KR19990055280A - 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치 - Google Patents

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KR19990055280A KR1019970075212A KR19970075212A KR19990055280A KR 19990055280 A KR19990055280 A KR 19990055280A KR 1019970075212 A KR1019970075212 A KR 1019970075212A KR 19970075212 A KR19970075212 A KR 19970075212A KR 19990055280 A KR19990055280 A KR 19990055280A
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최길호
강영호
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윤종용
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Abstract

본 발명은 반도체 제품의 번-인(burn-in) 테스트 장치에 관한 것이다. 반도체 제품의 초기 수명 불량을 제거할 목적으로 고온에서 일정시간 동안 반도체 소자에 스트레스를 가하는 번-인 테스트에 있어서, 종래의 번-인 테스트 장치는 반도체 제품이 삽입되는 번-인 보드에 연결된 드라이브 보드에 전원을 공급하는 드라이브 전원 공급부가 모니터 보드와 연결되지 않거나, 테스트 동작 중 전압이 떨어질 경우에, 이를 감지할 수 있는 수단이 없기 때문에, 시스템 전원을 끌 경우 번-인 보드에 순간적으로 서지 전압(surge voltage)을 발생시켜 반도체 제품에 손상을 입힐 수 있다. 따라서, 본 발명은 드라이브 전원 공급부와 모니터 보드의 연결 상태를 감시하여, 번-인 보드에 서지 전압이 발생되지 않도록 하는 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치를 제공한다. 본 발명에 따른 모니터 보드 감시장치는 감지부를 포함한다. 감지부는 모니터 보드를 통하여 드라이브 전원 공급부와 연결되어 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력을 감지하며, 시스템 전원부와 연결되어 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에 시스템 전원부가 꺼지도록 한다. 또한, 모니터 보드 감시장치의 경보 발생부는 감지부와 연결되어, 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에 경보를 발생할 수 있다 본 발명의 감지부는 계전기를 포함하는 것이 바람직하며, 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에, 계전기가 구동하여 시스템 전원부로부터 드라이브 전원 공급부로 전원이 공급되는 것을 차단할 수 있다.

Description

번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치 (MONITORING APPARATUS FOR MONITOR BOARD OF BURN-IN TESTER)
본 발명은 반도체 제품의 번-인(burn-in) 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 제품의 번-인 테스트시 번-인 테스트 장치의 드라이브 전원 공급부와 모니터 보드(monitor board)의 연결 상태를 감시하여, 번-인 보드에 서지 전압(surge voltage)이 발생되지 않도록 하여 테스트 제품이 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있는 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치에 관한 것이다.
반도체 제품의 제조에 있어서 제품의 테스트는 중요한 위치를 차지한다. 테스트라 함은 컴퓨터를 이용하여 만들어진 프로그램을 테스트 장치에서 실행시켜 반도체 제품의 전기적 특성, 기능적 특성 및 제품의 속도 등을 빠른 시간 안에 검사하는 것으로서, 제품의 양품과 불량품을 빠른 시간 안에 구별하는 것이다. 또한 테스트에서 나오는 결과 데이터를 수집, 분석하여 앞 공정에 피드백(feed back)하여 제품의 특성 향상과 수율을 올리기 위한 역할도 한다.
특히, 테스트 공정 중에서 번-인 테스트(burn-in test)라 함은 제품의 초기 수명 불량을 제거할 목적으로 고온에서 일정시간 동안 반도체 소자에 스트레스를 가하는 것을 말한다. 이는 사용 현장에서 장시간 동안 사용할 수 있도록 신뢰성을 보장하기 위함이며, 반도체 제품의 종류에 따라 스트레스 조건을 약간씩 다르게 설정할 수 있다. 번-인 테스트는 전기 신호의 인가 방식에 따라 다이내믹 번-인(dynamic burn-in)과 스태틱 번-인(static burn-in)으로 구별되며, 메모리 제품의 경우에는 다이내믹 번-인이 사용된다.
도 1에 일반적인 번-인 테스트 장치(10)의 예가 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 칩 패키지(package)와 같은 반도체 제품(20)은 번-인 보드(21)의 소켓(22; socket)에 삽입되어 오븐(11; oven) 안으로 공급된다. 번-인 보드(21)는 접속단자(23)를 통하여 오븐(11)의 접속 단자(도시되지 않음)와 전기적으로 연결된다. 번-인 테스트 장치(10)는 오븐(11) 외에도 제어부(12)와 시스템부(13)를 포함한다. 제어부(12)는 테스트 전 과정을 제어하는 부분이며, 번-인 테스트 장치(10)의 시스템 전원부(14)를 포함한다. 시스템부(13)는 각각의 번-인 보드(21)에 전원을 공급하고, 테스트 온도 및 전기적 신호를 인가하며, 테스트 과정을 모니터하는 부분이다. 시스템부(13)는 드라이브 전원 공급부(15)와 디바이스 전원부(17)를 포함한다.
한편, 시스템부(13)에는 드라이브 전원 공급부(15)들을 모니터하는 모니터 보드(16; monitor board)가 갖추어져 있다. 그런데, 번-인 보드(21)와 연결되어 있는 드라이브 보드(도 2의 24)에 Vcc를 공급하는 드라이브 전원 공급부(15)가 모니터 보드(16)와 연결되지 않거나, 테스트 동작 중 전압이 떨어질 경우, 이를 감지할 수 있는 수단이 없다.
그 결과 시스템 전원을 끌 경우, 번-인 보드(21)의 Vcc 라인에 순간적으로 서지 전압(surge voltage)이 발생하여 테스트하는 반도체 제품(20)에 손상을 입힐 수 있다. 좀 더 구체적으로 설명하자면, 드라이브 전원 공급부(15)는 번-인 보드(21)에 Vcc가 인가되도록 드라이브 보드(도 2의 24)에 전원을 가해주는 역할을 하는데, 모니터 보드(16)가 연결되지 않을 경우 드라이브 전원 공급부(15)의 커패시터에 남아있는 전류가 드라이브 보드(도 2의 24)에 전원을 가해서 번-인 보드(21)에 서지 전압이 발생하게 하는 것이다. 그러나 만약, 드라이브 전원 공급부(15)가 모니터 보드(16)에 연결되어 있다면, 모니터 보드(16)의 자체 기능에 의하여 서지 전압은 방지될 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 번-인 테스트시 번-인 테스트 장치의 드라이브 전원 공급부, 특히 번-인 보드에 Vcc를 공급하는 드라이브 전원 공급부와 모니터 보드의 연결 상태를 감시하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 번-인 보드에 서지 전압이 발생하여 테스트 제품이 손상되는 것을 방지하는데 있다.
도 1은 일반적인 번-인 테스트 장치의 한 예를 나타내는 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치의 실시예를 나타내는 구성도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 번-인(burn-in) 테스트 장치 11 : 오븐(oven)
12 : 제어부 13 : 시스템부
14 : 시스템 전원부 15 : 드라이브 전원 공급부
16 : 모니터 보드(monitor board) 17 : 디바이스 전원부
20 : 반도체 제품 21 : 번-인 보드(burn-in board)
22 : 소켓(socket) 23 : 접속 단자
24 : 드라이브 보드 30 : 모니터 보드 감시장치
31 : 감지부 32 : 감시장치 전원부
33 : 경보 발생부
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치를 제공한다. 본 발명의 번-인 테스트 장치는, 테스트하고자 하는 복수개의 반도체 제품이 삽입되는 번-인 보드가 한 개 이상 공급되어 번-인 테스트가 실시되는 오븐과; 시스템 전원부를 구비하고, 번-인 테스트의 과정을 제어하는 제어부와; 오븐에 삽입된 각각의 번-인 보드에 전원을 공급하는 드라이브 전원 공급부와 각각의 번-인 보드에 테스트 온도 및 전기적 신호들을 인가하는 적어도 2개 이상의 디바이스 전원부들을 구비하며, 드라이브 전원 공급부와 접속되어 드라이브 전원 공급부를 모니터하는 모니터 보드를 구비하는 시스템부를 포함한다.
특히, 본 발명에 따른 모니터 보드 감시장치는, 모니터 보드를 통하여 드라이브 전원 공급부와 연결되어 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력을 감지하며, 시스템 전원부와 연결되어 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에 시스템 전원부가 꺼지도록 하는 감지부를 포함한다.
본 발명에 따른 모니터 보드 감시장치는 경보 발생부를 더 포함할 수 있다. 경보 발생부는 감지부와 연결되어 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에 감시장치 전원부로부터 전원이 공급되어 경보가 발생되도록 한다. 경보 발생부는 경보음 발생수단 또는 경보점등수단을 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 감지부는 계전기를 포함하는 것이 바람직하며, 드라이브 전원 공급부의 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에, 계전기가 구동하여 시스템 전원부로부터 드라이브 전원 공급부로 전원이 공급되는 것을 차단할 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면 전반을 통틀어 동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.
본 발명의 번-인 테스트 장치는 기본적으로 도 1에 도시된 것과 같은 일반적인 장치와 동일한 구성을 가진다. 즉, 번-인 테스트 장치(10)는 한 개 이상의 번-인 보드(21)가 공급되어 번-인 테스트가 실시되는 오븐(11)을 포함한다. 번-인 보드(21)의 소켓(22)에는 테스트하고자 하는 반도체 제품(20)들이 복수개 삽입된다.
제어부(12)는 시스템 전원부(14)를 포함하며, 번-인 테스트의 전 과정을 제어한다. 시스템부(13)는 드라이브 전원 공급부(15)와 모니터 보드(16)와 디바이스 전원부(17)들을 포함하는데, 드라이브 전원 공급부(15)는 오븐(11)에 삽입된 각각의 번-인 보드(21)에 드라이브 보드(도 2의 24)를 통하여 전원을 공급하며, 디바이스 전원부(17)는 번-인 보드(21)에 테스트 온도 및 전기적 신호들을 인가한다. 모니터 보드(16)는 드라이브 전원 공급부(15) 및 디바이스 전원부(17)들을 모니터하기 위하여 접속된다.
본 발명의 특징인 모니터 보드 감시장치(30)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 감지부(31)와 감시장치 전원부(32)와 경보 발생부(33)로 이루어진다. 감지부(31)는 드라이브 전원 공급부(15)와 모니터 보드(16)의 접속부(16a)에 연결되며, 드라이브 전원 공급부(15)의 모니터 보드(16)로의 출력을 감지한다. 경보 발생부(33)는 감지부(31) 및 감시장치 전원부(32)와 연결된다.
드라이브 전원 공급부(15)의 모니터 보드(16)로의 출력이 없을 경우에, 즉 드라이브 전원 공급부(15)가 모니터 보드(16)와 연결되어 있지 않거나, 전압이 갑자기 떨어질 경우에, 경보 발생부(33)는 감시장치 전원부(32)로부터 전원을 공급받아 경보를 발생하게 된다. 반대로 드라이브 전원 공급부(15)가 모니터 보드(16)에 연결되어 정상적인 출력이 감지부(31)로 입력되면, 경보 발생부(33)는 감지부(31)와 차단되어 경보를 발생하지 않는다. 이와 같은 역할을 하는 것이 감지부(31)에 포함된 계전기(relay)이다. 즉, 모니터 보드(16)를 통한 드라이브 전원 공급부(15)의 출력이 감지부(31)로 입력되면 감지부(31)의 계전기가 구동하여 경보 발생부(33)와 차단되지만, 모니터 보드(16)를 통한 드라이브 전원 공급부(15)의 출력이 감지부(31)로 입력되지 않을 경우에는 감지부(31)의 계전기가 구동하지 않아 경보 발생부(33)와 연결되고 감시장치 전원부(32)로부터 전원이 공급된다.
한편, 경보 발생부(33)는 감지부(31)를 통하여 번-인 테스트 장치의 시스템 전원부(14)와 연결된다. 경보 발생부(33)가 시스템 전원부(14)와 연결됨으로써 경보 발생과 동시에 시스템 전원부(14)가 꺼지도록 할 수 있다. 즉, 시스템 전원부(14)가 꺼지도록 하여 번-인 보드(21)와 드라이브 보드(24)에 전원이 가해지지 않도록 하는 것이다. 경보 발생부(33)는 또한 경보음 발생수단 또는 경보점등수단 등을 포함할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 구조에 따르면 반도체 제품의 번-인 테스트시 번-인 테스트 장치의 드라이브 전원 공급부와 모니터 보드의 연결 상태를 감시하여, 번-인 보드에 서지 전압이 발생되지 않도록 하여 테스트 제품이 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있다. 특히, 번-인 보드에 전원을 공급하는 드라이브 전원 공급부로부터 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에, 즉 드라이브 전원 공급부가 모니터 보드와 연결되어 있지 않거나, 전압이 갑자기 떨어질 경우에, 감지부를 통하여 모니터 보드와 연결된 경보 발생부가 경보를 발생하고, 동시에 감지부와 연결된 시스템 전원부를 차단시킬 수 있다.

Claims (4)

  1. 테스트하고자 하는 복수개의 반도체 제품이 삽입되는 번-인 보드가 한 개 이상 공급되어 번-인 테스트가 실시되는 오븐과;
    시스템 전원부를 구비하고, 상기 번-인 테스트의 과정을 제어하는 제어부와;
    상기 오븐에 삽입된 상기 각각의 번-인 보드에 전원을 공급하는 드라이브 전원 공급부와 상기 각각의 번-인 보드에 테스트 온도 및 전기적 신호들을 인가하는 적어도 2개 이상의 디바이스 전원부들을 구비하며, 상기 드라이브 전원 공급부와 접속되어 상기 드라이브 전원 공급부를 모니터하는 모니터 보드를 구비하는 시스템부;
    를 포함하는 반도체 제품의 번-인 테스트 장치에 있어서,
    상기 모니터 보드를 통하여 상기 드라이브 전원 공급부와 연결되어 상기 드라이브 전원 공급부의 상기 모니터 보드로의 출력을 감지하며, 상기 시스템 전원부와 연결되어 상기 드라이브 전원 공급부의 상기 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에 상기 시스템 전원부가 꺼지도록 하는 감지부;
    를 포함하는 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 모니터 보드 감시장치는 경보 발생부를 더 포함하며, 상기 경보 발생부는 상기 감지부와 연결되어 상기 드라이브 전원 공급부의 상기 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에 감시장치 전원부로부터 전원이 공급되어 경보가 발생되는 것을 특징으로 하는 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 경보 발생부는 경보음 발생수단 또는 경보점등수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 감지부는 계전기를 포함하며, 상기 드라이브 전원 공급부의 상기 모니터 보드로의 출력이 없을 경우에, 상기 계전기가 구동하여 상기 시스템 전원부로부터 상기 드라이브 전원 공급부로 전원이 공급되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 번-인 테스트 장치의 모니터 보드 감시장치.
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JPS63204176A (ja) * 1987-02-19 1988-08-23 Clarion Co Ltd 半導体素子の信頼性評価試験装置
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