be described with reference to FIG. 3.
도 2는 종래 기술에 따른 반도체 메모리장치의센스앰프 블록의 회로도로서, 도 1에 표시된 A 부위에 대한 회로를 나타낸다.FIG. 2 is a circuit diagram of a sense amplifier block of a semiconductor memory device according to the prior art, and illustrates a circuit for the portion A shown in FIG. 1.
도 2를 참조하면, 비트라인(BL)과 비트바라인(BLB)이 있고 그 사이에 컬럼선택신호선(YS)이 위치하며, 이들을 연결하는 비트라인 이퀄라이저(BL Eq), 센스 앰프(SA)가 위치하며, 이들을 단속하는 스위치로서 모스 트랜지스터들이 형성되어 있다.Referring to FIG. 2, there is a bit line BL and a bit bar line BLB, and a column select signal line YS is positioned therebetween, and a bit line equalizer BL Eq and a sense amplifier SA connecting the bit line BL and the sense amplifier SA. And MOS transistors are formed as switches for interrupting them.
도 3은 종래 기술에 따른 반도체 메모리장치의 서브워드라인 드라이버 블록의 회로도로서, 도 1에 표시된 B 부위에 대응하는 회로이다.FIG. 3 is a circuit diagram of a subword line driver block of a semiconductor memory device according to the related art, and corresponds to a portion B shown in FIG. 1.
도 3을 참조하면, 각각의 메모리 셀의 로우(row)를 지정하는 서브워드라인(SWL)이 수평적으로 위치하고 이들은 각각의 서브워드라인 드라이버(SWD)에 의해 활성화되고, 또한 비트라인(BL)과 비트바라인(BLB)과 직교하며 배치되어 있다.Referring to FIG. 3, subword lines SWL designating rows of each memory cell are horizontally positioned and activated by respective subword line drivers SWD, and also bit lines BL. And orthogonal to the bit bar line (BLB).
읽기동작은 센스앰프 블록내의 컬럼 스위치를 통하여 비트라인(BL)의 데이타가 로칼 입출력선(Local IO)에 실리고, 서브워드라인 드라이버(SWD)와 센스앰프(SA) 블록이 교차하는 지역의 크로스 어리아(cross area)의 입출력 스위치를 통해서 글로발 입출력선(Global IO)에 전달되어 메인앰프 블록으로 입력되는 것으로 이루어진다. 쓰기동작은 이와 반대이다.The read operation is performed by the column switch in the sense amplifier block. The data of the bit line BL is loaded on the local IO and the cross-origin of the region where the subword line driver SWD and the sense amplifier SA cross. It is transmitted to the global IO through the I / O switch of the cross area and input to the main amplifier block. Write operations are the opposite.
일반적으로 트리플 메탈(tripple metal)을 사용하는 경우에는 로칼 입출력선(Local IO)은 제 2 메탈을 사용하고 글로발 입출력선(Global IO)은 제 3 메탈을 사용한다. 전술한 바와 같이, 글로발 입출력선(Global IO)은 비트라인쌍(BL, BLB) 및 컬럼선택신호선(YS)과 같은 방향으로 배치되고 로칼 입출력선(LOcal IO)은 이와 직교방향인 워드라인 방향으로 배치된다.In general, when a triple metal is used, a local metal is used as a second metal, and a global metal is used as a third metal. As described above, the global input / output lines (Global IO) are arranged in the same direction as the bit line pairs (BL, BLB) and the column select signal lines (YS), and the local input / output lines (LOcal IO) are in the orthogonal direction to the word line direction. Is placed.
이와 같은 종래의 메모리 장치의 글로발 입출력선이 배치되는 서브워드라인 드라이버와 크로스 어리아 블록은 배선들이 차지하는 면적의 증가에 의하여 칩싸이즈가 증가하게 되며, 특히 크로스 어리아 블록은 서로 직교하는 제 1 방향과 제 2 방향으로 배선들이 교차하고 센스앰프 및 서브워드라인 드라이버의 드라이브 트랜지스터들 때문에 결국 칩싸이즈가 증가하고 신호의 불안정이 야기되는 문제점이 있다.In the conventional sub-word line driver and the cross-array block in which the global input / output lines of the memory device are disposed, the chip size is increased by an increase in the area occupied by the wirings. The wiring lines cross in the second direction and drive transistors of the sense amplifier and the subword line driver eventually increase chip size and cause signal instability.
본 발명은 메모리장치의 글로벌 입출력선을 메모리셀 블록 사이의 서브워드라인 드라이버 위로 배치하는 대신 메모리셀 블록내의 여유공간에 배치하여 공간활용도를 높이므로서 칩싸이즈를 감소시키는 반도체장치의 메모리 레이아웃을 제공하는데 있다.The present invention provides a memory layout of a semiconductor device that reduces chip size by increasing global utilization by placing global I / O lines of a memory device over a subword line driver between memory cell blocks instead of placing them in a free space within the memory cell block. It is.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 복수개의 메모리셀을 포함하는 복수개의 메모리셀 블록과, 복수개의 센스앰프로 이루어지는 복수개의 센스앰프 블록과, 복수개의 서브워드라인 드라이버를 포함하여 이루어진 반도체 메모리에 있어서, 메모리셀 블록과 센스앰프블록 위에 배치되어 스트랩부를 이루는 글로발 입출력선과, 글로발 입출력선과 교차하며 센스앰프 블록 위에 있는 로칼 입출력선을 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention provides a semiconductor memory including a plurality of memory cell blocks including a plurality of memory cells, a plurality of sense amplifier blocks including a plurality of sense amplifiers, and a plurality of subword line drivers. And a global input / output line disposed on the memory cell block and the sense amplifier block to form a strap portion, and a local input / output line intersecting the global input / output line and on the sense amplifier block.
그리고, 서브워드라인 드라이버는 서브워드라인을 통하여 상기 메모리셀을 활성화시키고 상기 워드라인은, 서브워드라인 드라이버 부터 시작하여 스트랩부까지 연결된 제 1 서브워드라인과, 스트랩부 부터 메모리셀 블록의 해당 행의 끝까지 메모리셀에 연결된 제 2 서브워드라인과, 서브워드라인 드라이버와 제 2 서브워드라인을 전기적으로 연결하며 제 1 서브워드라인 및 상기 제 2 서브워드라인 보다 도전성이 좋은 물질로 형성된 제 3 서브워드라인을 더 포함하여 이루어다.The subword line driver activates the memory cell through the sub word line, and the word line includes a first sub word line connected to the strap part starting from the sub word line driver and a corresponding row of the memory cell block from the strap part. A second subword line electrically connected to the memory cell until the end of the second subword line, and a third sub word line electrically connected to the sub word line driver and the second sub word line, the third sub word line being formed of a more conductive material than the first and second sub word lines. It further comprises a word line.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 메모리장치의 레이아웃1 is a layout of a semiconductor memory device according to the related art.
도 2는 종래 기술에 따른 반도체 메모리장치의센스앰프 블록의 회로도2 is a circuit diagram of a sense amplifier block of a semiconductor memory device according to the prior art.
도 3은 종래 기술에 따른 반도체 메모리장치의 서브워드라인 드라이버 블록의 회로도3 is a circuit diagram of a subword line driver block of a semiconductor memory device according to the related art.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의 레이아웃4 is a layout of a semiconductor memory device according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의센스앰프 블록의 회로도5 is a circuit diagram of a sense amplifier block of a semiconductor memory device according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의 서브워드라인 드라이버 블록의 회로도6 is a circuit diagram of a subword line driver block of the semiconductor memory device according to the present invention.
메모리장치에 있어서, 메모리셀 블록 위로 배치되는 메인 워드라인과 컬럼선택신호는 하나의 신호가 다수개의 비트라인 및 서브워드라인을 제어하므로 배선의 여유가 있다. 즉 메모리셀 블록의 배선 여유공간을 활용하여 메모리셀 블록을 제외한 공간의 면적을 감소시키므로서 칩의 싸이즈를 감소시킨다.In the memory device, the main word line and the column select signal disposed over the memory cell block have a margin of wiring since one signal controls a plurality of bit lines and sub word lines. That is, the size of the chip is reduced by reducing the area of the space excluding the memory cell block by utilizing the wiring clearance of the memory cell block.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의 레이아웃이다.4 is a layout of a semiconductor memory device according to the present invention.
도 4를 참조하면, 메모리장치는 메모리셀 블록(MAT)을 구성하는 복수개의 메모리 셀과 주변부를 이루는 센스 앰프(SA), 서브워드라인 드라이버(SWD), 그리고 이들이 교차하는 크로스 어리아 블록(cross area block)으로 구성된다.Referring to FIG. 4, a memory device includes a plurality of memory cells constituting a memory cell block MAT, a sense amplifier SA forming a peripheral portion, a subword line driver SWD, and a cross-area block in which they cross. area block).
먼저, 메모리 셀 블록(MAT)은 소자에 따라 64K, 128K, 256K, 512K 비트 등의 단위를 가지고 있다. 그리고 메모리셀 블록(MAT)과 수평방향으로 배치된 센스앰프 블록(SA)은 센스 앰프, 비트라인 이퀄라이저, 컬럼 스위치 등의 회로로 구성된다. 또한, 서브워드라인 드라이버 블록(SWD)은 서브워드라인을 구동시키기 위하여 메모리셀 블록(MAT)을 사이에 두고 센스 앰프(SA)와 직교하는 형태로 배치되어 있으며, 크로스 어리아 블록은 센스앰프 드라이버, 입출력 이퀄라이저, X계 어드레스신호 드라이버로 이루어진 회로부로 구성된다.First, the memory cell block MAT has units of 64K, 128K, 256K, and 512K bits, depending on the device. The memory cell block MAT and the sense amplifier block SA arranged in the horizontal direction are configured with circuits such as a sense amplifier, a bit line equalizer, a column switch, and the like. In addition, the subword line driver block SWD is disposed in a form orthogonal to the sense amplifier SA with the memory cell block MAT interposed therebetween to drive the subword line, and the cross area block is a sense amplifier driver. And a circuit section comprising an input / output equalizer and an X-based address signal driver.
이러한 크로스 어리아 블록을 중심으로 보면 각각의 센스앰프 블록(SA)과 서브워드라인 드라이버 블록(SWD)은 수평방향과 수직방향으로 메모리셀 블록(MAT)을 개재시킨 형태를 가지며 반복적으로 배치되어 있다.The sense amplifier block SA and the subword line driver block SWD have a shape interposing a memory cell block MAT in a horizontal direction and a vertical direction. .
그리고, 센스앰프 블록(SA) 위로 로칼 입출력선(Local IO)이 지나가며, 또한, 각각의 메모리셀 블록(MAT) 과 센스앰프(SA)위로 글로발 입출력선(Global IO)이 지나간다. 따라서, 종래 기술에서와 같이 각각의 메모리셀 블록의 모서리 부위에 위치하는 크로스 어리아 블록에서 비트라인의 데이타를 글로발 입출력선으로 전달하는 로칼 입출력선이 글로발 입출력선과 교차하지 않고 , 센스앰프(SA) 상의 여유공간에서 서로 교차하게 된다.The local input / output line (Local IO) passes over the sense amplifier block SA, and the global input / output line (Global IO) passes over each memory cell block MAT and the sense amplifier SA. Therefore, as in the prior art, the local input / output line for transferring the data of the bit line to the global input / output line does not cross the global input / output line in the cross-area block located at the corner of each memory cell block, and thus, the sense amplifier SA They intersect in the free space of the statue.
글로발 입출력선(Global IO)과 입출력 스위치(IO SW)를 센스앰프 블록(SA)내의 중간지점 즉, 스트랩된 서브워드라인 구간과 센스앰프 블록(SA)dl 교차하는 지점에 배치한다. 서브워드라인은 메모리셀 블록(MAT)의 중간 지점까지 폴리실리콘과 금속을 병행하여 연결되는 스트랩핑(strapping)으로 형성하거나 폴리사이드로 형성한다.The global input / output line (Global IO) and the input / output switch (IO SW) are disposed at an intermediate point in the sense amplifier block SA, that is, at a point where the strapped subword line section intersects with the sense amplifier block SAdl. The subword line is formed of a strap or a polyside that is connected to the polysilicon and the metal in parallel to the intermediate point of the memory cell block MAT.
따라서, 서브워드라인 스트랩(strap)방식을 사용하면 서브워드라인 신호가 메모리셀 블록(MAT)의 1/2 지점에서 폴리라인 로딩(poly line loading)에 의한 부담없이 금속(또는 서브워드라인 보다 저항이 작은 물질)에 의해 전달되므로 동작의 안정화를 기대할 수 있고 하나의 서브워드라인 드라이버(SWD)에 의해 구동되는 메모리 비트 수를 증가시킬 수 있다.Therefore, when the subword line strap method is used, the subword line signal is more resistant than metal (or subword line) without being burdened by poly line loading at 1/2 of the memory cell block MAT. This small material can be expected to stabilize operation and increase the number of memory bits driven by one subwordline driver (SWD).
로칼 입출력선(Local IO)이 종적으로 이웃한 메모리셀 블록(MAT)들과 연결되는 부위와 그곳을 지나는 글로발 입출력선이 'C'로 지시되어 있으며 이는 도 5 에서 설명한다. 또한, 서브워드라인 드라이버(SWD)들이 메모리셀 블록(MAT)에 연결되는 모양과 이러한 메모리셀 블록 상의 글로발 입출력선을 도 6에서 설명한다.The portion where the local IO is connected to the neighboring memory cell blocks MAT and the global I / O line passing therethrough are indicated by 'C', which will be described with reference to FIG. 5. In addition, the shape in which the subword line drivers SWD are connected to the memory cell block MAT and the global input / output lines on the memory cell block will be described with reference to FIG. 6.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의센스앰프 블록과 그 주변의 회로도로서, 도 4에 표시된 C 부위에 대한 회로를 나타낸다.FIG. 5 is a circuit diagram of a sense amplifier block and its surroundings of the semiconductor memory device according to the present invention, and shows a circuit for the portion C shown in FIG.
도 5를 참조하면, 비트라인(BL)과 비트바라인(BLB)이 있고 그 사이에 컬럼선택신호선(YS)이 위치하며, 이들을 연결하는 비트라인 이퀄라이저(BL Eq), 센스앰프(S/A)가 위치하며, 이들을 단속하는 스위치로서 모스 트랜지스터들이 형성되어 제 1 배선부가 있다.Referring to FIG. 5, there is a bit line BL and a bit bar line BLB, and a column select signal line YS is positioned therebetween, and a bit line equalizer BL Eq and a sense amplifier S / A connecting them. ), And MOS transistors are formed as switches for interrupting them to form a first wiring portion.
이와 같은 제 1 배선부 옆에 동일한 구조의 제 2 배선부가 있으며 그 사이의 공간에 글로발 입출력선(Global IO)과 입출력 스위치(IO SW)가 위치하며, 이 스위치(IO SW)는 로칼 입출력선(Local IO)에 각각 연결되어 비트라인쌍(BL, BLB)의 신호를 단속한다. 그리고 글로발 입출력선(Global IO)과 입출력 스위치(IO SW)은 스트랩(strap)부를 이룬다.Next to the first wiring part, there is a second wiring part having the same structure, and a global input / output line (Global IO) and an input / output switch (IO SW) are located in a space therebetween, and the switch (IO SW) is a local input / output line ( Local IO) is connected to each other to control the signals of the bit line pairs BL and BLB. The global input / output line (Global IO) and the input / output switch (IO SW) form a strap portion.
서브워드라인 스트랩방식을 이용하므로 센스앰프 블록(SA)에 스트랩부 만큼의 공간적 여유가 생기므로 종래의 배치방식에서 크로스 어리아 블록에서 부담이 되는 입출력 스위치(IO SW)를 이 여유공간에 배치하므로서 전체적으로 칩의 공간활용 효율을 높일 수 있다. 또한, 상대적으로 저항이 큰 로칼 입출력선(Local IO)의 부하를 바능로 불일 수 있어서 신호의 안정화를 가져온다.By using the subword line strap method, the space of the sense amp block SA can be as much as that of the strap part. Therefore, the input / output switch (IO SW), which is burdened by the cross-array block in the conventional arrangement method, is disposed in this free space. Overall, the space utilization efficiency of the chip can be improved. In addition, the load of the local IO having a relatively high resistance can be turned off, resulting in signal stabilization.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 메모리장치의 서브워드라인 드라이버 블록의 회로도로서, 도 4에 표시된 D 부위에 대응하는 회로이다.FIG. 6 is a circuit diagram of a subword line driver block of the semiconductor memory device according to the present invention, which corresponds to the portion D shown in FIG. 4.
도 6을 참조하면, 각각의 메모리 셀의 로우(row)를 지정하는 서브워드라인(SWL)이 수평적으로 위치하고 이들은 각각의 서브워드라인 드라이버(SWD)에 의해 활성화되고, 또한 비트라인(BL)과 비트바라인(BLB)과 직교하며 배치되어 있다.Referring to FIG. 6, subword lines SWL that designate rows of each memory cell are horizontally located and are activated by respective subword line drivers SWD, and also bit lines BL. And orthogonal to the bit bar line (BLB).
읽기동작은 센스앰프 블록내의 컬럼 스위치를 통하여 비트라인(BL)의 데이타가 로칼 입출력선(Local IO)에 실리고, 스트랩부에 위치한 입출력 스위치(IO SW)를 통해서 글로발 입출력선(Global IO)에 전달되어 메인앰프 블록으로 입력되는 것으로 이루어진다. 쓰기동작은 이와 반대이다.In the read operation, the data of the bit line BL is loaded on the local IO through the column switch in the sense amplifier block, and the data is transferred to the global IO through the IO SW located in the strap part. And input to the main amplifier block. Write operations are the opposite.
그리고, 크로스 어리아 블록에서 면적에 여유가 생기므로 이곳에 배치되는 센스앰프 드라이버 크기를 조절할 수 있으므로 구동하고자하는 단위 메모리셀 블록의 크기를 증가시켜 전체적인 칩 싸이즈를 감소시킬 수 있다.In addition, since there is a margin in the area of the cross-array block, the size of the sense amplifier driver disposed therein can be adjusted, so that the overall chip size can be reduced by increasing the size of the unit memory cell block to be driven.
본 발명은 상술한 바와 같이 로칼 입출력선에 인한 저항이 최고 반으로 감소하여 신호의 안정화를 가져어며, 또한 크로스 어리아에서 글로발 입출력선을 배제시키므로 배선의 부담이 감소하여 전체적으로 칩의 집적도를 높일 수 있다.As described above, the resistance due to the local I / O line is reduced by half, resulting in stabilization of the signal, and also eliminating the global I / O line in the cross-array, thereby reducing the burden of wiring, thereby increasing the overall chip density. have.
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