KR19980077237A - 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 부여된 납기를 충촉시킴과 아울러 공기단축을 이룰 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 관한 것으로, 본 발명은 호스트 컴퓨터 및 터미널 컴퓨터를 사용한 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터를 통해 상기 로트의 대기시간별 우선순위를 설정하는 제 1 설정단계와; 상기 호스트 컴퓨터를 통해 상기 로트의 공정조건별 우선순위를 설정하는 제 2 설정단계와; 상기 대기시간별 및 공정조건별 우선순위에 의한 상기 로트의 목록을 상기 호스트 컴퓨터의 데이터 베이스에 저장하는 저장단계와; 상기 호스트 컴퓨터에 저장된 상기 목록을 상기 터미널 컴퓨터로 다운로드한 후 디스플레이하는 표시단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에서는 로트별 작업순서가 소정의 호스트 컴퓨터를 통해 자동으로 관리됨으로써, 체계적인 납기일 관리가 가능하고, 또한 제품의 안정적인 생산을 이룰 수 있다.

Description

반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법

본 발명은 반도체 제조용 설비의 제어방법에 관한 것으로 좀더 상세하게는 소정의 제어시스템을 구비하여 전체적인 공정부분품(WIP:Work In Process; 이하, WIP라 칭함)의 진행정도 및 목표공기를 각 공정 스탭(Step)마다 관리하고 이에 따른 우선순위를 설정함으로써, WIP에 부여된 납기를 충촉시킴과 아울러 공기단축을 이룰 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자는 고도의 정밀성을 필요로 하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예컨대, 스퍼터링 설비, 식각설비, 측정설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다.

이때, 상술한 설비에는 소정의 WIP, 예컨대, 로트가 로딩된 후 소정의 공정조건에 따른 가공을 거치게 된다.

여기서, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1은 이러한 로트를 가공하는 종래의 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 먼저 전체 공정라인 관리자는 공기,납기 등의 여러 가지 조건을 고려한 후 제품별 우선순위를 결정하여, 작업자에게 통보한다.

이때, 작업자는 통보된 내용을 숙지한 후, 로트(도 2에 도시:2)에 진행시킬 차기 공정을 판단하고 작업 영역에 있는 설비(도 2에 도시:1)들 중에서 로트를 로딩할 적절한 설비(1)를 선택하여 소정의 제어장치(미도시)에 입력한다.(S1)

그다음에, 작업자는 선택된 설비(1)에서 처리할 수 있는 로트(2)들 중 임의의 로트(2)를 선택한다.(S2)

그 후, 작업자는 로트(2)를 설비(1)로 매뉴얼 로딩(Manual Loading) 하거나 자동 반송 시스템에 로딩시킴으로써, 선택된 로트(2)가 설비에서 처리될 수 있도록 한다.(S3)

이에 따라, 설비(1)는 로딩된 로트(2)를 소정의 방식으로 가공한다.(S4)

그러나, 이와 같은 종래의 기술에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 방법에는 몇가지 중대한 문제점이 있다.

첫째, 작업자가 설비에서 처리될 로트를 선택할 때 여러 가지 조건, 예컨대, 라인의 밸런스, 제품의 납기일 등을 고려하는 것이 불가능하고, 그 결과 단순히 작업에 편리한 임의의 로트를 선택함으로써, 각 로트에 부여된 정확한 납기일을 충족시키기 힘든 문제점이 있다.

둘째, 상술한 임의의 판단 결과, 전체적인 작업 공기가 지연되고, 공기의 편차가 증대되어 제품의 안정성이 저감되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 소정의 제어시스템을 구비하고, 이러한 제어시스템을 통해 대기시간별 우선순위 및 공정조건별 우선순위를 설정하고 이를 외부로 디스플레이시킴으로써 생산라인내의 작업자가 납기일이 임박한 로트를 먼저 런(R un)시킬 수 있도록하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 상술한 제어시스템을 통해 공정로트의 표준공기 및 현공기를 설정하고, 이를 통해 각 로트의 공기편차를 조절함으로써, 제품의 안정적 생산에 기여할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.

도 2는 본 발명에 따른 로트 플로우 제어방법을 구현하기 위한 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.

도 4는 본 발명의 제 1 설정단계를 순차적으로 도시한 순서도.

도 5는 본 발명의 제 2 설정단계를 순차적으로 도시한 순서도.

도 6은 본 발명의 제 1 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.

도 7은 본 발명의 제 2 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.

도 8은 본 발명의 제 3 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.

도 9는 본 발명의 또다른 목적에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도.

도 10은 본 발명의 제 4 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 호스트 컴퓨터 및 터미널 컴퓨터를 사용한 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터를 통해 상기 로트의 대기시간별 우선순위를 설정하는 제 1 설정단계와; 상기 호스트 컴퓨터를 통해 상기 로트의 공정조건별 우선순위를 설정하는 제 2 설정단계와; 상기 대기시간별 및 상기 공정조건별 우선순위에 의한 상기 로트의 목록을 상기 호스트 컴퓨터의 데이터 베이스에 저장하는 저장단계와; 상기 호스트 컴퓨터에 저장된 상기 목록을 상기 터미널 컴퓨터로 다운로드한 후 디스플레이하는 표시단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 호스트 컴퓨터는 디스팻칭 엔진임을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 터미널 컴퓨터는 디스팻처임을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 표시단계 이후에 상기 설비에 대기중인 공정 로트의 수가 최소인가를 판단하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 설비에 대기중인 공정 로트의 수가 최소이면, 소정의 공정을 진행하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 설비에 대기중인 공정 로트의 수가 최소가 아니면 상기 설비를 재지정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 제 1 설정단계는 소정의 최대 대기시간을 설정한 후, 상기 로트가 상기 최대 대기시간을 초과했는지의 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 로트가 상기 최대 대기시간을 초과한 경우는 대기시간별 제 1 순위를 부여하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 로트가 상기 최대 대기시간을 초과하지 않은 경우는 대기시간별 제 2 순위를 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 제 2 설정단계는 상기 로트에 부여된 공정조건과 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 서로 동일한가를 판단하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 로트에 부여된 공정조건과 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 서로 동일하지않으면, 소정의 공정조건을 재지정한 후, 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 로트에 부여된 공정조건과 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 서로 동일하면, 상기 로트에 부여된 순위가 상기 대기시간별 제 1 순위인가를 판단하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 대기시간별 제 1 순위인 경우는 공정조건별 제 1 순위를 부여하는 단계와; 상기 판단결과, 상기 대기시간별 제 1 순위가 아닌 경우는 공정조건별 제 2 순위를 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계에서 상기 로트에 부여된 공정조건이 하나이고, 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 하나이면서, 양 공정조건이 서로 다른 경우는 상기 로트에 부여된 공정조건이 상기 설비의 공정조건으로 재설정됨을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계에서 상기 로트에 부여된 공정조건이 다수이고, 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 하나이면서, 양 공정조건중 하나가 동일한 경우는 당해 동일 공정조건이 상기 설비의 공정조건으로 재설정됨을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계에서 상기 로트에 부여된 공정조건이 하나이고, 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 없는 경우는, 로트에 부여된 공정조건이 상기 설비의 공정조건으로 설정됨을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 제 2 설정단계 이후에 작업자의 특정조건 지정이 있는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단결과, 작업자의 특정조건 지정이 있으면, 작업자조건별 제 1 순위를 부여하는 단계와; 상기 판단결과, 작업자의 특정조건 지정이 없으면, 작업자조건별 제 2 순위를 부여하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 작업자조건별 제 1 순위 및 작업자조건별 제 2 순위의 유효기간은 당해 작업자의 작업시간으로 제한됨을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 작업자의 특정조건 지정여부의 판단은 AND연산식을 통해 이루어짐을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 제 2 설정단계 이후에 배치단위로 처리할 수 있는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 판단결과, 배치단위로 처리할 수 있는 경우는 배치조건별 제 1 순위를 부여하는 단계와; 상기 판단결과, 배치단위로 처리할 수 없는 경우는 배치조건별 제 2 순위를 부여하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 호스트 컴퓨터 및 터미널 컴퓨터를 사용한 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 있어서, 상기 로트의 공정조건별 현공기를 설정하는 제 1 단계와; 상기 현공기를 산출하여 당해 값이 0 보다 큰가를 판단하는 제 2 단계와; 상기 판단결과, 상기 값이 0 보다 크면 공기별 제 1 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 제 3 단계와; 상기 판단결과, 상기 값이 0 보다 작으면 공기별 제 2 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 제 1 단계의 현공기는 하기식에 의해 설정됨을 특징으로 한다.

현재시간 - {시작시간 + 표준공기}

바람직하게, 상기 제 3 단계 또는 상기 제 4 단계 후에 상기 로트 중 당해 스탭에 선 도착한 로트를 판별하는 단계와; 상기 판별결과, 소정의 로트가 선 도착 로트이면 도착순서별 제 1 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 단계와; 상기 판별결과, 소정의 로트가 후 도착 로트이면 도착순서별 제 2 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 판별대상이 되는 상기 로트의 각 표준공기는 모두 동일함을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에서는 전체적인 로트 플로우의 균형이 유지된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 로트 플로우 제어방법을 구현하기 위한 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.

도시된 바와 같이, 반도체 제조라인 내에는 각각의 조건별 공정을 진행하는 설비(1)가 그룹(Group)을 이루며 배치된다.

이때, 각 설비(1)는 소정의 터미널 컴퓨터(Terminal computer:3)와 온라인(On-Line)으로 연결되며, 각 개별 설비(1)는 이러한 터미널 컴퓨터(3)에 의해 제어되고 있다.

여기서, 각 생산라인의 작업자는 상술한 터미널 컴퓨터(3)에 소정의 전산작업을 수행하여, 로봇(미도시) 등의 자동 반송 시스템을 작동시키고 이에 의해 로트(2)는 설비(1)에 구비된 포트(Port:미도시)에 로딩되어 소정의 공정을 거치게 된다.

한편, 각각의 설비(1) 및 터미널 컴퓨터(3)는 소정의 자료수집기능을 갖는 호스트 컴퓨터(4)와 온라인으로 연결된다.

이에 따라, 각 설비(1) 및 로트(2)와 관련된 여러 가지 데이터는 호스트 컴퓨터(4)에 입력·저장되며, 작업자는 터미털 컴퓨터(3)에서 호스트 컴퓨터(14)로 로그인(Login) 또는 컨넥트(Connect)하여 자신이 원하는 소정의 전산작업을 수행할 수 있다.

이때, 설비(1)에는 호스트 컴퓨터(4)와의 데이터 교신을 담당하는 소정의 포트, 예컨대, SECS(Semi Equipment Communications Standard)포트(미도시)가 구비되며, 설비(1)는 이러한 프로토콜(Protocol)에 의해 호스트 컴퓨터(4)와 지속적인 데이터 교환을 수행할 수 있다.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.

후술하는 설명에서는, 편의상, L1, L2, L3, L4의 로트(2)가 설비에 로딩되기 위해 대기중이라고 가정한다.

도시된 바와 같이, 본 발명은 호스트 컴퓨터(4)를 통해 로트(2)의 대기시간별 우선순위를 설정하는 제 1 설정단계(S10)와, 호스트 컴퓨터(4)를 통해 로트(2)의 공정조건별 우선순위를 설정하는 제 2 설정단계(S20)와, 상술한 대기시간별 및 공정조건별 우선순위에 의한 로트(2)의 목록을 호스트 컴퓨터(4)의 데이터 베이스에 저장하는 저장단계(S30)와, 호스트 컴퓨터(4)에 저장된 목록을 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드한 후 디스플레이하는 표시단계(S40)를 포함한다.

이러한 본 발명의 각 단계를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)에는 각 설비(1) 및 로트(2)와 관련된 각종 데이터, 예컨대, 로트(2)의 납기일, 로트(2)에 부여된 공정조건, 현 재고상태, 설비(1)에 지정된 공정조건 등이 기 저장된다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면, 호스트 컴퓨터(4)는 작업 분배 순위형 컴퓨터, 좀더 바람직하게는 디스패칭 엔진(Dispatching engine)이 사용된다.

이에 따라, 호스트 컴퓨터(4)에 저장된 각종 데이터는 상술한 터미널 컴퓨터(3)에 적절히 분배될 수 있다.

이어서, 본 발명의 제 1 설정단계(S10)가 진행된다.

도 4는 본 발명의 제 1 설정단계를 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 설정단계(S10)는 최대 대기시간을 설정(S11)한 후, 상술한 로트(2)가 최대 대기시간을 초과했는지의 여부를 판단하는 단계(S12)와, 이러한 판단결과, 로트(2)가 최대 대기시간을 초과한 경우는 대기시간별 제 1 순위를 부여하는 단계(S13)와, 이러한 판단결과, 로트(2)가 최대 대기시간을 초과하지 않은 경우는 대기시간별 제 2 순위를 부여하는 단계(S14)를 포함한다.

이러한, 본 발명의 제 1 설정단계(S10)를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)는 기 저장된 자료를 참고하여, 소정의 통계작업을 시행하고 이를 통해 각 로트(2)에 대응되는 최대 대기시간을 설정한다.(S11)

이어서, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 각 로트(2)가 제조라인에 입고된 후부터 현재까지 대기하고 있던 대기시간을 상술한 최대 대기시간과 비교한다.(S12)

이러한 비교결과, 로트(2)의 대기시간이 설정된 최대 대기시간을 초과하는 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 당해 로트에 선진행의 대기시간별 제 1 순위를 부여하고,(S13) 이러한 비교결과, 로트(2)의 대기시간이 설정된 최대 대기시간에 못미치는 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 당해 로트(2)에 후진행의 대기시간별 제 2 순위를 부여한다.(S14)

상술한 각 로트 L1, L2, L3, L4의 예에서, 로트 L1, L2의 대기시간은 설정된 최대 대기시간을 초과함에 비해 로트 L3, L4의 대기시간은 최대 대기시간에 미치지못한다고 가정하면, 호스트 컴퓨터(4)는 로트 L1, L2에는 선진행의 대기시간별 제 1 순위를 부여하고, 로트 L3, L4에는 후진행의 대기시간별 제 2 순위를 부여한다.(S13,S14)

따라서, L1, L2는 L3, L4보다 먼저 설비에 로딩될 수 있는 순위를 설정받는다.

이러한, 제 1 설정단계(S10) 후에는 제 2 설정단계(S20)가 진행된다.

도 5는 본 발명의 제 2 설정단계를 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 설정단계(S20)는 로트(2)에 부여된 공정조건과 설비(1)에 셋팅된 공정조건이 서로 동일한가를 판단하는 단계(S21)와, 이러한 판단결과, 로트(2)에 부여된 공정조건과 설비(1)에 셋팅된 공정조건이 서로 동일하지않으면, 소정의 공정조건을 재지정한 후(S25), 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계(S26)와, 이러한 판단결과, 로트(2)에 부여된 공정조건과 설비(1)에 셋팅된 공정조건이 서로 동일하면, 로트(2)에 부여된 우선순위가 대기시간별 제 1 순위인가를 판단하는 단계(S22)와, 이러한 판단결과, 로트(2)에 부여된 우선순위가 대기시간별 제 1 순위인 경우는 공정조건별 제 1 순위를 부여하는 단계(S23)와, 이러한 판단결과, 로트에 부여된 우선순위가 대기시간별 제 1 순위가 아닌 경우는 공정조건별 제 2 순위를 부여하는 단계(S24)를 포함한다.

이러한 본 발명의 제 2 설정단계(S20)를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 제 1 설정단계(S10) 후에 기 저장된 데이터를 검색하여 각각의 로트 L1, L2, L3, L4에 부여된 공정조건과 각각의 로트(2)가 로딩될 설비(1)의 공정조건이 서로 동일한가를 판단한다.(S21)

이러한 판단결과, 각각의 로트(2)에 부여된 공정조건이 설비(1)의 공정조건과 동일한 경우에, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 제 1 설정단계(S10)에서 당해 로트에 지정한 우선순위가 대기시간별 제 1 순위인가를 재차 판단하여(S22), 대기시간별 제 1 순위에 해당하는 경우, 선진행의 공정조건별 제 1 순위를 부여하고,(S23) 대기시간별 제 1 순위에 해당하지 않는 경우, 후진행의 공정조건별 제 2 순위를 부여한다.(S24)

그러나, 이러한 판단결과, 각각의 로트(2)에 부여된 공정조건이 설비(1)의 공정조건과 상이한 경우에, 호스트 컴퓨터는 로트(2) 및 설비(1)에 부여된 각 공정조건을 상호 비교하여 적절한 공정조건을 설비(1)에 재지정한 후에(S25) 당해 로트(2)에 상술한 공정조건별 제 1 순위 및 공정조건별 제 2 순위 보다 후진행되는 공정조건별 제 3 순위를 부여한다.(S26)

상술한 각각의 로트 L1, L2, L3, L4의 예에서, 로트 L1, L3에 부여된 공정조건이 설비(1)의 공정조건과 동일하다고 가정하면, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 제 1 설정단계에 의해 대기시간별 제 1 순위가 부여된 L1에는 선진행의 공정조건별 제 1 순위를 부여하고, 대기시간별 제 1 순위가 부여되지 않은 L3에는 후진행의 공정조건별 제 2 순위를 부여한다.(S23,S24)

그러나, 각각의 로트 L1, L2, L3, L4에서, 로트 L2, L4에 부여된 공정조건이 설비(1)의 공정조건과 상이하다고 가정하면, 호스트 컴퓨터(4)는 로트 L2, L4의 공정조건과 설비(1)의 공정조건을 상호 비교하여, 설비(1)에 새로운 공정조건을 설정하고,(S25) 각 로트 L2, L4에는 상술한 공정조건별 제 1 및 제 2 순위에 뒤지는 공정조건별 제 3 순위를 부여한다.(S26)

요컨대, 본 발명의 호스트 컴퓨터(4)는 당해 설비(1)에 현재 지정된 공정과 로트(2)에 부여된 공정을 상호비교함과 아울러 상술한 최대 대기시간을 함께 고려함으로써, 설비(1)의 공정조건을 새로 셋팅하지 않으면서도, 대기시간이 길어진 로트(2)를 빠르게 설비(1)에 런시킬 수 있도록 한다.

이러한 본 발명의 제 2 설정단계(S20)는 공정조건 변경에 많은 시간이 소요되는 스태퍼(Stepper)와 같은 반도체 설비에서 유용한 효과를 얻는다.

결과적으로, 상술한 각 로트 L1, L2, L3, L4는 L1 L3 L2=L4의 우선순위를 부여받는다.

한편, 본 발명의 특징에 따르면, 상술한 공정조건별 제 3 순위부여단계(S26)에서 로트(2)에 부여된 공정조건이 하나이고, 설비(1)에 셋팅된 공정조건이 하나이면서, 양 공정조건이 서로 다른 경우는 로트(2)에 부여된 공정조건이 당해 설비(1)의 공정조건으로 설정된다.

또한, 상술한 공정조건별 제 3 순위부여단계(S26)에서 로트(2)에 부여된 공정조건이 다수이고, 설비(1)에 셋팅된 공정조건이 하나이면서, 양 공정조건중 하나가 동일한 경우는 이러한 동일 공정조건이 당해 설비(1)의 공정조건으로 설정된다.

또한, 상술한 공정조건별 제 3 순위부여단계(S26)에서 로트(2)에 부여된 공정조건이 하나이고, 설비(1)에 셋팅된 공정조건이 없는 경우는, 로트(2)에 부여된 공정조건이 당해 설비(1)의 공정조건으로 설정된다.

이를 좀더 상세히 설명한다.

상술한 각각의 로트 L1, L2, L3, L4중 공정조건별 제 3 순위를 부여받은 L2, L4의 경우에 있어서, 만약, L2에 부여된 공정조건이 A이고, 설비(1)에 부여된 공정조건이 B인 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 L2가 설비(1)에 로딩될 때, 설비의 공정조건이 A로 변경되었음을 외부로 알려, 설비(1)의 공정조건을 L2의 공정조건에 맞춤으로써, 소정의 공정사고가 발생되는 것을 미연에 방지한다.

또한, L2에 부여된 공정조건이 A,B이고, 설비(1)에 부여된 공정조건이 B인 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 L2가 설비(1)에 로딩될 때, 설비(1)의 공정조건을 설비(1) 및 로트(2)에 모두 적용되는 공정조건 B로 유지시켜야함을 외부로 알림으로써, 소정의 공정사고가 발생되는 것을 미연에 방지한다.

또한, L2에 부여된 공정조건이 A이고, 설비(1)에 부여된 공정조건이 없는 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 L2가 설비(1)에 로딩될 때, 설비(1)의 공정조건을 A로 지정하도록 외부로 알림으로써, L2에 적합한 적절한 공정이 설비(1)에서 수행될 수 있도록 한다.

한편, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예를 순차적으로 도시한 단면도이다.

도시된 바와같이, 상술한 제 2 설정단계(S20) 이후에는 작업자의 특정조건 지정이 있는가의 여부를 판단하는 단계(S100)와, 이러한 판단결과, 작업자의 특정조건 지정이 있으면, 작업자조건별 제 1 순위를 부여하는 단계(S110)와, 이러한 판단결과, 작업자의 특정조건 지정이 없으면, 작업자조건별 제 2 순위를 부여하는 단계(S120)가 더 포함된다.

이를 좀더 상세히 설명한다.

상술한 호스트 컴퓨터(4)는 제 2 설정단계(S20)를 수행한 후, 작업자가 특정 로트와 관련된 소정의 조건을 지정했는가의 여부를 판단한다.(S100)

상술한 각 로트 L1, L2, L3, L4의 예에서, L1 L3 L2=L4의 우선순위가 부여되어 있지만, 만약, 호스트 컴퓨터(4)에 작업자가 특정조건, 예컨대, 16메가 2세대 로트는 긴급진행할 것 등을 설정해 놓으면, 호스트 컴퓨터(4)는 이를 판단하여 이러한 조건에 행당하는 로트에는 작업자조건별 제 1 순위를 부여하고, 이를 가장 선진행의 로트로 설정한다.(S110)

예컨대, L3가 이에 해당하는 로트(2)인 경우, L3는 선진행의 작업자조건별 제 1 순위를 부여 받으며, 이에 비해, 작업자의 특정조건이 없는 나머지 L1, L2, L4는 작업자조건별 제 2 순위를 부여 받아(S120) 상술한 제 2 설정단계(S20)에서 설정된 우선순위를 유지한다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면, 상술한 작업자조건별 제 1 순위 및 작업자조건별 제 2 순위의 유효기간은 당해 작업자의 작업시간으로 제한된다.

따라서, 작업자가 교체되는 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 변경된 우선순위를 상술한 제 2 설정단계(S20)에서 설정된 우선순위로 피드백시키고, 새로운 작업자의 특정조건 지정이 있을 때까지 이를 유지한다.

한편, 본 발명의 특징에 따르면, 상술한 작업자의 특정조건 지정여부에 관한 판단(S100)은 AND연산식을 통해 이루어진다.

이에 따라, 만약, 작업자의 특정조건 지정이 다수인 경우에는 이러한 모든 특정조건을 모두 만족하는 로트(2)만이 상술한 작업자조건별 제 1 순위를 부여받는다.

예컨대, 작업자가 지정한 특정조건이 ⓛ공정조건 아이디(ID)가 xxxx인 로트는 긴급진행할 것, ② 24메가 3세대 제품은 긴급진행할 것으로 설정되면, 호스트 컴퓨터(4)는 이러한 두가지 조건을 모두 만족하는 로트(2)에만 상술한 작업자조건별 제 1 순위를 부여하는 것이다.

상술한 L1, L2, L3, L4의 예에서, L3는 이 두가지 조건을 모두 만족하고, L1은 이 중 한가지 조건만을 만족시킬 경우, 호스트 컴퓨터는 L3에만 작업자조건별 제 1 순위를 부여하여 선 진행될 수 있도록 한다.(S110)

한편, 도 7은 본 발명의 제 2 실시예를 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 상술한 제 2 설정단계(S20) 이후에는 로트(2)를 배치(Batch)단위로 처리할 수 있는가의 여부를 판단하는 단계(S200)와, 이러한 판단결과, 배치단위로 처리할 수 있는 경우는 배치조건별 제 1 순위를 부여하는 단계(S2 10)와, 이러한 판단결과, 배치단위로 처리할 수 없는 경우는 배치조건별 제 2 순위를 부여하는 단계(S220)를 더 포함한다.

이를 좀더 상세히 설명한다.

상술한 호스트 컴퓨터(4)는 제 2 설정단계(S20)를 수행한 후, 우선순위가 설정된 로트(2)들 중 배치단위로 묶일 수 있는 로트(2)가 있는가의 여부를 판단한다.(S200)

상술한 각 로트 L1, L2, L3, L4의 예에서, L1, L3가 서로 배치단위로 묶일 수 있는 로트인 경우 호스트 컴퓨터는 이를 판단하여 L1, L3에는 배치조건별 제 1 순위를 부여하고, 이를 가장 선진행의 로트로 설정한다.(S210)

이에 비해, 배치단위로 묶일 수 없는 나머지 L2, L4는 배치조건별 제 2 순위를 부여 받아 상술한 제 2 설정단계에서 설정된 우선순위를 유지한다.(S220)

이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에서는 각 로트의 우선순위를 배치단위 형성 가능성에 따라 부여함으로써, 배치단위로 로트(2)를 처리해야하는 설비(1), 예컨대, 클리닝설비, 확산(Diffusion)설비 등에서 상당한 효과를 얻을 수 있다.

이와 같이, 작업자는 본 발명의 제 2 설정단계(S20) 이후에 제조라인의 여러 가지 상황에 따라, 상술한 제 1 실시예 또는 제 2 실시예를 호스트 컴퓨터(4)를 통해 추가로 실행시킴으로써, 보다 신속한 공정처리 효과를 얻을 수 있다.

한편, 이러한 제 1 실시예 또는 제 2 실시예 이후에는 본 발명의 저장단계(S30) 및 표시단계(S40)가 진행된다.

이러한, 저장단계(S30) 및 표시단계(S40)를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 상술한 여러 단계에 의해 부여된 우선순위는 호스트 컴퓨터(4)의 데이터 베이스(Data Base :DB)에 저장된다.(S30)

이 후, 소정의 시간이 경과하여 로트를 가공할 시기가 도래하면, 작업자는 상술한 터미널 컴퓨터(3)를 호스트 컴퓨터(4)에 로그인 하여 로트(2) 가공 시기가 도래했음을 호스트 컴퓨터(4)에 알린다.

이에 따라, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 데이터 베이스에 저장된 우선순위 데이터를 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드 한다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면 터미널 컴퓨터(3)는 호스트 컴퓨터(4)로부터 우선 실행 순위를 할당받는 태스크(Task), 즉, 디스패처(Dispatcher)이다. 따라서, 각 공정영역에 있는 작업자들은 이러한 터미널 컴퓨터(3)를 통해 호스트 컴퓨터(4)에 저장된 데이터를 공유함과 아울러 공정진행상황에 따른 사용순위를 할당받는다.

이어서, 터미널 컴퓨터(3)는 호스트 컴퓨터(4)로부터 다운로드된 상술한 각 로트(2)별 우선순위 목록을 구비된 소정의 모니터(미도시)를 통해 외부로 디스플레이한다.(S40)

이에 따라, 작업자는 스토커(Stocker:미도시)에 대기중인 각 로트 L1, L2, L3, L4의 우선순위를 인지하고, 선 진행할 로트(2)를 지정한 후, 로봇 등의 자동 이송 장치를 통해 로트(2)를 설비(1)에 로딩하여 목적한 공정을 진행한다.

그 결과, 전체적인 로트(2)의 생산균형이 유지된다.

도 8은 본 발명의 제 3 실시예를 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 상술한 표시단계(S40) 이후에는 설비(1)에 대기중인 공정 로트의 수가 최소인가를 판단하는 단계(S300)와, 이러한 판단결과, 설비(1)에 대기중인 공정 로트의 수가 최소이면, 소정의 공정을 진행하는 진행단계(S50)와, 이러한 판단결과, 설비(1)에 대기중인 공정 로트의 수가 최소가 아니면 당해 설비(1)를 재지정하는 재지정단계(S320)를 더 포함한다.

이를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 과정을 통해 각 로트(2)의 우선순위를 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드한 후에 온라인으로 연결된 설비(1)의 상황을 체크하여 각 설비(1)의 스테이션(미도시)에 대기중인 로트 수를 파악한다.

이어서, 작업자가 선택한 설비(1)가 최소의 대기로트를 갖는 설비(1)인가를 판단한다.(S300)

이러한 판단결과, 작업자가 선택한 설비(1)가 최소의 대기로트를 갖는 설비라면, 호스트 컴퓨터(4)는 당해 공정을 진행시킨다.(S50)

그러나, 이러한 판단결과, 작업자가 선택한 설비(1)가 많은 수의 대기로트를 갖는 설비(1)라면, 호스트 컴퓨터(4)는 최소의 대기로트를 갖는 설비를 재지정한 후 이러한 적정 설비의 아이디(ID)를 터미널 컴퓨터를 통해 디스플레이하여(S310,S 320) 작업자가 최소의 대기로트를 갖는 설비를 선택할 수 있도록 한다.

일례로, 설비1(1a)은 10, 설비2(1b)는 20, 설비3(1c)은 23의 대기로트를 갖고있고, 작업자가 설비2(1b)를 선택한 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 설비1(1a)의 아이디를 외부로 디스플레이함으로써, 작업자가 설비1(1a)을 통해 적절한 공정을 수행시킬 수 있도록 한다.

이에 따라, 공정의 효율이 증가한다.

이러한, 본 발명의 제 3 실시예는 정체된 로트의 빠른 전환을 요구하는 프리 포토(Pre-photo)설비에서 유용한 효과를 얻는다.

또한, 상술한 본 발명의 제 1 , 제 2 , 제 3 실시예는 실 공정라인의 상황에 따라 적절히 추가되어 실행됨으로써, 본 발명의 효과를 배가시킨다.

한편, 도 9는 본 발명의 또다른 목적에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법은 로트(2)의 공정조건별 현공기를 설정하는 제 1 단계(S410)와, 상술한 현공기의 설정값이 0 보다 큰가를 판단하는 제 2 단계(S420)와, 이러한 판단결과, 그 값이 0 보다 크면 공기별 제 1 순위목록을 작성한 후 당해 목록을 디스플레이하는 제 3 단계(S430,S450)와, 이러한 판단결과, 그 값이 0 보다 작으면 공기별 제 2 순위목록을 작성한 후 당해 목록을 디스플레이하는 제 4 단계(S440,S450)를 포함한다.

이와 같은 본 발명의 각 단계를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 작업자는 여러 가지 상황 및 자료를 참고하여, 소정의 통계작업을 시행하고 이를 통해 각 로트의 공정조건별 표준공기를 설정한다.

이어서, 그 값을 상술한 터미널 컴퓨터를 통해 호스트 컴퓨터에 입력시킨다.(S400)

이 후, 본 발명의 제 1 단계(S410)가 진행된다.

이를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)는 각 로트(2)에 공정조건별 현공기를 설정한다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면, 현공기는 하기식에 의해 설정된다.

[식]

현공기 = 현재시간 - {시작시간 + 표준공기}

여기서, 현재시간(Current time)은 당해 로트(2)가 라인에 입고된 후부터 현재까지의 시간을 말한다. 또한 시작시간(Start time)은 당해 로트(2)가 라인에 입고된 시간을 말한다.

이러한 본 발명의 제 1 단계(S410)를 통해 소정의 현공기가 설정된 후에는 본 발명의 제 2 단계 내지 제 4 단계(S420,S430,S440)가 진행된다.

이를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 현공기의 산출값이 0 보다 큰가를 판단한다.(S420)

이러한 판단결과, 현공기의 산출값이 0 보다 큰 경우 호스트 컴퓨터(4)는 당해 로트가 설정된 표준공기보다 더디게 진행되는 로트임을 파악하고 선진행의 공기별 제 1 순위목록을 작성하여 상술한 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드 한다.(S4 30)

그러나, 이러한 판단결과, 0 보다 작은 경우 호스트 컴퓨터(4)는 당해 로트(2)가 설정된 표준공기보다 빨리 진행되는 로트임을 파악하고 후진행의 공기별 제 2 순위목록을 작성하여 상술한 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드 한다.(S440)

이에 따라, 터미널 컴퓨터에 구비된 소정의 모니터에는 상술한 각 목록이 외부로 디스플레이된다.(S450)

상술한 각 로트 L1, L2, L3, L4의 예에서, L1, L2의 현공기는 0보다 크고, L3, L4의 현공기는 0 보다 작은 경우, 호스트 컴퓨터(4)는 L1, L2를 표준공기보다 더디 진행되고 있는 로트로 파악하고, L3, L4를 표준공기보다 빨리 진행되는 로트로 파악하여, 그 결과 리스트를 터미널 컴퓨터(3)를 통해 외부로 디스플레이한다.(S450)

이에 따라, 작업자는 스토커에 대기중인 각 로트 L1, L2, L3, L4 중 표준공기보다 더디 진행되는 L1, L2를 우선순위로 지정한 후, 로봇 등의 자동 이송 장치를 통해 로트를 설비에 로딩하여 목적한 공정을 진행한다.(S460)

그 결과, 각 로트의 생산 공기 편차가 저감된다.

도 10은 본 발명의 제 4 실시예를 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명의 제 4 실시예는 제 3 단계(S430) 또는 제 4 단계(S440) 후에 스토커에 대기중인 소정의 로트 중 어느 로트가 당해 스탭(Step)에 선 도착한 로트인가를 판별하는 단계(S500)와, 이러한 판별결과, 소정의 로트가 선 도착한 로트이면 도착순서별 제 1 순위목록을 작성한 후 그 목록을 디스플레이하는 단계(S510,S530)와, 이러한 판별결과, 소정의 로트가 후 도착한 로트이면 도착순서별 제 2 순위목록을 작성한 후 상기 목록을 디스플레이하는 단계(S520,S530)를 더 포함한다.

이러한 본 발명의 제 4 실시예를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 제 3 단계(S430) 또는 제 4 단계(S440) 후에 각 로트(2)가 스탭에 도착하여 대기한 시간을 파악하여, 어느 로트가 당해 스탭에 먼저 도착하였는지를 판별한다.(S500)

이러한 판별결과, 소정의 로트가 당해 스탭에 선 도착한 로트라면, 호스트 컴퓨터(4)는 그 로트의 목록을 선진행의 도착순서별 제 1 순위목록 리스트로 작성하여 상술한 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드함과 아울러 모니터를 통해 외부로 디스플레이한다.(S510,S530)

그러나, 이러한 판별결과, 소정의 로트가 당해 스탭에 후 도착한 로트라면 , 호스트 컴퓨터(4)는 그 로트의 목록을 후진행의 도착순서별 제 2 순위목록 리스트로 작성하여 상술한 터미널 컴퓨터(3)로 다운로드함과 아울러 모니터를 통해 외부로 디스플레이한다.(S520,S530)

이에 따라, 작업자는 각 로트(2)가 스탭에 도착한 순서별로 부여된 공정을 먼저 진행시킬 수 있고, 그 결과, 소정의 선입선출(First in First out)효과를 달성할 수 있다.

일례로, L1이 L2보다 당해 스탭에 먼저 도착한 경우, L1, L2가 상술한 제 3 단계(S430)를 통해 동일한 우선순위를 부여받았더라도 호스트 컴퓨터(4)는 상술한 터미널 컴퓨터(3)를 통해 L1이 선진행되어야할 로트라는 것을 디스플레이함으로써, 작업자가 L1을 L2보다 먼저 가공시킬 수 있도록 한다.

이에 따라, 로트 플로우의 안정성이 얻어진다.

단, 본 발명의 제 4 실시예가 성립하려면 판별대상이 되는 각 로트의 표준공기는 서로 동일해야 한다.

만약, 판별대상이 되는 각 로트의 표준공기가 서로 상이한 경우, 선 도착한 로트가 후 도착한 로트보다 공정진행 기간에 비교적 여유가 있더라도, 선 도착 로트가 먼저 가공되는 경우가 발생할 수 있기 때문이다.

따라서, 본 발명의 제 4 실시예는 가공될 로트의 표준공기가 모두 동일한 공정 라인에서 그 효과가 극대화된다.

이러한, 본 발명의 제 4 실시예는 실 공정라인의 상황에 따라 적절히 추가되어 실행됨으로써, 본 발명의 효과를 배가시킨다.

이상의 설명에서와 같이 본 발명에서는 종래와 달리 설비(1)에 로딩되는 로트(2)의 진행순서를 작업자의 단순한 판단에 의해 관리하지않고, 정확한 표준공기 및 현공기의 산출에 의해 관리함으로써, 공정에서 누락되는 로트(2)가 발생되지 않도록 하고, 그 결과 각 로트(2)마다 부여된 납기를 정확히지켜, 궁극적인 공기단축을 이룰 수 있다.

또한, 본 발명에서는 소정의 표준공기 및 현공기의 산출에 의해 공기를 관리함으로써, 각 로트(2)별 공기의 산포가 줄어들어 균질생산을 도모할 수 있다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에서는 로트별 작업순서가 소정의 호스트 컴퓨터를 통해 자동으로 관리됨으로써, 체계적인 납기일 관리가 가능하고, 또한 제품의 안정적인 생산을 이룰 수 있다.

Claims (17)

1. 호스트 컴퓨터 및 터미널 컴퓨터를 사용한 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 있어서,

   상기 호스트 컴퓨터를 통해 상기 로트의 대기시간별 우선순위를 설정하는 제 1 설정단계와;

   상기 호스트 컴퓨터를 통해 상기 로트의 공정조건별 우선순위를 설정하는 제 2 설정단계와;

   상기 대기시간별 및 상기 공정조건별 우선순위에 의한 상기 로트의 목록을 상기 호스트 컴퓨터의 데이터 베이스에 저장하는 저장단계와;

   상기 호스트 컴퓨터에 저장된 상기 목록을 상기 터미널 컴퓨터로 다운로드한 후 디스플레이하는 표시단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 디스팻칭 엔진임을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 터미널 컴퓨터는 디스팻처임을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 표시단계 이후에 상기 설비에 대기중인 공정 로트의 수가 최소인가를 판단하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 설비에 대기중인 공정 로트의 수가 최소이면, 소정의 공정을 진행하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 설비에 대기중인 공정 로트의 수가 최소가 아니면 상기 설비를 재지정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 설정단계는 소정의 최대 대기시간을 설정한 후, 상기 로트가 상기 최대 대기시간을 초과했는지의 여부를 판단하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 로트가 상기 최대 대기시간을 초과한 경우는 대기시간별 제 1 순위를 부여하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 로트가 상기 최대 대기시간을 초과하지 않은 경우는 대기시간별 제 2 순위를 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 설정단계는 상기 로트에 부여된 공정조건과 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 서로 동일한가를 판단하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 로트에 부여된 공정조건과 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 서로 동일하지않으면, 소정의 공정조건을 재지정한 후, 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 로트에 부여된 공정조건과 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 서로 동일하면, 상기 로트에 부여된 순위가 상기 대기시간별 제 1 순위인가를 판단하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 대기시간별 제 1 순위인 경우는 공정조건별 제 1 순위를 부여하는 단계와;

   상기 판단결과, 상기 대기시간별 제 1 순위가 아닌 경우는 공정조건별 제 2 순위를 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계에서 상기 로트에 부여된 공정조건이 하나이고, 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 하나이면서, 양 공정조건이 서로 다른 경우는 상기 로트에 부여된 공정조건이 상기 설비의 공정조건으로 재설정됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
8. 제 6 항에 있어서, 상기 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계에서 상기 로트에 부여된 공정조건이 다수이고, 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 하나이면서, 양 공정조건중 하나가 동일한 경우는 당해 동일 공정조건이 상기 설비의 공정조건으로 재설정됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
9. 제 6 항에 있어서, 상기 공정조건별 제 3 순위를 부여하는 단계에서 상기 로트에 부여된 공정조건이 하나이고, 상기 설비에 셋팅된 공정조건이 없는 경우는, 로트에 부여된 공정조건이 상기 설비의 공정조건으로 설정됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 설정단계 이후에 작업자의 특정조건 지정이 있는가의 여부를 판단하는 단계와;

    상기 판단결과, 작업자의 특정조건 지정이 있으면, 작업자조건별 제 1 순위를 부여하는 단계와;

    상기 판단결과, 작업자의 특정조건 지정이 없으면, 작업자조건별 제 2 순위를 부여하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 작업자조건별 제 1 순위 및 상기 작업자조건별 제 2 순위의 유효기간은 당해 작업자의 작업시간으로 제한됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
12. 제 10 항에 있어서, 상기 작업자의 특정조건 지정여부의 판단은 AND연산식을 통해 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
13. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 설정단계 이후에 배치단위로 처리할 수 있는가의 여부를 판단하는 단계와;

    상기 판단결과, 배치단위로 처리할 수 있는 경우는 배치조건별 제 1 순위를 부여하는 단계와;

    상기 판단결과, 배치단위로 처리할 수 없는 경우는 배치조건별 제 2 순위를 부여하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
14. 호스트 컴퓨터 및 터미널 컴퓨터를 사용한 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법에 있어서,

    상기 로트의 공정조건별 현공기를 설정하는 제 1 단계와;

    상기 현공기를 산출하여 당해 값이 0 보다 큰가를 판단하는 제 2 단계와;

    상기 판단결과, 상기 값이 0 보다 크면 공기별 제 1 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 제 3 단계와;

    상기 판단결과, 상기 값이 0 보다 작으면 공기별 제 2 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
15. 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 현공기는 하기식에 의해 설정됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.

    현재시간 - {시작시간 + 표준공기}
16. 제 14 항에 있어서, 상기 제 3 단계 또는 상기 제 4 단계 후에 상기 로트 중 당해 스탭에 선 도착한 로트를 판별하는 단계와;

    상기 판별결과, 소정의 로트가 선 도착 로트이면 도착순서별 제 1 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 단계와;

    상기 판별결과, 소정의 로트가 후 도착 로트이면 도착순서별 제 2 순위목록을 작성한 후 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.
17. 제 16 항에 있어서, 판별대상이 되는 상기 각 로트의 공정조건별 표준공기는 모두 동일함을 특징으로하는 반도체 제조용 설비의 로트 플로우 제어방법.