KR19990041714A - Semiconductor cassette feeder - Google Patents
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Abstract
본 발명은 설비 내부로 투입된 카세트를 전·후진 방향과 좌·우측 방향으로 이동시키도록 하는 반도체 카세트 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor cassette conveying apparatus for moving a cassette inserted into a facility in a forward / reverse direction and a left / right direction.
본 발명은, 설치된 가이드레일의 길이 방향으로 본체를 슬라이딩 이동시키도록 하는 전·후진 구동부와; 상기 본체에 수직하게 지지되어 상기 본체의 상측으로 이격 설치된 고정대를 승·하강시키도록 하는 엘리베이터부와; 상기 고정대의 상측에 지지되어 좌·우 방향으로 신축 가능하게 형성되고, 상단부에 상기 카세트를 받쳐 지지하는 받침대가 구비된 좌·우 슬라이딩부; 및 상기 전·후진 구동부와, 상기 엘리베이터부 및 상기 좌·우 슬라이딩부의 구동을 제어하는 제어부;를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The present invention includes a forward and backward drive unit for sliding the main body in the longitudinal direction of the installed guide rail; An elevator unit which is vertically supported by the main body so as to raise and lower a fixed stand spaced apart from the upper side of the main body; A left and right sliding part which is supported on an upper side of the fixing stand and is elastically formed in a left and right direction and has a pedestal supporting the cassette at an upper end thereof; And a control unit controlling driving of the forward and backward driving units, the elevator unit, and the left and right sliding units.
따라서, 본 발명에 의하면, 하나의 이송장치로 카세트를 X축 방향과 Y축 방향 및 Z축 방향으로 용이하게 이송하게 되어 설비의 크기를 축소시키고, 이송장치의 제작 비용을 절감되는 이점이 있다.Therefore, according to the present invention, the cassette is easily transferred in the X-axis direction, the Y-axis direction and the Z-axis direction by one transfer device, thereby reducing the size of the equipment and reducing the manufacturing cost of the transfer device.
Description
본 발명은 반도체 카세트 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 설비 내부로 투입된 카세트를 전·후진 방향과 이에 대한 좌·우측 방향으로 이동시키도록 하는 반도체 카세트 이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor cassette transport apparatus, and more particularly, to a semiconductor cassette transport apparatus for moving a cassette inserted into a facility in a forward / reverse direction and a left / right direction thereof.
통상적으로 웨이퍼는 포토리소그래피, 확산, 식각 증착 및 금속배선 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작되고, 이렇게 반도체장치로 제작되기까지 웨이퍼는 요구되는 공정설비로 이송되어 각 공정에 따른 작업을 수행하게 된다.Typically, the wafer is manufactured as a semiconductor device as a process such as photolithography, diffusion, etching deposition, and metallization is repeatedly performed, and the wafer is transferred to the required process equipment until the semiconductor device is manufactured, and the work according to each process is performed. Will be performed.
이러한 웨이퍼는 통상 이송하기 용이하도록 형성된 카세트에 복수개 담겨져 작업자 또는 이송장치에 의해 소정 위치로 옮겨지게 된다.Such wafers are usually contained in a plurality of cassettes formed for easy transport, and are transferred to a predetermined position by an operator or a transfer device.
상술한 이송장치는 설비 내부로 투입된 카세트를 설비 내의 지지판 상에 위치시키기 위해 카세트의 저면을 받쳐 승·하강 지지하여 지지판 사이에 형성된 틈새로 전진 또는 후진 이동시키는 이동장치와, 이렇게 위치되는 카세트를 다시 전진 방향에 대해 좌측 방향과 우측 방향으로 이동시키는 이동장치로 분리된 것이 통상적이다.The above-mentioned conveying apparatus supports a moving device which moves up or down by supporting the bottom of the cassette to raise and lower the cassette to move the cassette inserted into the facility on the support plate in the facility, and to move the cassette forward or backward to the gap formed between the support plates, and the cassette thus positioned again. It is conventional to be separated into a moving device which moves in the left direction and the right direction with respect to the forward direction.
그러나, 상술한 바와 같이, 카세트를 전·후진 방향과 이에 대한 좌·우측 방향 즉, X축, Y축 및 Z축으로 이동시키도록 하는 이송장치가 X축 방향과 Y축 방향에 대하여 분리되어 있음에 따라 설비 내의 많은 부피를 차지하게 되고, 그에 따른 이송장치의 제작에 소요되는 경비가 증가되는 문제가 있었다.However, as described above, the conveying apparatus for moving the cassette in the forward and backward directions and the left and right directions thereof, that is, the X, Y and Z axes, is separated from the X and Y axis directions. As a result, it takes up a lot of volume in the installation, there was a problem that the cost required for the production of the transfer device is increased.
또한, 분리된 이송장치를 구동시킴으로써 각각의 이송장치가 위치되는 카세트를 파지 하는 관계와 또는 카세트의 위치를 감지하는 관계 등에 의해 카세트 이송에 따른 작업시간이 연장되는 문제가 있었다.In addition, there is a problem in that a working time due to cassette transfer is extended by driving a separate transfer device by a relationship between holding a cassette in which each transfer device is located, or by detecting a position of the cassette.
본 발명의 목적은, 카세트를 이송하는 이송장치의 구동을 X축 방향과 Y축 방향 및 Z축 방향으로 구동하도록 하여 설비의 부피를 축소하고, 이송장치의 제작 비용을 감소하도록 하는 반도체 카세트 이송장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to drive a cassette conveying apparatus in a X-axis direction, a Y-axis direction and a Z-axis direction to reduce the volume of equipment and reduce the manufacturing cost of the conveying apparatus. In providing.
또한, 하나의 이송장치를 통해 X축 방향과 Y축 방향 및 Z축 방향으로 카세트를 이송함게 됨에 따라 카세트의 파지 관계 또는 카세트의 위치감지 관계 등의 제어가 용이하도록 하여 카세트 이송에 따른 작업 시간을 단축시키도록 하는 반도체 웨이퍼 이송장치를 제공함에 있다.In addition, as the cassette is transferred in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction through one transfer device, it is easy to control the grip relationship of the cassette or the position detection relationship of the cassette, so that the working time according to the cassette transfer can be controlled. It is to provide a semiconductor wafer transfer device to shorten.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 카세트 이송장치의 구성을 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a semiconductor cassette transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ을 기준하여 카세트 이송장치의 구성과 설치 관계 및 동작 관계를 나타낸 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration, installation relations, and operation relations of a cassette transfer apparatus with reference to II-II of FIG.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10 : 카세트 이송장치 12 : 테이블10 cassette feeder 12 table
14 : 가이드레일 16 : 본체14: guide rail 16: body
18 : 전·후진 구동부 20 : 홀더18: forward and backward drive unit 20: holder
22 : 타이밍벨트 24 : 엘리베이터부22: timing belt 24: elevator
26 : 실린더축 28 : 실린더26: cylinder axis 28: cylinder
30 : 고정대 32 : 가이드축30: holder 32: guide shaft
34 : 카세트 36 : 좌·우 슬라이딩부34: cassette 36: left and right sliding parts
38 : 고정부 가이드블록 40 : 유동부 가이드블록38: fixed part guide block 40: flow part guide block
42 : 슬라이드블록 44 : 받침대42: slide block 44: pedestal
46 : 제 1복동실린더 48a,48b : 가이드레일46: 1st double acting cylinder 48a, 48b: guide rail
50 : 제 2복동실린더 52 : 지지판50: second double-acting cylinder 52: support plate
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 설비의 로딩부 또는 언로딩부에 설치되어 카세트를 이송하도록 하는 반도체 카세트 이송장치에 있어서, 설치된 가이드레일의 길이 방향으로 본체를 슬라이딩 이동시키도록 하는 전·후진 구동부와; 상기 본체에 수직하게 지지되어 상기 본체의 상측으로 이격 설치된 고정대를 승·하강시키도록 하는 엘리베이터부와; 상기 고정대의 상측에 지지되어 좌·우 방향으로 신축 가능하게 형성되고, 상단부에 상기 카세트를 받쳐 지지하는 받침대가 구비된 좌·우 슬라이딩부; 및 상기 전·후진 구동부와, 상기 엘리베이터부 및 상기 좌·우 슬라이딩부의 구동을 제어하는 제어부;를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is, in the semiconductor cassette conveying apparatus is installed in the loading or unloading unit of the equipment to convey the cassette, the forward and reverse to slide the main body in the longitudinal direction of the guide rail installed A drive unit; An elevator unit which is vertically supported by the main body so as to raise and lower a fixed stand spaced apart from the upper side of the main body; A left and right sliding part which is supported on an upper side of the fixing stand and is elastically formed in a left and right direction and has a pedestal supporting the cassette at an upper end thereof; And a control unit controlling driving of the forward and backward driving units, the elevator unit, and the left and right sliding units.
또한, 상기 전·후진 구동부는, 상기 가이드레일의 양측 소정 부위에 복수개 설치되는 롤러와; 상기 본체에 연결되고, 상기 각각의 롤러에 지지되는 타이밍벨트; 및 상기 어느 하나의 롤러에 연결되어 회전력을 제공하는 구동모터;로 구성함이 바람직하다.The forward and backward driving parts may include a plurality of rollers provided at predetermined portions on both sides of the guide rail; A timing belt connected to the main body and supported by the respective rollers; And a drive motor connected to any one of the rollers to provide rotational force.
그리고, 상기 엘리베이터부는, 상기 본체와 상기 고정대 사이에 수직하게 설치되어 상기 고정대를 승·하강 구동하도록 실린더축으로 연결되는 실린더와; 상기 실린더의 양측으로 나란하게 설치되어 상기 고정대의 승·하강 운동을 안내하는 가이드축;으로 구성함이 바람직하다.The elevator unit may include a cylinder installed vertically between the main body and the fixing stand and connected to a cylinder shaft to drive the fixing stand up and down; It is preferably configured to include a guide shaft which is installed side by side on both sides of the cylinder to guide the lifting movement of the stator.
한편, 상기 좌·우 슬라이딩부는, 상기 고정대 상측에 상기 가이드레일의 길이방향을 가로지르는 좌·우 방향으로 고정되는 장방형의 고정부 가이드블록과; 상기 고정부 가이드블록 상에 길이 방향 슬라이딩 가능하게 설치되는 장방형의 유동부 가이드블록; 및 상기 구동부 가이드블록 상에 길이 방향 슬라이딩 가능하게 설치되고, 상단부에 상기 받침대가 구비된 슬라이드블록;을 포함하여 구성함이 바람직하다.On the other hand, the left and right sliding portion, the fixed guide portion of the rectangular fixed to the left and right direction across the longitudinal direction of the guide rail on the upper side of the fixing stand; A rectangular flow part guide block which is installed to be slidable in the longitudinal direction on the fixed part guide block; And a slide block installed on the driving unit guide block so as to be longitudinally slidable, and having a pedestal at an upper end thereof.
또한, 상기 고정부 가이드블록과 상기 유동부 가이드블록의 각 소정 위치에, 각각에 대한 유동부 가이드블록과 상기 슬라이드블록의 슬라이딩 운동을 지지하는, 복동실린더를 설치함이 바람직하다.In addition, it is preferable to install a double-acting cylinder, which supports the sliding motion of the flow section guide block and the slide block for each of the fixed portion guide block and the flow section guide block.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 카세트 이송장치의 구성을 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ을 기준하여 카세트 이송장치의 구성을 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the configuration of a semiconductor cassette transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a cassette transfer apparatus with reference to II-II of FIG.
본 발명에 따른 반도체 카세트 이송장치(10)는, 설비 하측의 테이블(12)상에 소정 길이를 갖는 가이드레일(14)이 전·후진 방향으로 설치되고, 이 가이드레일(14)상에는 소정 형상의 본체(16)가 전·후진 구동부(18)에 의해 슬라이딩 가능하게 설치된다.In the semiconductor cassette conveyance apparatus 10 which concerns on this invention, the guide rail 14 which has a predetermined length is installed in the forward / rear direction on the table 12 of the installation lower side, and on this guide rail 14, it has a predetermined shape. The main body 16 is slidably installed by the forward and backward driving units 18.
상술한 전·후진 구동부(18)의 구성은, 가이드레일(14)의 전방과 후방 소정 위치에, 도 1에 도시된 바와 같이, 힌지되어 복수개 설치되는 롤러(20)가 있고, 이들 롤러(20)에는 본체(16)와 연결되는 타이밍벨트(22)가 설치되며, 이들 롤러(20) 중 어느 하나의 롤러(20)는 회전력을 제공하는 구동모터(도면의 단순화를 위하여 생략함)와 통상의 방법으로 연결되어 이루어진다.As shown in FIG. 1, the structure of the above-mentioned forward and backward drive part 18 has the roller 20 hinged and provided in the front and rear predetermined position of the guide rail 14, These rollers 20 ) Is provided with a timing belt 22 connected to the main body 16, and any one of these rollers 20 is a drive motor that provides a rotational force (omitted for simplicity of the drawing) and a conventional Is done in a connected way.
따라서, 전·후진 구동부(18)의 구동모터가 연결된 롤러(20)에 회전력을 제공하게 되면, 각각의 롤러(20) 상에 설치된 타이밍벨트(22)가 구동하고, 이 타이밍벨트(22)와 연결된 본체(16)는 상술한 가이드레일(14)을 따라 슬라이딩 이동하게 된다.Therefore, when the rotational force is provided to the rollers 20 to which the drive motors of the forward and backward driving units 18 are connected, the timing belts 22 provided on the respective rollers 20 are driven, and the timing belts 22 and The connected main body 16 slides along the guide rail 14 described above.
한편, 본체(16)의 내부에는 본체(16)의 상측으로 이격 설치된 고정대를 승·하강시키도록 하는 엘리베이터부(24)가 설치된다.On the other hand, inside the main body 16, the elevator part 24 which raises and lowers the stator provided spaced apart above the main body 16 is provided.
이러한 엘리베이터부(24)는, 본체(16) 내부의 중심 부위에 실린더축(26)을 갖는 실린더(28)가 수직하게 설치 고정되고, 실린더축(26)의 상측 단부는 상술한 고정대(30)의 저면에 고정된다.In the elevator unit 24, a cylinder 28 having a cylinder shaft 26 is vertically installed and fixed to a central portion inside the main body 16, and an upper end of the cylinder shaft 26 is fixed to the above-described mounting table 30. It is fixed to the bottom of the.
또한, 상술한 실린더(28)의 양측 소정 부위에는 실린더(28)와 나란하게 가이드축(32)이 설치되며, 이 가이드축(32)의 상측 단부는 고정대(30)의 저면에 연결됨으로써 실린더(28)의 구동에 따른 고정대(30)의 승·하강 운동을 안정적으로 지지하게 된다.In addition, the guide shaft 32 is provided in both predetermined portions of the cylinder 28 in parallel with the cylinder 28, and the upper end of the guide shaft 32 is connected to the bottom of the fixing table 30, thereby providing a cylinder ( 28, it is possible to stably support the lifting and lowering movement of the fixing table 30 in accordance with the drive.
한편, 고정대(30)의 상측으로 위치되는 카세트(34)의 저면을 받쳐 지지하며 상술한 가이드레일(14)의 길이 방향을 가로지르는 좌·우 방향으로 신축 운동하도록 형성된 좌·우 슬라이딩부(36)가 설치된다.On the other hand, the left and right sliding portion 36 formed to support the bottom surface of the cassette 34 positioned above the fixing table 30 and to expand and contract in the left and right directions crossing the longitudinal direction of the guide rail 14 described above. ) Is installed.
이러한 좌·우 슬라이딩부(36)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 소정 길이와 형상을 갖는 고정부 가이드블록(38)이 고정대(30) 상면에 고정되고, 이 고정부 가이드블록(38)의 길이 방향은 상술한 가이드레일(14)의 길이 방향에 대한 좌·우 방향으로 배치된다.As shown in FIG. 2, the left and right sliding parts 36 are fixed to the fixing part guide block 38 having a predetermined length and shape on the upper surface of the fixing table 30, and the fixing part guide block 38. The longitudinal direction of is arranged in the left and right directions with respect to the longitudinal direction of the guide rail 14 described above.
그리고, 고정부 가이드블록(38)의 상측으로 장방형의 유동부 가이드블록(40)이 포개어지는 형상으로 적층되어 고정부 가이드블록(38)의 길이 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치된다.The rectangular flow part guide block 40 is stacked on the upper side of the fixed part guide block 38 so as to be slidable in the longitudinal direction of the fixed part guide block 38.
또한, 유동부 가이드블록(40)의 상측에는 소정 형상의 슬라이드블록(42)이 적층되어 고정부 가이드블록(38)의 길이 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되고, 이 슬라이드블록(42)의 상측 단부에는 카세트(34)가 안착되는 받침대(44)가 구비된다.In addition, a slide block 42 having a predetermined shape is stacked on the upper side of the flow part guide block 40 to be slidably installed in the longitudinal direction of the fixed part guide block 38. A pedestal 44 on which the cassette 34 is seated is provided.
한편, 상술한 고정부 가이드블록(38)에 대한 유동부 가이드블록(40)의 슬라이딩 운동은, 고정부 가이드블록(38) 상의 길이 방향으로 중심 부위에 소정 길이를 갖는 제 1복동실린더(46)가 설치되고, 이 제 1복동실린더(46)의 양측으로 돌출되어 제 1복동실린더(46)의 측부를 따라 왕복 슬라이딩 운동을 하는 가이드레일(48a)에 상술한 유동부 가이드블록(40)이 고정되어 슬라이딩 운동을 하게 된다.On the other hand, the sliding motion of the flow section guide block 40 with respect to the fixing part guide block 38 described above, the first double-acting cylinder 46 having a predetermined length in the center portion in the longitudinal direction on the fixing part guide block 38 Is installed, and the above-mentioned flow part guide block 40 is fixed to the guide rail 48a which protrudes to both sides of the first double-acting cylinder 46 and performs reciprocating sliding movement along the side of the first double-acting cylinder 46. It is then sliding.
또한, 슬라이드블록(42)의 슬리이딩 운동은, 상술한 유동부 가이드블록(40)의 슬라이딩 운동과 동일하게 유동부 가이드블록(40)의 중심부에 설치되는 제 2복동실린더(50)의 가이드레일(48b)에 슬라이드블록(42)이 고정되어 이루어진다.In addition, the sliding motion of the slide block 42 is a guide rail of the second double-acting cylinder 50 installed in the center of the flow part guide block 40 in the same manner as the sliding motion of the flow part guide block 40 described above. The slide block 42 is fixed to the 48b.
여기서, 상술한 각 구성의 동작 및 카세트의 위치 관계와 상태 등을 감지하여 제어하는 제어부(도시하지 않음)에 의해 수행되고, 이러한 구성으로 이루어진 카세트 이송장치(10)의 동작 관계를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Here, the operation of each of the above-described configuration and the positional relationship and state of the cassette is sensed and controlled by a control unit (not shown), the operation relationship of the cassette feeder 10 having such a configuration This will be described with reference.
일반적으로 카세트(34)는 설비 내부에 투입되어 지지판(52) 사이의 소정위치에 놓이게 되고, 제어부는 카세트(34)가 위치됨을 감지하게 된다.In general, the cassette 34 is placed in the facility and placed at a predetermined position between the support plates 52, and the control unit senses that the cassette 34 is located.
한편, 제어부는 엘리베이터부(24)의 실린더(28)를 구동시키게 되고, 실린더(28)의 구동에 의해 좌·우 슬라이더부(36)가 승강하게 됨으로써 카세트(34)는 받침대(44)의 상면에 지지되어 지지판(52)으로부터 상측으로 이격 위치된다.On the other hand, the control unit drives the cylinder 28 of the elevator unit 24, and the left and right slider unit 36 is moved up and down by driving the cylinder 28, the cassette 34 is the upper surface of the pedestal 44 It is supported in the and is spaced apart from the support plate 52 upward.
이러한 과정을 통해 카세트(34)가 소정 높이 이격 위치되면, 제어부는 전·후진 구동부(18)의 구동모터를 구동시킴으로써 타이밍벨트(22)로 연결된 본체(16)를 가이드레일(14)을 따라 전진 또는 후진시켜 소정 위치로 이동시키게 된다.When the cassette 34 is spaced apart by a predetermined height through this process, the controller advances the main body 16 connected to the timing belt 22 along the guide rail 14 by driving the driving motor of the forward and backward driving units 18. Or it moves backward to a predetermined position.
이후, 제어부는 실린더(28)를 구동시켜 좌·우 슬라이딩부(36)를 하강하게 되고, 카세트(34)를 소정 위치의 지지판(52) 상에 놓이게 된다.Subsequently, the controller drives the cylinder 28 to lower the left and right sliding parts 36, and the cassette 34 is placed on the support plate 52 at a predetermined position.
그리고, 다시 제어부는 카세트(34)의 위치를 감지하고, 이어 실린더(28)를 구동시킴으로써 다시 카세트(34)를 지지판(52)으로부터 이격 위치시키게 된다.Then, the control unit again senses the position of the cassette 34, and then drives the cylinder 28 again to position the cassette 34 away from the support plate 52.
이러한 상태에서 카세트(34)를 상술한 가이드레일(14) 방향에 대하여 좌·우측 방향으로 이동시키도록 좌·우 슬라이딩부(36)의 제 1복동실린더(46)와 제 2복동실린더(50)의 구동을 제어함으로써 카세트(34)는 좌측 또는 우측 방향 소정 위치로 이송된다.In this state, the first double-acting cylinder 46 and the second double-acting cylinder 50 of the left and right sliding parts 36 to move the cassette 34 in the left and right directions with respect to the guide rail 14 direction described above. By controlling the driving of the cassette 34, the cassette 34 is conveyed to a predetermined position in the left or right direction.
이러한 상태에서 다시 제어부에 의한 실린더(28)의 구동으로 좌·우 슬라이딩부(36)를 하강함게 됨으로써 카세트(34)는 하나의 카세트 이송장치에 의해 전·후진 방향과 좌·우측 방향 즉, X축과 Y축 및 Z축으로 이송되어 요구되는 위치에 놓이게 된다.In this state, the left and right sliding parts 36 are lowered again by the driving of the cylinder 28 by the controller, so that the cassette 34 is moved forward and backward and left and right directions by one cassette feeder, that is, X. It is fed to the axis, Y axis and Z axis and placed in the required position.
따라서, 본 발명에 의하면 카세트를 이송하는 이송장치의 구동 범위가 X축 방향과 Y축 방향 및 Z축 방향으로 용이하게 구동하도록 형성됨에 따라 두 개의 설치되던 이송장치를 하나의 이송장치로 사용하게 됨에 따라 설치되는 범위가 축소되어 설비의 부피를 감소하고, 이송장치의 제작 비용을 절감되는 이점이 있다.Therefore, according to the present invention, since the driving range of the transfer device for transferring the cassette is formed to easily drive in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, two installed transfer devices are used as one transfer device. As a result, the installation range is reduced, thereby reducing the volume of the installation and reducing the manufacturing cost of the transfer apparatus.
또한, 하나의 이송장치를 통해 X축 방향과 Y축 방향 및 Z축 방향으로 카세트를 이송하게 됨에 따라 카세트의 파지 관계 및 카세트의 위치 감지 관계 등의 제어가 용이하여 카세트 이송에 따른 작업 시간이 단축되는 효과가 있다.In addition, as the cassette is transferred in the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction through one transfer device, it is easy to control the grip relationship of the cassette and the position detection relationship of the cassette, thereby reducing the work time due to the cassette transfer. It is effective.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990041714A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012133987A1 (en) * | 2011-04-01 | 2012-10-04 | 엠파워(주) | System for transferring solar cell substrate |
-
1997
- 1997-11-24 KR KR1019970062362A patent/KR19990041714A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012133987A1 (en) * | 2011-04-01 | 2012-10-04 | 엠파워(주) | System for transferring solar cell substrate |
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