KR19990018949A - Triode type field emission display device - Google Patents

Abstract

목적 : 흑연으로 음극을 형성하여 공정의 단순화와 음극의 물성 안정화를 도모하고, 낮은 전계에서도 전자 방출이 이루어지는 3극관형 전계 방출 표시소자를 제공한다.PURPOSE: To provide a tripolar tube type field emission display device which forms a cathode from graphite to simplify the process and stabilize the properties of the cathode and emit electrons even at a low electric field.

구성 : 기판 글라스(2) 상에 소정의 패턴으로 적층 형성된 음전극(4)의 상면 소정 개소마다 흑연 분말을 스퍼터링 증착하여 흑연 박막층(6)이 적층되게 한 다음 상기 흑연 박막층(6)을 제외한 음전극(4)의 상면으로 절연층(8)을 인쇄 도포하고 열처리하여 고착화 시킨 후에 다시 그 위로 은 페이스트를 인쇄 도포하고 열처리하여 소정 패턴의 그리드(10)가 배치되게 한 구성으로 된다.Composition: Sputtering deposition of graphite powder on a predetermined portion of the upper surface of the negative electrode 4 laminated on the substrate glass 2 in a predetermined pattern so that the graphite thin film layer 6 is laminated, and then the negative electrode except for the graphite thin film layer 6 ( After the insulating layer 8 is printed on the upper surface of 4) and heat-fixed to fix, the silver paste is printed on the upper surface and heat-treated again to arrange the grid 10 having a predetermined pattern.

효과 : 음전극에 부가되는 전자 방출 물질이 흑연 박막으로 증착 형성됨에 복잡하고 난해한 레이저 엡레이션 등을 거치지 않고도 간단하게 형성되고, 이렇게 형성된 음전극은 물성이 안정적이어서 가스 이온이나 아크 등의 충격에도 내구성을 가지므로 사용 수명이 연장되는 한편 낮은 전계에서 충분히 전자 방출을 일으키게 된다.Effect: Since the electron-emitting material added to the negative electrode is formed by depositing a graphite thin film, it is simply formed without going through complicated and difficult laser ablation.The negative electrode thus formed is stable in physical properties and thus has durability against impacts such as gas ions and arcs. As a result, the service life is extended, while at a low electric field, sufficient electron emission is caused.

Description

3극관형 전계 방출 표시소자Triode type field emission display device

본 발명은 전계 방출 표시소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 흑연을 음극소재로 하여 전자의 방출량이 많고 음극 형성 공정이 간편하게 되는 3극관형 전계 방출 표시소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device, and more particularly, to a triode type field emission display device having a large amount of electron emission and a simple cathode formation process using graphite as a cathode material.

전계 방출 표시소자는 상호 대향 배치되어 기밀스럽게 밀봉되는 글라스 사이로 음극과 형광체를 배열한 구성을 포함하는 것이며, 상기 음극과 형광체는 각각 일정의 패턴을 이루게 되어 있다. 이러한 구성에서 상기 음극과 양극의 방출면 사이가 높은 전압 구배로 되게 하면 쇼트키 효과에 의한 직접 전자 방출이 일어나고, 발생된 전자 방출은 형광체를 여기시켜 빛을 발하게 되는 영상표시소자이다.The field emission display device includes a structure in which a cathode and a phosphor are arranged between glass which is disposed to face each other and is hermetically sealed, and the cathode and the phosphor form a predetermined pattern, respectively. In such a configuration, when the emission surface of the cathode and the anode has a high voltage gradient, direct electron emission occurs due to the Schottky effect, and the generated electron emission excites phosphors to emit light.

이러한 전계 방출 표시소자는 구조에 따라 2극관과 3극관이 공지되어 있고, 3극관은 음극과 양극 사이로 그리드가 더 추가된 구성으로 되어 있다.The field emission display device is known as a dipole and a triode according to its structure, and the triode has a configuration in which a grid is further added between the cathode and the anode.

상기 전계 방출 표시소자는 대화면용 표시소자에 적합할 뿐만 아니라 전력소비가 작고 양질의 화상을 얻을 수 있는 이점이 있다.The field emission display device is not only suitable for a large display device, but also has an advantage of low power consumption and high quality images.

전계 방출 표시소자에서 화면의 밝기는 음극으로부터 방출되는 전자의 량에 좌우되고 전자의 방출량이 큰 음극은 요철면에 의해 표면적이 극대화된 특징을 가진다.In the field emission display device, the brightness of the screen depends on the amount of electrons emitted from the cathode, and the cathode having a large emission amount of electrons has a feature of maximizing its surface area by the uneven surface.

초기에 전계 방출 표시소자외 음극은 기판에 텅스텐, 몰리브덴 등의 고융점 금속박막을 형성하고 이를 에칭 처리하여 날카로운 팁이 형성되게 하여 왔으나, 이 방법은 정교하게 노광하고 에칭해야 하는 고난도의 공정을 거쳐야 하므로 넓은화면을 가지는 전계 방출 표시소자에는 적당치 않다. 또 상기와 같이 하여 형성된 팁은 가스 이온이나 아크의 충격에 취약하여 사용 수명이 짧으며 동작 전압도높은 문제점이 있다.Initially, cathodes other than field emission display devices have formed high melting point metal thin films such as tungsten and molybdenum on a substrate and are etched to form sharp tips. However, this method requires a highly difficult process of exposing and etching delicately. Therefore, it is not suitable for the field emission display device having a wide screen. In addition, the tip formed as described above is vulnerable to the impact of gas ions or arc has a short service life and a high operating voltage.

한편, 마루오에 의해 제안된 미국 특허 제 5,382,867호는 톱니모양의 표면을 가지는 음극 구조를 개시하고 있지만, 이것은 복잡하고 난해한 금속 박막의 팁을 톱니모양으로 하는 것이므로 여전히 정교한 노광과 에칭 작업을 거쳐야 한다.On the other hand, U.S. Patent No. 5,382,867 proposed by Maruo discloses a cathodic structure with a serrated surface, but this is a jagged tip of a complex and difficult metal thin film, which still requires sophisticated exposure and etching operations. .

또 케인에 의해 제안된 미국 특허 제 5,430,348호는 다이아몬드 면으로 된 음극에 반전층을 형성한 구조를 개시하고 있고, 다른 한편으로 커마에 의해 제안된 미국 특허 제 5,548,185호와 제 5,601,966호는 아모르픽 다이아몬드 필름을 사용한 전계 방출 표시소자를 개시하고 있다.U.S. Patent No. 5,430,348 proposed by Kane discloses a structure in which an inversion layer is formed on a diamond faced cathode, while U.S. Patent Nos. 5,548,185 and 5,601,966 proposed by Kerma are amorphous diamonds. A field emission display device using a film is disclosed.

다이아몬드는 탄소가 주성분으로 된 가장 안정적인 물질의 하나로 되는 것이고, 이것은 도 4로 나타내고 있듯이 정방정계(正方晶系 ; tetragonal)의 (111)면을 가지고 있는 결정체로 되어서 강한 2중 결합을 하고 있고 그 끝부분의 끊어진 결합이 전자의 방출 통로로 이용될 수 있다. 즉 상기 (111)면에 보론, 질소 등을 불순물로 도핑하면 부전자친화(Negative Electron Affinity) 현상이 발생하여 전도대의 에너지 레벨이 진공 중의 자유전자가 가지는 에너지 레벨보다 높아져 자발적인 전자 방출이 일어나게 되고 이 현상은 저전압 구동을 가능케 하는 특징이 있다.Diamond is one of the most stable materials composed mainly of carbon, which is a crystal having a (111) plane of tetragonal as shown in FIG. A broken bond of parts can be used as the electron emission path. In other words, when doping boron, nitrogen, etc. with impurities on the (111) plane generates a negative electron affinity phenomenon, the energy level of the conduction band is higher than the energy level of free electrons in the vacuum, resulting in spontaneous electron emission. The phenomenon is characterized by low voltage driving.

그러나 다이아몬드 또는 다이아몬드에 유사한 카본을 음극으로 형성하려면 플라즈마 증착하여 소정 두께의 박막을 얻고, 이를 레이저 엡레이션으로 미세 가공해야 하기 때문에 상기 금속 박막과 마찬가지로 고난도의 공정을 거쳐야 하며, 특히 원자재 값이 비싸 전계 방출 표시소자의 보급을 어렵게 하는 요인으로 작용한다.However, in order to form a diamond or a carbon similar to diamond as a cathode, plasma deposition is required to obtain a thin film having a predetermined thickness, which must be finely processed by laser ablation. It acts as a factor that makes diffusion of the emission display element difficult.

한편, 흑연은 상기 다이아몬드와 마찬가지로 흑연이 주성분으로 되는 물질이고, 도 5로 나타낼 수 있듯이 다이아몬드의 정방정계에 유사한 육각형의 (0001)면을 포함하고 있으나, 상기 (0001)면의 방향은 강한 이중 결합으로 되어 있고 그 면 사이는 약한 반데르발스 결합으로 되어 있어서 물리적으로 강한 이방성을 가지는 특성이 있다. 또한 상기 (0001)면으로는 전기, 열 등의 전도도가 양호하지만 그 직각 방향으로는 좋지 않고 게다가 상기 (0001)면 사이의 약한 결합상태로 인하여 쉽게 깨지는 단점이 있다.On the other hand, graphite is a material composed mainly of graphite like diamond, and as shown in FIG. 5, the graphite includes a (0001) plane similar to the tetragonal system of diamond, but the direction of the (0001) plane is a strong double bond. It is composed of weak van der Waals bonds between the surfaces, and has physically strong anisotropy. In addition, the (0001) plane is good in conductivity, such as electricity, heat, but is not good in the right direction thereof, and also has the disadvantage of being easily broken due to the weak bonding state between the (0001) plane.

그러나 흑연 분말의 표면에는 강한 공유 결합을 하는 (0001)면의 모서리가 무수히 존재하고 있으며 이 모서리들은 천연적인 전자 방출 팁으로 이용될 수 있다.However, the surface of the graphite powder has a myriad of (0001) edges with strong covalent bonds, which can be used as natural electron emission tips.

게다가 흑연 분말은 외력을 받아 깨지더라도 그 파단면은 여전히 (0001)면의 새로운 모서리로 형성되어 일종의 자기 회복성을 가지므로 이를 통한 전자 방출도 지속적으로 행해질 수 있고, 어느 정도의 질소 불순물도 함유하고 있기 때문에 상기 부전자친화 현상이 야기되어 저전계 전자 방출도 기대할 수 있다.In addition, even if the graphite powder is broken under external force, its fracture surface is still formed as a new corner of the (0001) plane, which has a kind of self-healing property, and thus electron emission can be continuously performed, and it contains some nitrogen impurities. As a result, the negative electron affinity phenomenon is caused, and low-field electron emission can be expected.

따라서 본 발명의 목적은 흑연으로 음극을 형성하여 공정의 단순화와 음극의 물성 안정화를 도모함과 동시에 저전계 구동이 가능한 3극관형 전계 방출 표시소자를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a triode-type field emission display device capable of driving a low electric field while simplifying a process and stabilizing properties of a cathode by forming a cathode from graphite.

상기의 목적에 따라 본 발명은 양전극을 가지는 전면 글라스에 대향 배치되는 기판 글라스의 내측면 상에, 소정 패턴으로 음전극을 ITO 증착 또는 은 페이스트에 의한 인쇄 소성으로 적층 형성하고, 상기 음전극의 상면으로 흑연을 스퍼터링하여 일정의 패턴의 흑연 박막층이 상기 음전극의 상면에 적층 형성되게 한 다음, 상기 음전극의 주변으로 절연성 스페이서를 인쇄하여 소정 두께로 도포하고 열처리하여 고착화시킨 후에 다시 그 위로 은 페이스트를 인쇄 도포하고 열처리하여 소정 패턴의 그리드가 배치되게 한 구성으로 된다.In accordance with the above object of the present invention, the negative electrode is laminated on the inner surface of the substrate glass disposed opposite to the front glass having the positive electrode in a predetermined pattern by ITO deposition or printing firing by silver paste, and graphite is formed on the upper surface of the negative electrode. After sputtering, a graphite thin film layer having a predetermined pattern is laminated on the upper surface of the negative electrode. Then, an insulating spacer is printed around the negative electrode, applied to a predetermined thickness, and heat treated to fix, and then the silver paste is printed and applied thereon. The heat treatment is performed to arrange the grid of a predetermined pattern.

상술한 구성의 본 발명에서 흑연 스퍼터링은 직경 0.5∼100㎛의 구형상 또는 비늘상의 흑연 분말이 사용된다.In the present invention having the above-described configuration, graphite sputtering is used as spherical or scaled graphite powder having a diameter of 0.5 to 100 µm.

이와 같은 구성의 본 발명은 전자의 방출이 상기 흑연 박막층을 통해 이루어지는 것이고, 이 때 흑연 박막층은 종래의 다이아몬드 박막이 가지고 있는 방사특성을 고루 갖추고 있어서 휘도가 향상되는 효과가 있고, 또한 상기 흑연 박막층은 스크린 인쇄에 의해 적층 형성되는 것이므로 공정이 간편 용이하며, 또 가스 이온 등의 충격을 받아 파손되는 면에 새롭게 노출되는 결정 조직도 파손되기 전과 동일한 결정으로 됨에 따라 음전극의 사용 수명이 연장되고, 흑연이 가지는 부전자친화 현상에 의해 저전압에서의 구동이 가능하게 되는 효과가 있다.According to the present invention having the above structure, electrons are emitted through the graphite thin film layer, and at this time, the graphite thin film layer has the radiation characteristic of the conventional diamond thin film, so that the luminance is improved, and the graphite thin film layer is Since it is formed by lamination by screen printing, the process is simple and easy, and the crystal structure newly exposed to the surface damaged by the impact of gas ions also becomes the same crystal as before it is broken, so the service life of the negative electrode is extended and graphite has There is an effect that driving at low voltage is possible by the negative electron affinity phenomenon.

도 1는 본 발명에 관련된 3극관형 전계 방출 표시소자의 기판 글라스 제조 공정을 설명하는 공정도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The process figure explaining the process of manufacturing the substrate glass of the triode type field emission display element which concerns on this invention.

도 2는 흑연 분말의 스퍼터링에 관한 예를 개략적으로 도시하는 측면도.FIG. 2 is a side view schematically showing an example of sputtering of graphite powder. FIG.

도 3은 본 발명에 관련된 3극관형 평판표시소자의 구성을 나타내는 개략 측단면도.Fig. 3 is a schematic side cross-sectional view showing the configuration of a triode tube flat panel display element according to the present invention.

도 4는 다이아몬드의 결정 구조도.4 is a crystal structure diagram of diamond;

도 5는 흑연의 결정 구조도.5 is a crystal structure diagram of graphite.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

2 : 기판 글라스 4 : 음전극2: substrate glass 4: negative electrode

6 : 흑연 박막층 8 : 절연층6: graphite thin film layer 8 insulation layer

10 : 그리드 12 : 전면 글라스10: grid 12: front glass

14 : 형광체 16 : 양전극14 phosphor 16 positive electrode

상술한 구성의 본 발명을 첨부 도면에 따른 바람직한 실제 예로서 상세히 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention having the above-described configuration will be described in detail with reference to preferred practical examples according to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 관련된 3극관형 평판표시소자의 음극 형성예를 도시하는 공정도이다.1 is a process chart showing an example of forming a cathode of a triode tube flat panel display device according to the present invention.

기판 글라스(2)의 상면에는 은 페이스트를 인쇄하여 음전극(4)이 소정의 라인 형태로 형성된다. 상기 은 페이스트는 스크린 인쇄 후에 열처리되어서 기판글라스(2) 상에 고착되는 것이며, 이렇게 형성된 음전극(4)의 상면에는 소정 개소마다 흑연 박막층(6)이 형성 배열된다.The silver paste is printed on the upper surface of the substrate glass 2 so that the negative electrode 4 is formed in a predetermined line shape. The silver paste is heat-treated after screen printing to be fixed on the substrate glass 2, and the graphite thin film layer 6 is formed and formed at predetermined positions on the upper surface of the negative electrode 4 thus formed.

상기 흑연 박막층(6)은 도 2로 나타내고 있듯이 음극(A)의 상면에 0.5∼100㎛의 입도틀 가지는 흑연 분말(B)을 뿌려 놓고 직류 전압을 인가하는 스퍼터링법에의해 형성되는 것이며, 그 형태는 도트상 또는 스트라이프상의 임의 형상으로 할수 있고, 막 두께는 50㎛ 정도가 적당하다.As shown in FIG. 2, the graphite thin film layer 6 is formed by a sputtering method of spraying graphite powder B having a particle size of 0.5 to 100 μm on the upper surface of the cathode A and applying a DC voltage. May be in any shape of dots or stripes, and a film thickness of about 50 μm is appropriate.

소정의 패턴으로 형성 배열된 흑연 박막층(6)의 상면에는 도 1로 설명한 절연층(8)이 도포된다. 절연층(8)은 상기 흑연 박막층(6)에 대응하는 부분이 막혀져 있는 스크린을 통해 글라스 성분의 페이스트를 스크린 인쇄하고 열처리함으로써 적층되는 것이다.The insulating layer 8 described with reference to FIG. 1 is applied to the upper surface of the graphite thin film layer 6 formed and arranged in a predetermined pattern. The insulating layer 8 is laminated by screen printing and heat-processing the paste of a glass component through the screen in which the part corresponding to the said graphite thin film layer 6 is clogged.

이렇게 적층된 상기 절연층(8)의 상방으로 그리드(10)가 인쇄 도포된다.The grid 10 is printed and coated above the insulating layers 8 thus stacked.

상기 그리드(10)는 은 페이스트를 스크린 인쇄하여 형성되는 것이며, 이것은 상기 음전극(4)과 직교하는 방향으로 배열되어서 열처리를 통해 고착화되는 것이다.The grid 10 is formed by screen printing silver paste, which is arranged in a direction orthogonal to the negative electrode 4 and is fixed by heat treatment.

도 3은 본 발명에 관련된 3극관형 전계 방출 표시소자의 구조를 도시하고 있다.Fig. 3 shows the structure of the triode type field emission display device according to the present invention.

기판 글라스(2)는 별도로 만들어진 전면 글라스(12)와 대향하도록 배치되어 봉합된다.The substrate glass 2 is disposed to face the front glass 12 separately made and sealed.

상기 전면 글라스(12)에서 상기 기판 글라스(2)와 대향하는 면에는 형광체(14)가 상면에 도포된 양전극(16)이 형성 배열되어 있다.On the surface of the front glass 12 that faces the substrate glass 2, a positive electrode 16 having a phosphor 14 coated on the top surface is formed.

상기 양전극(16)은 ITO 증착에 의해 형성되는 것이고, 또 형광체(14)는 음극선관에 적용되는 통상의 것을 R, G, B의 순으로 라인 패터닝하여 인쇄 또는 전착법에 따라 도포 배열되는 것이다.The positive electrode 16 is formed by ITO deposition, and the phosphor 14 is line-patterned in the order of R, G, and B in order of a conventional thing applied to a cathode ray tube, and is applied and arranged by printing or electrodeposition.

상술한 기판 글라스(2)와 전면 글라스(12) 사이는 절연성 스페이서 등에 의해 일정의 간격이 유지되게 한 채로 실링하고 내부를 진공화 하면서 봉합시켜 소망의 전계 방출 표시소자로 되는 것이다.The above-mentioned substrate glass 2 and the front glass 12 are sealed while being kept at a predetermined interval by an insulating spacer or the like, and sealed while being vacuumed inside to form a desired field emission display device.

이렇게 제조된 전계 방출 표시소자에서, 음전극(4)과 그리드(10) 사이의 거리는 5∼200㎛이고, 그리드(10)와 양전극(16) 사이의 거리는 10∼2000㎛이다.In the field emission display device manufactured as described above, the distance between the negative electrode 4 and the grid 10 is 5 to 200 mu m, and the distance between the grid 10 and the positive electrode 16 is 10 to 2000 mu m.

또 진공도에 있어서도 10^-6Torr로 족하고, 동작전압은 10⁶V/cm에서 구동되었다. 이와 같은 본 발명의 특성은 종래에 고융점 금속 박막을 음전극으로 이용한 스핀트 타입이 진공도 10^-8Torr로 되어야 하고, 동작전압도 10⁸V/cm로 되는 것에 비해 상당한 진전이 있는 것이다.Also in the degree of vacuum, 10 ^-6 Torr was satisfied, and the operating voltage was driven at 10 ⁶ V / cm. Such a characteristic of the present invention is that the spin type using a high melting point metal thin film as a negative electrode in the prior art should have a vacuum degree of 10 ⁻⁸ Torr, and there is considerable progress compared to an operating voltage of 10 ⁸ V / cm.

동작에 있어서 상기 음전극(4)에 도포된 흑연 박막층(6)으로부터 방출되는 전자는 그리드(10)에 인가된 양전위에 이끌려 유인되고, 다시 전면 글라스(12)의 양전극(16)으로 인가된 양전위에 이끌려서 그 위로 도포된 형광체(14)로 충돌되어 이를 여기시키게 된다. 따라서 전자에 여기된 형광체(14)는 발광하게 되고, 그 빛은 전면 글라스(12)를 통해 외부에서 화상으로 볼 수 있게 되는 것이다.In operation, electrons emitted from the graphite thin film layer 6 applied to the negative electrode 4 are attracted to the positive potential applied to the grid 10, and again to the positive potential applied to the positive electrode 16 of the front glass 12. It is attracted and impinges on the phosphor 14 applied thereon to excite it. Therefore, the phosphor 14 excited by the electrons emits light, and the light can be seen as an image from the outside through the front glass 12.

본 발명은 이러한 전계 방출 표시소자로서의 기능을 수행하는 것이면서도 전자는 흑연 박막층(6)을 통해 방출되는 것이므로 그 방출량이 증대되어 휘도가 향상된다.In the present invention, the electron is emitted through the graphite thin film layer 6 while performing the function as the field emission display device, and thus the emission amount is increased to improve the luminance.

또, 동작 중에 금속 이온의 충격을 받아 흑연 박막층(6)이 파손되더라도 새롭게 노출되는 파단면의 결정 조직이 동일한 것으로 현출되어 전자 방출 효과가 저하되지 않고 균질하게 된다.In addition, even if the graphite thin film layer 6 is damaged by the impact of metal ions during operation, the crystal structure of the newly exposed fracture surface is exhibited the same, so that the electron emission effect is homogeneous without deterioration.

이상 설명한 바와 같이 본 발명은 스크린 인쇄가 가능한 흑연 분말로 전자방출 물질층을 형성함에 따라 이를 통한 전자의 방사량과 저전계 구동 등의 효과가 종래의 값비싼 다이아몬드 박막으로 된 것에 비견되는 것이면서도 그 형성 공정이 대단히 간편 용이하게 되어 제조에 소요되는 설비비 및 원가를 절감할 수 있는 효과를 가지는 한편, 가스 이온에 의한 파손을 입더라도 새롭게 노출되는 면의 전자 방사 특성이 변화되지 않아 사용 수명이 길어지게 되며, 또한 3극관형 전계 방출 표시소자의 내부 진공도를 현저하게 낮추더라도 저전압에서 구동되는 특성을 가지게 되는 효과가 있다.As described above, the present invention forms an electron emitting material layer using graphite powder which can be screen printed, and the effects such as electron emission amount and low electric field driving are comparable to those of conventional expensive diamond thin films. The process is very simple and easy to reduce the equipment cost and cost required for manufacturing, and even if the damage caused by gas ions does not change the electrospinning characteristics of the newly exposed surface, the service life is long. In addition, even if the internal vacuum degree of the triode type field emission display device is significantly lowered, it is possible to have a characteristic of driving at a low voltage.

Claims (2)

기판 글라스(2) 상에 음전극(4)을 적층 형성하고 그 상면으로 흑연 분말을 스퍼터링 증착하여 소정 개소마다 흑연 박막층(6)이 형성 배열되게 한 다음 상기 흑연 박막층(6)을 제외한 음전극(4)의 상면으로 절연층(8)을 소정 두께로 인쇄 도포하고 열처리하여 고착화시킨 후에, 다시 그 위로 은 페이스트를 인쇄 도포하고 열처리하여 소정 패턴의 그리드(10)가 배치되게 한 구성을 포함하고 있는 3극관형전계 방출 표시소자.The negative electrode 4 is laminated on the substrate glass 2 and sputter-deposited graphite powder is formed on the upper surface thereof so that the graphite thin film layer 6 is formed at predetermined positions, and then the negative electrode 4 except the graphite thin film layer 6 is formed. A triode tube including a configuration in which the insulating layer 8 is printed on the upper surface of a predetermined thickness and heat treated to fix and then fixed and then the silver paste is printed and heat treated on the upper surface thereof so that the grid 10 of a predetermined pattern is arranged. Field emission display device. 제 1 항에 있어서, 상기 흑연 박막층(6)은 직경 0.5∼100㎛의 흑연 분말에 의해 형성되는 것임을 특징으로 하는 3극관형 전계 방출 표시소자.The tripolar field emission display device according to claim 1, wherein the graphite thin film layer (6) is formed of graphite powder having a diameter of 0.5 to 100 mu m.